JP2001031473A - 黒鉛ヒーター - Google Patents
黒鉛ヒーターInfo
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- JP2001031473A JP2001031473A JP11205654A JP20565499A JP2001031473A JP 2001031473 A JP2001031473 A JP 2001031473A JP 11205654 A JP11205654 A JP 11205654A JP 20565499 A JP20565499 A JP 20565499A JP 2001031473 A JP2001031473 A JP 2001031473A
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- JP
- Japan
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- specific resistance
- graphite heater
- heater
- graphite
- graphite material
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- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の電源や加熱炉の設備をそのまま使用で
き、長寿命で高固有抵抗の加熱炉用の黒鉛ヒーターを提
供する。 【解決手段】 室温における固有抵抗を１７μΩ・ｍ以
上、１８７３Ｋにおける固有抵抗を１２μΩ・ｍ以上と
する。そして、嵩密度が１．７ｇ／ｃｍ3 以上、平均気
孔半径が１．５μｍ以下、全灰分量が２０ｐｐｍ以下、
且つ空気中、９７３Ｋ、２．５時間における酸化消耗率
が１２〜１９ｍａｓｓ％の等方性黒鉛とする。
き、長寿命で高固有抵抗の加熱炉用の黒鉛ヒーターを提
供する。 【解決手段】 室温における固有抵抗を１７μΩ・ｍ以
上、１８７３Ｋにおける固有抵抗を１２μΩ・ｍ以上と
する。そして、嵩密度が１．７ｇ／ｃｍ3 以上、平均気
孔半径が１．５μｍ以下、全灰分量が２０ｐｐｍ以下、
且つ空気中、９７３Ｋ、２．５時間における酸化消耗率
が１２〜１９ｍａｓｓ％の等方性黒鉛とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加熱炉に用いられ
る黒鉛ヒーターに関する。
る黒鉛ヒーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、加熱雰囲気炉の抵抗ヒーター
には黒鉛材料が広く採用されている。最近になり、処理
品の大型化に伴い、加熱炉も大型化している。そして、
省エネルギー対策等により、熱効率が良く、耐用寿命の
長い、高抵抗の黒鉛ヒーターが求められるようになって
いる。
には黒鉛材料が広く採用されている。最近になり、処理
品の大型化に伴い、加熱炉も大型化している。そして、
省エネルギー対策等により、熱効率が良く、耐用寿命の
長い、高抵抗の黒鉛ヒーターが求められるようになって
いる。
【０００３】しかしながら、従来の黒鉛ヒーターは、１
８７３Ｋの高温での固有抵抗が高いものでも１１μΩ・
ｍであった。そのため、従来の加熱炉に使用されていた
供給電力量をそのままにして、高温での加熱効率を良く
するために、肉厚を薄くし、スリット数を増やす等の設
計が行われ、高温における抵抗の低さを補っていた。と
ころが、加熱炉の大型化に伴うヒーターの大型化によ
り、このような設計によるヒーターは、設置の際などの
操作性が非常に悪くなる。また、雰囲気にも影響を受け
やすくなり、酸化、ケイ化等により、ヒーターの損耗が
早くなり、ヒーターの交換周期が非常に短くなるといっ
た問題があった。
８７３Ｋの高温での固有抵抗が高いものでも１１μΩ・
ｍであった。そのため、従来の加熱炉に使用されていた
供給電力量をそのままにして、高温での加熱効率を良く
するために、肉厚を薄くし、スリット数を増やす等の設
計が行われ、高温における抵抗の低さを補っていた。と
ころが、加熱炉の大型化に伴うヒーターの大型化によ
り、このような設計によるヒーターは、設置の際などの
操作性が非常に悪くなる。また、雰囲気にも影響を受け
やすくなり、酸化、ケイ化等により、ヒーターの損耗が
早くなり、ヒーターの交換周期が非常に短くなるといっ
た問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は従来
の電源や加熱炉の設備をそのまま使用でき、長寿命で高
固有抵抗の加熱炉用の黒鉛ヒーターを提供することを目
的とする。
の電源や加熱炉の設備をそのまま使用でき、長寿命で高
固有抵抗の加熱炉用の黒鉛ヒーターを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の高固有抵抗黒鉛材料は、室温での固有抵抗が
１７μΩ・ｍ以上、好ましくは１８μΩ・ｍ以上、更に
好ましくは１９μΩ・ｍ以上、１８７３Ｋでの固有抵抗
が１２μΩ・ｍ以上、好ましくは１３μΩ・ｍ以上、更
に好ましくは１４μΩ・ｍ以上であることを特徴とす
る。固有抵抗が高く、高温での固有抵抗の減衰率が小さ
いため、ヒーターの断面積を大きくすることが可能とな
る。これによって、従来の設備で急速な昇温が可能とな
るヒーターの設計が容易に行えるようになる。また、大
型材の製作が可能となるため内径２４インチ以上のヒー
ターとすることも可能となる。
の本発明の高固有抵抗黒鉛材料は、室温での固有抵抗が
１７μΩ・ｍ以上、好ましくは１８μΩ・ｍ以上、更に
好ましくは１９μΩ・ｍ以上、１８７３Ｋでの固有抵抗
が１２μΩ・ｍ以上、好ましくは１３μΩ・ｍ以上、更
に好ましくは１４μΩ・ｍ以上であることを特徴とす
る。固有抵抗が高く、高温での固有抵抗の減衰率が小さ
いため、ヒーターの断面積を大きくすることが可能とな
る。これによって、従来の設備で急速な昇温が可能とな
るヒーターの設計が容易に行えるようになる。また、大
型材の製作が可能となるため内径２４インチ以上のヒー
ターとすることも可能となる。
【０００６】また、その特性として、空気中、９７３
Ｋ、２．５時間における酸化消耗率が１２〜１９ｍａｓ
ｓ％であることを特徴とする。また、嵩密度が１．７ｇ
／ｃｍ 3 以上、平均気孔半径が１．５μｍ以下、全灰分
量が２０ｐｐｍ以下、熱膨張係数の異方比が１．１以下
であることを特徴とする。
Ｋ、２．５時間における酸化消耗率が１２〜１９ｍａｓ
ｓ％であることを特徴とする。また、嵩密度が１．７ｇ
／ｃｍ 3 以上、平均気孔半径が１．５μｍ以下、全灰分
量が２０ｐｐｍ以下、熱膨張係数の異方比が１．１以下
であることを特徴とする。
【０００７】一般に、黒鉛材の酸化は温度が９７３Ｋ前
後では、殆どが表面でのみ進行し、表面の気孔径やその
分布等の気孔の形態に依存するといわれている。即ち比
表面積が大きいほど酸化消耗率が大きくなると考えられ
る。本発明にかかる黒鉛材料は、従来の黒鉛材料と嵩密
度、平均気孔半径が同等であることから、従来のものと
比較すると、その表面の比表面積が小さくなっているも
のと考えられる。したがって、酸素以外の他のガスとの
反応性においても、表面の比表面積が小さいことから、
反応性が低くなるものと考えられ、加熱雰囲気炉のヒー
ターとしては勿論であるが、単結晶引き上げ装置（以
下、ＣＺ装置という）等に使用した場合においても、ケ
イ化速度が小さくなると推測され、ＣＺ装置用のヒータ
ーとしても適用が可能となる。
後では、殆どが表面でのみ進行し、表面の気孔径やその
分布等の気孔の形態に依存するといわれている。即ち比
表面積が大きいほど酸化消耗率が大きくなると考えられ
る。本発明にかかる黒鉛材料は、従来の黒鉛材料と嵩密
度、平均気孔半径が同等であることから、従来のものと
比較すると、その表面の比表面積が小さくなっているも
のと考えられる。したがって、酸素以外の他のガスとの
反応性においても、表面の比表面積が小さいことから、
反応性が低くなるものと考えられ、加熱雰囲気炉のヒー
ターとしては勿論であるが、単結晶引き上げ装置（以
下、ＣＺ装置という）等に使用した場合においても、ケ
イ化速度が小さくなると推測され、ＣＺ装置用のヒータ
ーとしても適用が可能となる。
【０００８】また、本発明では熱膨張係数の異方比が
１．１以下の黒鉛材料が好ましい。さらには、熱膨張係
数の異方比が１．０５以下の黒鉛材料が好ましい。例え
ば黒鉛ルツボについてみると、石英ルツボを均一に加熱
できるのでＳｉ融液の加熱ムラがない。したがって、Ｓ
ｉ単結晶の品質の向上に寄与できる。本発明では、等方
的に加圧成形を行った等方性黒鉛材料を使用することが
強度面から見てもさらに好ましい。異方比は、２９３Ｋ
〜６７３ＫまでのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の熱膨張係数を
測定し、最も大きい値と最も小さな値の比をいうものと
する。
１．１以下の黒鉛材料が好ましい。さらには、熱膨張係
数の異方比が１．０５以下の黒鉛材料が好ましい。例え
ば黒鉛ルツボについてみると、石英ルツボを均一に加熱
できるのでＳｉ融液の加熱ムラがない。したがって、Ｓ
ｉ単結晶の品質の向上に寄与できる。本発明では、等方
的に加圧成形を行った等方性黒鉛材料を使用することが
強度面から見てもさらに好ましい。異方比は、２９３Ｋ
〜６７３ＫまでのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の熱膨張係数を
測定し、最も大きい値と最も小さな値の比をいうものと
する。
【０００９】また、黒鉛材料のかさ密度は、１．７０ｇ
／ｃｍ3 以上とすることが好ましい。黒鉛材料の酸化消
耗はかさ密度と相関関係があり、気孔が大きい程、酸化
消耗速度が速くなる。かさ密度を１．７０ｇ／ｃｍ3 以
上にすると、気孔が小さくなり酸化を抑制することがで
きる。また、平均気孔半径を１．５μｍ以下、好ましく
は１．３μｍ以下とすることが好ましい。１．５μｍ以
下とすることで、酸化を抑制することができる。なお、
平均気孔半径は、水銀圧入法による測定値（水銀と試料
との接触角１４１．３°、最大圧力１０２ＭＰａのとき
の累積気孔容積の半分の値）を採用した。
／ｃｍ3 以上とすることが好ましい。黒鉛材料の酸化消
耗はかさ密度と相関関係があり、気孔が大きい程、酸化
消耗速度が速くなる。かさ密度を１．７０ｇ／ｃｍ3 以
上にすると、気孔が小さくなり酸化を抑制することがで
きる。また、平均気孔半径を１．５μｍ以下、好ましく
は１．３μｍ以下とすることが好ましい。１．５μｍ以
下とすることで、酸化を抑制することができる。なお、
平均気孔半径は、水銀圧入法による測定値（水銀と試料
との接触角１４１．３°、最大圧力１０２ＭＰａのとき
の累積気孔容積の半分の値）を採用した。
【００１０】さらに、前記黒鉛材料は、高純度化工程を
経て不純物が少なくなったものが好ましい。具体的に
は、灰化法による全灰分量が２０ｐｐｍ以下が好まし
く、更に５ｐｐｍ以下が好ましい。
経て不純物が少なくなったものが好ましい。具体的に
は、灰化法による全灰分量が２０ｐｐｍ以下が好まし
く、更に５ｐｐｍ以下が好ましい。
【００１１】上述した本発明にかかる黒鉛材料は、石油
コークス等のフィラー（骨材）と、ピッチ等のバインダ
ー（結合材）とを混合し、これを所定の形状に成形した
のち、熱処理によってバインダーを炭素化固結させて形
成される。この黒鉛材料の固有抵抗、高温における固有
抵抗減衰率は、骨材の電気的性質及び物理的性質につい
て適切なものを選定することにより所定の固有抵抗とす
ることができる。また、骨材と結合材の配合比を適宜選
定することで、耐酸化消耗率を向上させることができ
る。
コークス等のフィラー（骨材）と、ピッチ等のバインダ
ー（結合材）とを混合し、これを所定の形状に成形した
のち、熱処理によってバインダーを炭素化固結させて形
成される。この黒鉛材料の固有抵抗、高温における固有
抵抗減衰率は、骨材の電気的性質及び物理的性質につい
て適切なものを選定することにより所定の固有抵抗とす
ることができる。また、骨材と結合材の配合比を適宜選
定することで、耐酸化消耗率を向上させることができ
る。
【００１２】なお、本発明でいう固有抵抗、高温におけ
る固有抵抗減衰率、酸化消耗率等の測定方法及び条件を
以下に記載する。
る固有抵抗減衰率、酸化消耗率等の測定方法及び条件を
以下に記載する。
【００１３】固有抵抗は、室温から１８７３Ｋまでの温
度範囲において、高温固有抵抗測定装置によって、測定
した。
度範囲において、高温固有抵抗測定装置によって、測定
した。
【００１４】固有抵抗減衰率は、各温度における固有抵
抗を、室温における固有抵抗で除した値を固有抵抗減衰
率とした。
抗を、室温における固有抵抗で除した値を固有抵抗減衰
率とした。
【００１５】酸化消耗率は、空気中で、試料を９７３Ｋ
に加熱して、２．５時間保持して、その処理前後の重量
変化を測定し、処理前の重量を処理後の重量で除した値
を酸化消耗率とした。
に加熱して、２．５時間保持して、その処理前後の重量
変化を測定し、処理前の重量を処理後の重量で除した値
を酸化消耗率とした。
【００１６】平均気孔半径は、水銀圧入法により、水銀
と試料との接触角１４１．３°、最大圧力１０２ＭＰａ
のときの累積気孔容積の半分の値を採用した。
と試料との接触角１４１．３°、最大圧力１０２ＭＰａ
のときの累積気孔容積の半分の値を採用した。
【００１７】熱膨張係数については、理学電機株式会社
製の熱機械分析装置（ＴＭＡ８３１０）で２９３Ｋ〜６
７３Ｋまでの熱膨張係数を求めた。
製の熱機械分析装置（ＴＭＡ８３１０）で２９３Ｋ〜６
７３Ｋまでの熱膨張係数を求めた。
【００１８】また、全灰分量は、いわゆる灰化法で求め
たものである。灰化法は、試料２０ｇを正確に測定し、
白金製のルツボ（容積５０ｃｃ）に装填し、酸素気流中
（２〜３ｌ／ｍｉｎ）で、１２２３Ｋの温度で、恒量に
なるまで保持し、デシケータ中で自然冷却後、残った灰
分量を測定した。
たものである。灰化法は、試料２０ｇを正確に測定し、
白金製のルツボ（容積５０ｃｃ）に装填し、酸素気流中
（２〜３ｌ／ｍｉｎ）で、１２２３Ｋの温度で、恒量に
なるまで保持し、デシケータ中で自然冷却後、残った灰
分量を測定した。
【００１９】
【実施例】以下に本発明を実施例に基づき具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるもの
ではない。
するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるもの
ではない。
【００２０】（実施例１）室温における固有抵抗が１
７．０μΩ・ｍ、１８７３Ｋにおける固有抵抗が１２．
５μΩ・ｍ（固有抵抗減衰率７３．５％）、酸化消耗率
が１５．４％、引っ張り強度が２５．３ＭＰａ、２９３
Ｋでの熱伝導率が７６Ｗ／（ｍ・Ｋ）、２９３Ｋ〜６７
３Ｋの熱膨張係数が４．６×１０-6／Ｋ、異方比が１．
１、嵩密度が１．７５ｇ／ｃｍ3 の等方性黒鉛材とし
た。この黒鉛材料を内径６４６ｍｍ、肉厚２４．５ｍ
ｍ、断面積２２８６ｍｍ2 の黒鉛ヒーターに加工した
後、２２７３Ｋでジクロロジフルオロメタンを主成分と
するハロゲン含有ガスを５時間流して高純度化処理を行
い、全灰分量が０．５ｐｐｍの超高純度黒鉛ヒーターを
得た。この黒鉛ヒーターを直径が８インチのＳｉ単結晶
の引上用のＣＺ装置に設置し、実機試験を行った。
７．０μΩ・ｍ、１８７３Ｋにおける固有抵抗が１２．
５μΩ・ｍ（固有抵抗減衰率７３．５％）、酸化消耗率
が１５．４％、引っ張り強度が２５．３ＭＰａ、２９３
Ｋでの熱伝導率が７６Ｗ／（ｍ・Ｋ）、２９３Ｋ〜６７
３Ｋの熱膨張係数が４．６×１０-6／Ｋ、異方比が１．
１、嵩密度が１．７５ｇ／ｃｍ3 の等方性黒鉛材とし
た。この黒鉛材料を内径６４６ｍｍ、肉厚２４．５ｍ
ｍ、断面積２２８６ｍｍ2 の黒鉛ヒーターに加工した
後、２２７３Ｋでジクロロジフルオロメタンを主成分と
するハロゲン含有ガスを５時間流して高純度化処理を行
い、全灰分量が０．５ｐｐｍの超高純度黒鉛ヒーターを
得た。この黒鉛ヒーターを直径が８インチのＳｉ単結晶
の引上用のＣＺ装置に設置し、実機試験を行った。
【００２１】（実施例２）原料骨材と結合材の配合比が
異なる以外は、実施例１と同様の製法で、室温における
固有抵抗が２２．０μΩ・ｍ、１８７３Ｋにおける固有
抵抗が１４．９μΩ・ｍ（固有抵抗減衰率６７．７
％）、酸化消耗率が１８．４％、引っ張り強度が２６．
１ＭＰａ、２９３Ｋでの熱伝導率が５９Ｗ／（ｍ・
Ｋ）、２９３Ｋ〜６７３Ｋの熱膨張係数が５．０×１０
-6／Ｋ、異方比が１．１、嵩密度が１．７５ｇ／ｃｍ3
の等方性黒鉛材とした。この黒鉛材料を実施例１と同じ
大きさ、同形状のヒーターに加工した後、実施例１と同
様に、２２７３Ｋでジクロロジフルオロメタンを主成分
とするハロゲン含有ガスを５時間流して高純度化処理を
行い、全灰分量が０．５ｐｐｍの超高純度黒鉛ヒーター
を得た。この黒鉛ヒーターを実施例１と同じＣＺ装置に
設置し、実機試験を行った。
異なる以外は、実施例１と同様の製法で、室温における
固有抵抗が２２．０μΩ・ｍ、１８７３Ｋにおける固有
抵抗が１４．９μΩ・ｍ（固有抵抗減衰率６７．７
％）、酸化消耗率が１８．４％、引っ張り強度が２６．
１ＭＰａ、２９３Ｋでの熱伝導率が５９Ｗ／（ｍ・
Ｋ）、２９３Ｋ〜６７３Ｋの熱膨張係数が５．０×１０
-6／Ｋ、異方比が１．１、嵩密度が１．７５ｇ／ｃｍ3
の等方性黒鉛材とした。この黒鉛材料を実施例１と同じ
大きさ、同形状のヒーターに加工した後、実施例１と同
様に、２２７３Ｋでジクロロジフルオロメタンを主成分
とするハロゲン含有ガスを５時間流して高純度化処理を
行い、全灰分量が０．５ｐｐｍの超高純度黒鉛ヒーター
を得た。この黒鉛ヒーターを実施例１と同じＣＺ装置に
設置し、実機試験を行った。
【００２２】（比較例１）原料骨材が異なる以外は、実
施例１と同様の製法で、室温における固有抵抗が１２．
６μΩ・ｍ、１８７３Ｋにおける固有抵抗が１０．３μ
Ω・ｍ（固有抵抗減衰率８１．５％）、酸化消耗率が２
５．２％、引っ張り強度が３０．１ＭＰａ、２９３Ｋで
の熱伝導率が１０３Ｗ／（ｍ・Ｋ）、２９３Ｋ〜６７３
Ｋの熱膨張係数が４．５×１０-6／Ｋ、異方比が１．
１、嵩密度が１．７８ｇ／ｃｍ3 の等方性黒鉛材とし
た。この黒鉛材料を実施例１と同じ大きさ、同形状のヒ
ーターに加工した後、実施例１と同様に、２２７３Ｋで
ジクロロジフルオロメタンを主成分とするハロゲン含有
ガスを５時間流して高純度化処理を行い、全灰分量が
０．５ｐｐｍの超高純度黒鉛ヒーターを得た。この黒鉛
ヒーターを実施例１と同じＣＺ装置に設置し、実機試験
を行った。
施例１と同様の製法で、室温における固有抵抗が１２．
６μΩ・ｍ、１８７３Ｋにおける固有抵抗が１０．３μ
Ω・ｍ（固有抵抗減衰率８１．５％）、酸化消耗率が２
５．２％、引っ張り強度が３０．１ＭＰａ、２９３Ｋで
の熱伝導率が１０３Ｗ／（ｍ・Ｋ）、２９３Ｋ〜６７３
Ｋの熱膨張係数が４．５×１０-6／Ｋ、異方比が１．
１、嵩密度が１．７８ｇ／ｃｍ3 の等方性黒鉛材とし
た。この黒鉛材料を実施例１と同じ大きさ、同形状のヒ
ーターに加工した後、実施例１と同様に、２２７３Ｋで
ジクロロジフルオロメタンを主成分とするハロゲン含有
ガスを５時間流して高純度化処理を行い、全灰分量が
０．５ｐｐｍの超高純度黒鉛ヒーターを得た。この黒鉛
ヒーターを実施例１と同じＣＺ装置に設置し、実機試験
を行った。
【００２３】表１に実施例１、２及び比較例１の特性と
実機試験の結果を表１にまとめて示す。
実機試験の結果を表１にまとめて示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】図１には、実施例１、２及び比較例１の試
料の室温から１８７３Ｋまでの固有抵抗を示す。図より
判るように、固有抵抗は室温で最も高く、高温になるに
したがい、低くなり、ある温度を境にして、再び高くな
る。
料の室温から１８７３Ｋまでの固有抵抗を示す。図より
判るように、固有抵抗は室温で最も高く、高温になるに
したがい、低くなり、ある温度を境にして、再び高くな
る。
【００２６】次に、実施例１、２及び比較例１の試料を
ＣＺ装置に設置して行った実機試験の結果について説明
する。各ヒーター全て同じ加熱条件で加熱を行った。実
施例１と２のヒーターは比較例１のヒーターに比べ、固
有抵抗が高いため、比較例１よりも早く所定温度に到達
することができた。また、３０バッチ使用後、炉外に取
り出し、重量変化を測定したところ、比較例１に比べ、
実施例１と２のヒーターの重量減少率は少ないことが判
った。これは、ＳｉＯガスとの酸化反応によるヒーター
の消耗が遅かったためであると考えられる。このよう
に、室温及び高温での固有抵抗を高くすることが可能と
なるため、従来の設備そのままで、急速な昇温が可能と
なる。また、寿命の延命効果も得られる。更には、固有
抵抗が高いため、断面積を大きくでき、スリット数を少
なくすることもできる。更には、スリット間隔を小さく
することができる。このため、ヒーターが、内径２４イ
ンチ以上の大型になっても、ハンドリングが容易になる
など、ヒーター設計が容易となる。
ＣＺ装置に設置して行った実機試験の結果について説明
する。各ヒーター全て同じ加熱条件で加熱を行った。実
施例１と２のヒーターは比較例１のヒーターに比べ、固
有抵抗が高いため、比較例１よりも早く所定温度に到達
することができた。また、３０バッチ使用後、炉外に取
り出し、重量変化を測定したところ、比較例１に比べ、
実施例１と２のヒーターの重量減少率は少ないことが判
った。これは、ＳｉＯガスとの酸化反応によるヒーター
の消耗が遅かったためであると考えられる。このよう
に、室温及び高温での固有抵抗を高くすることが可能と
なるため、従来の設備そのままで、急速な昇温が可能と
なる。また、寿命の延命効果も得られる。更には、固有
抵抗が高いため、断面積を大きくでき、スリット数を少
なくすることもできる。更には、スリット間隔を小さく
することができる。このため、ヒーターが、内径２４イ
ンチ以上の大型になっても、ハンドリングが容易になる
など、ヒーター設計が容易となる。
【００２７】
【発明の効果】本発明における高抵抗黒鉛材料をヒータ
ーとして使用すると、従来の加熱炉の設備のままで、従
来より急速に加熱することが可能となる。また、高抵抗
であることから、断面積を大きく取ることも可能とな
り、薄肉加工やスリット加工を省略しても、大型化にも
対応が可能となるなど、製造コストの大幅な低減が可能
となる。
ーとして使用すると、従来の加熱炉の設備のままで、従
来より急速に加熱することが可能となる。また、高抵抗
であることから、断面積を大きく取ることも可能とな
り、薄肉加工やスリット加工を省略しても、大型化にも
対応が可能となるなど、製造コストの大幅な低減が可能
となる。
【図１】本発明の実施例１、２及び比較例１に使用した
黒鉛材の温度と固有抵抗の関係を示す図である。
黒鉛材の温度と固有抵抗の関係を示す図である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 3/14 Ｈ０５Ｂ 3/14 Ｆ (72)発明者 田井 正彦 香川県三豊郡詫間町松崎2791 東洋炭素株 式会社内 Ｆターム(参考） 3K092 PP09 QB15 4G032 AA04 BA04 4G046 DA06 EA05 EB11 EC01 EC05 EC07 4G077 PE21 PE24 4K063 AA05 AA08 AA12 CA01 CA05 CA06 FA04
Claims (5)
- 【請求項１】 室温での固有抵抗が１７μΩ・ｍ以上、
１８７３Ｋでの固有抵抗が１２μΩ・ｍ以上である黒鉛
ヒーター。 - 【請求項２】 空気中、９７３Ｋ、２．５時間における
酸化消耗率が１２〜１９ｍａｓｓ％である請求項１記載
の黒鉛ヒーター。 - 【請求項３】 嵩密度が１．７ｇ／ｃｍ3 以上、平均気
孔半径が１．５μｍ以下である請求項１又は２記載の黒
鉛ヒーター。 - 【請求項４】 全灰分量が２０ｐｐｍ以下である請求項
１乃至３いずれか記載の黒鉛ヒーター。 - 【請求項５】 熱膨張係数の異方比が１．１以下である
請求項１乃至４いずれか記載の黒鉛ヒーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11205654A JP2001031473A (ja) | 1999-07-21 | 1999-07-21 | 黒鉛ヒーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11205654A JP2001031473A (ja) | 1999-07-21 | 1999-07-21 | 黒鉛ヒーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001031473A true JP2001031473A (ja) | 2001-02-06 |
Family
ID=16510483
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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