JP2001035893A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路パターンが形成された基板に光（レーザ光を含む）あるいは荷電粒子線を照射する照射手段と、照射によって前記基板から発生する信号を検出する検出手段と、基板のＸ軸およびＹ軸によって区割される領域について前記検出手段により検出された信号を画像化のために記憶する記憶手段と、記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域の画像と比較する比較手段と、および比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する判別手段を備えた回路パターンの検査装置において、
記憶された画像を表示するための画面部を有し、
該画面部の画面上方に検査項目名と検査項目についてのガイダンスを形成する検査項目画面が表示され、画面下方に画面についてのメニューを切り替える指示情報を形成するメニュー切替え画面が表示され、画面側方に検査の開始を指示する検査開始画面が表示され、画面中央部に前記領域を基板上のチップに配列対応させて区画し、チップに対応して検査領域として指定する検査領域指定画面および指定された検査領域についての検査結果を形成する検査結果画面を表示すること
を特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記検査領域指定画面は、一つのチップの全体領域であることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記検査領域指定画面は、一つのチップの一部領域であることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記検査領域指定画面は、ウエハの一部分領域であることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項５】
請求項１において、
前記画面部には、検査方法または検査条件を入力するための検査条件入力画面が形成されることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項６】
請求項５において、
検査条件入力画面には、検査を行う入力がなされた基板であるウエハの枚数と検査中のウエハの枚数が表示されることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項７】
請求項１において、
前記画面部には、カセットの位置情報を示すカセット情報画面が表示されることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項８】
請求項１において、
前記検査結果画面には、光学顕微鏡の映像または電子顕微鏡の映像が切り替えられていずれか一方が表示されることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項９】
請求項８において、
電子顕微鏡の映像は、ＳＥＭ低倍またはＳＥＭ高倍のいずれかの映像であることを特徴とする回路パターンの検査装置。
【請求項１０】
請求項１において、
Ｘ軸およびＹ軸によって区割された領域は、検査領域指定画面上において、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に区割番号が付与され、当該区割番号による指定により検査領域が指定されることを特徴とする回路パターンの検査装置。
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