JP2001052452A - 被検査物の位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の被検査物の位置決め装置を定盤上に完
全に固定することが困難だった。 【解決手段】 被検査物の位置決め装置の移動部４２の
下面部４２ｅと板ばね部材５１を介して連結している吸
着プレート４９を、定盤４１に真空吸着させることによ
り、検査装置を定盤上に完全に固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製品の検査工程に
おいて被検査物を位置決めする被検査物の位置決め装置
に係り、特に、位置決め装置を確実に固定することによ
って検査の精度を向上させることのできる被検査物の位
置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６は、磁気ヘッド装置を示す斜視図で
ある。この磁気ヘッド装置Ｈは、ロードビーム（支持部
材）１の先部にフレキシャ２が設けられ、このフレキシ
ャ２を介して磁気ヘッド３が支持されている。ロードビ
ーム１とフレキシャ２は板ばねなどで形成された弾性支
持部材である。ロードビーム１の基端部にはマウント板
４が接合されている。

【０００３】磁気ヘッド３のトレーリング側端部Ｔに
は、記録機能部及び再生機能部５が設けられている。

【０００４】磁気ヘッド３は、記録媒体である検査用デ
ィスクが回転する時に前記ディスク上の空気流を受けて
リーディング側端部Ｌが前記ディスク面から持ち上がる
傾斜姿勢となって浮上する。また、前記ディスクの停止
時には、磁気ヘッド３は前記ディスクに着地する。

【０００５】磁気ヘッド装置Ｈの記録機能部及び再生機
能部５は、例えば、再生機能部として磁気抵抗効果を利
用したＭＲ型薄膜再生素子、及び記録機能部としてイン
ダクティブ型の薄膜記録素子が設けられたものである。
磁気ヘッド装置Ｈは、組み立て終了後、記録及び再生特
性に関して検査される。

【０００６】図７は、従来の被検査物の位置決め装置と
して、磁気ヘッド装置Ｈの位置決め装置を示す平面図で
ある。

【０００７】円盤状の検査用ディスクＤが、駆動装置１
１によって回転させられる。磁気ヘッド装置Ｈは、検査
用ディスクＤ上で、磁気ヘッド３に自己記録再生を行わ
せることによって、記録再生特性が検査される。

【０００８】磁気ヘッド装置Ｈは、ロードビーム１の基
端部１ａが、ヘッド保持部材３８を介して、微動部３７
上に設けられた可動アーム３９によってよって保持され
ている。微動部３７は、移動部３２上に設置されてい
る。

【０００９】移動部３２は、モータ３４とカップリング
３５を介して結合された送りねじ３６の回転によって、
定盤３１上を送りレール３３によって案内されながら左
右方向に移動し、磁気ヘッド装置Ｈの磁気ヘッド３を検
査用ディスクＤ上の所定位置に位置決めする。

【００１０】移動部３２によって、磁気ヘッド装置Ｈの
磁気ヘッド３が検査用ディスクＤ上の所定位置に位置決
めされた状態で、磁気ヘッド装置Ｈに自己記録再生を行
わせる。

【００１１】図７では、磁気ヘッド３の記録機能部は、
検査用ディスクＤ上に半径Ｒの記録トラックＤｔを形成
する。磁気ヘッド３が固定された状態では、記録機能部
が検査用ディスクＤ上を走査する走査領域と、磁気ヘッ
ド３の再生機能部が検査用ディスク上を走査する走査領
域にわずかなずれが生じるので、記録トラックＤｔに記
録された信号を、磁気ヘッド３の再生機能部によって自
己再生させるときに、微動部３７を移動部３２上でわず
かに移動させて、磁気ヘッド３の再生機能部が記録トラ
ックＤｔ上を確実に走査するように調整する。

【００１２】微動部３７は、両側面に設けられた圧電素
子を使用したアクチュエータ３７ｃによって微小移動さ
せられる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】図８は、図７の移動部
３２周辺を、図７の矢印Ａ方向から見た背面図である。
送りガイド３２ａが送りレール３３に沿って、移動部３
２が左右方向に移動する。移動部３２は、磁気ヘッド装
置Ｈの磁気ヘッド３を検査用ディスクＤ上の所定位置に
位置決めした状態のときに、送りレール３３上で固定さ
れることができない。移動部３２の固定は、送りねじ３
６及びカップリング３５を介して結合しているモータ３
４の固定保持力に依存する。しかし、カップリング３５
や送りねじ３６のねじれ変形をなくすことはできず、移
動部３２を完全に固定させることは難しかった。移動部
３２が完全に固定されないと、微動部３７を移動部３２
上でわずかに移動させて、磁気ヘッド３の再生機能部が
記録トラックＤｔ上を確実に走査するように調整すると
きに、微動部３７がブレてしまい正確な調整を行うこと
ができなくなってしまう。特に、微動部３７は、０．１
μｍの単位で微小移動させることが必要になってきてお
り、移動部３２を定盤上に完全に固定できるようにする
ことが大きな課題となっている。

【００１４】また、移動部３２を空気圧で浮上させて左
右方向に移動させ、磁気ヘッドＨの位置決め後に定盤上
に真空吸着させる方式も提案されているが、この方式で
は、移動部３２の移動をガイドする送りレールの加工精
度を非常に高くすることが要求されるので、必然的に高
価なものとなり実用的ではなかった。

【００１５】図９及び図１０は、移動部３２上に設置さ
れた微動部３７の側面図である。磁気ヘッド装置Ｈは支
持部材１の基端部１ａにおいて、ヘッド保持部材３８を
介して可動アーム３９によって保持される。可動アーム
３９は、磁気ヘッド装置Ｈを、検査用ディスクＤ上に対
向させかつ検査用ディスクＤから退避させる。可動アー
ム３９は、微動部３７の可動支持部３７ａによって回動
自在に支持されている。また、磁気ヘッド装置Ｈが検査
用ディスクＤ上に対向させられている時に、可動アーム
３９と当接し、可動アーム３９を固定支持する制動部３
７ｂが可動支持部３７ａ上に設けられている。

【００１６】さらに、可動支持部３７ａが設置される基
体部３７ｄの両側面に、微動部３７を微小移動させるた
めのアクチュエータ３７ｃが設けられている。

【００１７】図９は、磁気ヘッド装置Ｈが、検査用ディ
スクＤ上から退避させられている状態を示している。

【００１８】磁気ヘッド装置Ｈの記録再生特性を評価す
るときには、可動アーム３９を、回転軸３７eを中心と
して回動させて、図１０のように、磁気ヘッドＨを検査
用ディスクＤ上に対向させる。この時、可動アーム３９
は、下面部が制動部３７ｂに突き当てられ、さらに、固
定ばね３７ｆによって固定される。

【００１９】しかし、可動アーム３９の固定を固定ばね
３７ｆのみに依存する方式では、可動アーム３９の固定
を確実に行うことができず、微動部３７を微小移動させ
て、磁気ヘッド３の再生機能部が記録トラックＤｔ上を
確実に走査するように調整するときに、正確な調整を行
うことを困難にしていた。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明は、定盤上で移動
部の移動を案内する案内手段と、前記案内手段で案内さ
れる移動部を所定距離移動させる粗送り移送手段と、前
記移動部上に設けられて被検査物を検査可能な位置まで
微小距離移動させる微動部とが設けられた被検査物の位
置決め装置において、前記移動部には定盤を吸着する吸
着手段が搭載されており、前記粗送り移送手段により前
記移動部が所定距離移動させられた位置で前記吸着手段
により定盤上で前記移動部が固定され、その後に前記微
動部により被検査物が検査可能な位置に位置決めされる
ことを特徴とするものである。

【００２１】本発明では、前記移動部が所定位置に移動
させられた状態のときに、前記吸着手段を前記定盤に吸
着させて、前記移動部を確実に固定させることができ
る。従って、前記微動部を前記定盤上に固定された前記
移動部上でわずかに移動させて、被検査物の位置を調整
するときに、前記微動部がブレることを防ぐことができ
る。特に、前記微動部を、０．１μｍの単位で微小移動
させることが必要になる場合でも正確な調整を行うこと
ができる。

【００２２】また本発明では、前記吸着手段を前記定盤
に吸着させて、前記移動部を確実に固定させることがで
きるので、前記移動部の移動方式に、モータに結合され
た送りねじの回転によって、前記送りレールに沿って移
動させるという、安価に実現できる方式を採用した場合
でも、前記移動部を確実に固定できる。

【００２３】本発明は、例えば、前記被検査物が、記録
機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッド装置であり、
前記微動部により被検査物が微小距離送られて位置決め
されたときに、前記記録機能部及び／または再生機能部
が、検査用ディスクの所定位置に対向するように位置決
めされる被検査物の位置決め装置である。

【００２４】また、前記吸着手段は、前記移動部上で弾
性部材を介して定盤方向へ昇降自在に支持された吸着プ
レートと、前記吸着プレートを定盤から持ち上げる持ち
上げ手段と、前記吸着プレートに対して前記定盤に吸着
するための負圧を設定する負圧設定手段とを有している
ものとして構成されることができる。

【００２５】前記移動部が、前記定盤上を移動している
ときには、前記吸着プレートを持ち上げて前記定盤から
離れさせておき、前記移動部が所定位置に移動させられ
たときに、前記吸着プレートを前記定盤上に当接させた
状態で吸着させると、前記移動部を移動させるときに、
前記吸着プレートが移動の邪魔をしないようにできるの
で好ましい。

【００２６】また、前記吸着プレートの前記定盤との対
向面には、例えば、凹部が設けられ、前記吸着プレート
が前記定盤上に当接させられたときに、この凹部と前記
定盤の上面によって囲まれた空間に負圧が設定されるこ
とにより、前記吸着プレートを前記定盤に吸着させるこ
とができる。

【００２７】また、前記吸着プレートが、前記移動部に
弾性部材を介して定盤方向に昇降自在に支持されている
と前記吸着プレートが持ち上げられて前記定盤上から離
れた状態から、前記吸着プレートを下方向に動かして前
記定盤上に当接させることが容易になる。

【００２８】なお、前記弾性部材は、前記移動部と前記
吸着部材との間に設けられた板ばね部材であり、前記吸
着プレートが前記定盤に吸着された状態で、前記板ばね
部材が前記定盤とほぼ平行になり、前記板ばねの板面方
向の剛性により、吸着プレートと移動部とが前記案内手
段による案内方向へ移動しないように位置決めされるこ
とが好ましい。

【００２９】また、本発明の被検査物の位置決め装置
は、被検査物である記録機能部及び再生機能部を有する
磁気ヘッド装置を搭載して、前記磁気ヘッド装置を、前
記記録機能部及び再生機能部が検査用ディスク上に位置
決めされる位置へ移送する移動部と、前記移動部上に設
けられて、前記磁気ヘッド装置を検査用ディスクに対向
させ且つ検査用ディスクから退避させる可動アームと、
前記磁気ヘッド装置が検査用ディスクに対向している状
態で、前記可動アームを吸着固定する吸着手段と、が設
けられていることを特徴とするものである。

【００３０】本発明では、前記磁気ヘッド装置が前記検
査用ディスクに対向させられているときに、前記可動ア
ームを吸着固定することにより、前記可動アームを確実
に固定できる。

【００３１】従って、前記磁気ヘッド装置の走査領域の
位置を調整するときに、正確な調整を行うことができ
る。

【００３２】また、本発明は、例えば、前記移動部を定
盤上で案内する案内手段と、前記案内手段で案内される
移動部を所定距離移動させる粗送り移送手段と、前記移
動部上で微小距離移動する微動部とが設けられたもので
あり、前記可動アームが、前記微動部上に回動自在に支
持され、且つ前記吸着手段により、前記可動アームが前
記微動部に吸着固定されるものである。

【００３３】なお、前記移動部と微動部との間には圧電
素子を使用したアクチュエータが設けられ、このアクチ
ュエータにより移動部上で微動部が微小距離移動させら
れることができる。

【００３４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態とし
て磁気ヘッド装置を被検査物とする、被検査物の位置決
め装置を示す背面図である。

【００３５】移動部４２は、送りガイド４２ａが案内手
段である送りレール４３に沿って、定盤４１上を左右方
向に移動する。また、移動部４２を移動させる粗送り移
送手段は、モータ４４とカップリング４５を介して結合
された送りねじ４６によって構成されている。

【００３６】図６に示された磁気ヘッド装置Ｈのロード
ビーム１の基端部１ａが、ヘッド保持部材５４及び可動
アーム５５を介して、移動部４２上に設置されている微
動部５３によって保持されている。

【００３７】移動部４２は、図７に示した従来の検査装
置と同様に、磁気ヘッド装置Ｈの磁気ヘッド３を円盤状
の検査用ディスクの所定位置に位置決めする。

【００３８】移動部４２によって、磁気ヘッド装置Ｈの
磁気ヘッド３が前記検査用ディスクの所定位置に位置決
めされた状態で磁気ヘッド装置Ｈに自己記録再生を行わ
せる。

【００３９】磁気ヘッド３が固定された状態では、記録
機能部が前記検査用ディスク上を走査する走査領域と、
磁気ヘッド３の再生機能部が前記検査用ディスク上を走
査する走査領域にわずかなずれが生じるので、記録され
た信号を、磁気ヘッド３の再生機能部によって自己再生
させるときに、微動部５３を移動部４２上でわずかに移
動させて、磁気ヘッド３の再生機能部が記録トラック上
を確実に走査するように調整する。

【００４０】微動部５３は、両側面に設けられた圧電素
子を使用したアクチュエータ５３ｃによって微小移動さ
せられる。

【００４１】本実施の形態では、移動部４２の下面部４
２ｅと定盤４１との間に、定盤４１に吸着することがで
きる吸着プレート４９が設けられている。移動部４２の
上面部４２ｄに設けられた、吸着プレート４９の持ち上
げ手段である空圧アクチュエータ４７のシャフト４８が
貫通孔４２ｃを通って延び、吸着プレート４９の上面部
と連結している。空圧アクチュエータ４７は、空気圧を
利用してシャフト４８を上方向に動かし、吸着プレート
４９を持ち上げる。

【００４２】磁気ヘッド装置Ｈを、前記検査用ディスク
の所定位置に対向させるために、移動部４２が送りレー
ル４３に案内されて移動しているときには、空圧アクチ
ュエータ４７が、吸着プレート４９を上方向に持ち上げ
て定盤４１から離れさせる。磁気ヘッド装置Ｈが前記検
査用ディスクの所定位置に対向させられた時に、吸着プ
レート４９を下方向に動かして、図１のように、定盤４
１に当接させた状態で負圧設定手段である真空ポンプ５
６によって真空吸着させる。

【００４３】本実施の形態では、吸着プレート４９、空
圧アクチュエータ４７、真空ポンプ５６などが吸着手段
を構成している。

【００４４】なお、図１では、移動部４２、シャフト４
８、及び吸着プレート４９は、断面図で表されている。

【００４５】吸着プレート４９の定盤４１との対向面に
は、凹部４９ｂが設けられている。吸着プレート４９の
枠部４９ａが定盤４１上に当接した状態で、吸着プレー
ト４９の凹部４９ｂの底面に開けられた貫通孔４９ｃ、
移動部４２に開けられた貫通孔４２ｂ、及び貫通孔４９
ｃと貫通孔４２ｂを連結するパイプ５０を通って、真空
ポンプ５６によって空気が吸引され、凹部４９ｂと定盤
４１の上面によって囲まれた空間が真空状態になる。

【００４６】また、吸着プレート４９と移動部４２の下
面部４２ｅが、弾性部材である板ばね部材５１，５１に
よって連結されており、板ばね部材５１，５１は、吸着
プレート４９の上下動に伴って変形可能である。

【００４７】磁気ヘッド装置Ｈを、前記検査用ディスク
の所定位置に対向させるために、移動部４２が送りレー
ル４３に沿って移動しているときには、図２のように、
空圧アクチュエータ４７が、吸着プレート４９を上方向
に持ち上げて定盤４１から離れさせる。このとき、板ば
ね部材５１，５１は上方向にたわんでいる。磁気ヘッド
装置Ｈが前記検査用ディスクの所定位置に対向させられ
た時に、空圧アクチュエータ４７による吸引を解除する
と、板ばね部材５１，５１の弾性力によって、吸着プレ
ート４９が下方向に動かされ、定盤４１に当接される。
本実施の形態では、移動部４２の下面部４２ｅと吸着プ
レート４９とを連結する圧縮ばね５２，５２が設けられ
ている。圧縮ばね５２，５２は、吸着プレート４９を下
方向に動かすときの補助、及び吸着プレート４９を定盤
４１に押し付けることにより、真空吸着による固定の補
助をしている。

【００４８】なお、板ばね部材５１，５１は、吸着プレ
ート４９が定盤４１上に当接し吸着された状態の時に、
図１のように、板ばね部材５１，５１の板面方向が、定
盤４１とほぼ平行になっている。従って図１の状態のと
き、板ばね部材５１，５１の板面方向の剛性により、吸
着プレート４９と移動部４２とが送りレール４３による
案内方向（Ｘ方向）へ移動しないように位置決めされ
る。

【００４９】従って、本実施の形態では、移動部４２
が、定盤４１上に真空吸着している吸着プレート４９を
介して、定盤４１に対して確実に固定されている。

【００５０】従って、微動部５３を定盤４１上に固定さ
れた移動部４２上でわずかに移動させて、磁気ヘッド３
の走査領域の位置を調整するときに、微動部５３がブレ
ることを防ぐことができる。特に、微動部５３を、０．
１μｍの単位で微小移動させることが必要になる場合で
も正確な調整を行うことができる。

【００５１】また、移動部４２の移動方式（粗送り移送
手段）に、モータ４４に結合された送りねじ４６の回転
によって移動させるという安価に実現できる方式を採用
した場合でも、移動部４２の固定を確実にできる。

【００５２】図３は、本発明の他の実施の形態の検査装
置の吸着プレート周辺の部分断面図である。図３では、
吸着プレート６１には、底面６１ａに複数の開口孔６１
ｂが設けられ、この開口孔６１ｂは吸着プレート６１の
内部を通って、上面６１ｄの開口孔６１ｃにおいて出口
が一つにまとめられている。開口孔６１ｃはパイプ５０
を介して、移動部４２を貫通する貫通孔４２ｂと連結さ
れている。

【００５３】本実施の形態では、吸着プレート６１の底
面６１ａが定盤４１上に当接した状態で、吸着プレート
６１の開口孔６１ｂ、開口孔６１ｃ、パイプ５０及び移
動部４２に開けられた貫通孔４２ｂを通って、真空ポン
プ５６によって空気が吸引され、吸着プレート６１が定
盤４１に真空吸着させられる。

【００５４】従って、本実施の形態でも、移動部４２
が、定盤４１上に真空吸着している吸着プレート６１を
介して、定盤４１に対して確実に固定されている。

【００５５】図４及び図５は、移動部４２上に設置され
た微動部５３の側面図である。磁気ヘッド装置Ｈは支持
部材１の基端部１ａにおいてヘッド保持部材５４を介し
て可動アーム５５に保持される。可動アーム５５は磁気
ヘッド装置Ｈを検査用ディスクＤに対向させ且つ検査用
ディスクＤから退避させる。可動アーム５５は、微動部
５３の可動支持部５３ａで回動自在に支持される。可動
アーム５５は、磁気ヘッド装置Ｈが検査用ディスクＤ上
に対向させられている時に、制動部５３ｂと面当接し、
固定支持される。本実施の形態では可動支持部５３ａと
制動部５３ｂは一体に形成されている。なお、図４及び
図５では制動部５３ｂの周辺のみ断面図で示している。
また、可動支持部５３ａ及び制動部５３ｂが設置される
基体部５３ｄの両側面には、微動部５３を移動部４２上
で微小距離移動させるための圧電素子を使用したアクチ
ュエータ５３ｃが設けられている。

【００５６】図４は、磁気ヘッド装置Ｈが、検査用ディ
スクＤから退避させられている状態を示している。

【００５７】磁気ヘッド装置Ｈの記録再生特性を評価す
るときには、可動アーム５５を圧縮ばね５３ｅの復元力
によって回転軸５３ｆを中心として回動させて、図５の
ように、磁気ヘッド装置Ｈを検査用ディスクＤ上に対向
させる。この時、可動アーム５５は、下面部５５ａが制
動部５３ｂに面当接される。

【００５８】制動部５３ｂには、可動アーム５５と面当
接する面５３ｂ１に、可動アーム５５の下面部５５ａに
よって、開口部が完全に覆われる凹部５３ｂ２が設けら
れ、この凹部５３ｂ２の底面から空気を吸引するための
貫通孔５３ｂ３が、制動部５３ｂの外側面にまで貫通し
ており、貫通孔５３ｂ３から真空ポンプ５７によって空
気が吸引されることにより、可動アーム５５と制動部５
３ｂとが真空吸着させられる。従って、可動アーム５５
を微動部５３に確実に固定できる。可動アーム５５と微
動部５３とが真空吸着によって固定されると、可動アー
ム５５が微動部５３と一体構造で形成されたのと同じく
らい頑強に固定される。

【００５９】なお、本実施の形態では、制動部５３ｂ及
び真空ポンプ５７が可動アーム５５の吸着手段を提供し
ている。

【００６０】従って、移動部４２上で、微動部５３を微
小移動させて磁気ヘッド装置Ｈの走査領域の位置を調整
するときに、可動アーム５５が特にトラッキング方向に
ブレることを防ぐことができ、正確な調整を行うことが
できる。

【００６１】

【発明の効果】以上詳細に説明した本発明によれば、前
記移動部が前記案内手段によって案内されて所定位置に
移動させられた状態のときに、前記吸着手段を前記定盤
に吸着させて、前記移動部を確実に固定させることがで
きる。従って、前記微動部を前記定盤上に固定された前
記移動部上でわずかに移動させて、被検査物の位置を調
整するときに、前記微動部がブレることを防ぐことがで
きる。特に、前記微動部を、０．１μｍの単位で微小移
動させることが必要になる場合でも正確な調整を行うこ
とができる。

【００６２】また本発明では、前記吸着手段を前記定盤
に吸着させて、前記移動部を確実に固定させることがで
きるので、前記移動部の移動方式（粗送り移送手段）
に、モータに結合された送りねじの回転によって、前記
送りレールに沿って移動させるという、安価に実現でき
る方式を採用した場合でも、前記移動部を確実に固定で
きる。

【００６３】また、本発明では、前記磁気ヘッド装置が
前記検査用ディスクに対向させられているときに、前記
可動アームを吸着固定することにより、前記可動アーム
を確実に固定できる。

【００６４】従って、前記磁気ヘッド装置の走査領域の
位置を調整するときに、正確な調整を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態として磁気ヘッド装置を被
検査物とする、被検査物の位置決め装置を示す背面図

【図２】図１の被検査物の位置決め装置の吸着プレート
周辺部の部分断面図

【図３】本発明の他の実施の形態の被検査物の位置決め
装置の吸着プレート周辺部の部分断面図

【図４】図１の被検査物の位置決め装置の微動部周辺の
側面図

【図５】図１の被検査物の位置決め装置の微動部周辺の
側面図

【図６】磁気ヘッド装置の斜視図

【図７】従来の被検査物の位置決め装置を示す平面図

【図８】図７の被検査物の位置決め装置の背面図

【図９】図７及び図８の被検査物の位置決め装置の微動
部周辺の側面図

【図１０】図７及び図８の被検査物の位置決め装置の微
動部周辺の側面図

【符号の説明】

４１ 定盤 ４２ 移動部 ４４ モータ ４６ 送りねじ ４７ 空圧アクチュエータ ４８ シャフト ４９、６１ 吸着プレート ５１ 板ばね部材 ５２ 圧縮ばね ５３ 微動部 ５５ 可動アーム ５６、５７ 真空ポンプ Ｈ 磁気ヘッド装置 Ｄ 検査用ディスク

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 定盤上で移動部の移動を案内する案内手
   段と、前記案内手段で案内される移動部を所定距離移動
   させる粗送り移送手段と、前記移動部上に設けられて被
   検査物を検査可能な位置まで微小距離移動させる微動部
   とが設けられた被検査物の位置決め装置において、 前記移動部には定盤を吸着する吸着手段が搭載されてお
   り、前記粗送り移送手段により前記移動部が所定距離移
   動させられた位置で前記吸着手段により定盤上で前記移
   動部が固定され、その後に前記微動部により被検査物が
   検査可能な位置に位置決めされることを特徴とする被検
   査物の位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記被検査物は、記録機能部及び再生機
   能部を有する磁気ヘッド装置であり、前記微動部により
   被検査物が微小距離送られて位置決めされたときに、前
   記記録機能部及び／または再生機能部が、検査用ディス
   クの所定位置に対向するように位置決めされる請求項１
   記載の被検査物の位置決め装置。
3. 【請求項３】 前記吸着手段は、前記移動部上で弾性部
   材を介して定盤方向へ昇降自在に支持された吸着プレー
   トと、前記吸着プレートを定盤から持ち上げる持ち上げ
   手段と、前記吸着プレートに対して前記定盤に吸着する
   ための負圧を設定する負圧設定手段と、を有している請
   求項１または２記載の被検査物の位置決め装置。
4. 【請求項４】 前記弾性部材は、前記移動部と前記吸着
   部材との間に設けられた板ばね部材であり、前記吸着プ
   レートが定盤に吸着された状態で、前記板ばね部材が前
   記定盤とほぼ平行になり、前記板ばねの板面方向の剛性
   により、吸着プレートと移動部とが前記案内手段による
   案内方向へ移動しないように位置決めされる請求項１な
   いし３のいずれかに記載の被検査物の位置決め装置。
5. 【請求項５】 被検査物である記録機能部及び再生機能
   部を有する磁気ヘッド装置を搭載して、前記磁気ヘッド
   装置を、前記記録機能部及び再生機能部が検査用ディス
   ク上に位置決めされる位置へ移送する移動部と、 前記移動部上に設けられて、前記磁気ヘッド装置を検査
   用ディスクに対向させ且つ検査用ディスクから退避させ
   る可動アームと、 前記磁気ヘッド装置が検査用ディスクに対向している状
   態で、前記可動アームを吸着固定する吸着手段と、 が設けられていることを特徴とする被検査物の位置決め
   装置。
6. 【請求項６】 前記移動部を定盤上で案内する案内手段
   と、前記案内手段で案内される移動部を所定距離移動さ
   せる粗送り移送手段と、前記移動部上で微小距離移動す
   る微動部とが設けられ、 前記可動アームが、前記微動部上に回動自在に支持さ
   れ、且つ前記吸着手段により、前記可動アームが前記微
   動部に吸着固定される請求項５記載の被検査物の位置決
   め装置。
7. 【請求項７】 前記移動部と微動部との間には圧電素子
   を使用したアクチュエータが設けられ、このアクチュエ
   ータにより移動部上で微動部が微小距離移動させられる
   請求項１ないし６のいずれかに記載の被検査物の位置決
   め装置。