JP2001042004A - 光バウンダリスキャン装置及びその方法 - Google Patents
光バウンダリスキャン装置及びその方法Info
- Publication number
- JP2001042004A JP2001042004A JP11215456A JP21545699A JP2001042004A JP 2001042004 A JP2001042004 A JP 2001042004A JP 11215456 A JP11215456 A JP 11215456A JP 21545699 A JP21545699 A JP 21545699A JP 2001042004 A JP2001042004 A JP 2001042004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- boundary scan
- cell
- signal
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 信号伝達手段が光である系においても量
産レベルでの導通検査が可能なバウンダリスキャン装置
を提供すること。 【解決手段】 光バウンダリ・スキャン・セル１８は、
試験データを格納し、更新するためのキャプチャーアン
ドアップデートレジスタ１３と、光信号を検出する光検
出器１７ａと、光信号の進路をキャプチャーアンドアッ
プデートレジスタ１３側と集積回路１側で切り換える光
スイッチ１６と、光信号を伝達するための光導波路１４
とを有する。
産レベルでの導通検査が可能なバウンダリスキャン装置
を提供すること。 【解決手段】 光バウンダリ・スキャン・セル１８は、
試験データを格納し、更新するためのキャプチャーアン
ドアップデートレジスタ１３と、光信号を検出する光検
出器１７ａと、光信号の進路をキャプチャーアンドアッ
プデートレジスタ１３側と集積回路１側で切り換える光
スイッチ１６と、光信号を伝達するための光導波路１４
とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光バウンダリスキ
ャン装置に関し、特に光信号の導通検査における光バウ
ンダリスキャン装置に関する。
ャン装置に関し、特に光信号の導通検査における光バウ
ンダリスキャン装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体パッケージなどを実装した実装基
板の検査には、ＩＣＴ（In Circuit Test）が行われて
いる。しかしながら、最近の高密度実装の傾向から、部
品の小型化、基板の高密度化が進んでおり、実装基板上
にテストパッドを配置することが難しくなってきてい
る。
板の検査には、ＩＣＴ（In Circuit Test）が行われて
いる。しかしながら、最近の高密度実装の傾向から、部
品の小型化、基板の高密度化が進んでおり、実装基板上
にテストパッドを配置することが難しくなってきてい
る。
【０００３】このような問題を解決するための方法とし
て、検査用制御信号を被検査体である実装基板に送って
導通状態を検査するバウンダリ・スキャン・テストがあ
る。バウンダリ・スキャン・テストのうち、ディジタル
回路の検査（ディジタル・バウンダリ・スキャン・テス
ト）に関してはＩＥＥＥ１１４９．１標準に詳しく記載
されている。
て、検査用制御信号を被検査体である実装基板に送って
導通状態を検査するバウンダリ・スキャン・テストがあ
る。バウンダリ・スキャン・テストのうち、ディジタル
回路の検査（ディジタル・バウンダリ・スキャン・テス
ト）に関してはＩＥＥＥ１１４９．１標準に詳しく記載
されている。
【０００４】また、近年の回路の高速化、信号伝送の高
密度化の要求から信号に光を用いることがとりあげられ
てきている。光信号技術の集積化、光デバイスによる回
路構造に伴って、量産レベルでの使用が可能な光信号用
の検査技術の開発が要求されている。
密度化の要求から信号に光を用いることがとりあげられ
てきている。光信号技術の集積化、光デバイスによる回
路構造に伴って、量産レベルでの使用が可能な光信号用
の検査技術の開発が要求されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】信号伝達手段が光であ
る回路基板などのような系においては、信号伝達線は、
例えばポリイミドのような光導波路となるため、ＩＣＴ
のような電気的な導通検査を行うことはできない。この
ため、量産レベルでの使用が可能な導通検査が難しい。
る回路基板などのような系においては、信号伝達線は、
例えばポリイミドのような光導波路となるため、ＩＣＴ
のような電気的な導通検査を行うことはできない。この
ため、量産レベルでの使用が可能な導通検査が難しい。
【０００６】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、信号伝達手段が光である系においても量産レベル
での導通検査が可能なバウンダリスキャン装置を提供す
ることを目的とする。
あり、信号伝達手段が光である系においても量産レベル
での導通検査が可能なバウンダリスキャン装置を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下の手段を講じた。本発明は、被検査体
に対する導通試験を行う光バウンダリスキャン装置であ
って、検査用制御信号を入力する入力セルと、前記入力
セル及び被検査体を経た前記検査用制御信号を出力する
出力セルと、前記入力セル及び前記出力セルの制御を行
う制御手段と、を具備し、前記入力セル及び／又は前記
出力セルへの前記検査用制御信号の入出力が光通信で行
われることを特徴とする光バウンダリスキャン装置を提
供する。
に、本発明は以下の手段を講じた。本発明は、被検査体
に対する導通試験を行う光バウンダリスキャン装置であ
って、検査用制御信号を入力する入力セルと、前記入力
セル及び被検査体を経た前記検査用制御信号を出力する
出力セルと、前記入力セル及び前記出力セルの制御を行
う制御手段と、を具備し、前記入力セル及び／又は前記
出力セルへの前記検査用制御信号の入出力が光通信で行
われることを特徴とする光バウンダリスキャン装置を提
供する。
【０００８】この構成によれば、信号伝達手段が光であ
る系においても量産レベルでの導通検査が可能になる。
る系においても量産レベルでの導通検査が可能になる。
【０００９】本発明の光バウンダリスキャン装置におい
ては、前記入力セルは、光スイッチ、光検出器、及びキ
ャプチャー・アンド・アップデート・レジスタを有する
光バウンダリ・スキャン・セルであることが好ましく、
前記出力セルは、光スイッチ、発光器、及びキャプチャ
ー・アンド・アップデート・レジスタを有する光バウン
ダリ・スキャン・セルであることが好ましい。
ては、前記入力セルは、光スイッチ、光検出器、及びキ
ャプチャー・アンド・アップデート・レジスタを有する
光バウンダリ・スキャン・セルであることが好ましく、
前記出力セルは、光スイッチ、発光器、及びキャプチャ
ー・アンド・アップデート・レジスタを有する光バウン
ダリ・スキャン・セルであることが好ましい。
【００１０】このようにセルが光スイッチを備えること
により、被検査体の動作とテストとを適宜切り替えるこ
とができる。
により、被検査体の動作とテストとを適宜切り替えるこ
とができる。
【００１１】また、本発明は、被検査体に対する導通試
験を行う光バウンダリスキャン方法であって、光スイッ
チ、光検出器、及びキャプチャー・アンド・アップデー
ト・レジスタを有する入力セルに検査用制御信号を光通
信により入力する工程と、前記検査用制御信号を光電変
換して電気信号として被検査体を経て、光スイッチ、発
光器、及びキャプチャー・アンド・アップデート・レジ
スタを有する出力セルに送る工程と、前記検査用制御信
号を光電変換して光信号として前記出力セルから出力す
る工程と、を具備することを特徴とする光バウンダリス
キャン方法を提供する。
験を行う光バウンダリスキャン方法であって、光スイッ
チ、光検出器、及びキャプチャー・アンド・アップデー
ト・レジスタを有する入力セルに検査用制御信号を光通
信により入力する工程と、前記検査用制御信号を光電変
換して電気信号として被検査体を経て、光スイッチ、発
光器、及びキャプチャー・アンド・アップデート・レジ
スタを有する出力セルに送る工程と、前記検査用制御信
号を光電変換して光信号として前記出力セルから出力す
る工程と、を具備することを特徴とする光バウンダリス
キャン方法を提供する。
【００１２】この方法によれば、信号伝達手段が光であ
る系においても量産レベルでの導通検査が可能となる。
る系においても量産レベルでの導通検査が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、ディ
ジタル・バウンダリ・スキャン装置の構成を示すブロッ
ク図である。このディジタル・バウンダリ・スキャン装
置においては、ディジタル・バウンダリ・スキャン・セ
ル２ａが入力信号ピン３と被検査体である集積回路１と
の間に配置されている入カセルであり、ディジタル・バ
ウンダリ・スキャン・セル２ｂが集積回路１と出力信号
ピン３との間に配置されている出カセルである。
て、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、ディ
ジタル・バウンダリ・スキャン装置の構成を示すブロッ
ク図である。このディジタル・バウンダリ・スキャン装
置においては、ディジタル・バウンダリ・スキャン・セ
ル２ａが入力信号ピン３と被検査体である集積回路１と
の間に配置されている入カセルであり、ディジタル・バ
ウンダリ・スキャン・セル２ｂが集積回路１と出力信号
ピン３との間に配置されている出カセルである。
【００１４】ディジタル・バウンダリ・スキャン・セル
２ａ，２ｂは、試験データのシフト、記憶、出力をつか
さどる、バウンダリ・スキャン・シフト・レジスタとパ
ラレル・ラッチ（いずれも図示せず）を有するキャプチ
ャー・アンド・アップデート・レジスタ１３と、集積回
路からの信号とキャプチャー・アンド・アップデート・
レジスタ１３からの信号とを切り替えるマルチプレクサ
ー（図示せず）とからなる。また、ディジタル・バウン
ダリ・スキャン・セル２ａ，２ｂには、それぞれ制御部
１０からの制御信号が入力される。
２ａ，２ｂは、試験データのシフト、記憶、出力をつか
さどる、バウンダリ・スキャン・シフト・レジスタとパ
ラレル・ラッチ（いずれも図示せず）を有するキャプチ
ャー・アンド・アップデート・レジスタ１３と、集積回
路からの信号とキャプチャー・アンド・アップデート・
レジスタ１３からの信号とを切り替えるマルチプレクサ
ー（図示せず）とからなる。また、ディジタル・バウン
ダリ・スキャン・セル２ａ，２ｂには、それぞれ制御部
１０からの制御信号が入力される。
【００１５】制御部１０は、テスト信号端子８で集積回
路１の外部からテスト制御信号が入力されるようになっ
ている。例えば、ＴＣＫ信号は入力セル２ａ、出力セル
２ｂ、ＴＡＰコントローラ４、及びインストラクション
レジスタ６に入力される。ＴＤＩ信号は、入力セル２ａ
及びインストラクションレジスタ６に入力される。ま
た、ＴＭＳ信号は、ＴＡＰコントローラ４に入力され
る。これらの信号は、デコードされてディジタル・バウ
ンダリ・スキャン・セル２ａ，２ｂに制御信号として送
られる。また、テスト信号端子８を介してデータの送受
信が行われる。これらの信号は全てディジタル信号であ
る。
路１の外部からテスト制御信号が入力されるようになっ
ている。例えば、ＴＣＫ信号は入力セル２ａ、出力セル
２ｂ、ＴＡＰコントローラ４、及びインストラクション
レジスタ６に入力される。ＴＤＩ信号は、入力セル２ａ
及びインストラクションレジスタ６に入力される。ま
た、ＴＭＳ信号は、ＴＡＰコントローラ４に入力され
る。これらの信号は、デコードされてディジタル・バウ
ンダリ・スキャン・セル２ａ，２ｂに制御信号として送
られる。また、テスト信号端子８を介してデータの送受
信が行われる。これらの信号は全てディジタル信号であ
る。
【００１６】具体的には、ＴＡＰコントローラ４は、Ｔ
ＭＳ信号により変化するステートをステート・デコーダ
５によってＳｈｉｆｔ−ＤＲのような制御信号に変換し
て、ディジタル・バウンダリ・スキャン・セル２ａ，２
ｂに入力する。
ＭＳ信号により変化するステートをステート・デコーダ
５によってＳｈｉｆｔ−ＤＲのような制御信号に変換し
て、ディジタル・バウンダリ・スキャン・セル２ａ，２
ｂに入力する。
【００１７】人間が与える命令は、インストラクション
・レジスタ６へ取り込まれて、インストラクション・デ
コーダ７でＥＸＴＥＳＴのような制御信号にデコードさ
れてディジタル・バウンダリ・スキャン・セル２ａ，２
ｂへ入力される。インストラクション・レジスタのデー
タはＴＤＯに排出される。このとき、データ・レジスタ
（バウンダリ・スキャン・セル２の列）からのデータ排
出と、ＴＤＯへのデータ排出との切り替えはマルチプレ
クサ９で行う。
・レジスタ６へ取り込まれて、インストラクション・デ
コーダ７でＥＸＴＥＳＴのような制御信号にデコードさ
れてディジタル・バウンダリ・スキャン・セル２ａ，２
ｂへ入力される。インストラクション・レジスタのデー
タはＴＤＯに排出される。このとき、データ・レジスタ
（バウンダリ・スキャン・セル２の列）からのデータ排
出と、ＴＤＯへのデータ排出との切り替えはマルチプレ
クサ９で行う。
【００１８】本発明の光バウンダリスキャン装置は、光
デバイスの信号入出力部にバウンダリ・スキャン・セル
を配置して、デバイスに対しての入出力信号を光とし、
内部が電気的な集積回路である光デバイスに対して、バ
ウンダリ・スキャン・テストを行い、信号の導通検査を
行うものである。
デバイスの信号入出力部にバウンダリ・スキャン・セル
を配置して、デバイスに対しての入出力信号を光とし、
内部が電気的な集積回路である光デバイスに対して、バ
ウンダリ・スキャン・テストを行い、信号の導通検査を
行うものである。
【００１９】したがって、光デバイスの信号入力部には
光検出器を設置し、信号出力部には発光器を設置してい
る。各信号入出力部には、それぞれキャプチャー・アン
ド・アップデート・レジスタを設け、光検出器、発光器
と対応させている。この装置において、バウンダリ・ス
キャン・テストを行う時には、光検出器、発光器によ
り、電気・光の信号変換を行った信号を用いて、光デバ
イスを含めたバウンダリ・スキャン回路で行なう。
光検出器を設置し、信号出力部には発光器を設置してい
る。各信号入出力部には、それぞれキャプチャー・アン
ド・アップデート・レジスタを設け、光検出器、発光器
と対応させている。この装置において、バウンダリ・ス
キャン・テストを行う時には、光検出器、発光器によ
り、電気・光の信号変換を行った信号を用いて、光デバ
イスを含めたバウンダリ・スキャン回路で行なう。
【００２０】図２は、本発明の一実施の形態に係る光バ
ウンダリスキャン装置の一部を示すブロック図である。
ここでは、入力セル部分について説明する。この光バウ
ンダリスキャン装置の入力セルは、光バウンダリ・スキ
ャン・セル１８で構成されている。
ウンダリスキャン装置の一部を示すブロック図である。
ここでは、入力セル部分について説明する。この光バウ
ンダリスキャン装置の入力セルは、光バウンダリ・スキ
ャン・セル１８で構成されている。
【００２１】この光バウンダリ・スキャン・セル１８
は、試験データを格納し、更新するためのキャプチャー
アンドアップデートレジスタ１３と、光信号を検出する
光検出器１７ａと、光信号の進路をキャプチャーアンド
アップデートレジスタ１３側と集積回路１側で切り換え
る光スイッチ１６と、光信号を伝達するための光導波路
１４とを有する。
は、試験データを格納し、更新するためのキャプチャー
アンドアップデートレジスタ１３と、光信号を検出する
光検出器１７ａと、光信号の進路をキャプチャーアンド
アップデートレジスタ１３側と集積回路１側で切り換え
る光スイッチ１６と、光信号を伝達するための光導波路
１４とを有する。
【００２２】ここでは、テスト状態であることを指示す
るテスト制御信号ＥＸＴＥＳＴにより、光バウンダリ・
スキャン回路が動作する構成になっている。なお、図２
に示す構成において、光端子１５と集積回路１が光導波
路１４により接続されているが、光信号の伝達が目的で
あるので、両者が近接して信号が伝達できるのであれば
光導波路１４は必ずしも必要ではない。光端子１５は、
集積回路１の信号入出力部で、パッケージでの信号ピン
に当たる部分である。
るテスト制御信号ＥＸＴＥＳＴにより、光バウンダリ・
スキャン回路が動作する構成になっている。なお、図２
に示す構成において、光端子１５と集積回路１が光導波
路１４により接続されているが、光信号の伝達が目的で
あるので、両者が近接して信号が伝達できるのであれば
光導波路１４は必ずしも必要ではない。光端子１５は、
集積回路１の信号入出力部で、パッケージでの信号ピン
に当たる部分である。
【００２３】このような構成の光バウンダリスキャン装
置においては、光端子１５から入力される光信号は、光
スイッチ１６によって光検出器１７ａに導かれる。光ス
イッチ１６は、テスト制御信号ＥＸＴＥＳＴによって、
集積回路動作時とテスト時とで信号の向きを切り換える
装置であり、ちょうどディジタル・バウンダリ・スキャ
ン・セルにおけるマルチプレクサーの機能を実現する。
置においては、光端子１５から入力される光信号は、光
スイッチ１６によって光検出器１７ａに導かれる。光ス
イッチ１６は、テスト制御信号ＥＸＴＥＳＴによって、
集積回路動作時とテスト時とで信号の向きを切り換える
装置であり、ちょうどディジタル・バウンダリ・スキャ
ン・セルにおけるマルチプレクサーの機能を実現する。
【００２４】光スイッチ１６は、キャプチャー・アンド
・アップデート・レジスタ１３に信号を導くのが目的で
あり、半透過反射板などによる分光器で構成しても良
い。光検出器１７ａによって電気信号に変換された信号
は、キャプチャー・アンド・アップデート・レジスタ１
３に入力される。入力された信号について、ＩＥＥＥ１
１４９．１標準に準ずるバウンダリ・スキャン・テスト
を行うことによって、導通試験が可能になる。また、Ｉ
ＥＥＥ１１４９．１標準に準拠しないバウンダリ・スキ
ャン・テストについても応用が可能である。
・アップデート・レジスタ１３に信号を導くのが目的で
あり、半透過反射板などによる分光器で構成しても良
い。光検出器１７ａによって電気信号に変換された信号
は、キャプチャー・アンド・アップデート・レジスタ１
３に入力される。入力された信号について、ＩＥＥＥ１
１４９．１標準に準ずるバウンダリ・スキャン・テスト
を行うことによって、導通試験が可能になる。また、Ｉ
ＥＥＥ１１４９．１標準に準拠しないバウンダリ・スキ
ャン・テストについても応用が可能である。
【００２５】なお、出力セルについては、図２に示す光
バウンダリ・スキャン・セル１８において光検出器１７
ａの代わりに発光器を設けることで実現することができ
る。また、光検出器１７ａ及び発光器は、光電変換処理
を行うので、光検出器１７ａ及び発光器とキャプチャー
アンドアップデートレジスタ１３との間の伝送は電気信
号で行われる。
バウンダリ・スキャン・セル１８において光検出器１７
ａの代わりに発光器を設けることで実現することができ
る。また、光検出器１７ａ及び発光器は、光電変換処理
を行うので、光検出器１７ａ及び発光器とキャプチャー
アンドアップデートレジスタ１３との間の伝送は電気信
号で行われる。
【００２６】出力セルにおいては、集積回路１から光端
子１５への光信号の代わりにキャプチャー・アンド・ア
ップデート・レジスタ１３の電気信号を発光器で光信号
に変換して光端子１５から出力する。
子１５への光信号の代わりにキャプチャー・アンド・ア
ップデート・レジスタ１３の電気信号を発光器で光信号
に変換して光端子１５から出力する。
【００２７】このように本実施の形態に係る光バウンダ
リスキャン装置によれば、信号伝達手段が光である系に
おいても量産レベルでの導通検査が可能になる。
リスキャン装置によれば、信号伝達手段が光である系に
おいても量産レベルでの導通検査が可能になる。
【００２８】図３は、本発明に係る光バウンダリスキャ
ン装置における入力セルの他の例の構成を示すブロック
図である。この光バウンダリスキャン装置においては、
集積回路１がもともと電気回路であり、光端子１５とデ
バイス間の信号伝達のみに光信号を用いている。この装
置では、光検出器（あるいは発光器）１７ａを集積回路
が持つ光検出器（あるいは発光器）１７ｂと兼用するこ
とができ、光スイッチ１６を不要とすることができる。
また、この場合には、セル自体には光導波路１４がな
く、光検出器（あるいは発光器）１７が光端子１５を兼
ねることができる。
ン装置における入力セルの他の例の構成を示すブロック
図である。この光バウンダリスキャン装置においては、
集積回路１がもともと電気回路であり、光端子１５とデ
バイス間の信号伝達のみに光信号を用いている。この装
置では、光検出器（あるいは発光器）１７ａを集積回路
が持つ光検出器（あるいは発光器）１７ｂと兼用するこ
とができ、光スイッチ１６を不要とすることができる。
また、この場合には、セル自体には光導波路１４がな
く、光検出器（あるいは発光器）１７が光端子１５を兼
ねることができる。
【００２９】図２及び図３においては、いずれも導通試
験を行う入出力部が１つの場合について図示している
が、一つの集積回路１に対して複数の入出力部とバウン
ダリ・スキャン・セルを配置しても良い。
験を行う入出力部が１つの場合について図示している
が、一つの集積回路１に対して複数の入出力部とバウン
ダリ・スキャン・セルを配置しても良い。
【００３０】本発明は、上記実施の形態に限定されず種
々変更して実施することが可能である。例えば、制御信
号の種類や回路構成などは上記実施の形態に制限されな
い。
々変更して実施することが可能である。例えば、制御信
号の種類や回路構成などは上記実施の形態に制限されな
い。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明の光バウンダ
リスキャン装置及びその方法は、量産レベルで光回路を
作成する場合においても、簡単な光導波路の導通試験を
可能にすることができる。
リスキャン装置及びその方法は、量産レベルで光回路を
作成する場合においても、簡単な光導波路の導通試験を
可能にすることができる。
【００３２】また、バウンダリ・スキャンの回路はＩＥ
ＥＥ１１４９．１標準として知られており、回路設計ツ
ールも多く発表されているので、回路設計が容易であ
り、設計期間の短縮を図ることができる。
ＥＥ１１４９．１標準として知られており、回路設計ツ
ールも多く発表されているので、回路設計が容易であ
り、設計期間の短縮を図ることができる。
【００３３】さらに、現状のバウンダリ・スキャンと同
じ方式を用いることで従来のインフラが使用可能であ
り、テスト・パターン発生や、テスト結果解析は従来の
設備で可能である。これにより、新規投資の必要がな
く、コスト面で有利となる。
じ方式を用いることで従来のインフラが使用可能であ
り、テスト・パターン発生や、テスト結果解析は従来の
設備で可能である。これにより、新規投資の必要がな
く、コスト面で有利となる。
【図１】ディジタル・バウンダリ・スキャン装置を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】本発明に係る光バウンダリスキャン装置におけ
る入力セルの一例の構成を示すブロック図である。
る入力セルの一例の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明に係る光バウンダリスキャン装置におけ
る入力セルの他の例の構成を示すブロック図である。
る入力セルの他の例の構成を示すブロック図である。
１…集積回路、２ａ…入力セル、２ｂ…出力セル、３…
信号ピン、４…ＴＡＰコントローラ、５…ステート・デ
コーダ、６…インストラクション・レジスタ、７…イン
ストラクション・デコーダ、８…テスト信号端子、９，
１２…マルチプレクサ、１０…制御部、１１…テスト信
号外部端子、１３…キャプチャー・アンド・アップデー
ト・レジスタ、１４…光導波路、１５…光端子、１６…
光スイッチ、１７…光検出器、１８…光バウンダリ・ス
キャン・セル。
信号ピン、４…ＴＡＰコントローラ、５…ステート・デ
コーダ、６…インストラクション・レジスタ、７…イン
ストラクション・デコーダ、８…テスト信号端子、９，
１２…マルチプレクサ、１０…制御部、１１…テスト信
号外部端子、１３…キャプチャー・アンド・アップデー
ト・レジスタ、１４…光導波路、１５…光端子、１６…
光スイッチ、１７…光検出器、１８…光バウンダリ・ス
キャン・セル。
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査体に対する導通試験を行う光バウ
ンダリスキャン装置であって、 検査用制御信号を入力する入力セルと、 前記入力セル及び被検査体を経た前記検査用制御信号を
出力する出力セルと、 前記入力セル及び前記出力セルの制御を行う制御手段
と、を具備し、 前記入力セル及び／又は前記出力セルへの前記検査用制
御信号の入出力が光通信で行われることを特徴とする光
バウンダリスキャン装置。 - 【請求項２】 前記入力セルは、光スイッチ、光検出
器、及びキャプチャー・アンド・アップデート・レジス
タを有する光バウンダリ・スキャン・セルであることを
特徴とする請求項１記載の光バウンダリスキャン装置。 - 【請求項３】 前記出力セルは、光スイッチ、発光器、
及びキャプチャー・アンド・アップデート・レジスタを
有する光バウンダリ・スキャン・セルであることを特徴
とする請求項１記載の光バウンダリスキャン装置。 - 【請求項４】 被検査体に対する導通試験を行う光バウ
ンダリスキャン方法であって、 光スイッチ、光検出器、及びキャプチャー・アンド・ア
ップデート・レジスタを有する入力セルに検査用制御信
号を光通信により入力する工程と、 前記検査用制御信号を光電変換して電気信号として被検
査体を経て、光スイッチ、発光器、及びキャプチャー・
アンド・アップデート・レジスタを有する出力セルに送
る工程と、 前記検査用制御信号を光電変換して光信号として前記出
力セルから出力する工程と、を具備することを特徴とす
る光バウンダリスキャン方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11215456A JP2001042004A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 光バウンダリスキャン装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11215456A JP2001042004A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 光バウンダリスキャン装置及びその方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001042004A true JP2001042004A (ja) | 2001-02-16 |
Family
ID=16672680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11215456A Abandoned JP2001042004A (ja) | 1999-07-29 | 1999-07-29 | 光バウンダリスキャン装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001042004A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008116420A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-22 | Yokogawa Electric Corp | 試験用モジュール |
| JP2011242208A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Advantest Corp | 試験装置及び試験方法 |
-
1999
- 1999-07-29 JP JP11215456A patent/JP2001042004A/ja not_active Abandoned
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008116420A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-22 | Yokogawa Electric Corp | 試験用モジュール |
| JP2011242208A (ja) * | 2010-05-17 | 2011-12-01 | Advantest Corp | 試験装置及び試験方法 |
| US8907696B2 (en) | 2010-05-17 | 2014-12-09 | Advantest Corporation | Test apparatus having optical interface and test method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3685498B2 (ja) | プログラム可能高密度電子工学試験装置 | |
| CN113721131A (zh) | 输入测试电路及芯片 | |
| US8593166B2 (en) | Semiconductor wafer, semiconductor circuit, substrate for testing and test system | |
| KR20020078884A (ko) | 반도체 메모리의 테스트용 핀을 통한 내부정보 선택적출력방법 및 그에 따른 출력회로 | |
| US5786703A (en) | Method and device for testing of an integrated circuit | |
| JP2001042004A (ja) | 光バウンダリスキャン装置及びその方法 | |
| KR20030075160A (ko) | 입출력 도통 테스트 모드 회로 | |
| US20170192056A1 (en) | Multi-chassis test device and test signal transmission apparatus of the same | |
| JP2004069650A (ja) | 変換装置 | |
| US6865703B2 (en) | Scan test system for semiconductor device | |
| KR20000011768A (ko) | 자기테스트장치를갖춘집적회로 | |
| US20080284454A1 (en) | Test interface with a mixed signal processing device | |
| JPH11258304A (ja) | システムロジックのテスト回路およびテスト方法 | |
| KR20080061735A (ko) | 피시험 장치, 이를 테스트 하기 위한 시스템 및 방법 | |
| JP2008116420A (ja) | 試験用モジュール | |
| JP2007114163A (ja) | マルチチップパッケージｌｓｉ | |
| US6915495B2 (en) | Process and system for management of test access port (TAP) functions | |
| JP3487810B2 (ja) | バウンダリスキャン回路およびその方法 | |
| JP2000284023A (ja) | 半導体装置のバウンダリスキャン検査装置 | |
| JP2000258504A (ja) | 半導体装置検査回路 | |
| KR200221586Y1 (ko) | 전자장비 점검장치 | |
| KR19980061585A (ko) | 기판 점검장치 | |
| JP4066265B2 (ja) | 半導体試験装置のコンタクトリング | |
| JP4234826B2 (ja) | 半導体集積回路の評価方法 | |
| KR20040057495A (ko) | 테스트 보드 시스템 및 입출력 신호선 분할을 통한 범프형식의 ｊｔａｇ 테스트 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060208 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060221 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20070629 |