JP2001015896A - 基板のクリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板のクリーニングにおいて、クリーニング
時の摩擦により静電気が発生し、回路素子が損傷するの
を防ぐ。 【解決手段】 この発明は、基板２面をシート４ａ，４
ｂで拭取り、クリーニングを行う場合に、少なくともシ
ート４ａ上にノズル１４ａから滴下される揮発性の溶剤
１０の有無、あるいは単位時間当たりの滴下量をセンサ
１５ａで検出するように構成した。この結果、シート４
ａ上に適正に溶剤１０が滴下されているかどうかをセン
サ１５ａにより検知することができ、ノズル１４ａが目
詰まり等を起こし、シート４ａが乾いた状態で基板２の
電極面を擦り、静電気の発生により基板２に搭載した回
路素子を破損するような事故を防ぐことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、基板面に形成さ
れた電極をクリーニングする基板のクリーニング装置の
改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネル等の基板は、その基板縁部に
沿って電極が複数個列設され、この電極上にＴＣＰ（Ｔ
ａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）あるいはフ
リップチップ等により電子部品が接合搭載されるように
構成されている。

【０００３】電極と電子部品とは、例えば電極面上に異
方性導電膜が貼付され、両者はその異方性導電膜を介し
て接合されるが、その接合部において電気的に良好な導
通状態が得られるためには、予め電極面にごみが付着し
ていたり汚れていないことが必要とされる。そこで従来
から、異方性導電膜の貼付に先立ち、基板電極面の拭き
取り清掃を行うクリーニング装置が使用されている。

【０００４】従来の基板のクリーニング装置は、ノズル
からシート上に洗浄液であるエタノール等の揮発性溶剤
を滴下させつつシートを順次スライドさせ、電極面との
間の相対的な接触移動により汚れやごみを取り除くよう
に構成されていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
基板のクリーニング装置は、電極面の汚れ等を取り除く
ためシートに揮発性の溶剤を滴下させて染み込ませ、相
対的な接触移動により、基板の電極面を拭き取るように
構成されていた。

【０００６】しかしながら、溶剤は先端部が細いノズル
から滴下されるのでしばしば目詰まりを起こしたり、溶
剤内に気泡が混入して、溶剤が適正に滴下されない状態
が発生した。

【０００７】シート面に溶剤が滴下されず、乾いた状態
のシートが基板電極面と接触した場合は、基板面とその
乾いたテープとの間の摩擦により静電気が発生し、この
静電気が電極を介して基板内に形成された回路素子を破
壊してしまう恐れがあった。

【０００８】特に、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等の回
路素子を搭載した液晶表示パネルでは、静電気の帯電に
は弱く、破壊され易いので改善が要望されていた。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記従来の
課題を解決するためになされたもので、基板のクリーニ
ング装置において、縁部に複数個の電極を列設して搬送
される基板と、この搬送される基板の前記電極の列設方
向に、前記電極とは相対的に移動しつつに接触して電極
面の汚れを取り除くシートと、このシートの前記電極へ
の接触前にシート面に向け溶剤を滴下するノズルと、こ
のノズルから滴下される溶剤の有無または単位時間当た
りの溶剤の滴下量を検出する検出手段とを具備すること
を特徴とする。

【００１０】このように、本発明による基板のクリーニ
ング装置は、検出手段を備え、溶剤の滴下の有無または
単位時間当たりの滴下量を検出し、溶剤の適正な滴下が
されない状態となったときには、これを直ちに検知して
クリーニングを停止させることができるので、静電気発
生により基板内回路が破壊されるのを未然に防止するこ
とができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明による基板のクリ
ーニング装置の一実施の形態を図１ないし図６を参照し
て詳細に説明する。

【００１２】図１はこの発明による基板のクリーニング
装置の第１の実施の形態を示す正面図、図２は図１に示
した装置の右側面図、図３は図２においてＡ−Ａ線から
矢視方向を見た断面図である。

【００１３】すなわち、図１ないし図３に示すように、
Ｘ−Ｙテーブルからなる位置決め搬送テーブル１上には
基板２が吸着保持され、基板２は矢印Ｘ方向に搬送され
る。基板２の端縁部には、複数個の電極が列設して設け
られており、装置本体３の前面には、その搬送されてく
る基板２の端縁部をそれぞれ上下方向から挟むように低
発塵性の布で形成されたテープ状のシート４ａ，４ｂ
が、それぞれ供給リール５ａ，５ｂから、第１ないし第
３の各中継ローラ６１ａ，６１ｂ、６２ａ，６２ｂ、６
３ａ，６３ｂ、及び巻取ローラ７ａ，７ｂを介して、巻
取リール８ａ，８ｂに巻装されており、これらが基板２
を中心に上下対称に位置するよう配置されている。な
お、供給リール５ａ，５ｂと巻取リール８ａ，８ｂの各
回転中心軸にはシート４ａ，４ｂに適度なテンション
（ｔｅｎｔｉｏｎ）を与えるためのモータ５ａａ，５ｂ
ａ，８ａａ，８ｂａがそれぞれ連結され、また、巻取ロ
ーラ７ａ，７ｂの各回転中心には、巻取ローラ７ａ，７
ｂを駆動させるための駆動モータ７ａａ，７ｂａが連結
され、それぞれ装置本体３内に設置されている。

【００１４】図４の一部拡大図にも示したように、第２
と第３の中継ローラ６２ａ，６３ａ及び６２ｂ，６３ｂ
間には、矢印Ｚ方向に上下動可能な押付けローラ９ａ，
９ｂを配置し、シート４ａ，４ｂを搬送されてくる基板
２の電極面に向け適当な押圧力を加えて接触させるよう
に構成されている。

【００１５】押付けローラ９ａ，９ｂはそれぞれ押し当
て上下シリンダ９ａａ，９ｂａに連結されており、上側
の押付けローラ９ａは下（下降）方向に、下側の押付け
ローラ９ｂは上（上昇）方向への押し出し操作により、
基板２の不図示電極面及びその背面へ、シート４ａ，４
ｂをそれぞれ押し当て接触させるように作動する。

【００１６】また、装置本体３上には、エタノール等の
揮発性の溶剤１０を貯留した容器１１が載置されてお
り、その溶剤１０はポンプを内蔵したディスペンサ１２
を介してパイプ１３によりノズル１４ａ，１４ｂに供給
されるように構成されている。

【００１７】ノズル１４ａ，１４ｂは、図４の一部拡大
図にも示すように押付けローラ９ａ，９ｂと第２の中継
ローラ６２ａ，６２ｂとの間で、かつ搬送されてくるシ
ート４ａ，４ｂ面上に溶剤を滴下すべく配置され、上記
押付けローラ９ａ，９ｂがシート４ａ，４ｂを基板２に
押し当てる前には、溶剤１０がシート４ａ，４ｂ上に滴
下されるように構成されている。

【００１８】シート４ａ，４ｂは、次の押付けローラ９
ａ，９ｂの下降（９ａ）及び上昇（９ｂ）動作にともな
い間欠搬送されて、溶剤１０が滴下された部分が押付け
ローラ９ａ，９ｂと基板２面との間に位置付けられ、Ｘ
−Ｙテーブル１上の基板２搬送による相対移動によっ
て、溶剤１０が揮発する前に、基板２の電極面及びその
背面のクリーニングを行うものである。

【００１９】また、この実施の形態では、各ノズル１４
ａ，１４ｂの先端部近傍には、検出手段としてのセンサ
１５ａを設けている。

【００２０】なお、各ノズル１４ａ，１４ｂに対して設
けたセンサ１５は同一構成であるので、ノズル１４ａに
対して設けたセンサ１５ａについてのみ説明し、他のセ
ンサについては説明を省略する。図４及び図５に示した
ように、センサ１５ａはノズル１４ａから離れて滴下す
る直前の溶剤１０を、その滴下方向とは略直交する方向
から捕らえて検出するように構成されている。

【００２１】この実施の形態で、センサ１５ａを、光電
変換部を有する光センサで構成し、図５（ａ）（ｂ）に
示したように、発光部１５ａａを中心に、受光部１５ａ
ｂをその外側に配置するよう同軸状に構成した。

【００２２】すなわち、図５（ａ）に破線で示したよう
に、ノズル１４ａから滴下される溶剤１０は、ノズル１
４ａ先端部から雫状になって落下するものであるが、良
く観察すると、ノズル１４ａ先端部から離れる寸前の雫
状溶剤１０の形状が最も円球に近い形状に膨らみ、この
とき雫状溶剤１０の腹部（最もふくらんだ部分）がセン
サ１５ａにより最も検出しやすい状態となることが分か
り、センサ１５ａをノズル１４ａの端部から滴下する直
前の雫状溶剤１０の腹部に対向するように構成した。

【００２３】またこの実施の形態では、センサ１５ａ
に、光センサを採用したが、対象物である雫状の溶剤１
０は球状体をなしているから、発光部１５ａａは中心部
Ｐに向け凸面状の表面に向け照射され、その反射光はや
や外側に向け反射されることから、受光部１５ａｂを発
光部１５ａａの外側に配置し、溶剤１０を効率良く検出
できるように構成した。

【００２４】上記構成によって、センサ１５ａは、順次
落下する滴下溶剤１０の反射光から、パルス状に受光信
号が得られるので、これを光電変換により電気信号に変
換し、ケーブル１６を介して装置本体３上に取り付けら
れた信号処理装置１７に供給される。信号処理装置１７
は、パルス状反射信号の有無を検出するとともに、その
パルス信号を内蔵した計数演算回路により計数し、単位
時間当たりの滴下数、すなわち滴下量を算出表示する。

【００２５】従って作業員は、信号処理装置１７の処理
結果の表示を見て、ノズル１４ａ（１４ｂ）から溶剤１
０の滴下が適正に行われているかどうかを知ることがで
きる。その結果、例えば詰まりや気泡の混入等により、
シート４ａ（４ｂ）上に溶剤１０が適正に滴下されない
ことによる不具合、すなわち乾いたシート４ａ（４ｂ）
が基板２の電極に接触し、発生した静電気により回路素
子を損傷してしまうという事故を未然に回避することが
できる。

【００２６】なお、上記説明において、溶剤１０は基板
２の上下両面のシート４ａ，４ｂに滴下されるように説
明したが、電極が基板２のいずれか一方の面にのみ形成
された場合には、その面に対してのみ溶剤１０を滴下
し、センサ１５を取り付けるようにしても良い。

【００２７】次に、上記第１の実施の形態では、基板２
面に対するクリーニングは、シート４ａ，４ｂにより一
回行われるが、基板２面を複数回クリーニングを行い、
清浄効果をより高めることができる。

【００２８】すなわち、基板２面を複数回クリーニング
を行うように構成した本発明による基板のクリーニング
装置の第２の実施の形態を図６を参照して説明する。

【００２９】図６は第２の実施の形態を示した要部拡大
正面図で、基板２の上下で、それぞれ第２の中継ローラ
６２ａ，６２ｂを挟んだ両側に、上下シリンダ９１ａ
ａ，９２ａａ、９１ｂａ，９２ｂａにより駆動される一
対の押付けローラ９１ａ，９２ａ、９１ｂ，９２ｂをそ
れぞれ設け、これら押付けローラ９１ａ，９２ａ、９１
ｂ，９２ｂを周回するシート４ａ，４ｂにより、基板２
が荒拭きと仕上げ拭きの２回、拭き取られるように構成
した。

【００３０】すなわち、基板２の搬送移動（Ｘ）方向に
押付けローラ９２ａ，９２ｂと押付けローラ９１ａ，９
１ｂを配置したので、押付けローラ９２ａ，９２ｂで先
にクリーニングした基板２部分を後で押付けローラ９１
ａ，９１ｂによって拭き取ることとなり、いわゆる２度
拭きにより、基板２面の清浄度を高めることができる。

【００３１】従って、この実施の形態では、各押付けロ
ーラ９１ａ，９２ａ，９１ｂ，９２ｂの設置に対応し
て、それぞれ揮発性の溶剤１０を滴下するノズル１４１
ａ，１４２ａ、１４１ｂ，１４２ｂ、及び図示しないが
各ノズル１４１ａ，１４２ａ、１４１ｂ，１４２ｂに対
応したセンサ（１５）が配置されている。

【００３２】またこの実施の形態では、ノズル１４２
ａ，１４２ｂにより滴下される溶剤１０の単位時間当た
りの滴下量を、その後に滴下されるノズル１４１ａ，１
４１ｂからの溶剤１０の滴下量よりも多くなるようにデ
ィスペンサ１２がコントロールし、汚れの程度に比例し
た溶剤１０の滴下を行い、効果的な清浄とともに、溶剤
１０が効率的に消費されるように配慮した。

【００３３】またそのとき、シート４ａ，４ｂのスライ
ド速度や各押付けローラ９１ａ（９２ａ），９２ａ（９
２ｂ）との間の距離を調整し、シート４ａ，４ｂのクリ
ーニング位置が前後（すなわち押付けローラ９１ａ，９
１ｂと、押付けローラ９２ａ，９２ｂ）では互いに異な
るように設定し、クリーニングを行うシート４ａ，４ｂ
部分が重ならないようにすることができる。

【００３４】さらにまた、後方の押付けローラ９１ａ，
９１ｂの押圧力を、前方の押付けローラ９２ａ，９２ｂ
の押圧力より弱めつつ、同時にノズル１４１ａ，１４１
ｂからの溶剤１０の滴下を停止させていわゆる空拭きを
行わしめ、仮に静電気が発生しても回路素子が損傷を受
けない程度に拭き取り、後段での乾燥工程の省略あるい
は簡易化を図るように構成することもできる。

【００３５】なお、図６に示した実施の形態でも、第１
の実施の形態と同様に、電極が基板２面のいずれか一方
にのみ形成された場合には、その面に対してのみ溶剤１
０が滴下されるように構成し、他方面は単にごみ等の付
着を除去するように機能させても良い。

【００３６】また、上記実施の形態において、溶剤１０
の滴下が適正に行われなかったときの対応では、装置の
停止と警報の発令または表示を行うようにしても良く、
またセンサ１５に代えカメラ等の撮像手段を採用するこ
とができる。また、基板２のクリーニング中に、シート
４ａ，４ｂの送り及び溶剤１０の滴下を停止させるよう
にしても、あるいは所定量の溶剤１０を滴下させつつシ
ート４ａ，４ｂを所定速度で搬送するようにしも良い。

【００３７】いずれにしても、本発明による基板のクリ
ーニングによれば、センサを設けシート上に滴下される
溶剤を監視し、最適な滴下状態を維持できるので、基板
の電極面に静電気が生じ、回路素子が破損するような不
具合を解消することができる。

【００３８】

【発明の効果】この発明は、基板のクリーニングに際
し、不用意に回路素子が損傷することを防止でき、実用
に際して顕著な効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による基板のクリーニング装置の第１
の実施の形態を示す正面図である。

【図２】図１に示す装置の右側面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ矢視断面図である。

【図４】図１に示す装置の要部拡大図である。

【図５】図５（ａ）は図４に示すセンサの拡大図側面
図、図５（ｂ）は図５（ａ）に示すセンサの正面図であ
る。

【図６】この発明による基板のクリーニング装置の第２
の実施の形態を示す要部拡大正面図である。

【符号の説明】

１ Ｘ−Ｙテーブル ２ 基板 ３ 装置本体 ４ａ，４ｂ シート ５ａ，５ｂ 供給リール ６１ａ，６２ａ，６３ａ，６１ｂ，６２ｂ，６３ｂ 中
継ローラ ７ａ，７ｂ 巻取ローラ ８ａ，８ｂ 巻取リール ９ａ，９ｂ，９１ａ，９２ａ，９１ｂ，９２ｂ 押付け
ローラ １０ 溶剤 １２ ディスペンサ １４ａ，１４ｂ，１４１ａ，１４２ａ，１４１ｂ，１４
２ｂ ノズル １５ａ センサ １５ａａ 発光部 １５ａｂ 受光部 １６ ケーブル １７ 信号処理装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA21 FA30 HA08 MA20 2H090 JB02 JC09 JC19 LA04 3B201 AA02 AB16 BA08 BA23 BB95 CB01 CD42 CD43 5E343 EE04 GG20

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 縁部に複数個の電極を列設して搬送され
   る基板と、 この搬送される基板の前記電極の列設方向に、前記電極
   とは相対的に移動しつつに接触して電極面の汚れを取り
   除くシートと、 このシートの前記電極への接触前にシート面に向け溶剤
   を滴下するノズルと、 このノズルから滴下される溶剤の有無または単位時間当
   たりの溶剤の滴下量を検出する検出手段とを具備するこ
   とを特徴とする基板のクリーニング装置。
2. 【請求項２】 前記検出手段は、前記ノズルの開口部か
   ら滴下する直前の前記溶剤の有無を検出するように構成
   されたことを特徴とする請求項１記載の基板のクリーニ
   ング装置。
3. 【請求項３】 前記検出手段は、前記滴下する溶剤の方
   向に向け光を照射する発光部を中心に配置するととも
   に、前記溶剤からの反射光を受光する受光部を前記発光
   部を囲むように外側に配置して構成されたセンサである
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板
   のクリーニング装置。
4. 【請求項４】 前記シートは、同一の前記電極に対して
   複数回接触してクリーニングを行うように構成され、前
   記電極に先に接触するシートに対して滴下される前記溶
   剤の量が、その後に接触してクリーニングを行うシート
   に対して滴下する前記溶剤の量よりも多くなるように構
   成されたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のう
   ちのいずれか１項に記載の基板のクリーニング装置。