JP4298547B2 - 位置決め装置およびそれを用いた露光装置 - Google Patents
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Description
小林昭監修,「超精密生産技術体系 第3巻 計測・制御技術」,初版,1995年7月15日フジ・テクノシステム発行,p20−27
を有することを特徴としている。
図1は実施例1に係るレチクルステージを示す図である。レチクルステージは粗動ステージ3および微動ステージ2を有する。粗動ステージ3は定盤4の上面で移動可能に支持されており、粗動用リニアモータ6によって走査方向としてのY軸方向に大ストロークで移動可能となっている。粗動用リニアモータ6は、ベースに支持されたコイルユニット(不図示)からなる固定子6aと、粗動ステージ2に固定された磁石ユニットからなる可動子6bを有し、固定子6aと可動子6bとの間でローレンツ力を発生させることで粗動ステージ3を駆動する。なお、粗動ステージの駆動機構はリニアモータにかぎるものではなく、その他の駆動機構であってもよい。
図4は実施例2に係るレチクルステージを示す図である。図1と同様の機能を有する構成要素に対しては同じ符号を付して詳細な説明は省略する。実施例2においては、走査方向と垂直な方向の両側面にも電磁継手10を設けている。具体的には、微動ステージのY軸と垂直な2側面と、X軸と垂直な2側面に対してそれぞれ磁性体板8が設けられており、各磁性体板をY軸方向の両側から挟み込むように粗動ステージには電磁石9が設けられている。
実施例1および実施例2に記載の位置決め装置は、レチクルステージにかぎらず高精度が要求される位置決め装置で適用可能である。したがって、上述の例では走査方向に一軸方向で粗動する構成を述べたが、二軸方向で粗動する構成であってもよい。図6は、上述の位置決め装置をレチクルステージまたはウェハステージおよびその両方として搭載した半導体デバイス製造用の露光装置を示す図である。
次に、この露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図7は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク作製)では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
2 微動ステージ
3 粗動ステージ
4 定盤
5 微動用リニアモータ
6 粗動用リニアモータ
7 電磁継手
8 Iコア
9 Eコア
10 開口部
11 レーザ干渉計
12 変形量検出手段
13 永久磁石
14 空芯コイル
15 ヨーク
16 コイル支持部
101 照明系ユニット
102 レチクルステージ
103 投影系ユニット
104 ウェハステージ
105 露光装置本体
Claims (7)
- 第1方向に平行な順方向および逆方向に移動可能な第1ステージと、該第1ステージの移動ストロークよりも小さな移動ストロークで前記第1ステージに対して移動可能な第2ステージを有する位置決め装置であって、
前記第2ステージに取り付けられ、前記第1方向に関して前記第2ステージの前後に設けられた磁性体板と、
前記第1ステージに取り付けられ、前記第1方向に関して各磁性体板の前後に設けられ各磁性体板を非接触で挟み込む少なくとも二対の電磁石と、
前記電磁石に流す電流を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする位置決め装置。 - 前記制御手段は、前記第1ステージが前記順方向に加速をともない移動する場合に、前記第1ステージの前方側に設けられた磁性体板に対して前方側に設けられた電磁石と、前記第1ステージの後方側に設けられた磁性体板に対して前方側に設けられた電磁石との両方に通電することを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記磁性体板は、前記第2ステージの前後に2つずつ設けられ、
前記電磁石は、各々の磁性体板を非接触で挟み込むように設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の位置決め装置。 - 前記制御手段は、予め求めた、前記第1ステージの加減速時における前記第2ステージの変形量情報に基づいて、該変形を補正するように、前記複数の電磁石に流す電流を制御することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の位置決め装置。
- 前記第2ステージに搭載された基板の前記第2ステージに対する変位量、または前記第2ステージの変形量を検出する検出手段を備え、
前記制御手段は、前記検出手段からの出力に基づいてリアルタイムに前記複数の電磁石に流す電流を制御することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の位置決め装置。 - 原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、前記原版および/または基板を請求項1〜5のいずれかに記載の位置決め装置を用いて位置決めすることを特徴とする露光装置。
- デバイス製造方法であって、請求項6に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光する工程と、前記基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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