JP2001012356A - 逆止弁構造およびそれを用いたマイクロポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 マイクロポンプの逆流防止に好適であり、液
体／気体の双方の逆流を良好に防止する逆止弁構造、お
よびこれを用いたマイクロポンプを提供する。 【解決手段】バルブ成形体を前記受け部材に密着させる
ことにより、流体が逆流することを防ぐ逆止弁構造にお
いて、前記バルブ成形体は、前記受け部材との対向側片
面円中心の中央部に凸部（チャッキ部11）が設けられ、
前記受け部材の孔20a、20bの入り口部円周の稜線全周で
線接触する接触部を有し、かつ前記バルブ成形体中央の
凸部（チャッキ部11）から円周方向に延びた薄肉部14の
外周に位置する前記受け部材に平面が密着するリング状
密着部（例えば周縁部13）とを兼ね備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば医療機器、
化学分析機器等に用いるための小型の微量流体供給装置
に係り、特に液体／気体、双方の流体物を交互に使用し
た場合においても、高精度に送体を供給制御する逆止弁
機構を有するマイクロポンプ構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、微量な液体を送液するマイクロポ
ンプには数多くの機構原理が存在し、例えば弁機構にお
いてはリードバルブ型、バルブレス型などが、又、駆動
系では小型モータを用いた特開昭62-291484号などのダ
イヤフラム型の機構を有する小型ポンプが以前から一般
的に知られている。この種のマイクロポンプは、医療機
器及び化学分析機器の微量流体供給装置として、薬液の
定量注入や反応混合ガス等の流体物を搬送するために用
いられ、現在、より高精度な制御ができる小型で汎用性
のあるマイクロポンプの開発が進められている。

【０００３】図７は、本出願人が開発した従来タイプの
ダイヤフラム型マイクロポンプの側断面図の一例であ
る。側断面で示されるマイクロポンプ100は、図７に示
すように、駆動部側として例えばコアレスモータなどの
小型モータ110、及びポンプ部側として小型モータ110の
駆動軸回転運動を往復ピストン運動に変換するカム機構
120と、その往復動作をダイヤフラム132に伝達するクラ
ンクシャフト121と、側面図では分かりづらいが吸排出
用のバルブ機構（逆止弁150）を２箇所に有するポンプ
ヘッド部130とから概略構成されている。

【０００４】上記ポンプヘッド部130の作動原理は次の
とおりである。ポンプヘッド部130は、図８の正面部分
拡大図に示すように、バルブケース131下部に設けられ
たチャンバー133室空間を合成ゴムなどの弾性シート材
からなる円盤状のダイヤフラム132を用いて塞さぎ、こ
こに流体を一時的に溜める中間貯蔵部137が形成されて
おり、また、前記ダイヤフラム132の中心部分は、上下
方向に往復運動するクランクシャフト121（図７に図
示）先端に固着され、弾性変形して振幅のある動きが可
能であり、かつ、その円外周部は前記チャンバー133の
最外郭径の円周部でバルブケース131で保持されてい
る。

【０００５】さらに、チャンバー133の室内上部２カ所
を貫通している吸入孔133aおよび排出孔133bに続くバル
ブ構造には、Ｏリング136を介して弾性体ゴムからなる
穴形状の異なるバルブシート151とバルブ受けシート152
が開閉弁として構成され、前記Ｏリング136が吸入側と
排出側のバルブ機構150の送流方向の下流側に位置する
ようにバルブケース131内の円筒穴部分に積層され填め
込まれ、さらにプッシング部材134で加圧固定された構
造をしている。

【０００６】ここで、プッシング部材134には、吸入側
ノズル140（図８の円破線部）の吸入口140aと吸入孔133
aとをつなぐ吸入路135aと、排出側ノズル140（図７の断
面）の排出口140bと排出孔133bとをつなぐ排出路135bと
が一部に設けられている。

【０００７】すなわちポンプヘッド部130は、クランク
シャフト121によってダイヤフラム132の中央平面部分を
上下に変位させて中間貯蔵部137の容積を増減させ、そ
の際に発生するチャンバー133内の圧力変動を利用し
て、流体を吸入口140aから排出口140bまで、一連の動作
を繰り返して一方向に流体を送流するポンプである。

【０００８】ここで、開閉弁としての逆止弁の構造につ
いて詳細に説明する。前記逆止弁150は、図10、図11に
示すように、ゴムシートなどの平板状弾性体シートから
なるバルブシート151と、バルブシート151の送流方向の
上流側の対向面に重ねられた同径ゴム製のバルブ受けシ
ート152と、により構成される。このバルブシート151に
は同心円状周縁部に複数の開口部151aが設けられてお
り、また、バルブ受けシート152には中心部に小径の孔1
52aが設けられ、２枚のシート双方の開口部151aと孔152
aとが連通しないように配置されている。

【０００９】すなわち逆止弁150の上記構成において２
枚のシートの作動原理は次のとおりである。（説明を省
略するため以下、図８の吸入側のみを説明する。）まず
ダイヤフラム132が下に変位した場合、つまりチャンバ
ーの容積が増大した場合、当然ながら前記逆止弁150
（開閉弁）により密閉状態にあるチャンバー容器内は減
圧状態となり、よって吸入側（イン側）の前記バルブシ
ート151は、外部吸入口140aから吸入路135aを経由して
送られてきた流体により押され、バルブ受けシート152
の中心孔152a部分からの押し出る圧力がバルブシート15
1の弾性変形強度の限界を越えた時、バルブシート151は
円弧状に弾性変形する。つまりチャンバー133室内方向
に撓んで膨らむ。

【００１０】この際、バルブシート151とバルブ受けシ
ート152の対向面には隙間ができ、孔152aと開口部151a
は前記隙間を介してつながるため、流体は吸入口140aか
ら吸入路135a、前記逆止弁150部分を経て吸入孔133aか
らチャンバー133室内の中間貯蔵部137に流れ込み、ダイ
ヤフラム132で閉ざされたチャンバー133内は流体で満た
される。

【００１１】次に、ダイヤフラム132が変位しない静止
状態、又は逆に上に変位した場合、すなわち前記逆止弁
150を挟んで吸入路135a側と中間貯蔵部137側の圧が均
等、又は中間貯蔵部137側がダイヤフラム132の上方変位
により圧が高くなる場合は、前記吸入側のバルブシート
151は弾性変形が元に戻り、対面するバルブ受けシート1
52の中心孔152aを完全に塞ぐため、中間貯蔵部137内の
流体は吸入路135a側に逆流しない構造になっている。こ
の逆止弁構造により、ポンプ機能としての正常な働きを
している。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なダイヤフラム型マイクロポンプに限らず、一般的なマ
イクロポンプの使用用途としては、次の３通りの状況が
考えられる。まず、液体のみを流す場合と気体のみを流
す場合の２通り、さらに双方の液体／気体の流体を交互
に切り替えて流す場合の計３通りが想定できる。従来は
液体専用のマイクロポンプと気体専用のマイクロポンプ
は各々あったが、液体／気体両用タイプの機能的に優れ
たマイクロポンプは開発されておらず、一方の専用機で
兼用して使用するか、または別々の液体専用機と気体専
用機を交互に経路を切り替えて使用する方法しかなかっ
た。

【００１３】しかし、気体専用機で仮に兼用した場合、
上述した図７、図８のシート状弾性体ゴム（図10と図1
1）の逆止弁150の構造では、例えば液体を流した後に一
旦停止し、流体を切り替えて気体をその後断続的に流
し、液体が乾燥する前に一定時間休止した場合などで
は、送流経路内又はポンプ内部に残留した液体成分が逆
止弁部分のバルブシート151とバルブ受けシート152との
隙間で自然乾燥され、弾性体ゴムからなる平面状バルブ
シートの対向面同士を物理的に貼り付いてしまう恐れが
あった。

【００１４】この状態になってしまうと再起動時に開閉
弁が開かない動作不良（故障）が起き、使用不能に陥る
ことがある。またその修理にも、上記引例のものを除い
て、一般的な他の機種は分解修理に専門の技術が必要
で、多大な時間と費用がかかり、開閉弁部分のメンテナ
ンス費用の問題があった。

【００１５】また、同逆止弁150は、バルブシート151と
バルブ受け152シートとの面接触によって構造上封止効
果を得るため、前記２枚のバルブシートの対向面で液体
が乾燥し、液体成分が結晶化して析出した状態では、逆
止弁として封止圧が十分得られず、よって開閉弁又は逆
止弁効果を十分に得られない可能性もある。このような
場合、停止中に中間貯蔵部137から流体が逆流して抜け
ていく可能性もあり、従って、再起動した場合に、経路
内で流体が正常に流れ出すまでにタイムラグが生じてマ
イクロポンプ100の応答性が低下する可能性がある。こ
のような問題を含めて、従来、同一のマイクロポンプで
液体と気体の双方を交互に流すことは実質上できなかっ
た。

【００１６】そこで、本発明は、気体／液体の双方を交
互に流す場合においても開閉弁部分で動作不良が起こら
ず、機能性に優れ、かつメンテナンスが容易で、十分な
逆止効果を得られる逆止構造を提供することを目的とす
る。また、この逆止構造を用いることにより、液体／気
体の双方の流体を良好に搬送できるとともに、高精度で
応答性の良い、また故障のない信頼性があるマイクロポ
ンプを提供することも目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に記載の発明では、流体の送流方向入口側
に位置していて流体を通す孔（20a、20b）を中心に有す
る受け部材（例えばフランジシート20）と、流体の送流
方向出口側に位置していて流体を通す開口部（12）を同
心円上の周縁位置に有するバルブ成形体（例えばチャッ
キバルブ10）とを、前記孔（20a、20b）と前記開口部（1
2）の配置が重ならない組み合わせで対面させ、前記バ
ルブ成形体を前記受け部材に密着させることにより、流
体が逆流することを防ぐ逆止弁構造において、前記バル
ブ成形体は、前記受け部材との対向側片面円中心の中央
部に凸部（チャッキ部11）が設けられ、前記受け部材の
孔（20a、20b）の入り口部円周の稜線全周で線接触する
接触部を有し、かつ前記バルブ成形体中央の凸部（チャ
ッキ部11）から円周方向に延びた薄肉部（14）の外周に
位置する前記受け部材に平面が密着するリング状密着部
（例えば周縁部13）とを兼ね備えている。

【００１８】この上記記載の逆止弁構造においては、例
えば図１、図２に示すドーム状の凸部（チャッキ部11）
形状の接触部Ａは、前記受け部材20の孔(20a,20b)を通
じて送流方向上流側の圧力を受ける。従って、上流側の
圧力を下流側より高くして流体を送流す場合は、前記凸
部（チャッキ部11）は下流側に向けて押され、前記接触
部Ａは離間し、前記受け部材20の孔(20a,20b)を開放す
るため、流体は上流側から下流側、つまり吸入方向から
排出方向に向けて流れ、駆動部のダイヤフラムの上下動
により順次この動作は繰り返される。

【００１９】これに対し、流体を流さない場合、すなわ
ちダイヤフラムが停止状態で、上流側の圧力が下流側と
等しいか、あるいは下流側より低い場合は、前記接触部
Ａは前記孔の入り口部分の円周稜線全周に押しつけられ
るため、流体の逆流は起こらない。

【００２０】ここで、前記ドーム状凸部と前記受け部材
孔とは、組み合わされて逆止弁機構を成し、円周状にお
互いが接触部Ａで線接触しており、また、その他の部分
では対向する受け部材と外周部分のリング状平面部（例
えば周縁部13）で面同士が密着している。

【００２１】このため、前記バルブ成形体（チャッキバ
ルブ10）の可動部（チャッキ部11、薄肉部14）と前記受
け部材（フランジシート20）とが対向面で平面同士が接
することを防いでいる。従って、前記記載の液体と気体
を交互に流した後に作動を一時停止しても、前記バルブ
成形体側と前記受け部材側とが液体残留の問題で貼り付
くことはないため、再起動はすぐに行えて、動作不良と
なることはない。従って、本逆止弁構造によれば、気体
のみならず液体も交互に流すことができる。

【００２２】また、実質的に前記接触部と前記孔の周縁
部とを従来の面接触ではなく、線接触としたことによ
り、単位面積当たりの接触圧、すなわち逆止弁の密閉圧
は従来より高くなり、従って、逆止弁機能は向上し、流
体の逆流はない。

【００２３】この請求項１に記載の逆止弁構造は、より
具体的には、請求項２や請求項３、請求項４に記載の構
造が考えられる。

【００２４】すなわち、請求項２に記載の逆止弁構造
は、接触部を、従来の弾性体バルブシート本体から立設
して立体形状とし、中央部（チャッキ部11）凸形状がド
ーム状、円錐状、円弧状、または一部が先端側に向けて
テーパー状に細く、前記受け部材側の孔縁部分に対し角
度をもって同周面で線接触しており、受け部材の孔に填
る栓状部材（例えば図３のチャッキ部11の円錐形状、ま
た図４のコルク栓形状）としたことも含まれる。

【００２５】ここでさらに加えるならば、前記チャッキ
部(11)の形状は、例えば前記孔の径方向断面形状が円で
ある場合は、半球や円錐、さらには側断面が放物線形状
のものを含み、これらの頂部を水平に切断した時、前記
孔と同型の円形状となるものが全て含まれるが、これら
形状のみに限定されるものではなく、前記孔の断面形状
（例えば楕円）に合わせて任意に変形できるものであ
る。このように、前記接触部の一部または全部を下流側
から上流側に向けて細くする形状とすると、前記接触部
と前記孔の内壁とが任意の箇所で線接触する構造とする
ことができる。

【００２６】また、請求項３に記載の逆止弁構造として
は、前記請求項２に記載の逆止弁構造において、前記凸
部（チャッキ部11）形状の接触部の反対面、つまり受け
部材の孔と接するチャッキ部表層とは反対側の裏面は、
図５のように略半球状にえぐられて空洞となっているバ
ルブ成形体（チャッキバルブ10）が組み合わされる。

【００２７】この場合は、前記可動部である両面ドーム
状のチャッキ部11は軽くなると共に、その弾性特性は向
上するため、前記接触部は前記孔に密着しやすく、また
離れやすく、従って、微小な圧力変化に対しても応答性
はよく、より小型で精密なマイクロポンプとしての逆止
弁構造が可能となる。

【００２８】また、請求項４に記載の逆止弁構造は、受
け部材（例えばフランジシート20）の孔片側の周縁部全
周を隆起させた隆起部（21）を設けることにより、前記
孔の端部とバルブ成形体（例えばチャッキバルブ10）の
接触部とを線接触させることができる。この場合は、対
向するバルブ部材の接触部の形状が従来と同様に平板状
であっても、前記隆起部により前記接触部は前記孔の周
縁部（頂部）と線接触する。また、当然、前記接触部の
形状を請求項２または請求項３に記載の構造としても良
いのは言うまでもない。

【００２９】また、請求項５に記載の発明は、請求項１
〜請求項４のいずれかに記載の逆止機構の逆止弁構造を
有するマイクロポンプである。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、図１および図２を用いて本
発明に係る逆止弁構造を用いた逆止弁１の弾性体バルブ
について詳細に説明する。

【００３１】逆止弁１は、図２の側断面概略図に示すよ
うに、バルブの受け材となるフランジシート20（弾性体
ゴムの受け部材）にチャッキバルブ10（弾性体ゴムから
なる成形品）を図のような対向面になるように重ね、周
縁部13の円周面にて相互に押さえつけて密着させた構成
である。ここでの前記円周面での押さえつけた密着と
は、組み合わされた図２の破線位置に対し、多少、中央
の孔の縁（隆起部21）との接触部で対向面方向に弾力性
を持たせた状態で保持する設定となっている。よって流
体から圧力を受けなくてもチャッキバルブ10はフランジ
シート20の孔(20a,20b)を押さえつけるように塞ぐこと
になる。

【００３２】チャッキバルブ10は、前記従来のバルブシ
ート151と同様に、ゴムなどの弾性材料（実施例の場
合、耐薬品性に優れたバイトンゴムを使用）から作製さ
れ、図１（Ａ）の上面概略図および図１（Ｂ）の側断面
概略図に示すように、円板形状の中心部に略半球状の栓
状部（チャッキ部11）を設け、さらに、栓状部（チャッ
キ部11）の周囲に流体を通すための開口部12を１２０゜
配分に計３箇所設けた形状をしている。

【００３３】また、チャッキバルブ10の対向面側は、チ
ャッキ部11から続く薄肉部14が、周縁部13の密着部側で
段差が付けられ窪んでおり、フランジシート20とは間隙
を設ける設計となっている。すなわち、チャッキバルブ
10をフランジシート20に対向させ、チャッキ部11が孔(2
0a,20b)に填るように重ねると、チャッキ部11は孔(20a,
20b)の周縁部に線接触することになる。

【００３４】この逆止弁構造の用途としては、例えば医
療機器、化学分析機器等に用いれる小型の微量流体供給
装置で、特に液体／気体、双方の流体を交互に使用でき
る高精度なマイクロポンプがある。より具体的には、前
記図７に示すようなマイクロポンプ100において、ポン
プヘッド部130の従来の逆止弁構造の代わりに用いる。

【００３５】なお、チャッキ部11の形状はドーム型の半
球状に限定されるものではなく、例えば図３、図４の断
面概略図に示すようにしてもよく、また、図５の断面概
略図に示すように、裏層11aを表層と類似形状で空洞と
してもよく、これらは全て同様な効果が得られる。

【００３６】次に、図６を用いて逆止弁構造の他方、バ
ルブの受け部材（フランジシート）について説明する。
逆止弁１の構造は、従来の逆止弁150と概略同じ部品構
成であるが、バルブ受けシート152の代わりに、新規構
造である図６（Ａ）の上面概略図および図６（Ｂ）の側
断面概略図に示すフランジシート20（受け部材）を新た
に採用したものである。

【００３７】このフランジシート20は、例えばチャッキ
バルブ10と同様に弾性体ゴム製であり、円板の中心に流
体を通すための孔(20a,20b)を有し、また、従来の平板
平面状のバルブシート151を当接させる受け面には、孔
(20a,20b)の周縁部に断面が半円で、頂部は周縁部23よ
りも高い隆起部21を新たに設け、さらに、外周の周縁部
23を除いて円周内域に段差を設けることにより形成され
る凹部22が新たに追加されている。

【００３８】実際に本発明の逆止弁１をマイクロポンプ
に組み込んだものを図９に示す。図において逆止弁構造
の基本的な作動原理は、前記記述した従来のものと同様
で説明を省略するが、逆止弁としては一部複雑な形状で
ある割には、同サイズでコンパクトにバルブケース131
円筒穴部分に積層され填め込まれている。

【００３９】ここで本実施例においては前記のような新
規なチャッキバルブ10を用いているが、代わりに従来タ
イプの平板状の平面バルブシート151を仮に用いても、
その効果は十分に得られる構造としている。すなわち、
従来のバルブシート151とフランジシート20とは、隆起
部21と周縁部23とを除いて接することななく、また、隆
起部21とバルブシート151の接触部とは、やはり線接触
しているので、可動部分での面同士の密着はなくなる。

【００４０】このように本実施例では、新規なチャッキ
バルブ10と新規なフランジシート20を初めて組み合わせ
たが、どちらか一方の構造を従来バルブシート151、又
はバルブ受けシート152と組み合わせて使用することも
可能であり、コストと使用目的に応じて上記組み合わせ
を選択することは自由である。

【００４１】ここで付け加えておくが、本発明における
バルブ成形体（例えばチャッキバルブ10）、及びバルブ
受け部材（例えばフランジシート20）は、耐薬品性に優
れた弾性体ゴム（例えばバイトンゴム等）としたが、部
品材質については金属製であっても良い。

【００４２】例えば、チャッキ部11をボールベアリング
などに用いられる小径のスチールボールとし、この球体
を片側から覆うバネ性のある金属薄板で、前記構造の薄
肉部14と周縁部13を一体にプレス成形した金属製のバル
ブ成形体とか、又、フランジシート20においても、前記
隆起部21と周縁部13の表面を鏡面状態に処理した金属製
のフランジ成形体とすることも考えられる。

【００４３】この金属製の逆止弁は、液体／流体を問わ
ず、数ミクロン程度の硬質素材からなる溶媒混合の顆粒
（例えばセラミックスパウダー、カラスビース、ダイヤ
モンドパウダー等）を含む流体を送流することも可能で
ある。

【００４４】

【発明の効果】以上より、本発明に係る逆止弁構造によ
れば、前記チャッキバルブの接触部と前記フランジシー
ト中心の孔の周縁部とは線接触状態で開閉弁作動するた
め、液体を流しても前記チャッキバルブ部材と前記フラ
ンジシート部材とが残留した前記液体を介して貼り付く
ことはない。従って、一つの装置で気体のみならず液体
も併用して流すことができる逆止弁構造が得られる。

【００４５】また、本発明に係る逆止弁構造によれば、
開閉弁を構成する２つの部品の前記接触部と前記孔の周
縁部の接触圧、すなわち逆止圧は、全周がリング状に線
接触状態としたため、単位面積当たりの圧力は従来より
高くなり、逆止弁としての流体の逆流遮断はより優れた
ものとなる。よって、高精度な制御ができ、小型で汎用
性のあるマイクロポンプが得られる。

【００４６】つまり、本発明に係る逆止弁構造は、気体
／液体の双方を交互に流す場合においても開閉弁部分で
の動作不良が起こらず、機能的に応答性に優れ、かつメ
ンテナンスが容易で十分な逆止効果を得られると共に、
液体／気体の双方の流体を交互に搬送でき、かつ高精度
に供給制御することが可能で、なおかつ、故障がなく信
頼性が高いマイクロポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（Ａ）は、本発明の実施例である逆止弁１
に用いるチャッキバルブ10の上面概略図であり、図１
（Ｂ）はチャッキバルブ10の側断面概略図である。

【図２】逆止弁１の側断面概略図である。

【図３】チャッキバルブ10の変形例を説明する逆止弁１
の側断面概略図である。

【図４】チャッキバルブ10の他の変形例を説明する逆止
弁１の側断面概略図である。

【図５】チャッキバルブ10の他の変形例を説明する
（Ａ）上面概略図、及び（Ｂ）側断面概略図である。

【図６】本発明のフランジシート20の構成を説明する
（Ａ）上面概略図、及び（Ｂ）側断面概略図である。

【図７】従来例であるマイクロポンプ100の構成につい
て説明する概略図である。

【図８】マイクロポンプ100の構成要素であるポンプヘ
ッド部130の構成について説明する概略図である。

【図９】本発明の逆止弁１を組み込んだマイクロポンプ
のポンプヘッド部130の構成について説明する概略図で
ある。

【図10】従来例の逆止弁150を構成するバルブシート151
の（Ａ）上面概略図、及び（Ｂ）側断面概略図である。

【図11】従来例の逆止弁150を構成するバルブ受けシー
ト152の（Ａ）上面概略図、及び（Ｂ）側断面概略図で
ある。

【符号の説明】

１ 逆止弁 10 チャッキバルブ（バルブ成形体） 11 チャッキ部（栓状部材） 12 開口部 13 周縁部（密着部） 20 フランジシート（受け部材） 20a 孔 21 隆起部 100 マイクロポンプ 120 カム機構 121 クランクシャフト 130 ポンプヘッド部 131 バルブケース 132 ダイヤフラム 133 チャンバー 133a,b 吸入孔、排出孔 134 プッシング部材 135a,b 吸入路、排出路 136 Ｏリング 137 中間貯蔵部 140 ノズル 140a,b 吸入口、排出口 151 バルブシート 152 バルブ受けシート（受け部材） 152a,b 孔 200 ヘッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ０４Ｂ 21/02 Ｅ Ｆターム(参考） 3H003 AA04 AC01 AD03 BC04 CC07 CC08 CD02 3H058 AA03 AA14 BB02 BB03 BB21 BB22 BB37 BB40 CA03 CA05 CA06 CA23 CB06 CB18 CD26 EE01 EE12 EE14 EE20 3H071 AA01 AA15 BB01 CC17 CC26 CC28 CC35 CC47 DD12 DD13 DD14 EE01 EE07 EE15 3H077 AA01 AA11 BB10 CC02 CC09 DD02 EE40 FF06 FF12

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体の送流方向入口側に位置していて流体
   を通す孔を中心に有する受け部材と、流体の送流方向出
   口側に位置していて流体を通す開口部を同心円上の周縁
   位置に有するバルブ成形体とを、前記孔と前記開口部の
   配置が重なり合わない組み合わせで対面させ、前記バル
   ブ成形体を前記受け部材に密着させることにより、流体
   が逆流することを防ぐ逆止弁構造において、 前記バルブ成形体は、前記受け部材との対向側片面円中
   心の中央部に凸部（チャッキ部11）が設けられ、前記受
   け部材の孔（20a、20b）の入り口部円周の稜線全周で線
   接触する接触部を有し、かつ前記バルブ成形体中央の凸
   部（チャッキ部11）から円周方向に延びた薄肉部（14）
   の外周に位置する前記受け部材に平面が密着するリング
   状密着部（例えば周縁部13）とを備えたことを特徴とす
   る逆止弁構造。
2. 【請求項２】請求項１に記載の逆止弁構造において、 前記接触部を、円盤状弾性体バルブ本体から立設して、
   中央部（チャッキ部11）凸形状がドーム状、円錐状、円
   弧状、または一部が先端側に向けてテーパー状に細く、
   前記受け部材側の孔縁部分に対し角度をもって同周面で
   線接触し、受け部材の孔に填る栓状部材としたことを特
   徴とする逆止弁構造。
3. 【請求項３】請求項２に記載の逆止構造において、 前記バルブ成形体中央の凸部（チャッキ部11）は、受け
   部材の孔に接する表層側を除いて、裏層が略半球状凹形
   状にえぐられて空洞となっていることを特徴とする逆止
   弁構造。
4. 【請求項４】請求項１〜請求項３のいずれかに記載の逆
   止弁構造において、 前記受け部材の孔の周縁部全周を隆起させた隆起部を設
   けることにより、前記孔の端部とバルブ成形体の凸部
   （チャッキ部11）、あるいは平面板状の弾性体バルブシ
   ートとの接触部を線接触させることを特徴とする逆止弁
   構造。
5. 【請求項５】請求項１〜請求項４のいずれかに記載の逆
   止構造の逆止弁を有することを特徴とするマイクロポン
   プ。