JP2001052907A - セラミック素子とその製造方法 - Google Patents

セラミック素子とその製造方法

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JP2001052907A
JP2001052907A JP11226920A JP22692099A JP2001052907A JP 2001052907 A JP2001052907 A JP 2001052907A JP 11226920 A JP11226920 A JP 11226920A JP 22692099 A JP22692099 A JP 22692099A JP 2001052907 A JP2001052907 A JP 2001052907A
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ceramic
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Zenichi Tanno
善一 丹野
Hironori Suzuki
洋典 鈴木
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 優れた非直線特性、放電耐量特性、課電寿命
特性を有する信頼性の高い非直線抵抗体を提供する。 【解決手段】 非直線抵抗体において、酸化亜鉛(Zn
O)を主成分とし、副成分として少なくとも酸化チタン
(TiO2 )と酸化ビスマス(Bi2 3 )を含有し、
10V/mm〜150V/mmの抵抗値を有することを
特徴とするセラミック素体1の側面に、高抵抗層3が塗
布され、焼結される。素体1に各種成分が添加されるこ
とにより特性が改善される。高抵抗層3は構造や材料の
選択により優れた特性を発揮する。素体1の上下端面に
は、アルミニウム等が溶射され、電極2が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般電気回路、低
圧避雷器などの各種抵抗体に使用されるセラミック素子
に係り、特に、非直線抵抗体として好適なセラミック素
子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、異常電圧から各種機器を保護
する電気回路においては、様々な抵抗体が用いられてい
る。このような抵抗体の一例として、非直線抵抗体が挙
げられる。非直線抵抗体は、一般にはバリスタと呼ば
れ、正常な電圧では絶縁性を示し、異常電圧が発生した
時には低抵抗性を示すという特性(非直線性)を有して
いる。
【0003】上記のような各種の抵抗体は、各種特性を
有する素子(以下、機能素子と称する)と、絶縁の目的
で前記機能素子の側面を覆う高抵抗の側面層と、電極と
から構成されている。今日において、非直線抵抗体とし
ては、特にセラミック素子が用いられている。セラミッ
ク素子は、セラミックスの粉末を成形し、焼成あるいは
ホットプレスなどの熱処理を施して得られる焼結体を使
用したものであり、焼結体の粒界、気孔または各粒子の
半導性、磁性、誘電性などの特性変化の組み合わせを利
用した非直線抵抗体である。
【0004】一般的に、非直線抵抗体の基体としては、
セラミック材料である酸化亜鉛(ZnO)系材料が用い
られている。具体的には、酸化亜鉛(ZnO)を主成分
とし、ビスマス(Bi)、アンチモン(Sb)、コバル
ト(Co)、マンガン(Mn)等の酸化物等からなる副
成分と、水および有機バインダを加えて十分混合して、
スプレ−ドライヤ等で造粒、成形して焼結した焼結体を
基体としている。
【0005】一方、非直線抵抗体の側面を覆う高抵抗層
は、例えば、次のようにして形成されている。すなわ
ち、酸化ケイ素(SiO2 )などの無水酸化物を水およ
び有機バインダとともに混合して、前記の焼結体の側面
に塗布し、1300〜1500Kで焼成し、その表面に
上層としてガラスフリット等を塗布して約800Kで焼
き付け処理している。
【0006】ところで、近年は、半導体素子の進歩に伴
って電子機器の駆動電圧の低減化が進み、それらの半導
体素子のサ−ジ保護用としてバリスタ電圧の低い非直線
抵抗体が求められることが多くなってきている。そのた
め、このような情勢に対処可能な非直線抵抗体、すなわ
ち、抵抗が低く、高い耐量特性を有する非直線抵抗体に
対する要求が強くなってきている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】大きいエネルギ−を処
理するには、理論的には、単位厚み当たりの抵抗値の低
い非直線抵抗体を直列に多数接続すれば良いことにな
る。しかし、昨今の厳しい社会情勢からくる製品のコス
トダウンの要求により、製品の大型化やコスト高は許さ
れるものではなく、逆に、小型・高性能化が求められて
いる。また、併せて優れた非直線特性、課電寿命特性を
有することが求められる場合が多い。
【0008】本発明は、以上のような情勢を鑑みてなさ
れたものであり、その目的は、優れた非直線特性、放電
耐量特性、課電寿命特性を有する信頼性の高い非直線抵
抗体を提供することである。本発明の別の目的は、良好
な電気特性を示す各種の抵抗体を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
課題を解決するために、素体の抵抗値の範囲を規定する
ことにより、また、素体の副成分の種類や含有量を規定
したり側面高抵抗層の構成を規定することにより、非直
線抵抗体の各種の特性を向上するものである。
【0010】請求項1記載のセラミック素子は、非直線
抵抗材料からなる素体と、この素体の一方向の側面に設
けられた電極と、前記素体の電極配置面と異なる側面に
設けられた高抵抗層を備えたセラミック素子において、
素体が、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とし、副成分とし
て少なくとも酸化チタン(TiO2 )と酸化ビスマス
(Bi2 3 )を含有し、10V/mm〜150V/m
mの抵抗値を有することを特徴としている。この構成に
よれば、素体の抵抗を低くした分、適用できる素子厚み
が大きくなるため、単位当たりのエネルギー吸収能力が
変わらない限り、大きいエネルギーを吸収できる。すな
わち、10V/mm素子を適用した場合には、200V
/mm素子に比べて20倍のエネルギーを吸収すること
ができ、150V/mm素子を適用した場合でも、20
0V/mm素子に比べて1.33倍のエネルギーを吸収
することができる。
【0011】請求項2記載のセラミック素子は、請求項
1記載のセラミック素子において、素体が、副成分とし
て、B、Agからなる第1グループ、Li、Kからなる
第2グループ、Mg、Ca、Baからなる第3グルー
プ、Al、Ga、Inからなる第4グループ、Zr、S
i、Snからなる第5グループ、という5つのグループ
の中から選択された少なくとも1つのグループの少なく
とも1種を含有することを特徴としている。そして、素
体の副成分として含有される場合の各材料の含有量は、
次の通りである。すなわち、第1グループのB、Agの
場合には、それぞれ、H3 BO3 とAg2 Oに換算して
0.1ppm〜1000ppm、第2グループのLi、
Kの場合には、それぞれ、Li2 O、K2 Oに換算して
0.01ppm〜100ppmである。また、第3グル
ープのMg、Ca、Baの場合には、それぞれ、Mg
O、CaO、BaOに換算して0.01ppm〜100
ppm、第4グループのAl、Ga、Inの場合には、
それぞれ、Al2 3 、Ga23 、In2 3 に換算
して0.01ppm〜100ppmである。さらに、第
5グループのZr、Si、Snの場合には、それぞれ、
ZrO2 、SiO2 、SnO2 に換算して0.05pp
m〜500ppmである。
【0012】この構成によれば、素体が、副成分とし
て、適切な材料を適切な量だけ含有することにより、そ
の含有した材料に応じて、各種の電気特性を改善でき
る。すなわち、第1のグループのB、Agのいずれかを
含有する場合には、漏れ電流を低減して課電寿命特性を
改善することができる。また、第2のグループのLi、
Kのいずれかを含有する場合には、インパルス電流によ
る小電流域のVI変化率特性を改善することができ、第
4のグループのAl、Ga、Inのいずれかを含有する
場合には、大電流域の平坦率特性を改善することができ
る。さらに、第3のグループのMg、Ca、Baのいず
れかを含有する場合、あるいは、第5のグループのZ
r、Si、Snのいずれかを含有する場合には、TOV
耐量特性を改善することができる。
【0013】請求項3記載のセラミック素子は、請求項
1または2記載のセラミック素子において、素体の副成
分として含有された酸化ビスマス(Bi2 3 )の結晶
相が、α相(斜方晶)とβ相(正方晶)のいずれか一方
であることを特徴としている。この構成によれば、酸化
ビスマスの結晶相を安定相であるα相(斜方晶)とβ相
(正方晶)のいずれかとすることにより、優れた寿命特
性を確保することができる。
【0014】請求項4記載のセラミック素子は、請求項
3記載のセラミック素子において、高抵抗層が、無機高
分子構造を有するセラミックコ−ティング膜からなる第
1層と、この第1層上に設けられた非晶質セラミックコ
−ティング膜からなる第2層を有することを特徴として
いる。請求項5記載のセラミック素子は、請求項4記載
のセラミック素子において、無機高分子構造を有するセ
ラミックコ−ティング膜の主成分が、Al2 3 とAl
6 Si2 13の混合相であることを特徴としている。請
求項6記載のセラミック素子は、請求項4記載のセラミ
ック素子において、非晶質セラミックコ−ティング膜の
主成分が、Si02 、Al2 3 、ZrO2、TiO2
からなるグループの中から選択された1種もしくは2種
の組合せであることを特徴としている。
【0015】以上のような、請求項4〜6の構成によれ
ば、エネルギーの印加によって素子が発熱膨脹した際
に、側面の高抵抗層により素体に圧縮応力がかかり、外
周面からの破壊を抑制することができるため、抵抗体の
放電耐量特性を改善することができる。
【0016】請求項7記載のセラミック素子は、請求項
3記載のセラミック素子において、高抵抗層が、有機高
分子構造を有するエポキシ系樹脂とポリイミド系樹脂の
いずれか一方から形成されていることを特徴としてい
る。この構成によれば、エネルギーの印加によって素子
が発熱膨脹した際に、側面の高抵抗層がスムースに膨脹
し、外周面における亀裂の発生を抑制することができる
ため、抵抗体の放電耐量特性を改善することができる。
【0017】請求項8記載のセラミック素子の製造方法
は、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とし、副成分として少
なくとも酸化チタン(TiO2 )と酸化ビスマス(Bi
2 3 )を含有する原料を用いて素体を形成し、この素
体の側面に高抵抗層を形成した後、素体の両端面に電極
を形成することにより、セラミック素子を製造するため
の方法において、高抵抗層を、750K以下の温度の焼
付処理により形成することを特徴としている。
【0018】この方法によれば、高抵抗層の熱処理温度
を750K以下とすることにより、素体の副成分として
含有されているBi2 3 の結晶相を安定相であるα相
(斜方晶)とβ相(正方晶)のいずれかとすることがで
き、請求項3に記載の、優れた寿命特性を持つセラミッ
ク素子を製造することができる。
【0019】
【実施例】以下には、本発明に係るセラミック素子とそ
の製造方法を非直線抵抗体に適用した実施例について、
図面を参照して具体的に説明する。
【0020】[1.製造工程の概要]図1は、本発明に
従って作製された非直線抵抗体を示す断面図である。こ
の図1において、素体1は、酸化亜鉛を主成分とする円
板状の焼結体であり、電圧非直線性を有する機能性素子
である。この素体1の上下の端面には、電極2が設けら
れており、素体1の側面には、絶縁部材としての高抵抗
層3が形成されている。この非直線抵抗体は、基本的
に、次のような一連の工程によって作製された。
【0021】まず、素体1の原料を用意した。すなわ
ち、主成分である酸化亜鉛(ZnO)に、副成分とし
て、複数種類の材料を混合した。ここで、副成分は、少
なくとも酸化チタン(TiO2 )と酸化ビスマス(Bi
2 3 )を含み、これに、諸特性を付与するための所定
量の各種の材料を加えたものである。
【0022】この場合、酸化ビスマス(Bi2 3 )の
結晶相に応じて、酸化アンチモン(Sb2 3 )の有無
の異なる2種類の原料を用意した。すなわち、酸化アン
チモン(Sb2 3 )の有無によって酸化ビスマス(B
2 3 )の結晶系が変化するため、酸化ビスマス(B
2 3 )の結晶相がβ相(正方晶)を有する素体1を
作製する場合には、酸化アンチモン(Sb2 3 )を添
加し、α相(斜方晶)を有する素体1を作製する場合に
は、酸化アンチモン(Sb2 3 )を添加しない。
【0023】具体的には、β相を有する素体1用の原料
として、主成分である酸化亜鉛(ZnO)に、副成分と
して、酸化ビスマス(Bi2 3 )、酸化アンチモン
(Sb2 3 )、酸化チタン(TiO2 )、酸化マンガ
ン(MnO)、酸化コバルト(Co2 3 )、酸化ニッ
ケル(NiO)をそれぞれ0.2〜1.5モル%含有し
てなる原料を用意した。また、α相を有する素体1用の
原料としては、主成分である酸化亜鉛(ZnO)に、副
成分として、酸化ビスマス(Bi2 3 )、酸化チタン
(TiO2 )、酸化マンガン(MnO)、酸化コバルト
(Co2 3 )、酸化ニッケル(NiO)をそれぞれ
0.2〜1.5モル%含有してなる原料を用意した。
【0024】そして、用意した原料を、水や分散剤等の
有機バインダ類とともに混合装置に入れて混合した。次
に、混合物をスプレ−ドライヤで、例えば粒径が100
ミクロンになるように噴霧造粒した。これらの造粒粉を
金形に入れて加圧し、直径81mm、厚さ30mmの円
板に成形した。その後、添加した有機バインダ類を除く
ため、空気中で800Kを上限として焼成し、さらに、
空気中で1450Kを上限として焼成することにより素
体1を形成した。
【0025】続いて、素体1の側面に絶縁部材として高
抵抗層3を形成した。この高抵抗層3は、無機高分子構
造を有するセラミックコ−ティング膜を第1層とし、こ
の第1層上に設けられた非晶質セラミックコ−ティング
膜を第2層とする2層構造とされるか、もしくは有機高
分子構造を有する単層構造とした。いずれの場合も、素
体1の側面に、高抵抗層3用の所定の材料を所定の方法
で付与し、750K以下の温度で熱処理することにより
高抵抗層3を形成した。
【0026】この場合、熱処理温度を750K以下とし
たのは、副成分として添加されるBi2 3 の結晶相を
安定相であるβ相(正方晶)またはα相(斜方晶)にし
て優れた寿命特性を確保するためである。熱処理温度が
750Kを超えると、不安定相であるγ相が主相にな
り、寿命特性が損なわれる。
【0027】最後に、高抵抗層3が形成された素体1の
両端面を研磨し、この研磨面に、アルミニウム、黄銅等
を溶射することによって電極2を形成することにより、
素子径φ65、厚みt22で、10V/mm〜150V
/mmの抵抗値を有する非直線抵抗体を得た。
【0028】具体的には、以上のような一連の工程によ
り、前述した2種類の原料に応じて、酸化ビスマス(B
2 3 )の結晶相が安定相であるβ相で90V/mm
の抵抗値を有する非直線抵抗体と、酸化ビスマス(Bi
2 3 )の結晶相がもう一つの安定相であるα相で35
V/mmの抵抗値を有する非直線抵抗体とがそれぞれ形
成された。
【0029】この場合、酸化アンチモン(Sb2 3
の有無によって酸化ビスマス(Bi2 3 )の結晶系が
変化する点についてはすでに説明した通りであるが、9
0V/mmと35V/mmという抵抗値の差異もまた、
酸化アンチモンの有無によるものと考えられる。すなわ
ち、酸化アンチモンは、焼成中に酸化亜鉛原料と反応し
てスピネル粒子を生成し、酸化亜鉛の粒成長を抑制する
働きをするため、酸化アンチモンの有無によりV1mA
/mmが変化する。
【0030】[2.基本的な作用効果]以上のように、
素体1の抵抗値を10V/mm〜150V/mmに限定
することにより、素体の抵抗を低くした分、適用できる
素子厚みが大きくなるため、単位当たりのエネルギー吸
収能力が変わらない限り、大きいエネルギーを吸収でき
る。
【0031】例えば、通常使用している平均的な非直線
抵抗体の抵抗値は200V/mm前後であるが、課電率
(適用回路電圧/素子に1mA流れる端子電圧)を80
%とすると、このような200V/mm素子の端子電圧
は125Vとなるため、適用できる素子厚みは125V
/200V×1mm=0.625mmとなる。これに対
して、10V/mm素子を適用した場合の素子厚みは1
25V/10×1mm=12.5mmとなり、200V
/mm素子を適用した場合の素子厚みと比較すると、1
2.5/0.625=20となり、10V/mm素子が
200V/mm素子の20倍のエネルギーを吸収できる
ことがわかる。また、150V/mm素子の場合には、
200V/mm素子の1.33倍のエネルギーを吸収で
きる。
【0032】これに対して、非直線抵抗体の抵抗値が1
50V/mmを超えた場合には、低抵抗の分、体積でエ
ネルギ−処理量を稼ぐメリットがなくなり、また逆に、
10V/mm未満の場合には、焼結過程における酸化亜
鉛の粒成長が不均一になり易く、抵抗が非常に低い巨大
粒子が出現して電流集中が起こり単位当たりのエネルギ
−処理量が急激に低下してしまう。
【0033】一方、上記の副成分のうち、特に、酸化ビ
スマス(Bi2 3 )が、非直線特性や放電耐量特性の
向上に大いに貢献することは周知の通りであるが、特に
その結晶相を安定相であるα相、β相のいずれかとする
ことにより、優れた寿命特性を確保することができる。
また、酸化チタン(TiO2 )は、酸化亜鉛の粒成長促
進材として重要な役目を果たすため、結晶粒子を均一に
成長させることにより、放電耐量特性の向上に貢献でき
る。
【0034】[3.比較試験]図2〜図10は、上記の
ように作製した素体や非直線抵抗体を用いて各種の比較
試験を行った結果をそれぞれ示している。以下には、個
々の比較試験について順次説明する。
【0035】[3−1.各種の添加物の有無に関する比
較試験]図2〜図6は、原料に対する特定の添加物の有
無のみを変化させて酸化ビスマス(Bi2 3 )の結晶
相がβ相を有する素体を作製し、添加物の有無に関する
比較試験を行った結果をそれぞれ示している。
【0036】このうち、図2は、上記のβ相を有する素
体用の原料に加えてさらに、副成分として、B、Agの
少なくとも1種を、それぞれ、H3 BO3 とAg2 Oに
換算して0.1ppm〜1000ppmの範囲内で添加
して作製した素体と、いずれも添加せずに作製した素体
とについて、課電寿命試験を行った結果を比較して示し
ている。具体的には、周囲温度100℃、課電率85%
の条件で、2000hrまでの漏れ電流の推移を調べた
結果を、初期値を1.0とした比較値で示している。こ
の試験においては、B、Agのいずれについても同様の
添加効果が確認されており、課電寿命が向上している。
なお、図2中では、代表例として、Agの添加量を20
0ppmとした場合の結果を示している。
【0037】また、図3は、上記のβ相を有する素体用
の原料に加えてさらに、副成分として、Li、Kの少な
くとも1種を、それぞれ、Li2 O、K2 Oに換算して
0.01ppm〜100ppmの範囲内で添加して作製
した素体と、いずれも添加せずに作製した素体とについ
て、インパルス印加試験を行った結果を比較して示して
いる。具体的には、8×20μsの波形で20kAのイ
ンパルスを20回印加した場合の印加前後の電流−電圧
の変化率を比較して示している。この試験においては、
Li、Kのいずれについても同様の添加効果が確認され
ており、インパルス印加前後の特性変化が小さくなって
いる。なお、図3中では、代表例として、Liの添加量
を10ppmとした場合の結果を示している。
【0038】さらに、図4は、上記のβ相を有する素体
用の原料に加えてさらに、副成分として、Mg、Ca、
Baの少なくとも1種を、それぞれ、MgO、CaO、
BaOに換算して0.01ppm〜100ppmの範囲
内で添加して作製した素体と、いずれも添加せずに作製
した素体とについて、TOV耐量特性試験を行った結果
を比較して示している。この図4において、縦軸は度
数、横軸は非直線抵抗体の素子が破壊したエネルギ−を
それぞれ示している。この試験においては、Mg、C
a、Baのいずれについても同様の添加効果が確認され
ており、TOV耐量特性が向上している。なお、図4中
では、代表例として、Mgを30ppm添加した場合の
結果を示している。
【0039】一方、図5は、上記のβ相を有する素体用
の原料に加えてさらに、副成分として、Al、Ga、I
nの少なくとも1種を、それぞれ、Al2 3 、Ga2
3、In2 3 に換算して0.01ppm〜100p
pmの範囲内で添加して作製した素体と、いずれも添加
せずに作製した素体とについて、V10kA/V1mA
値を測定した結果を比較して示している。この測定試験
においては、Al、Ga、Inのいずれについても同様
の添加効果が確認されており、大電流域の平坦率特性が
改善されている。なお、図5中では、代表例として、A
lを20ppm添加した場合の効果を示している。
【0040】また、図6は、上記のβ相を有する素体用
の原料に加えてさらに、副成分として、Zr、Si、S
nの少なくとも1種を、それぞれ、ZrO2 、Si
2 、SnO2 に換算して0.05ppm〜500pp
mの範囲内で添加して作製した素体と、いずれも添加せ
ずに作製した素体とについて、TOV耐量特性試験を行
った結果を比較して示している。この図6において、縦
軸は度数、横軸は非直線抵抗体が素子が破壊したエネル
ギ−をそれぞれ示している。この試験においては、Z
r、Si、Snのいずれについても同様の添加効果が確
認されており、TOV耐量特性が向上している。なお、
図6中では、代表例として、Zrを10ppm添加した
場合の結果を示している。
【0041】以上のように、副成分として、B、Agの
少なくとも1種、Li、Kの少なくとも1種、Mg、C
a、Baの少なくとも1種、Al、Ga、Inの少なく
とも1種、あるいは、Zr、Si、Snの少なくとも1
種を含有することにより、その含有した材料に応じて、
各種の電気特性を改善できる。また、各材料について添
加量の範囲を規定した理由は、前記範囲に満たないと効
果が認められず、逆に、前記範囲を超える添加量でも効
果が阻害されてしまうからである。
【0042】なお、酸化ビスマス(Bi2 3 )の結晶
相がα相を有する素体についても、同様に原料に対する
添加物の有無を変化させて添加物の有無に関する比較試
験を行ったところ、β相を有する素体と同様の添加効果
が得られることが確認されている。
【0043】[3−2.酸化ビスマスの結晶相の差異に
関する比較試験]図7は、酸化ビスマス(Bi2 3
の結晶相がα相、β相を有する非直線抵抗体と、γ相を
有する非直線抵抗体とについて、課電寿命試験を行った
結果を比較して示している。ここで、α相、β相を有す
る非直線抵抗体は、側面高抵抗層を620Kの温度で形
成することにより、γ相を有する非直線抵抗体は、側面
高抵抗層を800Kの温度で形成することにより、それ
ぞれ作製したものである。図7においては、これらの素
体について、周囲温度110℃、課電率90%の条件
で、2000hrまでの漏れ電流の推移を調べた結果
を、初期値を1.0とした比較値で示している。この図
7から、α相、β相を有する非直線抵抗体は、漏れ電流
が減少しており、寿命特性が良好であることがわかる。
一方、γ相を含有する非直線抵抗体は、漏れ電流が増加
気味であり、寿命特性が良好でないことがわかる。
【0044】[3−3.側面高抵抗層の差異に関する比
較試験]図8〜図10は、酸化ビスマス(Bi2 3
の結晶相がβ相を有する素体を用いて側面高抵抗層の構
成のみが異なる非直線抵抗体を作製し、側面抵抗層の差
異に関する比較試験を行った結果をそれぞれ示してい
る。
【0045】このうち、図8は、無機高分子構造を有す
るセラミックコ−ティング膜からなる内層(第1層)
と、非晶質セラミックコ−ティング膜からなる外層(第
2層)を有する2層構造の側面高抵抗層を持つ非直線抵
抗体(本発明例)と、非晶質セラミックコ−ティング膜
のみからなる従来構造の側面高抵抗層を持つ非直線抵抗
体(従来例)とについて、放電耐量試験を行った結果を
比較して示している。ここで、無機高分子構造を有する
セラミックコ−ティング膜の主成分は、Al2 3 とA
6 Si2 13の混合相であり、非晶質セラミックコ−
ティング膜の主成分はSi02 である。また、図8にお
いて、縦軸は度数、横軸は非直線抵抗体が耐えたエネル
ギ−の値をそれぞれ示している。具体的には、完成した
非直線抵抗体に2.0msの矩形波電流を18回印加し
て放電耐量測定を行なった結果を示している。
【0046】この図8から明らかなように、本発明例の
非直線抵抗体の放電耐量特性は、従来の非直線抵抗体の
放電耐量特性より優れていることがわかる。このような
放電耐量特性の改善効果が得られるのは、次のような理
由によるものと考えられる。すなわち、本発明例の側面
高抵抗層に用いた無機高分子構造を有するセラミックコ
−ティング膜の熱膨張係数は、5×10-6/℃であり、
素体の熱膨張係数は、6.5×10-6/℃であった。そ
のため、放電耐量試験でエネルギ−が印加されて素子が
発熱膨張した場合に、側面高抵抗層の方が熱膨張係数が
小さいことによる“かしめ効果(側面高抵抗層により素
体に圧縮応力がかかり外周面からの破壊が起こり難くな
る)”が生じ、結果的に放電耐量特性が改善されたもの
と考えられる。
【0047】また、図9と図10は、エポキシ樹脂(図
9)またはポリイミド樹脂(図10)から形成された側
面高抵抗層を持つ非直線抵抗体(本発明例)と、Si0
2 からなる従来の側面高抵抗層を持つ非直線抵抗体とに
ついて、放電耐量試験を行った結果を比較して示してい
る。ここで、図9に示す非直線抵抗体のエポキシ樹脂高
抵抗層は、素子を420Kに加熱し、粉末状の樹脂の中
に入れて素子自身の熱で樹脂を溶かし、熱硬化して形成
したものである。また、図10に示す非直線抵抗体のポ
リイミド樹脂高抵抗層は、液状樹脂中に浸漬して塗布
後、620Kで加熱硬化して形成したものである。な
お、これらの図9と図10において、縦軸は度数、横軸
は非直線抵抗体が耐えたエネルギ−の値をそれぞれ示し
ている。具体的には、完成した非直線抵抗体に2.0m
sの矩形波電流を18回印加して放電耐量測定を行なっ
た結果を示している。
【0048】これらの図9、図10から明らかなよう
に、本発明例の各非直線抵抗体の放電耐量特性は従来の
非直線抵抗体の放電耐量特性より優れていることがわか
る。このような放電耐量特性の改善効果が得られるの
は、次のような理由によるものと考えられる。すなわ
ち、前述したような方法で形成したエポキシ樹脂高抵抗
層やポリイミド樹脂高抵抗層は、弾性係数が小さい。そ
のため、放電耐量試験でエネルギ−が印加され素子が発
熱した場合に、側面高抵抗層がスム−スに膨張すること
により、外周面における破壊発生因子となる亀裂が発生
し難く、放電耐量特性が向上したものと考えられる。ち
なみに、ポリイミド樹脂の弾性係数は、404kg/m
2 で、素体1の弾性係数は11500kg/mm2
ある。
【0049】なお、酸化ビスマス(Bi2 3 )の結晶
相がα相を有する素体についても、同様に側面抵抗層の
異なる非直線抵抗体を作製し、同様に側面抵抗層の差異
に関する比較試験を行ったところ、β相を有する非直線
抵抗体と同様の効果が得られることが確認されている。
【0050】[4.他の実施例]なお、本発明は、前記
実施例に限られるものではなく、適宜大要を変えて幅広
く適用できるものである。例えば、前記実施例において
は、非直線抵抗体の添加物として、酸化物原料を用いた
が、これにこだわることはなく、焼成して酸化物になる
材料であればよい。さらに、前記実施例で示した以外の
添加物を添加してもよい。例えば、非直線特性を向上さ
せる目的で他の成分を加えてもよい。
【0051】最後に、前記実施例では、素子径がφ65
で、厚みがt22の大容量の非直線抵抗体について言及
したが、容量のより小さな非直線抵抗体についても、本
発明を適用することによって同様の効果が得られること
が確認されている。すなわち、本発明が対象とする非直
線抵抗体の容量や寸法形状は適宜選択可能である。
【0052】
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれ
ば、素体の抵抗値の範囲を規定することにより、また、
素体の副成分の種類や含有量を規定したり側面高抵抗層
の構成を規定することにより、優れた非直線特性、放電
耐量特性、課電寿命特性を有する信頼性の高い非直線抵
抗体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における非直線抵抗体を示す断
面図である。
【図2】本発明の実施例における添加物(Ag)の有無
と課電寿命特性との関係を示す図である。
【図3】本発明の実施例における添加物(Li)の有無
とインパルス電流による小電流域VI変化との関係を示
す図である。
【図4】本発明の実施例における添加物(Mg)の有無
とTOV耐量特性との関係を示す図である。
【図5】本発明の実施例における添加物(Al)の有無
と電圧−電流特性との関係を示す図である。
【図6】本発明の実施例における添加物(Zr)の有無
とTOV耐量特性との関係を示す図である。
【図7】本発明の実施例における酸化ビスマスの結晶相
の差異と課電寿命特性との関係を示す図である。
【図8】本発明の実施例における側面高抵抗層構造の差
異と放電耐量特性との関係を示す図である。
【図9】本発明の実施例における高抵抗層材料の差異と
放電耐量特性との関係を示す図である。
【図10】本発明の実施例における高抵抗層材料の差異
と放電耐量特性との関係を示す図である。
【符号の説明】
1…素体 2…電極 3…高抵抗層(絶縁部材)
フロントページの続き Fターム(参考) 4G030 AA02 AA04 AA07 AA08 AA10 AA16 AA17 AA30 AA32 AA34 AA35 AA36 AA39 AA43 BA04 CA01 5E034 CC03 DA03 DB15 DB16 DC01 DE08

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非直線抵抗材料からなる素体と、この素
    体の一方向の側面に設けられた電極と、前記素体の電極
    配置面と異なる側面に設けられた高抵抗層を備えたセラ
    ミック素子において、 前記素体が、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とし、副成分
    として少なくとも酸化チタン(TiO2 )と酸化ビスマ
    ス(Bi2 3 )を含有し、10V/mm〜150V/
    mmの抵抗値を有することを特徴とするセラミック素
    子。
  2. 【請求項2】 前記素体は、副成分として、B、Agか
    らなる第1グループ、Li、Kからなる第2グループ、
    Mg、Ca、Baからなる第3グループ、Al、Ga、
    Inからなる第4グループ、Zr、Si、Snからなる
    第5グループ、という5つのグループの中から選択され
    た少なくとも1つのグループの少なくとも1種を含有
    し、 前記素体の副成分として含有される場合の各材料の含有
    量は、前記第1グループのB、Agの場合には、それぞ
    れ、H3 BO3 とAg2 Oに換算して0.1ppm〜1
    000ppm、前記第2グループのLi、Kの場合に
    は、それぞれ、Li2 O、K2 Oに換算して0.01p
    pm〜100ppm、前記第3グループのMg、Ca、
    Baの場合には、それぞれ、MgO、CaO、BaOに
    換算して0.01ppm〜100ppm、前記第4グル
    ープのAl、Ga、Inの場合には、それぞれ、Al2
    3 、Ga2 3 、In2 3 に換算して0.01pp
    m〜100ppm、前記第5グループのZr、Si、S
    nの場合には、それぞれ、ZrO2 、SiO2 、SnO
    2 に換算して0.05ppm〜500ppmであること
    を特徴とする請求項1記載のセラミック素子。
  3. 【請求項3】 前記素体の副成分として含有された酸化
    ビスマス(Bi2 3 )の結晶相は、α相(斜方晶)と
    β相(正方晶)のいずれか一方であることを特徴とする
    請求項1または2記載のセラミック素子。
  4. 【請求項4】 前記高抵抗層は、無機高分子構造を有す
    るセラミックコ−ティング膜からなる第1層と、この第
    1層上に設けられた非晶質セラミックコ−ティング膜か
    らなる第2層を有することを特徴とする請求項3記載の
    セラミック素子。
  5. 【請求項5】 前記無機高分子構造を有するセラミック
    コ−ティング膜の主成分は、Al2 3 とAl6 Si2
    13の混合相であることを特徴とする請求項4記載のセ
    ラミック素子。
  6. 【請求項6】 前記非晶質セラミックコ−ティング膜の
    主成分は、Si02、Al2 3 、ZrO2 、TiO2
    からなるグループの中から選択された1種もしくは2種
    の組合せであることを特徴とする請求項4記載のセラミ
    ック素子。
  7. 【請求項7】 前記高抵抗層は、有機高分子構造を有す
    るエポキシ系樹脂とポリイミド系樹脂のいずれか一方か
    ら形成されていることを特徴とする請求項3記載のセラ
    ミック素子。
  8. 【請求項8】 酸化亜鉛(ZnO)を主成分とし、副成
    分として少なくとも酸化チタン(TiO2 )と酸化ビス
    マス(Bi2 3 )を含有する原料を用いて素体を形成
    し、この素体の側面に高抵抗層を形成した後、素体の両
    端面に電極を形成することにより、セラミック素子を製
    造するための方法において、前記高抵抗層を、750K
    以下の温度の焼付処理により形成することを特徴とする
    セラミック素子の製造方法。
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