JP2001056224A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 角速度センサに検出電極または回路に異常が
生じた場合の故障検出を目的とする。 【解決手段】 振動体１にドライブ振動を与える第１励
振部２ａ，２ｂと、振動体１の振動レベルを検出する振
動検出部３と、入力角速度に応じたコリオリ振動を検出
するコリオリ検出部４ａ，４ｂとを持つ圧電体で構成し
た素子部と、振動検出部３の信号を入力とし第１励振部
２ａ，２ｂへの信号を出力する駆動回路８と、コリオリ
検出部４ａ，４ｂの信号を入力とする検出回路を持つ回
路部９で構成し、回路部９はコリオリ検出部の電荷の異
常レベルを判定するレベル判定回路１１ｂを有し、異常
を検出した時に出力する出力手段であるフェール検出部
１１を持つ角速度センサで、コリオリ検出部４ａ，４ｂ
には単独ではレベル判定回路１１ｂの基準レベル以上の
ドライブ振動成分を含み、合成後は基準レベル以下にな
るよう素子部の電極配置を調整した。
生じた場合の故障検出を目的とする。 【解決手段】 振動体１にドライブ振動を与える第１励
振部２ａ，２ｂと、振動体１の振動レベルを検出する振
動検出部３と、入力角速度に応じたコリオリ振動を検出
するコリオリ検出部４ａ，４ｂとを持つ圧電体で構成し
た素子部と、振動検出部３の信号を入力とし第１励振部
２ａ，２ｂへの信号を出力する駆動回路８と、コリオリ
検出部４ａ，４ｂの信号を入力とする検出回路を持つ回
路部９で構成し、回路部９はコリオリ検出部の電荷の異
常レベルを判定するレベル判定回路１１ｂを有し、異常
を検出した時に出力する出力手段であるフェール検出部
１１を持つ角速度センサで、コリオリ検出部４ａ，４ｂ
には単独ではレベル判定回路１１ｂの基準レベル以上の
ドライブ振動成分を含み、合成後は基準レベル以下にな
るよう素子部の電極配置を調整した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は車両のブレーキ制御
やロールエアバックシステムに用いられる角速度センサ
に関するものである。
やロールエアバックシステムに用いられる角速度センサ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の角速度センサとして電装技術会会
報（Ｖｏｌ．３８，Ｎｏ．３、１９９４年）第２６ペー
ジから３３ページに発表されたものが知られている。こ
の角速度センサは音叉振動体に振動を与える励振部と、
振動体の振動レベルを検出する手段と、角速度に応じて
生ずるコリオリ力を検出する検出手段と、前記振動レベ
ルを検出する手段の出力信号を増幅する第１の増幅器と
前記第１の増幅器からの出力電圧の位相を９０度シフト
した電圧を前記比較部からの出力電圧によって増幅する
増幅度が変化し音叉振動体の振幅を一定に制御するよう
に前記励振部に接続した可変利得増幅器より構成してい
る。
報（Ｖｏｌ．３８，Ｎｏ．３、１９９４年）第２６ペー
ジから３３ページに発表されたものが知られている。こ
の角速度センサは音叉振動体に振動を与える励振部と、
振動体の振動レベルを検出する手段と、角速度に応じて
生ずるコリオリ力を検出する検出手段と、前記振動レベ
ルを検出する手段の出力信号を増幅する第１の増幅器と
前記第１の増幅器からの出力電圧の位相を９０度シフト
した電圧を前記比較部からの出力電圧によって増幅する
増幅度が変化し音叉振動体の振幅を一定に制御するよう
に前記励振部に接続した可変利得増幅器より構成してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では検出
電極と検出回路との接続ラインの断線、もしくは検出電
極の劣化による感度の変化、検出回路の故障が生じたと
してもこれを検出することが困難でありセンサの信頼性
を確保する妨げとなっていた。
電極と検出回路との接続ラインの断線、もしくは検出電
極の劣化による感度の変化、検出回路の故障が生じたと
してもこれを検出することが困難でありセンサの信頼性
を確保する妨げとなっていた。
【０００４】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で角速度センサの故障、劣化に対してもこれを検出でき
る機能を有する角速度センサを提供することを目的とす
る。
で角速度センサの故障、劣化に対してもこれを検出でき
る機能を有する角速度センサを提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、振動体にドライブ振動を与える第１励振部
と、振動体の振動レべルを検出する振動検出部と、入力
角速度に応じて生ずるコリオリ振動を検出する少なくと
も２つのコリオリ検出部とを有する圧電体で構成された
素子部と、前記振動検出部からの信号を入力とし前記第
１励振部への信号を出力する駆動回路と、前記コリオリ
検出部からの信号を入力とする検出回路を有する回路部
によって構成され、前記回路部は少なくともコリオリ検
出部に生ずる電荷の異常レベルを判定するレベル判定回
路を有し、異常を検出した場合に出力する出力手段を有
した角速度センサにおいて、前記各々のコリオリ検出部
には単純では前記レベル判定回路の基準レベル以上のド
ライブ振動成分を含み、かつ合成後は基準レベル以下に
なるように前記素子部の電極配置を調整した構成である
ため、コリオリ検出部から検出回路への入力線が１本断
線した際にレベル判定回路によりこの異常を検出するこ
とが可能となる。
に本発明は、振動体にドライブ振動を与える第１励振部
と、振動体の振動レべルを検出する振動検出部と、入力
角速度に応じて生ずるコリオリ振動を検出する少なくと
も２つのコリオリ検出部とを有する圧電体で構成された
素子部と、前記振動検出部からの信号を入力とし前記第
１励振部への信号を出力する駆動回路と、前記コリオリ
検出部からの信号を入力とする検出回路を有する回路部
によって構成され、前記回路部は少なくともコリオリ検
出部に生ずる電荷の異常レベルを判定するレベル判定回
路を有し、異常を検出した場合に出力する出力手段を有
した角速度センサにおいて、前記各々のコリオリ検出部
には単純では前記レベル判定回路の基準レベル以上のド
ライブ振動成分を含み、かつ合成後は基準レベル以下に
なるように前記素子部の電極配置を調整した構成である
ため、コリオリ検出部から検出回路への入力線が１本断
線した際にレベル判定回路によりこの異常を検出するこ
とが可能となる。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、振動体にドライブ振動を与える第１励振部と、振動
体の振動レべルを検出する振動検出部と、入力角速度に
応じて生ずるコリオリ振動を検出する少なくとも２つの
コリオリ検出部とを有する圧電体で構成された素子部
と、前記振動検出部からの信号を入力とし前記第１励振
部への信号を出力する駆動回路と、前記コリオリ検出部
からの信号を入力とする検出回路を有する回路部によっ
て構成され、前記回路部は少なくともコリオリ検出部に
生ずる電荷の異常レベルを判定するレベル判定回路を有
し、異常を検出した場合に出力する出力手段を有した角
速度センサにおいて、前記各々のコリオリ検出部には単
独では前記レベル判定回路の基準レベル以上のドライブ
振動成分を含み、かつ合成後は基準レベル以下になるよ
うに前記素子部の電極配置を調整した構成であるため、
コリオリ検出部から検出回路への入力線が１本断線した
際にレベル判定回路によりこの異常を検出することが可
能となる。
は、振動体にドライブ振動を与える第１励振部と、振動
体の振動レべルを検出する振動検出部と、入力角速度に
応じて生ずるコリオリ振動を検出する少なくとも２つの
コリオリ検出部とを有する圧電体で構成された素子部
と、前記振動検出部からの信号を入力とし前記第１励振
部への信号を出力する駆動回路と、前記コリオリ検出部
からの信号を入力とする検出回路を有する回路部によっ
て構成され、前記回路部は少なくともコリオリ検出部に
生ずる電荷の異常レベルを判定するレベル判定回路を有
し、異常を検出した場合に出力する出力手段を有した角
速度センサにおいて、前記各々のコリオリ検出部には単
独では前記レベル判定回路の基準レベル以上のドライブ
振動成分を含み、かつ合成後は基準レベル以下になるよ
うに前記素子部の電極配置を調整した構成であるため、
コリオリ検出部から検出回路への入力線が１本断線した
際にレベル判定回路によりこの異常を検出することが可
能となる。
【０００７】本発明の請求項２に記載の発明は、電極を
トリミングすることにより、２つのコリオリ検出部の出
力の合成後のドライブ振動成分をほぼ０に調整した請求
項１に記載の角速度センサであるため、検出回路の周期
検波回路部に入力される駆動振動成分を極めて低く抑え
ることが可能となるため、検出回路の位相ずれの温度特
性に起因する角速度センサの出力の温度ドリフトを低減
することが可能となる。
トリミングすることにより、２つのコリオリ検出部の出
力の合成後のドライブ振動成分をほぼ０に調整した請求
項１に記載の角速度センサであるため、検出回路の周期
検波回路部に入力される駆動振動成分を極めて低く抑え
ることが可能となるため、検出回路の位相ずれの温度特
性に起因する角速度センサの出力の温度ドリフトを低減
することが可能となる。
【０００８】本発明の請求項３に記載の発明は、振動体
にドライブ振動を与える第１励振部と、振動体の振動レ
ベルを検出する振動検出部と、入力角速度に応じて生ず
るコリオリ振動を検出するコリオリ検出部とを有する圧
電体で構成された素子部と、前記振動検出部からの信号
を入力とし前記励振部への信号を出力する駆動回路と、
前記コリオリ検出部からの信号を入力とする検出回路を
有する回路部によって構成され、前記振動検出部の信号
を入力として９０°位相シフトした信号を出力する第２
駆動回路と、それにより疑似コリオリ振動を誘発させる
第２励振部と、外部トリガーにより前記第２駆動回路の
第２励振部への接続を断続するスイッチ部とを備えた構
成であるため、疑似コリオリ振動を発生させることによ
り回路部を含めた角速度センサトータルでの自己診断が
可能となる。
にドライブ振動を与える第１励振部と、振動体の振動レ
ベルを検出する振動検出部と、入力角速度に応じて生ず
るコリオリ振動を検出するコリオリ検出部とを有する圧
電体で構成された素子部と、前記振動検出部からの信号
を入力とし前記励振部への信号を出力する駆動回路と、
前記コリオリ検出部からの信号を入力とする検出回路を
有する回路部によって構成され、前記振動検出部の信号
を入力として９０°位相シフトした信号を出力する第２
駆動回路と、それにより疑似コリオリ振動を誘発させる
第２励振部と、外部トリガーにより前記第２駆動回路の
第２励振部への接続を断続するスイッチ部とを備えた構
成であるため、疑似コリオリ振動を発生させることによ
り回路部を含めた角速度センサトータルでの自己診断が
可能となる。
【０００９】本発明の請求項４に記載の発明は、振動体
にドライブ振動を与える第１励振部と、振動体の振動レ
ベルを検出する振動検出部と、入力角速度に応じて生ず
るコリオリ振動を検出するコリオリ検出部とを有する圧
電体で構成された素子部と、前記振動検出部からの信号
を入力とし前記第１励振部への信号を出力する駆動回路
と、前記コリオリ検出部からの信号を入力とする検出回
路を有する回路部によって構成され、第２の振動検出部
と、その信号を入力として９０°位相シフトした信号を
出力する第２駆動回路と、それにより疑似コリオリ振動
を誘発させる第２励振部と、外部トリガーにより前記第
２駆動回路の第２励振部への接続を断続するスイッチ部
とを備えた構成であるため、請求項３と同様に疑似コリ
オリ振動を発生させることにより回路部を含めた角速度
センサトータルでの自己診断が可能となる。
にドライブ振動を与える第１励振部と、振動体の振動レ
ベルを検出する振動検出部と、入力角速度に応じて生ず
るコリオリ振動を検出するコリオリ検出部とを有する圧
電体で構成された素子部と、前記振動検出部からの信号
を入力とし前記第１励振部への信号を出力する駆動回路
と、前記コリオリ検出部からの信号を入力とする検出回
路を有する回路部によって構成され、第２の振動検出部
と、その信号を入力として９０°位相シフトした信号を
出力する第２駆動回路と、それにより疑似コリオリ振動
を誘発させる第２励振部と、外部トリガーにより前記第
２駆動回路の第２励振部への接続を断続するスイッチ部
とを備えた構成であるため、請求項３と同様に疑似コリ
オリ振動を発生させることにより回路部を含めた角速度
センサトータルでの自己診断が可能となる。
【００１０】本発明の請求項５に記載の発明は、低周波
の発振器と、変調器とを有し、前記変調器は第２駆動回
路の信号を搬送波として前記発振器の信号で振幅変調を
かけた信号を出力し、この信号を第２励振部に印加した
請求項３または請求項４記載の角速度センサであるた
め、疑似コリオリ振動の発生により交流の角速度信号相
当を発生させることが可能となる。これにより角速度セ
ンサのローパス・フィルタを含めたほぼ完全な自己診断
が可能となる。
の発振器と、変調器とを有し、前記変調器は第２駆動回
路の信号を搬送波として前記発振器の信号で振幅変調を
かけた信号を出力し、この信号を第２励振部に印加した
請求項３または請求項４記載の角速度センサであるた
め、疑似コリオリ振動の発生により交流の角速度信号相
当を発生させることが可能となる。これにより角速度セ
ンサのローパス・フィルタを含めたほぼ完全な自己診断
が可能となる。
【００１１】本発明の請求項６に記載の発明は、素子部
が圧電体のバイモルフ構造である請求項１〜５のいずれ
か１つに記載の角速度センサであるため、極めて簡単な
構成でこれらの発明を実現可能となる。
が圧電体のバイモルフ構造である請求項１〜５のいずれ
か１つに記載の角速度センサであるため、極めて簡単な
構成でこれらの発明を実現可能となる。
【００１２】本発明の請求項７に記載の発明は、第２駆
動回路は素子部のドライブインピーダンスの温度特性に
応じた補正を施した請求項３〜６のいずれか１つに記載
の角速度センサであるため、環境温度によらず安定した
疑似コリオリ振動を発生させることが可能となり、更に
信頼性の高い自己診断が可能となる。
動回路は素子部のドライブインピーダンスの温度特性に
応じた補正を施した請求項３〜６のいずれか１つに記載
の角速度センサであるため、環境温度によらず安定した
疑似コリオリ振動を発生させることが可能となり、更に
信頼性の高い自己診断が可能となる。
【００１３】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明する。
用いて説明する。
【００１４】（実施の形態１）図１は本発明の実施の形
態１における角速度センサを示す図である。
態１における角速度センサを示す図である。
【００１５】図１（ａ）において１は圧電体によって構
成され厚み方向に積層されたバイモルフ音叉型角速度セ
ンサの振動体で、７ａ，７ｂはそれぞれの層の分極軸方
向を示したもので、２ａ，２ｂは振動体１に駆動振動を
誘発させるための第１励振部、３は振動体１の振動レベ
ルを検出するために振動体１に設けられた電極からなる
振動検出部、５は振動検出部３に対向する面に配置さ
れ、かつ振動検出部３の電極よりもその幅が小さくなる
ように形成されたフェール信号発生部、４ａ，４ｂは角
速度に応じて生ずるコリオリ力を検出するために振動体
１に設けられた電極からなるコリオリ検出部を示す。
成され厚み方向に積層されたバイモルフ音叉型角速度セ
ンサの振動体で、７ａ，７ｂはそれぞれの層の分極軸方
向を示したもので、２ａ，２ｂは振動体１に駆動振動を
誘発させるための第１励振部、３は振動体１の振動レベ
ルを検出するために振動体１に設けられた電極からなる
振動検出部、５は振動検出部３に対向する面に配置さ
れ、かつ振動検出部３の電極よりもその幅が小さくなる
ように形成されたフェール信号発生部、４ａ，４ｂは角
速度に応じて生ずるコリオリ力を検出するために振動体
１に設けられた電極からなるコリオリ検出部を示す。
【００１６】一方図１（ｂ）は回路部８を示し、９は駆
動回路、１０はコリオリ検出部４ａ，４ｂの電極に生ず
る電荷を入力とし角速度の大きさに応じた電圧に変換す
る検出回路、１１はコリオリ検出部４ａ，４ｂに過大な
電荷が発生することによる検出回路１０の動作の不具合
を検出するためにレベル判定回路を設けたフェール検出
部である。
動回路、１０はコリオリ検出部４ａ，４ｂの電極に生ず
る電荷を入力とし角速度の大きさに応じた電圧に変換す
る検出回路、１１はコリオリ検出部４ａ，４ｂに過大な
電荷が発生することによる検出回路１０の動作の不具合
を検出するためにレベル判定回路を設けたフェール検出
部である。
【００１７】駆動回路９は振動体１の振動検出部（Ｍ端
子）３に接続され、振動検出部３が検出した振動体１の
振動に起因する電荷を増幅するモニタアンプ９ａと、そ
の出力を全波整流する整流回路９ｂと、振動体１の振幅
を一定にコントロールするためのオート・ゲイン・コン
トロール（ＡＧＣ）９ｃと、振動体１の第１励振部２ａ
（Ｄ＋端子）、２ｂ（Ｄ−端子）に接続され振動体１を
駆動する駆動アンプ９ｄ，９ｅより構成され、振動体１
をその共振周波数で振動させる。
子）３に接続され、振動検出部３が検出した振動体１の
振動に起因する電荷を増幅するモニタアンプ９ａと、そ
の出力を全波整流する整流回路９ｂと、振動体１の振幅
を一定にコントロールするためのオート・ゲイン・コン
トロール（ＡＧＣ）９ｃと、振動体１の第１励振部２ａ
（Ｄ＋端子）、２ｂ（Ｄ−端子）に接続され振動体１を
駆動する駆動アンプ９ｄ，９ｅより構成され、振動体１
をその共振周波数で振動させる。
【００１８】この時第１励振部２ａ，２ｂには駆動アン
プ９ｄ，９ｅより逆相の交流信号が印加されている。こ
の第１励振部２ａの電極に印加された駆動電流は中継電
極１２ａ，１２ｂを経て第１励振部２ｂの電極に流れ、
この電流のＸ軸方向成分により駆動振動を引き起こす応
力が発生する。ここで振動体１は圧電体により構成され
ているため、中継電極１２ａ，１２ｂは第１励振部２
ａ，２ｂの電極とで形成される容量成分で自動的に第１
励振部２ａ，２ｂの両電極間の中点電位にバイアスされ
る。
プ９ｄ，９ｅより逆相の交流信号が印加されている。こ
の第１励振部２ａの電極に印加された駆動電流は中継電
極１２ａ，１２ｂを経て第１励振部２ｂの電極に流れ、
この電流のＸ軸方向成分により駆動振動を引き起こす応
力が発生する。ここで振動体１は圧電体により構成され
ているため、中継電極１２ａ，１２ｂは第１励振部２
ａ，２ｂの電極とで形成される容量成分で自動的に第１
励振部２ａ，２ｂの両電極間の中点電位にバイアスされ
る。
【００１９】検出回路１０は、コリオリ検出部４ａ（Ｓ
１端子）、４ｂ（Ｓ２端子）に接続され、振動体１に回
転角速度が加わりコリオリ力に基づきコリオリ検出部４
ａ，４ｂに発生した電荷を増幅するセンサアンプ１０
ａ，１０ｂとそれを差動合成する差動合成部１０ｃと、
９０°の位相シフトを行う位相シフタ１０ｄと、振動体
１の振動により変調されたコリオリ振動による信号を復
調する同期検波器１０ｅと、不要帯域を遮断すると共に
ＤＣ増幅を行うローパスフィルタ１０ｆより構成され、
角速度信号を出力する。
１端子）、４ｂ（Ｓ２端子）に接続され、振動体１に回
転角速度が加わりコリオリ力に基づきコリオリ検出部４
ａ，４ｂに発生した電荷を増幅するセンサアンプ１０
ａ，１０ｂとそれを差動合成する差動合成部１０ｃと、
９０°の位相シフトを行う位相シフタ１０ｄと、振動体
１の振動により変調されたコリオリ振動による信号を復
調する同期検波器１０ｅと、不要帯域を遮断すると共に
ＤＣ増幅を行うローパスフィルタ１０ｆより構成され、
角速度信号を出力する。
【００２０】フェール検出部１１は、位相シフタ１０ｄ
の出力を入力とし、それを全波整流する整流回路１１ａ
と、そのレベルを判定するレベル判定回路１１ｂから構
成され、センサの異常時にはＤＩＡＧ信号を外部のコン
ピュータ等へ出力する。
の出力を入力とし、それを全波整流する整流回路１１ａ
と、そのレベルを判定するレベル判定回路１１ｂから構
成され、センサの異常時にはＤＩＡＧ信号を外部のコン
ピュータ等へ出力する。
【００２１】ここで図１（ａ）は振動体１の断面図で、
駆動振動状態のある瞬間を示しており、その駆動振動に
起因する電荷が６ａ，６ｂである。
駆動振動状態のある瞬間を示しており、その駆動振動に
起因する電荷が６ａ，６ｂである。
【００２２】通常バイモルフ音叉構造振動型角速度セン
サでは電荷６ａ，６ｂは等しくなるため、コリオリ検出
部４ａ，４ｂの電極には振動検出部３より電荷６ａが流
れ込み、回路部８のＧＮＤ端子に接続されたフェール信
号発生部５に電荷６ｂが吐出されることにより駆動振動
成分は相殺され、コリオリ振動成分のみが出力される。
サでは電荷６ａ，６ｂは等しくなるため、コリオリ検出
部４ａ，４ｂの電極には振動検出部３より電荷６ａが流
れ込み、回路部８のＧＮＤ端子に接続されたフェール信
号発生部５に電荷６ｂが吐出されることにより駆動振動
成分は相殺され、コリオリ振動成分のみが出力される。
【００２３】しかしながら本発明ではフェール信号発生
部５の電極幅（Ｌ２）を振動検出部３の電極幅（Ｌ１）
よりも小さくなるように形成することにより、あえて駆
動振動成分をアンバランスさせコリオリ検出部４ａ，４
ｂに駆動振動成分を出力させている。
部５の電極幅（Ｌ２）を振動検出部３の電極幅（Ｌ１）
よりも小さくなるように形成することにより、あえて駆
動振動成分をアンバランスさせコリオリ検出部４ａ，４
ｂに駆動振動成分を出力させている。
【００２４】このアンバランスで発生する駆動振動成分
はコリオリ検出部４ａ，４ｂで同相信号となるため、検
出回路１０の差動合成部１０ｃによりキャンセルされ
る。
はコリオリ検出部４ａ，４ｂで同相信号となるため、検
出回路１０の差動合成部１０ｃによりキャンセルされ
る。
【００２５】図２はこの様子を説明するもので、図２
（ａ）通常動作時の回路部８の各波形を表したもので、
，はコリオリ検出部４ａ，４ｂに現れた駆動振動に
基づく電荷を電圧変換したもので、図１のＴＰ１，ＴＰ
２の信号を表している。
（ａ）通常動作時の回路部８の各波形を表したもので、
，はコリオリ検出部４ａ，４ｂに現れた駆動振動に
基づく電荷を電圧変換したもので、図１のＴＰ１，ＴＰ
２の信号を表している。
【００２６】同じく図２（ａ）のは前記２つの信号の
差分で、図１のＴＰ３の信号を表したもので、前記２つ
の信号がそれぞれ同相であるため、レベルが等しい場合
は差分の信号は０となる。一方図２（ａ）のはこれを
９０°位相シフトすると共に増幅した信号で、図１のＴ
Ｐ４の信号を示し、図２（ａ）のはこれを全波整流し
た波形を示すもので、図１のＴＰ５の信号を示し、これ
を平滑した信号レベルは続くレベル判定回路１１ｂの判
定基準を下回っている。
差分で、図１のＴＰ３の信号を表したもので、前記２つ
の信号がそれぞれ同相であるため、レベルが等しい場合
は差分の信号は０となる。一方図２（ａ）のはこれを
９０°位相シフトすると共に増幅した信号で、図１のＴ
Ｐ４の信号を示し、図２（ａ）のはこれを全波整流し
た波形を示すもので、図１のＴＰ５の信号を示し、これ
を平滑した信号レベルは続くレベル判定回路１１ｂの判
定基準を下回っている。
【００２７】一方図２（ｂ）はコリオリ検出部４ｂ（Ｓ
２端子）の断線時を表したもので、のＴＰ２の信号が
失われるため差動合成後の波形（ＴＰ３）には（Ｔ
Ｐ１）の波形がそのまま現れ、それを位相シフタで９０
°シフト及び増幅した波形が（ＴＰ４）、これを全波
整流した波形が（ＴＰ５）で、これを平滑した信号レ
ベルは続くレベル判定回路１１ｂの判定基準を上回るた
め、センサは外部のコンピュータへフェール信号を出力
する。
２端子）の断線時を表したもので、のＴＰ２の信号が
失われるため差動合成後の波形（ＴＰ３）には（Ｔ
Ｐ１）の波形がそのまま現れ、それを位相シフタで９０
°シフト及び増幅した波形が（ＴＰ４）、これを全波
整流した波形が（ＴＰ５）で、これを平滑した信号レ
ベルは続くレベル判定回路１１ｂの判定基準を上回るた
め、センサは外部のコンピュータへフェール信号を出力
する。
【００２８】この時電極ずれ等により差動合成部１０ｃ
でのキャンセルが不十分な際には前記フェール検出部等
の電極をトリミングすることにより高精度化を図ること
も可能である。
でのキャンセルが不十分な際には前記フェール検出部等
の電極をトリミングすることにより高精度化を図ること
も可能である。
【００２９】（実施の形態２）図３は本発明の実施の形
態２における角速度センサを示す図である。
態２における角速度センサを示す図である。
【００３０】図３（ａ）において１は圧電体によって構
成され厚み方向に積層されたバイモルフ音叉型角速度セ
ンサの振動体で、７ａ，７ｂはそれぞれの層の分極軸方
向を示したもので、２ａ，２ｂは第１励振部、１２ｂは
疑似コリオリ振動を誘発させるための中継電極と兼用の
第２励振部、３は振動体１の振動レベルを検出するため
に圧電体に設けられた電極である振動検出部、５は振動
検出部３に対向する面に配置された接地電極、４ａ，４
ｂは角速度に応じて生ずるコリオリ力を検出するために
圧電体に設けられた電極であるコリオリ検出部を示す。
成され厚み方向に積層されたバイモルフ音叉型角速度セ
ンサの振動体で、７ａ，７ｂはそれぞれの層の分極軸方
向を示したもので、２ａ，２ｂは第１励振部、１２ｂは
疑似コリオリ振動を誘発させるための中継電極と兼用の
第２励振部、３は振動体１の振動レベルを検出するため
に圧電体に設けられた電極である振動検出部、５は振動
検出部３に対向する面に配置された接地電極、４ａ，４
ｂは角速度に応じて生ずるコリオリ力を検出するために
圧電体に設けられた電極であるコリオリ検出部を示す。
【００３１】次に図３（ｂ）は回路部８を示し、９は駆
動回路、１０はコリオリ検出部４ａ，４ｂの電極に生ず
る電荷を入力とし角速度の大きさに応じた電圧に変換す
る検出回路、１３は外部トリガー１６により前記第２励
振部１２ｂに印加して疑似コリオリ振動を誘発させるた
めの第２駆動回路を示す。
動回路、１０はコリオリ検出部４ａ，４ｂの電極に生ず
る電荷を入力とし角速度の大きさに応じた電圧に変換す
る検出回路、１３は外部トリガー１６により前記第２励
振部１２ｂに印加して疑似コリオリ振動を誘発させるた
めの第２駆動回路を示す。
【００３２】振動体１は駆動回路９によってその共振周
波数で振動する。この時第１励振部２ａ，２ｂには駆動
アンプ９ｄ，９ｅより逆相の交流信号が印加されてい
る。この第１励振部２ａの電極に印加された駆動電流は
第２励振部１２ａ，１２ｂである中継電極を経て第１励
振部２ｂの電極に流れ、この電流のＸ軸方向成分により
駆動振動を引き起こす応力が発生する。
波数で振動する。この時第１励振部２ａ，２ｂには駆動
アンプ９ｄ，９ｅより逆相の交流信号が印加されてい
る。この第１励振部２ａの電極に印加された駆動電流は
第２励振部１２ａ，１２ｂである中継電極を経て第１励
振部２ｂの電極に流れ、この電流のＸ軸方向成分により
駆動振動を引き起こす応力が発生する。
【００３３】このセンサに回転角速度が印加されるとコ
リオリの力が生じその電荷がコリオリ検出部４ａ，４ｂ
の電極に生じる。このコリオリ検出部４ａ，４ｂの電極
に生ずる電荷に生ずる電荷は逆位相となるように配置さ
れているため検出回路１０の差動合成部１０ｃで差動合
成され、位相シフター１０ｄで９０°位相をシフトした
後に同期検波器１０ｅで検波し、その後ローパスフィル
タ１０ｆで高域遮断をすると共に増幅して角速度信号を
出力する。
リオリの力が生じその電荷がコリオリ検出部４ａ，４ｂ
の電極に生じる。このコリオリ検出部４ａ，４ｂの電極
に生ずる電荷に生ずる電荷は逆位相となるように配置さ
れているため検出回路１０の差動合成部１０ｃで差動合
成され、位相シフター１０ｄで９０°位相をシフトした
後に同期検波器１０ｅで検波し、その後ローパスフィル
タ１０ｆで高域遮断をすると共に増幅して角速度信号を
出力する。
【００３４】ここで第２駆動回路１３は、駆動回路９よ
りの振動体１の駆動振動に基づく振動検出部３からの信
号をアンプ１３ａへの入力とし、それを次段の位相シフ
タで９０°の位相シフトを行い、駆動振動とは９０°位
相のずれた信号を作り出し、外部トリガー１６のＯＮ／
ＯＦＦに基づき第２励振部の電極１２ｂに印加させてい
る。
りの振動体１の駆動振動に基づく振動検出部３からの信
号をアンプ１３ａへの入力とし、それを次段の位相シフ
タで９０°の位相シフトを行い、駆動振動とは９０°位
相のずれた信号を作り出し、外部トリガー１６のＯＮ／
ＯＦＦに基づき第２励振部の電極１２ｂに印加させてい
る。
【００３５】図３（ａ）はこの疑似コリオリ振動を誘発
させるために第２励振部１２ｂに信号が印加された１瞬
間を示した振動体１の電流の流れを示す図であるが、こ
の信号により第２励振部１２ｂから流れる電流を示した
のが１４ａ，１４ｂであり、電流１４ａにより縮みの応
力を、電流１４ｂにより伸びの応力を作り出すことによ
り疑似コリオリ振動を作り出している。
させるために第２励振部１２ｂに信号が印加された１瞬
間を示した振動体１の電流の流れを示す図であるが、こ
の信号により第２励振部１２ｂから流れる電流を示した
のが１４ａ，１４ｂであり、電流１４ａにより縮みの応
力を、電流１４ｂにより伸びの応力を作り出すことによ
り疑似コリオリ振動を作り出している。
【００３６】次に図４はこの様子を信号波形で示した図
で、（ａ）はこの外部トリガー１６がＯＦＦの通常状態
を示し、（ｂ）は外部トリガー１６がＯＮの状態を示し
ている。また図４（ｂ）におけるの信号は振動検出部
３の信号を９０°位相シフトさせたもので、前記第２励
振部１２ｂに入力される。これは駆動振動の波形である
に対しても９０°位相がずれた信号であり、これによ
りコリオリ振動と同位相の振動を作り出すことが可能と
なる。
で、（ａ）はこの外部トリガー１６がＯＦＦの通常状態
を示し、（ｂ）は外部トリガー１６がＯＮの状態を示し
ている。また図４（ｂ）におけるの信号は振動検出部
３の信号を９０°位相シフトさせたもので、前記第２励
振部１２ｂに入力される。これは駆動振動の波形である
に対しても９０°位相がずれた信号であり、これによ
りコリオリ振動と同位相の振動を作り出すことが可能と
なる。
【００３７】この疑似コリオリ振動により発生した電荷
は２つのコリオリ検出部４ａ，４ｂに対して逆相で現
れ、差動合成後の波形がに示す通りである。これには
前記駆動振動成分も含めて表わしており、これを続く位
相シフタ、及び同期検波回路を経てのような波形とな
る。
は２つのコリオリ検出部４ａ，４ｂに対して逆相で現
れ、差動合成後の波形がに示す通りである。これには
前記駆動振動成分も含めて表わしており、これを続く位
相シフタ、及び同期検波回路を経てのような波形とな
る。
【００３８】ここで（ａ）の外部トリガーＯＦＦ時は検
波された波形の上下で面積比が等しくなるため、平滑後
のＤＣ波形（出力１５）は０を示すのに対し、（ｂ）の
外部トリガーＯＮ時は検波波形の上下で面積比に差が生
じることにより出力１５にはＤＣオフセットが生まれ
る。
波された波形の上下で面積比が等しくなるため、平滑後
のＤＣ波形（出力１５）は０を示すのに対し、（ｂ）の
外部トリガーＯＮ時は検波波形の上下で面積比に差が生
じることにより出力１５にはＤＣオフセットが生まれ
る。
【００３９】このような構成の角速度センサで、センサ
が使用されるシステムのコントロールユニットの指令に
より外部トリガーをＯＮすることで振動体１に規定の疑
似コリオリ振動を発生させることができるため、検出回
路１０の出力１５にＤＣオフセットを発生させることが
できる。
が使用されるシステムのコントロールユニットの指令に
より外部トリガーをＯＮすることで振動体１に規定の疑
似コリオリ振動を発生させることができるため、検出回
路１０の出力１５にＤＣオフセットを発生させることが
できる。
【００４０】これを監視することにより前記信号線の断
線はもとより、回路部品の故障による感度変化等につい
ても正常であるか否かを判定することが可能となる。
線はもとより、回路部品の故障による感度変化等につい
ても正常であるか否かを判定することが可能となる。
【００４１】更に第２駆動回路１３に振動体１の圧電特
性や流体抵抗に起因するインピーダンスの温度特性を補
正する手段、例えばサーミスタ補正１３ｄ等を設けるこ
とにより、環境温度の如何に関わらず安定な疑似コリオ
リ振動を作り出すことができ、故障判定の精度を上げる
ことが可能となる。
性や流体抵抗に起因するインピーダンスの温度特性を補
正する手段、例えばサーミスタ補正１３ｄ等を設けるこ
とにより、環境温度の如何に関わらず安定な疑似コリオ
リ振動を作り出すことができ、故障判定の精度を上げる
ことが可能となる。
【００４２】また、更にこの第２駆動回路１３に低周波
の発振器と掛け算回路を加え、位相シフタ１３ｂの信号
を搬送波として前記発振器の信号で振幅変調をかけた信
号をスイッチ部１３ｃを経て前記第２励振部１２ｂに印
加する構成とすることにより、検出回路１０の出力１５
に交流信号を発生させることが可能となるため、前記検
出回路１０のローパスフィルタ１０ｆの特性を含めた形
での診断も可能となる。
の発振器と掛け算回路を加え、位相シフタ１３ｂの信号
を搬送波として前記発振器の信号で振幅変調をかけた信
号をスイッチ部１３ｃを経て前記第２励振部１２ｂに印
加する構成とすることにより、検出回路１０の出力１５
に交流信号を発生させることが可能となるため、前記検
出回路１０のローパスフィルタ１０ｆの特性を含めた形
での診断も可能となる。
【００４３】（実施の形態３）図５は本発明の実施の形
態３における角速度センサを示す図である。
態３における角速度センサを示す図である。
【００４４】実施の形態２の中では第２励振部１２ｂを
駆動する信号の源を振動検出部３の電荷に基づく信号よ
り得ていたが、本実施の形態３ではこれを振動検出部３
と対向する第２振動検出部１７より得るもので、その他
の構成並びに動作原理も実施の形態２と同様である。し
かしながらこのような構成とすることにより振動体１上
に設けられた各電極からＧＮＤ接続電極を完全に排除す
ることに成功している。
駆動する信号の源を振動検出部３の電荷に基づく信号よ
り得ていたが、本実施の形態３ではこれを振動検出部３
と対向する第２振動検出部１７より得るもので、その他
の構成並びに動作原理も実施の形態２と同様である。し
かしながらこのような構成とすることにより振動体１上
に設けられた各電極からＧＮＤ接続電極を完全に排除す
ることに成功している。
【００４５】従って実施の形態２に比べてもより高い信
頼性を得ることが可能となる。
頼性を得ることが可能となる。
【００４６】
【発明の効果】これらの構成によりコリオリ検出部から
の検出回路への入力線の断線検知が可能となり、また外
部入力により疑似コリオリ力を発生させることにより回
路部を含めたトータルの故障診断が可能となり、車両制
御やエアバックシステム等の高度の信頼性が要求される
アプリケーションに対応した角速度センサが提供でき
る。
の検出回路への入力線の断線検知が可能となり、また外
部入力により疑似コリオリ力を発生させることにより回
路部を含めたトータルの故障診断が可能となり、車両制
御やエアバックシステム等の高度の信頼性が要求される
アプリケーションに対応した角速度センサが提供でき
る。
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１における角速度セ
ンサの構成図 （ｂ）同回路部の回路図
ンサの構成図 （ｂ）同回路部の回路図
【図２】（ａ）（ｂ）本発明の実施の形態１における角
速度センサの信号波形を説明する図
速度センサの信号波形を説明する図
【図３】（ａ）本発明の実施の形態２における角速度セ
ンサの構成図 （ｂ）同回路部の回路図
ンサの構成図 （ｂ）同回路部の回路図
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の実施の形態２における角
速度センサの信号波形を説明する図
速度センサの信号波形を説明する図
【図５】（ａ）本発明の実施の形態３における角速度セ
ンサの構成図 （ｂ）同回路部の回路図
ンサの構成図 （ｂ）同回路部の回路図
１ 振動体 ２ａ，２ｂ 第1励振部 ３ 振動検出部 ４ａ，４ｂ コリオリ検出部 ５ フェール信号発生部 ６ａ，６ｂ 駆動振動に基づく電荷 ７ａ，７ｂ 分極軸方向を示す矢印 ８ 回路部 ９ 駆動回路 ９ａ モニタアンプ ９ｂ，１１ａ 整流回路 ９ｃ ＡＧＣ ９ｄ，９ｅ 駆動アンプ １０ 検出回路 １０ａ，１０ｂ センサアンプ １０ｃ 差動合成部 １０ｄ，１３ｄ 位相シフタ １０ｅ 同期検波器 １０ｆ ローパスフィルタ １１ フェール検出部 １１ｂ レベル判定回路 １２ａ 中継電極 １２ｂ 中継電極兼第２励振部 １３ 第２駆動回路 １３ａ アンプ １３ｃ スイッチ部 １３ｄ サーミスタ １４ａ，１４ｂ 電流方向を示す矢印 １５ 出力（ｏｕｔ） １６ 外部トリガー １７ 第２振動検出部
Claims (7)
- 【請求項１】 振動体にドライブ振動を与える第１励振
部と、振動体の振動レべルを検出する振動検出部と、入
力角速度に応じて生ずるコリオリ振動を検出する少なく
とも２つのコリオリ検出部とを有する圧電体で構成され
た素子部と、前記振動検出部からの信号を入力とし前記
第１励振部への信号を出力する駆動回路と、前記コリオ
リ検出部からの信号を入力とする検出回路を有する回路
部によって構成され、前記回路部は少なくともコリオリ
検出部に生ずる電荷の異常レベルを判定するレベル判定
回路を有し、異常を検出した場合に出力する出力手段を
有した角速度センサにおいて、前記各々のコリオリ検出
部には単独では前記レベル判定回路の基準レベル以上の
ドライブ振動成分を含み、かつ合成後は基準レベル以下
になるように前記素子部の電極配置を調整した角速度セ
ンサ。 - 【請求項２】 電極をトリミングすることにより、２つ
のコリオリ検出部の出力の合成後のドライブ振動成分を
ほぼ０に調整した請求項１に記載の角速度センサ。 - 【請求項３】 振動体にドライブ振動を与える第１励振
部と、振動体の振動レベルを検出する振動検出部と、入
力角速度に応じて生ずるコリオリ振動を検出するコリオ
リ検出部とを有する圧電体で構成された素子部と、前記
振動検出部からの信号を入力とし前記第１励振部への信
号を出力する駆動回路と、前記コリオリ検出部からの信
号を入力とする検出回路を有する回路部によって構成さ
れ、前記振動検出部の信号を入力として９０°位相シフ
トした信号を出力する第２駆動回路と、それにより疑似
コリオリ振動を誘発させる第２励振部と、外部トリガー
により前記第２駆動回路の第２励振部への接続を断続す
るスイッチ部とを有する角速度センサ。 - 【請求項４】 振動体にドライブ振動を与える第１励振
部と、振動体の振動レベルを検出する振動検出部と、入
力角速度に応じて生ずるコリオリ振動を検出するコリオ
リ検出部とを有する圧電体で構成された素子部と、前記
振動検出部からの信号を入力とし前記第１励振部への信
号を出力する駆動回路と、前記コリオリ検出部からの信
号を入力とする検出回路を有する回路部によって構成さ
れ、第２の振動検出部と、その信号を入力として９０°
位相シフトした信号を出力する第２駆動回路と、それに
より疑似コリオリ振動を誘発させる第２励振部と、外部
トリガーにより前記第２駆動回路の第２励振部への接続
を断続するスイッチ部とを有する角速度センサ。 - 【請求項５】 低周波の発振器と、変調器とを有し、前
記変調器は第２駆動回路の信号を搬送波として前記発振
器の信号で振幅変調をかけた信号を出力し、この信号を
第２励振部に印加した請求項３または４に記載の角速度
センサ。 - 【請求項６】 素子部が圧電体のバイモルフ構造である
請求項１〜５のいずれか１つに記載の角速度センサ。 - 【請求項７】 第２駆動回路は素子部のドライブインピ
ーダンスの温度特性に応じた補正を施した請求項３〜６
のいずれか１つに記載の角速度センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23109899A JP4449110B2 (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | 角速度センサ |
| PCT/JP2000/005491 WO2001013066A1 (en) | 1999-08-18 | 2000-08-17 | Anglular velocity sensor |
| EP00953452A EP1122514A4 (en) | 1999-08-18 | 2000-08-17 | ROTARY SPEED SENSOR |
| US09/807,756 US6418790B1 (en) | 1999-08-18 | 2000-08-17 | Angular velocity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23109899A JP4449110B2 (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | 角速度センサ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP4449110B2 JP4449110B2 (ja) | 2010-04-14 |
Family
ID=16918274
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23109899A Expired - Fee Related JP4449110B2 (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | 角速度センサ |
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|---|---|
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| EP (1) | EP1122514A4 (ja) |
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| WO (1) | WO2001013066A1 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005078388A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ及びそれを用いた自動車 |
| WO2005103726A1 (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ及び運送機器 |
| US6988409B2 (en) | 2003-03-25 | 2006-01-24 | Denso Corporation | Dynamic quantity sensor |
| KR100837359B1 (ko) | 2007-02-21 | 2008-06-12 | 충남대학교산학협력단 | 회전체 진동 측정용 인덕티브센서의 제어 장치 및 방법 |
| JP2009063328A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Toyota Motor Corp | 容量変化検出装置 |
| WO2009150898A1 (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-17 | 株式会社村田製作所 | 外力検知装置および配線破断検出方法 |
| JP2010043962A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-02-25 | Epson Toyocom Corp | 角速度検出回路、角速度検出装置及び角速度検出装置の故障診断方法 |
| JP2010107416A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Epson Toyocom Corp | 角速度検出装置およびその製造方法 |
| JP2014016356A (ja) * | 2013-09-05 | 2014-01-30 | Seiko Epson Corp | 角速度検出装置の製造方法 |
| CN111721319A (zh) * | 2019-03-22 | 2020-09-29 | 精工爱普生株式会社 | 传感器故障预知系统、传感器故障预知方法、物理量传感器、电子设备以及移动体 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6705151B2 (en) * | 1995-05-30 | 2004-03-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| US6912901B1 (en) | 1995-05-30 | 2005-07-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| JP3520821B2 (ja) * | 1999-10-29 | 2004-04-19 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ用自己診断回路 |
| JP3937334B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2007-06-27 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサの異常検出装置、異常検出方法、異常検出用プログラム並びに車両制御システム |
| US6941207B2 (en) * | 2003-10-10 | 2005-09-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Steering angular velocity detecting device |
| JP4529444B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2010-08-25 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
| JP3964875B2 (ja) * | 2004-02-16 | 2007-08-22 | 株式会社ジャイトロニクス | 角速度センサ |
| US7134336B2 (en) * | 2004-03-19 | 2006-11-14 | Denso Corporation | Vibration type angular velocity sensor |
| JP2009074979A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
| JP5368181B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量検出装置並びに物理量検出装置の制御方法、異常診断システム及び異常診断方法 |
| RU2768504C1 (ru) * | 2021-07-05 | 2022-03-24 | Алексей Сергеевич Худяков | Устройство для измерения углов |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2666505B2 (ja) | 1990-01-31 | 1997-10-22 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ駆動装置 |
| JP2541375B2 (ja) * | 1990-12-11 | 1996-10-09 | 株式会社村田製作所 | 検知回路 |
| JPH04278414A (ja) * | 1991-03-07 | 1992-10-05 | Tokimec Inc | ジャイロ装置 |
| JPH0618267A (ja) * | 1991-10-09 | 1994-01-25 | Akai Electric Co Ltd | 診断機能付振動ジャイロ |
| US5426970A (en) * | 1993-08-02 | 1995-06-27 | New Sd, Inc. | Rotation rate sensor with built in test circuit |
| JP3175489B2 (ja) * | 1994-08-24 | 2001-06-11 | 三菱電機株式会社 | 振動ジャイロおよび振動ジャイロの検査装置 |
| DE69622815T2 (de) * | 1995-05-30 | 2002-11-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Drehgeschwindigkeitssensor |
| JPH09170926A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
| JP3409565B2 (ja) | 1996-03-01 | 2003-05-26 | 日産自動車株式会社 | 角速度センサの自己診断方法 |
| JP3386320B2 (ja) * | 1996-10-01 | 2003-03-17 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロの温度特性調整方法 |
| JP3191742B2 (ja) * | 1997-09-25 | 2001-07-23 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| DE19853063B4 (de) * | 1997-11-18 | 2011-07-28 | DENSO CORPORATION, Aichi-pref. | Winkelgeschwindigkeitssensor und Diagnosesystem dafür |
| JP3932661B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2007-06-20 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ駆動回路 |
| JP2000088578A (ja) * | 1998-09-10 | 2000-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
-
1999
- 1999-08-18 JP JP23109899A patent/JP4449110B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-08-17 WO PCT/JP2000/005491 patent/WO2001013066A1/ja active Application Filing
- 2000-08-17 EP EP00953452A patent/EP1122514A4/en not_active Withdrawn
- 2000-08-17 US US09/807,756 patent/US6418790B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6988409B2 (en) | 2003-03-25 | 2006-01-24 | Denso Corporation | Dynamic quantity sensor |
| JP2005227214A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ及びそれを用いた自動車 |
| US7347093B2 (en) | 2004-02-16 | 2008-03-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor and automobile using the same |
| WO2005078388A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ及びそれを用いた自動車 |
| US7865284B2 (en) | 2004-04-21 | 2011-01-04 | Panasonic Corporation | Angular velocity sensor and transporting equipment |
| WO2005103726A1 (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ及び運送機器 |
| JPWO2005103726A1 (ja) * | 2004-04-21 | 2007-08-30 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ及び運送機器 |
| KR100837359B1 (ko) | 2007-02-21 | 2008-06-12 | 충남대학교산학협력단 | 회전체 진동 측정용 인덕티브센서의 제어 장치 및 방법 |
| JP2009063328A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Toyota Motor Corp | 容量変化検出装置 |
| WO2009150898A1 (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-17 | 株式会社村田製作所 | 外力検知装置および配線破断検出方法 |
| JP4915474B2 (ja) * | 2008-06-10 | 2012-04-11 | 株式会社村田製作所 | 外力検知装置および配線破断検出方法 |
| US8225661B2 (en) | 2008-06-10 | 2012-07-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | External-force detecting apparatus and method of detecting line break |
| JP2010043962A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-02-25 | Epson Toyocom Corp | 角速度検出回路、角速度検出装置及び角速度検出装置の故障診断方法 |
| JP2010107416A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Epson Toyocom Corp | 角速度検出装置およびその製造方法 |
| JP2014016356A (ja) * | 2013-09-05 | 2014-01-30 | Seiko Epson Corp | 角速度検出装置の製造方法 |
| CN111721319A (zh) * | 2019-03-22 | 2020-09-29 | 精工爱普生株式会社 | 传感器故障预知系统、传感器故障预知方法、物理量传感器、电子设备以及移动体 |
| CN111721319B (zh) * | 2019-03-22 | 2023-08-15 | 精工爱普生株式会社 | 传感器故障预知系统、传感器故障预知方法、物理量传感器、电子设备以及移动体 |
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