JP2008116420A - 試験用モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】DUT20の送信部TX22から出力された電気信号は試験用モジュール10の変換部11で光信号に変換されて光スイッチ12に入力される。光信号をループバックして受信部RX23に入力する場合には、光スイッチ12がその伝送先を変換部14に通じる光伝送経路15に切り換える。一方、外部測定器等でDUT20の評価を行う場合には、光スイッチ12がその伝送方向を外部出力経路13に切り換えるので、外部測定器により評価が行われる。
【選択図】図3
Description
以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図1は一実施形態の試験用モジュール10が適用された試験装置(LSIテスタ)のテストヘッド100を示す説明図である。図1は、LSIテスタにおいて被試験対象(以下、DUTと称する。)に対して動作確認等の試験や計測を行うテストヘッド100を上から見た説明図である。また図2は、テストヘッド100の断面を示す説明図である。なお、ここではLSIテスタが試験を行う対象として最初に電子デバイスを例に挙げているが、本実施の形態では光信号を出力する光デバイスを含めたものを広く被試験対象のLSIとして試験することができる。
上述の一実施形態では、変換部11により変換された光信号の伝送先を光スイッチ12で外部出力経路13又は変換部14に切り換えていたが、例えばハーフミラー等を用いることにより光信号の一部を透過させ、残る一部を反射させて2方向に分岐し、伝送方向を選択的に切り換えることなく外部出力経路13と変換部14に同時に分岐して伝送してもよい。
11 変換部(第1の変換手段)
12 光スイッチ
14 変換部(第2の変換手段)
15 光伝送経路
20 被試験対象
30 ソケット
40 パフォーマンスボード
50 ポゴピン
60 カード
100 テストヘッド
Claims (4)
- 被試験対象の出力部から取り出された信号を光信号の形態で伝送する光伝送経路と、
前記光伝送経路により伝送される光信号をその外部に向けて出力させるか、もしくは被試験対象の入力部に向けて帰還させるかのいずれかに切り換える光スイッチとを備えたことを特徴とする試験用モジュール。 - 被試験対象の出力部から取り出された信号を光信号の形態で伝送する光伝送経路と、
前記光伝送経路により伝送される光信号を複数方向に分岐して、そのうち一方向に分岐された光信号を前記光伝送経路の外部に向けて出力可能とし、他の一方向に分岐された光信号を被試験対象の入力部に向けて帰還させる分岐手段とを備えたことを特徴とする試験用モジュール。 - 被試験対象の出力部から出力された電気信号を光信号に変換する第1の変換手段と、
前記第1の変換手段により変換された光信号を伝送する光伝送経路と、
前記光伝送経路により伝送される光信号をその外部に向けて出力させるか、もしくは被試験対象の入力部に向けて帰還させるかのいずれかに切り換える光スイッチと、
前記光スイッチにより前記入力部に向けて帰還される光信号を電気信号に変換する第2の変換手段とを備えたことを特徴とする試験用モジュール。 - 被試験対象の出力部から出力された電気信号を光信号に変換する第1の変換手段と、
前記第1の変換手段により変換された光信号を伝送する光伝送経路と、
前記光伝送経路により伝送される光信号を複数方向に分岐して、そのうち一方向に分岐された光信号を前記光伝送経路の外部に向けて出力可能とし、他の一方向に分岐された光信号を被試験対象の入力部に向けて帰還させる分岐手段と、
前記分岐手段により前記入力部に向けて帰還される光信号を電気信号に変換する第2の変換手段とを備えたことを特徴とする試験用モジュール。
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JP2006302438A JP2008116420A (ja) | 2006-11-08 | 2006-11-08 | 試験用モジュール |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
- 2006-11-08 JP JP2006302438A patent/JP2008116420A/ja active Pending
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