JP5974268B2 - 磁場監視警報システム - Google Patents
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Description
磁場に応じた磁場センサ信号を出力する磁場検出手段(10,21,22)と、前記磁場センサ信号をAC成分とDC成分とに分離する信号分離手段(23,24)と、前記AC成分の異常を判定するためのAC成分用閾値と前記DC成分の異常を判定するためのDC成分用閾値とを個別に記憶した記憶手段(32)と、前記AC成分をAC成分用閾値と比較すると共に前記DC成分をDC成分用閾値と比較し前記AC成分およびDC成分の異常を個別に判定する異常判定手段(31)と、この異常判定手段が異常を検知した場合警報信号を出力する警報手段(31)とを備えた磁場監視警報システム。
以下、本発明の第1実施形態を説明する。図1は、本発明の第1実施形態を示すブロック図である。磁場監視警報システムは、磁場センサ(磁気センサ)10、測定装置20および情報処理装置30によって構成される。
次に、本発明の第2実施形態を図2乃至図10を参照して説明する。第1実施形態は半導体の加工に影響を与え得る磁場の変動を監視する構成となっているが、第2実施形態ではこれに加え、半導体の加工に影響を与え得る物理的振動を監視する構成を備えている。第1実施形態と同一の部分については同一の符号を付し、重複説明は省略する。
20 測定装置
30 情報処理装置
40 振動センサ
Claims (2)
- 半導体の加工場に設置され直交する3軸の方向の磁場に応じた磁束密度を表す磁場センサ信号を前記各軸ごとに出力する磁場検出手段と、前記各軸の磁場センサ信号をAC成分とDC成分とに分離する信号分離手段と、前記各軸のAC成分について前記半導体の加工に影響を与え得る異常を判定するためのAC成分用閾値と前記各軸のDC成分について前記半導体の加工に影響を与え得る異常を判定するためのDC成分用閾値とを個別に記憶した記憶手段と、前記いずれかの軸の磁束密度のAC成分が前記AC成分用閾値を超えた場合又は前記いずれかの軸の磁束密度のDC成分が前記DC成分用閾値を超えた場合に異常と判定する異常判定手段と、この異常判定手段が異常を検知した場合警報信号を出力する警報手段とを備えた磁場監視警報システム。
- 請求項1に記載の磁場監視警報システムにおいて、
物理的振動の異常を検知し警報する振動監視警報手段を備えた磁場監視警報システム。
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JP2012017861A JP5974268B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | 磁場監視警報システム |
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Family Applications (1)
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