JP2001024107A - 半導体装置実装構造 - Google Patents

半導体装置実装構造

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JP2001024107A JP19535599A JP19535599A JP2001024107A JP 2001024107 A JP2001024107 A JP 2001024107A JP 19535599 A JP19535599 A JP 19535599A JP 19535599 A JP19535599 A JP 19535599A JP 2001024107 A JP2001024107 A JP 2001024107A
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Hironori Terasaki
浩則 寺崎
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄型でフレキシビリティを有する半導体装置
実装構造を低コストで実現する。 【解決手段】 回路基板3の裏面にプラスチックテープ
のボトム基板4を貼付し、その回路基板3の貫通孔3a
内のボトム基板4上に半導体装置1をボンディングし、
その半導体装置1と回路基板3の基板電極5を金属細線
2で接続し、貫通孔3aに絶縁性樹脂6を注入充填し、
回路基板3の上面にプラスチックテープのカバーフィル
ム7を貼付する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板に半導体
装置を実装して電子カード等を実現する半導体装置実装
構造に係り、特にコスト安に薄型化とフレキシビリティ
を実現する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】IC等の半導体素装置を回路基板に実装
して薄型に実現したいわゆる電子カードには、より薄く
より小型化が要求されるところから、種々の実装技術が
施されている。また、薄型化に伴い、電子カード本体の
フレキシビリティも要求さている。このような要請は、
電子カードに平面アンテナを組み込んだ非接触式電子カ
ードも同様であった。
【0003】従来の薄型の半導体装置実装構造を図5に
示す。この実装構造は、窪み51aを形成した回路基板
51のその窪み51aの底面に、銀ペースト等の接着剤
52によって半導体装置53を接合収納し、同窪み51
aの底面に形成した基板電極54と半導体装置53の電
極との間を、金属細線55で電気的に接続し、その窪み
51aに絶縁樹脂56を注入充填して構成したものであ
る。
【0004】別の半導体装置実装構造を図6に示す。こ
の実装構造は、回路基板61の上面に予め貫通孔62a
を形成した絶縁板62を接合し、その絶縁板62の穴6
2a内の回路基板61に形成した基板電極63に半導体
装置64の突起電極64aを導電性接着剤65で接続
し、孔62a内に絶縁性樹脂66を注入充填し、最後に
半導体装置64の上面を覆うように放熱用の金属板67
を接着剤により接着したものである。
【0005】更なる別の半導体装置実装構造を図7に示
す。この実装構造は、回路基板71の上面に接続用配線
材72とチップマウント剤73によって紫外線でデータ
が消去できるEPROMチップ74を実装し、そのEP
ROMチップ74、接続用線材72、チップマウント剤
73を紫外線透過性樹脂75により封止し、その樹脂7
5の表面を酸素非透過性の紫外線透過性材76でコート
し、紫外線透過性樹脂75の酸化による劣化を防止して
消去性能劣化を防止したものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図5に示し
た実装構造では、回路基板51に窪み51aを設ける必
要があるが、その形成法としてザグリ加工を使用すると
きは深さの精度を確保するためにコスト高となり、また
貫通孔を有する基板とその穴なしの基板を張り合わせて
加工するときは、2枚の基板が要求され同様にコスト高
となる。
【0007】また、この実装構造では、耐湿性および金
属細線55の保護のために絶縁樹脂56で金属細線55
までも完全に被覆する必要があるところから、その樹脂
56の厚みを半導体装置53の厚みに金属細線55のル
ープ高さおよびそれらのバラツキを考慮した厚みに制御
しなければならず、このため半導体収納厚さ(窪み51
aの深さ)を比較的大きくする必要があり、加えてその
窪み51aの底面の厚さも所定の強度上から要求される
ところから、回路基板51の全体の厚みが大きくなり、
薄型に制約が生じる。
【0008】さらに、樹脂56がドーム形状に固化して
いるので、全体を折り曲げるような場合に、その樹脂5
6が薄く機械的強度の弱い周辺部にクラックが発生し易
く、欠陥が発生する恐れがある。
【0009】図6に示した実装構造では、接着剤で互い
に接着した半導体装置64と金属板67の熱膨張係数の
違いから半導体装置64にクラックが発生する恐れがあ
る。
【0010】また、半導体装置64の上下面を金属板6
7と回路基板61で挟む構造であることに加えて、回路
基板61と半導体装置64との電気接続がバンプ構造で
あるためそのバンプ接続保持上から基板61にある程度
剛性を持たせなければないことから、全体としてのフレ
キシビリティを発揮させることができない。
【0011】図7に示した実装構造では、樹脂75をコ
ート材76で被覆処理する構造であるので、物理的接触
に対しては強度が充分でない。
【0012】以上のように、従来の半導体装置実装構造
では、製造コスト、薄型化、フレキシビリティ、物理的
強度等の面から、問題があった。
【0013】本発明の課題は、このような問題を解決し
た半導体装置実装構造を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の第1の発明は、貫通孔が形成され上面に基板電極が形
成されたフレキシブルな回路基板と、該回路基板の前記
上面と反対面に貼付されたフレキシブルな絶縁性テープ
からなるボトム基板と、前記貫通孔内の前記ボトム基板
上にボンディングされた半導体装置と、該半導体装置の
電極と前記基板電極とを接続する金属細線と、前記貫通
孔内に前記半導体装置の全部を覆うよう注入充填された
絶縁性樹脂と、前記回路基板の前記上面、前記絶縁性樹
脂の上面、および前記金属細線を覆うように貼付された
フレキシブルな絶縁性テープからなるカバーフィルムと
を具備するよう構成した。
【0015】第2の発明は、第1の発明において、前記
回路基板の前記貫通孔に面する角部分に前記金属細線の
太さと同程度の深さの段差を形成し、該段差の底面に前
記基板電極を形成して構成した。
【0016】第3の発明は、第1又は第2の発明におい
て、前記絶縁性樹脂を、前記回路基板の前記上面から前
記金属細線の太さと同程度の距離だけ低いレベルの高さ
にまで注入充填して構成した。
【0017】第4の発明は、第1乃至第3の発明におい
て、前記回路基板の前記上面の周囲に金属配線による平
面アンテナを形成し、該アンテナの両端を前記金属細線
を経由して前記半導体装置に接続して構成した。
【0018】
【発明の実施の形態】[第1の実施形態]図1は本発明
の第1の実施形態の半導体装置実装構造の断面図であ
る。1は半導体装置、2はこの半導体装置1の電極に接
続した金線等からなる金属細線、3は貫通孔穴3aが予
め形成されたフレキシブルな回路基板、4は半導体装置
1と回路基板3が搭載されるフレキシブルな絶縁性テー
プからなるボトム基板、5は回路基板3上に形成された
基板電極、6は注入充填された封止用の絶縁性樹脂、7
は全体の上面を覆うフレキシブルな絶縁性テープからな
るカバーフィルムである。
【0019】次に、この半導体装置実装構造の製造方法
を説明する。まず、半導体装置1の収納用の貫通孔3a
をパンチングやドリル等により加工した回路基板3を準
備する。この回路基板3の材質としては、例えば100
℃程度(120℃以下)でのワイヤーボンディング作業
に充分耐え得る耐熱プラスティック板やガラスエポキシ
とし、その厚さは100μm程度としてフレキシビリテ
ィを持たせる。
【0020】次に、ボトム基板4として、厚さ30μm
程度のポリイミドテープ、ポリエステルテープ等のプラ
スチックテープにエポキシ材やシリコーン材等の粘着性
接着剤を10μm程度塗布したものを準備し、このボト
ム基板4をその接着剤によって回路基板3の基板電極5
が形成された面と反対面(裏面)に張り付ける。
【0021】このボトム基板4の接着剤には、接続用の
金属細線2の100℃程度(120℃以下)でのワイヤ
ーボンディング作業でも粘着力を有するものを使う。ま
た、ボトム基板4にも同様の耐熱性を有するものを使用
する。
【0022】この後、回路基板3の貫通孔3a内に位置
するボトム基板4の接着剤層の上面に、半導体装置1を
ダイボンディングする。このとき使用する半導体装置1
の厚さは貫通孔3aより充分薄い50μm程度とした。
【0023】このダイボンディング時の荷重は、接着剤
として銀ペーストを使用する通常の場合では100gf
以上を必要とするが、ボトム基板4に接着する本実施形
態では、その約1/3程度の荷重で作業ができ、半導体
装置1が薄くても破壊の危険性はない。また、銀ペース
トを使用しないのでその銀ペーストが側面から濡れ上が
り半導体装置1表面を汚染することもない。
【0024】ダイボンディングの後、作業温度を100
℃前後(120℃以下)として、半導体装置1の電極と
回路基板3の基板電極5との間に、金属細線2をワイヤ
ボンディングする。このワイヤボンディングは超音波と
熱を併用した方式により行い、金属細線2としては直径
23μm〜30μm程度の太さのものを使用する。
【0025】ワイヤボンディングの後、回路基板3の貫
通孔3a内に、半導体装置1の表面を完全に覆う程度
に、液状樹脂を注入充填する。この液状樹脂としてはエ
ポキシ樹脂やシリコーン樹脂を用いる。
【0026】この液状樹脂の注入充填は、半導体装置1
の耐湿性を向上させるための他に、ワイヤーボンディン
グした金属細線2が半導体装置1の表面に接触して電気
的にショートすることを防止するためであるが、回路基
板3の表面を覆う程度で充分であり、その表面レベルを
大きく超えないように充填することが好ましい。そし
て、この液状樹脂を注入充填した後に、100℃程度で
4時間程度の熱処理を行いその液状樹脂を硬化させ、絶
縁性樹脂6とする。このように、ここでは100℃程度
で硬化のための熱処理をするようにして、回路基板3や
半導体装置1への熱的影響を極力低減する。
【0027】絶縁性樹脂6の形成の後では、ワイヤボン
ディングした金属細線2の一部がこの絶縁性樹脂6の表
面から露出し、また回路基板3の基板電極5からも露出
している。そこで、この金属細線2、回路基板3、基板
電極5、絶縁性樹脂6等を覆うように、回路基板3の表
面をカバーフィルム7にて接着被覆する。これにより、
金属細線2は平坦化される。
【0028】このカバーフィルム7としては、前記ボト
ム基板4と同様に、ポリイミドテープ、ポリエステルテ
ープ等のプラスチックテープを使用し、その厚さは50
μm程度で片面に10μm程度のエポキシ樹脂やシリコ
ーン樹脂系の粘着性接着剤層が塗布されているものを使
用する。
【0029】以上のようにして製造される半導体装置実
装構造は、全体の厚さが半導体装置1の厚さ、金属細線
2のループ高さ、絶縁性樹脂6の厚みのバラツキ等の影
響を受けず、回路基板3、ボトム基板4及びカバーフィ
ルム7の厚さによって決定されるのでコスト安に薄型に
形成できる。また回路基板3の両面がボトム基板4及び
カバーフィルム7で覆われるので耐湿性とフレキシビリ
ティを有する。さらに絶縁性樹脂6は貫通孔3a内に全
面に亘ってほぼ同じレベルで充填されるので、折り曲げ
時に剥離やクラックが発生することもない。さらに両面
がボトム基板4とカバーフィルム7で保護されるので他
の部材との物理的接触に対しても強靱となる。
【0030】[第2の実施形態]図2は第2の実施形態
の半導体装置実装構造の断面図である。ここでは、回路
基板3の貫通孔3a側の角部分に段差3bを形成し、そ
の段差3b内に基板電極5を形成しそこに金属細線2を
接続する。
【0031】この段差3bの深さを金属細線2の直径に
ほぼ相当する30μm程度とするかそれより深くするこ
とで、基板電極5に接続した金属細線2が絶縁性樹脂6
の注入充填硬化の後に被覆するカバーフィルム7によっ
て押さえ付けられるとき、その金属細線2に大きな変形
が生じたりつぶれたりすることを防止できる。
【0032】なお、この段差3bの形成方法としては、
回路基板3の表面から機械的な削り取りにより形成した
り、或いはレジスト層を設けて写真蝕刻法によりエッチ
ングしても良い。
【0033】この実施形態では、金属細線2のつぶれが
防止できることの他に、その金属細線2が全体の厚さに
与える影響が小さくなるという利点もある。
【0034】[第3の実施形態]図3は第3の実施形態
の半導体装置実装構造の断面図である。ここでは、絶縁
性樹脂6の充填量を調整してその樹脂の表面6aが回路
基板3の表面よりも(金属細線2の直径程度)低くなる
ようにしたものである。このようにしても、カバーフィ
ルム7を被覆する際の金属細線2のつぶれを防止でき
る。
【0035】なお、この図3のように絶縁性樹脂6の充
填量を調整することに加えて、図2に示したように回路
基板3に段差3bを形成し、その段差3bの底面レベル
と絶縁性樹脂6の上面レベルがほぼ同じになるように調
整すれば、カバーフィルム7を被覆した際の金属細線2
のつぶれやその金属細線2が全体の厚さに与える影響を
より効果的に防止できる。
【0036】[第4の実施形態]図4は前記した半導体
装置実装構造を適用した非接触型電子カードの斜視図で
ある。ここでは、裏面にボトム基板4を貼付した回路基
板3の貫通孔3aに半導体装置1を取り付け、またその
回路基板3の上面に金属配線で平面アンテナ8を予めパ
ターン形成しておき、その平面アンテナ8に半導体装置
1を金属細線2により接続している。
【0037】なお、この平面アンテナ8はその一端は直
接金属細線2で半導体装置1に接続されているが、他端
はスルホール3cを介して裏面の配線を経由して再度ス
ルホール3cで表面の配線に引き出されてから、金属細
線2で半導体装置1に接続されている。ここで使用する
半導体装置1としては、EPROM等がある。
【0038】このように本実施形態の半導体装置実装構
造を適用すれば、薄型でフレキシブルで物理的接触に強
靱な非接触電子カードを実現することができる。
【0039】
【発明の効果】以上から第1の発明によれば、全体を薄
型に形成でき、また耐湿性とフレキシビリティを有し、
さらに生産時のバラツキも防止することができ低コスト
化できる。さらに折り曲げや他の部材との物理的接触に
対しても強靱となる。
【0040】また、第2,第3の発明によれば、金属細
線のつぶれや厚さへの影響を低減することがで、より薄
型化を実現できる。
【0041】また、第4の発明によれば、上記した作用
効果を有する非接触型の電子カードを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施形態の半導体装置実装構
造の断面図である。
【図2】 本発明の第2の実施形態の半導体装置実装構
造の断面図である
【図3】 本発明の第3の実施形態の半導体装置実装構
造の断面図である
【図4】 本発明の第4の実施形態の半導体装置実装構
造の斜視図である
【図5】 従来の半導体装置実装構造の断面図である
【図6】 従来の半導体装置実装構造の断面図である
【図7】 従来の半導体装置実装構造の断面図である
【符号の説明】
1:半導体装置、2:金属細線、3:回路基板、3a:
貫通孔、3b:段差、3c:スルホール、4:ボトム基
板、5:基板電極、6:絶縁性樹脂、7:カバーフィル
ム、8:平面アンテナ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2C005 MA07 MA11 MA15 MA18 NA09 NB09 NB34 PA18 TA22 4M109 AA02 BA04 BA05 CA05 DA06 DB12 DB16 EE01 GA03 5B035 AA00 AA04 AA07 AA08 BA03 BB09 CA01 CA02 CA03 CA08 CA23

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】貫通孔が形成され上面に基板電極が形成さ
    れたフレキシブルな回路基板と、該回路基板の前記上面
    と反対面に貼付されたフレキシブルな絶縁性テープから
    なるボトム基板と、前記貫通孔内の前記ボトム基板上に
    ボンディングされた半導体装置と、該半導体装置の電極
    と前記基板電極とを接続する金属細線と、前記貫通孔内
    に前記半導体装置の全部を覆うよう注入充填された絶縁
    性樹脂と、前記回路基板の前記上面、前記絶縁性樹脂の
    上面、および前記金属細線を覆うように貼付されたフレ
    キシブルな絶縁性テープからなるカバーフィルムとを具
    備することを特徴とする半導体装置実装構造。
  2. 【請求項2】請求項1において、 前記回路基板の前記貫通孔に面する角部分に前記金属細
    線の太さと同程度の深さの段差を形成し、該段差の底面
    に前記基板電極を形成したことを特徴とする半導体装置
    実装構造。
  3. 【請求項3】請求項1又は2において、 前記絶縁性樹脂を、前記回路基板の前記上面から前記金
    属細線の太さと同程度の距離だけ低いレベルの高さにま
    で注入充填したことを特徴とする半導体装置実装構造。
  4. 【請求項4】請求1乃至3において、 前記回路基板の前記上面の周囲に金属配線による平面ア
    ンテナを形成し、該アンテナの両端を前記金属細線を経
    由して前記半導体装置に接続したことを特徴とする半導
    体装置実装構造。
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