JP2001059770A

JP2001059770A - 振動監視警報システム及びこのシステムを構成するコンピュータ並びに振動監視警報プログラムを記録したコンピュータ読取可能な媒体

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Publication number: JP2001059770A
Application number: JP11238895A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Ono; 繁大野; Shinya Odagiri; 真也小田切
Original assignee: OOBITTO KK
Current assignee: OOBITTO KK
Priority date: 1999-08-25
Filing date: 1999-08-25
Publication date: 2001-03-06
Anticipated expiration: 2019-08-25
Also published as: JP4181280B2

Abstract

(57)【要約】【課題】振動と歩留まりとの関係を容易に把握するこ
とが可能な振動監視警報システム等を提供すること。精
密機器の振動許容値を比較的正確に知ることのできる振
動監視警報システム等を提供すること。【解決手段】測定点の振動を電気信号として検出する
振動検出手段１と、この振動検出手段１の出力を増幅す
る信号増幅手段２と、この信号増幅手段２の増幅出力に
基づいて測定点の振動を監視するコンピュータ３とを備
える。コンピュータ３は、信号増幅手段２の増幅出力で
あってデジタル変換後の振動データ（時間軸波形）をメ
モリに格納し、このメモリの振動データに対しＦＦＴ理
論に基づく周波数解析処理を実行し、この周波数解析処
理の結果を予め設定された周波数領域での許容値と比較
し、許容値を超えた場合に警報信号を出力すること等。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動監視警報シス
テム及びこのシステムを構成するコンピュータ並びに振
動監視警報プログラムを記録したコンピュータ読取可能
な媒体に係り、特に、半導体製造などに悪影響を及ぼす
振動を対象とした振動監視警報システム等に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩ製造工程において、歩留まりを低
下させる原因の一つとして振動が問題視されている。精
密機器には個々に固有の振動許容値が設定されている
が、実際のところ、精密機器の性能発揮に障害となる振
動の周波数及び許容値を正確に知ることは困難とされて
いる。このため、従来は、精密機器が問題なく稼働して
いる床の振動値に、やや安全を見て許容値を設定してい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記問題に鑑みれば、
ＬＳＩ製造工程において、長期間の振動を常時記録し、
振動と歩留まりとの因果関係を調べる作業は有益とも思
える。しかしながら、現在に至るまで、かかる作業はほ
とんどなされていない。その理由は、振動の常時記録が
時間軸でしか行うことができないこと、かつ、時間軸で
の振動振幅が直接歩留まりに影響するわけではないから
である。通常、振動を嫌う精密機器は、特定周波数の振
動の影響を大きく受けるが、その他の周波数の振動では
比較的影響を受けないことが知られている。

【０００４】そこで、精密機器の振動許容値は、上述の
ように余裕を見て設定されているが、場合によっては、
過度に低い許容値が設定されている場合があり、その許
容値をクリアするために、ＬＳＩ製造工場の設備に過剰
な建設費を投資している場合もある。

【０００５】

【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、特に、振動と歩留まりとの関係を容易に把握
することが可能な振動監視警報システム等を提供するこ
とを、その目的とする。また、精密機器の振動許容値を
比較的正確に知ることのできる振動監視警報システム等
を提供することを、その目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、測定点の振動を電気信号
として検出する振動検出手段と、この振動検出手段の出
力を増幅する信号増幅手段と、この信号増幅手段の増幅
出力に基づいて測定点の振動を監視するコンピュータと
を備えている。また、コンピュータは、信号増幅手段の
増幅出力であってデジタル変換後の振動データ（時間軸
波形、以下同じ）をメモリに格納し、このメモリの振動
データにＦＦＴ（Fast Fourier Transformation）理論
に基づく周波数解析処理を施し、この周波数解析処理の
結果を予め設定された周波数領域の許容値と比較し、許
容値を超えた場合に警報信号を出力する、という構成を
採っている。

【０００７】また、請求項２記載の発明では、コンピュ
ータは、現在の日時を出力するタイマを備えている。そ
して、周波数解析処理の結果が許容値を超えた時から一
定時間の振動データを、当該振動データの発生日時と共
にファイルに格納する、という構成を採っている。

【０００８】また、請求項３記載の発明では、コンピュ
ータは、周波数解析処理の結果として周波数毎の振動速
度、振動加速度及び振動変位を算出し、そのいずれか一
つの値が許容値を超えた場合に前記警報信号の出力及び
振動データのファイルへの記録を行う、という構成を採
っている。

【０００９】また、請求項４記載の発明では、コンピュ
ータは、許容値を周波数毎に異なる値に設定可能な許容
値設定機能を備えている、という構成を採っている。

【００１０】また、請求項５記載の発明では、コンピュ
ータは、現在の日時を出力するタイマを備えている。そ
して、タイマが予め設定された記録開始時刻を出力する
と、当該記録開始時刻から一定時間の前記振動データ
を、該振動データの発生日時と共にファイルに格納す
る、という構成を採っている。

【００１１】また、請求項６記載の発明では、コンピュ
ータは、現在の日時を出力するタイマと、記録開始及び
記録停止を入力可能な入力装置とを備えている。そし
て、この入力装置から記録開始が入力されてから記録停
止が入力されるまでの振動データを、該振動データの発
生日時と共にファイルに格納する、という構成を採って
いる。

【００１２】また、請求項７記載の発明では、コンピュ
ータは、周波数解析の結果をトリパタイトグラフとして
表示装置に表示させる表示機能と、このトリパタイトグ
ラフを元となる振動データの発生日時と共に印刷装置に
印刷させる印刷機能とを備えている。また、他の発明
は、上記振動監視警報システムを構成するコンピュータ
と、このコンピュータを実現する振動監視警報プログラ
ムを記録した媒体である。これらにより、前述した目的
を達成しようとするものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図１３に基づいて説明する。

【００１４】図１に示す振動監視警報システムは、測定
点の振動を電気信号として検出する振動検出手段１と、
この振動検出手段１の出力を増幅する信号増幅手段２
と、この信号増幅手段２の増幅出力をデジタル変換した
振動データ（時間軸波形、以下同じ）に基づいて測定点
の振動を監視し警報を発するコンピュータ３とを備えて
いる。

【００１５】図２は、振動検出手段１の構成図である。
本実施形態では、振動検出手段１として複数の加速度セ
ンサを採用している。加速度センサは、Ｘ１〜Ｚ４まで
の全部で１２個が設けられている。記号Ｘ，Ｙ，Ｚは、
検出する振動方向がそれぞれ直交座標系におけるＸ方
向、Ｙ方向、Ｚ方向であることを示している。ＸＹＺに
続く数字１，２，３，４はセンサの組番号を示してい
る。例えば、「加速度センサＸ１」は、第１組のＸ方向
の振動を検出するセンサである。Ｘ方向，Ｙ方向，Ｚ方
向の振動を検出する加速度センサ１つずつを組み合わせ
て１つのセンサ組１１を構成し、本実施形態では、この
センサ組１１が４つ設けられている。これは、独立した
４ヶ所の測定点において、それぞれＸ，Ｙ，Ｚ、３方向
の振動を検出できることを意味している。各加速度セン
サの出力信号は、信号増幅手段２に入力されるように構
成されている。また、各加速度センサの電源は信号増幅
手段２から供給されるようになっている。

【００１６】図３は、信号増幅手段２の構成を示すブロ
ック図である。信号増幅手段２は、振動検出手段１の加
速度センサから出力される電気信号を増幅する増幅器
を、当該加速度センサの数に等しい１２個備えている。
また、信号増幅手段２は、外部に警報信号を出力するた
めの警報出力コネクタ２５と、コンピュータ３からの指
令に基づいて警報出力コネクタ２５からＴＴＬレベルの
警報信号を出力させるコントローラ２４と、コントロー
ラ２４に警報信号の出力を停止させるリセットボタン２
６とを備えている。警報出力コネクタ２７には、種々の
警報装置２７を接続することが可能である。また、信号
増幅手段２は、振動検出手段１、増幅器２１及びコント
ローラ２４に電力を供給する電源２３を備えている。１
２個の増幅器は、個別に３段階の利得を設定できる機能
を有している。各増幅器の利得の設定は、コントローラ
２４から出力される制御信号によって行われる。コント
ローラ２４は、コンピュータ３からの命令に基づいて各
増幅器の利得を切り替える。

【００１７】図４は、コンピュータ３の構成を示すブロ
ック図である。バス３１には、入力装置３２、表示装置
３３、メモリ３４、ＣＰＵ３５、外部記憶３６、ハード
ディスクドライブ（ＨＤＤ）３７及び外部インターフェ
ース（Ｉ／Ｆ）３８が接続されている。入力装置３２
は、キーボードやマウス等である。表示装置３３は、Ｃ
ＲＴや液晶ディスプレイ等である。メモリ３４はＲＡＭ
やＲＯＭである。外部記憶３６は、フロッピディスクド
ライブ、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ等である。ＨＤＤ３７は、振
動データのファイル装置として機能する。また、ＨＤＤ
３７には、ＣＰＵ３５が実行する振動監視警報プログラ
ムが記録されている。このプログラムをＣＰＵ３５が実
行することにより、後述する各種の機能が実現される。
振動監視警報プログラムは、外部記憶媒体としてのコン
ピュータ読み取り可能な媒体から読み込まれたものであ
ってもよい。Ｉ／Ｆ３８には、信号増幅手段２を接続す
るインターフェース、印刷装置４１を接続するパラレル
インターフェース、スピーカ４０を接続するオーディオ
インターフェース等が含まれる。特に、Ｉ／Ｆ３８は、
信号増幅手段２の増幅アナログ出力をデジタル信号に変
換してバス３８に取り込むＡ／Ｄ変換器３９を備えてい
る。

【００１８】次に、本実施形態の動作について説明す
る。

【００１９】まず、各センサ組１１を測定点に設置す
る。例えば、振動を計測したい部屋毎に一つのセンサ組
１１を設置する。本実施形態では４ヶ所まで配置するこ
とができる。システムを稼働状態に設定すると、加速度
センサからＸ，Ｙ，Ｚ各方向の振動が連続的に検出され
信号増幅手段２に入力される。信号増幅手段２では、加
速度センサから出力された微弱な信号が各増幅器に入力
され、予め設定された利得に応じて増幅される。ユーザ
ーはコンピュータ３の入力装置３２を操作することによ
り各増幅器の利得を選択できるようになっている。ＣＰ
Ｕ３５は、入力装置３２から増幅器の利得の変更が要求
されると、信号増幅手段２のコントローラ２４に利得の
変更命令を出力する。この命令を受けたコントローラ２
４は、指示された増幅器の利得を指示された値に変更す
る。各増幅器で増幅された信号は、コンピュータ３に出
力され、Ｉ／Ｆ３８に含まれるＡ／Ｄ変換器３９におい
てデジタル信号（振動データ）に変換される。コンピュ
ータ３は次の処理を実行する。

【００２０】図５は、コンピュータ３の通常の表示処理
を示すフローチャートである。通常、コンピュータ３
は、一定時間を単位として振動データをメモリ３４に蓄
積し（Ｓ１）、一定時間分の振動データ（時間軸波形）
が格納される毎に、その振動データに基づく振動波形を
表示装置３３に表示する（Ｓ２）。

【００２１】この際の通常の表示画面を図９に示す。通
常の表示画面では、センサ第１組から第４組までの全て
の振動データ（時間軸波形）が同時に表示されるように
なっている。振動データの表示例を図１３に示す。Ｘ，
Ｙ，Ｚの各方向毎に振動データが時系列に表示される。
本実施形態において、横軸は時間、縦軸は加速度を示し
ている。横軸は４秒分の振動データを同時に表示できる
ようになっており、その半分の２秒が振動データの取得
単位及び表示の更新単位になっている。図１３におい
て、Ｘ方向の振動データの加速度のレンジは±０．５に
表示されているが、通常の表示では、Ｘ，Ｙ，Ｚ全ての
方向において、±１．０のレンジで表示されるようにな
っている。また、ユーザーは、入力装置３２の操作によ
り、振動データの表示方法をピーク・トゥ・ピーク、ゼ
ロ・トゥ・ピーク、及び実効値（ＲＭＳ）表示から選択
できるようになっている。また、図９の通常の表示画面
には、各センサ組１１の識別名が表示されるようになっ
ている。ユーザーは、入力装置３２の操作により、この
識別名を書き替えることができるようになっている。こ
れにより、振動データの表示内容とセンサ組１１の設置
場所との対応関係を容易に把握できる。

【００２２】また、図９において、各センサ組１１の振
動データの表示部の上には、「モニタ」ボタンが設けら
れている。この「モニタ」ボタンをマウスでクリックす
ると、選択された組の振動データの変化に加えて、この
振動データを２秒毎に周波数変換し、トリパタイトグラ
フ上に表した表示が得られる。この表示画面を図１０に
示す。画面の右側に通常の表示と同様の振動データの波
形が表示され、その左側には、表示中の振動データに対
応するトリパタイトグラフが表示される。図１２は、ト
リパタイトグラフ表示の例である。トリパタイトグラフ
は、横軸に振動周波数、縦軸に振動速度、右下がりの軸
に振動加速度、左下がりの軸に振動変位がそれぞれ設定
されている。コンピュータ３は、このトリパタイトグラ
フの表示にあたり、振動データに対しＦＦＴ理論に基づ
く周波数解析処理を施し、周波数毎に振動速度、振動加
速度及び振動変位を算出する。そして、その算出値をト
リパタイトグラフ上に表示する。本実施形態において、
トリパタイトグラフにはＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向それぞ
れの振動データから得た周波数解析結果を当該方向毎に
独立した線で表示する。Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の区別は表示色
を違えて行ってもよいし、図１２のように四角や三角等
の形状で区別できるようにしてもよい。

【００２３】また、図１０において、トリパタイトグラ
フの上方には、選択したセンサ組１１の識別名が表示さ
れるようになっている。また、振動データ表示の下には
「リターン」ボタンが設けられており、この「リター
ン」ボタンをマウスでクリックすると、図９で示した通
常の表示画面に戻るようになっている。

【００２４】図６は、コンピュータ３が行う警報処理の
フローチャートである。コンピュータ３は、信号増幅手
段２から出力される振動データをメモリ３４に蓄え（Ｓ
１１）、一定時間分の振動データが蓄積される毎に、周
波数解析処理を実行する（Ｓ１２）。即ち、メモリ３４
に蓄えられた一定時間分の振動データに対しＦＦＴ理論
に基づく周波数解析処理を実行し、振動速度、振動加速
度、振動変位のデータを周波数毎に算出する。次に、コ
ンピュータ３は、これらのパラメータの１つでも、予め
設定された周波数領域の許容値を超える部分があったか
判定し（Ｓ１３）、許容値を超えた部分があれば、警報
信号を出力する（Ｓ１４）。警報信号の出力は、コンピ
ュータ３に接続されたスピーカ４０に対し行われ、断続
的なビープ音が一定時間発音されるようになっている。
同時に、図９の通常の表示画面において、許容値を超え
たセンサ組１１の部分に、振動データの表示に替えて、
「ＡＬＡＲＭ！！！」の文字を表示させるようになって
いる。更に、コンピュータ３から信号増幅手段２のコン
トローラ２４に警報信号を送り、信号増幅手段２に装備
された警報信号出力コネクタ２５からも警報信号を出力
させる。ユーザーが信号増幅手段２に装備されたリセッ
トボタン２６を操作すると、コントローラ２４は、警報
信号出力コネクタ２５からの警報信号の出力を停止す
る。

【００２５】コンピュータ３は、周波数解析の結果が許
容値を超えた場合、上記の警報信号の出力と共に、当該
許容値を超えたセンサ組１１の振動データを一定時間記
録する（Ｓ１５）。記録は、ファイル装置としてのＨＤ
Ｄ３７に格納される。ファイルには、周波数解析の結果
が許容値を超えた時の日時のデータが含まれる。日時の
取得はコンピュータ３に内蔵のタイマ（図示略）によっ
て行われる。一定時間の記録が終了すると、コンピュー
タ３は警報を解除し通常の監視状態に復帰する（Ｓ１
６）。即ち、スピーカ４０からのビープ音を停止し、画
面の表示も振動データの表示に戻す。警報中のセンサ組
１１について、図９の「モニタ」ボタンをクリックする
と、前述と同様に図１０のトリパタイト表示を得られる
が、警報中は、周波数解析結果が許容値を超えた時の振
動データ及びトリパタイトグラフの状態を静止画として
表示するようになっている。

【００２６】ユーザーは、周波数解析結果の許容値を自
由に設定することができる。許容値の設定は、入力装置
３２の操作により行う。図１２を参照して許容値の設定
方法を説明する。図１２において、山形の点線並びに左
が跳ねた実線及び一点鎖線はユーザーが設定した許容値
（周波数領域の関数）を表している。実線は、Ｘ方向の
振動に関する許容値、点線は、Ｙ方向の振動に関する許
容値、一点鎖線は、Ｚ方向の振動に関する許容値であ
る。本実施形態において、許容値は、このような線分
（関数）によって規定する。その設定方法は、振動速
度、振動加速度、振動変位のうちの１つ乃至２つに許容
値を設定することによって行われる。

【００２７】許容値の設定は、１）許容値を設定する周
波数の範囲を選ぶこと、２）許容値としてのパラメータ
を１つ又は２つ選択し、それらの値を設定すること、
３）２つのパラメータが選択された場合は、ＡＮＤ条件
かＯＲ条件かを選ぶこと、によって完了する。ただし、
３）の条件はパラメータに応じて最初から固定されてい
てもよい。例えば、図１２において、山なりの点線で示
されたＹ方向の許容値は、周波数範囲＝１〔Ｈｚ〕〜１
００〔Ｈｚ〕、第１のパラメータとして変位＝１〔μ
ｍ〕、第２のパラメータとして加速度＝１〔ｇａｌ〕、
両パラメータの適用条件としてＡＮＤ条件を設定したも
のである。また、図１２において、左上がりの実線及び
一点鎖線で示されたＸ方向及びＺ方向の許容値は、周波
数範囲を４〔Ｈｚ〕〜８０〔Ｈｚ〕とし、パラメータと
して加速度と速度を設定し、両パラメータにＯＲ条件を
設定したものである。

【００２８】振動データの記録は、警報発生時に限ら
ず、予め設定した時刻に定期的に行うこともできる（図
７）。コンピュータ３は、予め設定された設定時刻をメ
モリ３４又はＨＤＤ３７から読み込み（Ｓ２１）、内部
タイマの出力と比較して設定時刻になったか否かを判断
する（Ｓ２２）。設定時刻になった場合は、上記の警報
の場合と同様に設定時刻（日時）の情報と共に一定時間
の振動データをファイル（ＨＤＤ３７）に格納する。ユ
ーザーは、入力装置３２を操作することにより、記録開
始時刻を自在に設定できるようになっている。

【００２９】また、振動データのファイルへの格納は、
手動で行うこともできる（図８）。コンピュータ３は、
入力装置３２からの入力を受け付け（Ｓ３１）、図９の
通常の表示画面で「記録開始」ボタンがクリックされた
場合には（Ｓ３２）、上述した警報の場合と同様に記録
開始の日時と共に振動データのファイルへの格納を開始
する（Ｓ３３）。コンピュータ３は、更に入力装置３２
からの入力を受け付け（Ｓ３４）、図９の通常の表示画
面で「記録停止」ボタンがクリックされるまでは、振動
データのファイルへの格納を継続する。一方、「記録停
止」ボタンがクリックされると、振動データのファイル
への格納を終了する（Ｓ３５）。

【００３０】コンピュータ３の他の機能として、トリパ
タイトグラフの印刷機能と、ＨＤＤ３７にファイルとし
て格納した振動データを閲覧する機能とがある。ユーザ
ーは、入力装置３２を操作して印刷出力を要求すること
により、図１０のトリパタイト表示画面の内容を印刷装
置４１に出力することが可能である。印刷出力の結果を
図１１に示す。左にトリパタイトグラフ、右に振動デー
タが印刷される。また、右上に、ファイルの格納日時が
印刷される。中央上には、データの元となったセンサ組
１１の識別名が印刷される。振動データの縦軸のレンジ
は、振動データの振幅の大きさに応じて自動的に調節さ
れて印刷されるようになっている。また、ユーザーは、
振動データのリアルタイム監視を終了して、それまでに
ＨＤＤ３７にファイルとして格納された振動データ及び
そのトリパタイト表示を事後的に閲覧することができ
る。閲覧の結果は、上記の印刷機能により印刷すること
ができる。以上のコンピュータ３の全ての処理・機能
は、該コンピュータ３が振動監視警報プログラムを実行
することにより実現される。

【００３１】以上説明した本実施形態によれば、振動デ
ータを周波数解析した結果が周波数呂域での許容値を超
えた場合に直ちに警報を発するので、許容値さえ適切に
設定されていれば、警報が生じた時点で、例えば製造中
のＬＳＩに不良が発生したであろうことが直ちに把握で
きる。ＬＳＩ等の歩留まりと周波数との間の因果関係を
利用したシステムである。従来、ＬＳＩ製造工程で悪影
響を与える振動が生じ、製造中のＬＳＩに不良が生じて
も、その時点では不良を認識することができず、動作チ
ェックを行う最終工程になってようやく不良を認識する
という状況であった。この場合、不良なＬＳＩを製造す
るために製造ラインが動いており、製造上の損失が大き
かった。本実施形態の振動監視警報システムを用いれ
ば、ＬＳＩに不良を生じたことを直ちに把握することが
可能となり、直ちに製造ラインをストップすることが可
能となるので、製造上の損失を低減することが可能とな
る。

【００３２】また、警報があってから一定時間だけ振動
データをファイルするので、無駄な振動データが記録さ
れることがなく、事後的に振動データと歩留まりデータ
との照合を行う作業が容易となる。

【００３３】更に、本システムで警報が発生し振動デー
タを記録した場合でも、実際の製品に不良が発生してい
ない場合には、振動許容値を下げることができ、最終的
に設定された振動許容値が精密機械メーカーから発表さ
れている許容値よりも大幅に大きい値であれば、ＬＳＩ
製造工場自体の振動に対する準備を緩和することが可能
となるので、ＬＳＩ製造工場の建設費低減を図ることも
可能である。

【００３４】また、許容値を、加速度、速度、変位とい
った多方面から設定することが可能であり、また、周波
数毎に設定可能なので、環境に応じた適切な許容値の設
定が可能である。また、警報の発生によらず、定期的又
は手動により振動データを採取することができるので、
警報の発生しにくい許容値が設定されていても、振動デ
ータの考察を行うことができ、考察結果に応じて許容値
のメンテナンスを行うことが可能である。特に、トリパ
タイト表示と、その印刷出力を得られるので、振動デー
タの考察を視覚的に効率よく行うことができる。

【００３５】ここで、本発明は、上記実施の形態に限ら
れない。振動検出手段は加速度センサ以外でもよい。ま
た、システムに搭載される加速度センサの数は問わな
い。

【００３６】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、振動データを周波数解析した結
果が許容値を超えた場合には直ちに警報を発するので、
許容値さえ適切に設定されていれば、警報が生じた時点
で、例えば製造中のＬＳＩに不良が発生したであろうこ
とが直ちに把握できる。ＬＳＩ等の歩留まりと周波数と
の間の因果関係を利用したシステムである。従来、ＬＳ
Ｉ製造工程で悪影響を与える振動が生じ、製造中のＬＳ
Ｉに不良が生じても、その時点では不良を認識すること
ができず、動作チェックを行う最終工程になってようや
く不良を認識するという状況であった。この場合、不良
なＬＳＩを製造するために製造ラインが動いており、製
造上の損失が大きかった。本発明の振動監視警報システ
ムを用いれば、ＬＳＩに不良を生じたことを直ちに把握
することが可能となり、直ちに製造ラインをストップす
ることが可能となるので、製造上の損失を低減すること
が可能となる。

【００３７】請求項２記載の発明では、警報があってか
ら一定時間だけ振動データを記録するので、無駄な振動
データが記録されることがなく、事後的に振動データと
歩留まりデータとの照合を行う作業が容易となる。

【００３８】更に、本システムで警報が発生し振動デー
タを記録した場合でも、実際の製品に不良が発生してい
ない場合には、振動許容値を下げることができ、最終的
に設定された振動許容値が精密機械メーカーから発表さ
れている許容値よりも大幅に大きい値であれば、ＬＳＩ
製造工場自体の振動に対する準備を緩和することが可能
となるので、ＬＳＩ製造工場の建設費低減を図ることも
可能である。

【００３９】また、許容値を、加速度、速度、変位とい
った多方面から設けた場合や、周波数毎に設けた場合
は、環境に応じた適切な警報の発生が可能である。ま
た、警報の発生によらず、定期的又は手動により振動デ
ータを採取可能とした場合は、警報の発生しにくい許容
値が設定されていても、振動データの考察を行うことが
でき、考察結果に応じて許容値のメンテナンスを行うこ
とが可能である。特に、トリパタイト表示と、その印刷
出力を可能とした場合は、振動データの考察を視覚的に
効率よく行うことができる、という従来にない優れた振
動監視警報システム等を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の構成を示すブロック図。

【図２】図１の振動検出手段の構成を示すブロック図。

【図３】図１の信号増幅手段の構成を示すブロック図。

【図４】図１のコンピュータの構成を示すブロック図。

【図５】図１のコンピュータが実行する処理のフローチ
ャート。

【図６】図１のコンピュータが実行する処理のフローチ
ャート。

【図７】図１のコンピュータが実行する処理のフローチ
ャート。

【図８】図１のコンピュータが実行する処理のフローチ
ャート。

【図９】図１に示すコンピュータの通常の表示画面の構
成図。

【図１０】図１に示すコンピュータのトリパタイト表示
画面の構成図。

【図１１】図１０のトリパタイト表示画面を印刷出力し
た場合の構成図。

【図１２】図１０及び図１１のトリパタイトグラフの構
成例。

【図１３】図９乃至図１１の振動データの構成例。

【符号の説明】

１振動検出手段２信号増幅手段３コンピュータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小田切真也東京都新宿区西新宿４−32−13 西新宿フォレスト・アネックス202 株式会社オービット内Ｆターム(参考） 2G064 CC43 CC54

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定点の振動を電気信号として検出する
振動検出手段と、この振動検出手段の出力を増幅する信
号増幅手段と、この信号増幅手段の増幅出力に基づいて
前記測定点の振動を監視するコンピュータとを備え、前記コンピュータは、前記信号増幅手段の増幅出力であ
ってデジタル変換後の振動データをメモリに格納し、こ
のメモリの振動データに対しＦＦＴ理論に基づく周波数
解析処理を実行し、この周波数解析処理の結果を予め設
定された周波数領域での許容値と比較し、該許容値を超
えた場合に警報信号を出力することを特徴とした振動監
視警報システム。
【請求項２】前記コンピュータは、現在の日時を出力
するタイマを備え、前記周波数解析処理の結果が許容値
を超えた時から一定時間の振動データを、当該振動デー
タの発生日時と共にファイルに格納することを特徴とし
た請求項１記載の振動監視警報システム。
【請求項３】前記コンピュータは、前記周波数解析処
理の結果として周波数毎の振動速度、振動加速度及び振
動変位を算出し、そのいずれか一つの値が前記許容値を
超えた場合に前記警報信号の出力及び振動データのファ
イルへの格納を行うことを特徴とした請求項２記載の振
動監視警報システム。
【請求項４】前記コンピュータは、前記許容値を周波
数毎に異なる値に設定可能な許容値設定機能を備えてい
ることを特徴とした請求項１，２又は３記載の振動監視
警報システム。
【請求項５】前記コンピュータは、現在の日時を出力
するタイマを備え、前記タイマが予め設定された記録開
始時刻を出力すると、当該記録開始時刻から一定時間の
前記振動データを、該振動データの発生日時と共にファ
イルに格納することを特徴とした請求項１記載の振動監
視警報システム。
【請求項６】前記コンピュータは、現在の日時を出力
するタイマと、記録開始及び記録停止を入力可能な入力
装置とを備え、この入力装置から記録開始が入力されて
から記録停止が入力されるまでの前記振動データを、該
振動データの発生日時と共にファイルに格納することを
特徴とした請求項１記載の振動監視警報システム。
【請求項７】前記コンピュータは、前記周波数解析の
結果をトリパタイトグラフとして表示装置に表示させる
表示機能と、このトリパタイトグラフを元となる振動デ
ータの発生日時と共に印刷装置に印刷させる印刷機能と
を備えていることを特徴とした請求項２，３，５又は６
記載の振動監視警報システム。
【請求項８】請求項１，２，３，４，５，６又は７記
載の振動監視警報システムを構成するコンピュータ。
【請求項９】請求項１，２，３，４，５，６又は７記
載の振動監視警報システムを構成するコンピュータの処
理を該コンピュータに実行させるための振動監視警報プ
ログラムを記録したコンピュータ読取可能な媒体。