JP2001009222A - フィルタ−用多孔質フィルムおよびフィルタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱性のフィルタ−用多孔質フィルムおよび
それを用いた微粒子の捕集が可能なフィルタ−、バグフ
ィルタ−を提供する。 【解決手段】 微細な連続孔を有する多孔質構造を持
ち、空孔率が１５−８５％で、平均孔径が０．０１−５
μｍで、最大孔径１０μｍ以下、膜厚５−１００μｍ、
耐熱温度２００℃以上の高耐熱性樹脂からなるフィルタ
−用多孔質フィルム、およびそれを用いたフィルタ−、
バグフィルタ−に関する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集塵、精密濾過な
どに好適に適用され、特に耐熱性が要求される焼却炉の
排ガスの埃塵や、高圧ガス中の微粒子を捕集するのに好
適なフィルタ−用多孔質フィルム、それを使用したフィ
ルタ−およびバグフィルタ−に関する。特に、ポリイミ
ド多孔質フィルムからなるフィルタ−は、排ガス処理、
電子機器、半導体産業、食品産業など精密濾過に有用に
用いられる。特に、バグフィルタ−に有用である。本発
明において、微細な連続孔とは、任意の表面から細孔が
通路状に他の表面まで連続している、いわゆる開放孔を
いい、好適には細孔が屈曲しながら、ある面から反対面
に通じているものをいう。

【０００２】

【従来の技術】従来のフィルターは、濾過孔径が大き
く、微小な粒子の捕集効率が低く、微粒子の捕集が困難
であった。また、気体から粉塵捕集・分離用のバグフィ
ルタ−は、目開きは、特に細かいもので、せいぜい１０
μｍ程度である。耐熱性のバグフィルタ−は、多くはガ
ラス繊維、アラミド繊維、炭素繊維などの耐熱性繊維か
らなり、気体を通過する時、繊維屑がコンタミ（異物混
入）となって入るおそれがあるために、食品用、工業
用、電子部品用など精密な濾過、バグフィルタ−には適
切ではなかった。

【０００３】たとえば、特開平10-158308号公報では、
耐熱用の気相重合用のバグフィルタ−が開示されてい
る。また、特開平10-5521号公報には、強度、耐久性を
備えたポリイミド繊維からなるフィルタ−エレメントが
開示されている。特開平10-33945号公報には、燃焼器か
ら排出される排ガスを、耐熱繊維の織布で構成されたバ
グフィルタ−を設置した排ガス装置が開示されている。
また、特開平10-298340号公報には、水処理、精密濾過
に好適なポリオレフィン微多孔膜の製造方法が開示され
ている。

【０００４】しかし、ポリオレフィン多孔膜は、温度２
００℃以上の耐熱性用途には、フィルタ−として、耐熱
性の点で不適当である。繊維からなるフィルタ−エレメ
ントは、厚くて、重量的に重いという欠点がある。その
ために、軽くて、嵩張らず、耐熱性が高く、コンタミの
実質的に出ない、且つ耐久性のある、孔径が０．５−１
０μｍの微粒子を捕集する耐熱性膜の出現が期待されて
いた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、孔径
が小さく、連続孔であるため、微細な粒子の捕集効率が
高く、濾過処理量が比較的大きなフィルタ−で、耐熱性
で、耐久性能に優れ、重量的に軽く、嵩張らない、高耐
熱性樹脂からなるフィルタ−用多孔質フィルムおよびフ
ィルタ−用多孔質フィルムを使用したフィルタ−、バグ
フィルタ−を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、微細な連続孔
を有する、多孔質構造を持ち、空孔率１５−８５％、好
適には３０−８５％、平均孔径０．０１−５μｍ、最大
孔径が１０μｍ以下、膜厚５−１００μｍ、耐熱温度２
００℃以上である高耐熱性樹脂からなるフィルタ−用多
孔質フィルムに関する。また、本発明は、前記のフィル
タ−用多孔質フィルムを１層もしくは２層以上積層した
あるいは、該フィルタ−用多孔質フィルムと不織布ある
いは他の多孔膜を積層した単層または複層構造のフィル
タ−に関する。さらに、本発明は、前記のフィルタ−用
多孔質フィルムを有するフィルタ−からなるバグフィル
タ−に関する。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態を以下
に説明する。 １）高耐熱性フィルムがポリイミドフィルムである上記
のフィルタ−用多孔質フィルム。本発明における高耐熱
性樹脂としては、酸成分とジアミン成分とを縮重合し、
加熱によって高分子量で、かつ高耐熱性となる樹脂、好
適には芳香族ポリイミドが挙げられる。

【０００８】本発明の高耐熱性樹脂からなるフィルタ−
用多孔質フィルムは平均孔径が０．０１−５μｍであ
り、好ましくは０．０５−５μmである。平均孔径０．
０１μｍ以下では、フィルターとして適用されるとき、
処理量が小さすぎて、フィルタ−として、濾過速度が期
待できる機能を発揮できないことがある。また、平均孔
径５μｍを越えると、同様に、微粒子の捕集率が低くな
ったり、微粒子が通過してしまうことがあって、フィル
タ−の機能が低下する。

【０００９】本発明のフィルタ−用多孔質フィルムは、
最大孔径が１０μm以下である。最大孔径が１０μmを越
えると、大きな微粒子を捕捉できないので、フィルタ−
としての機能が劣る。

【００１０】本発明のフィルタ−用多孔質フィルムは、
膜厚が５−１００μmである。膜厚が５μmより、薄い
と、機械的強度が弱いものになってしまう。また、膜厚
１００μmを越えると、連続孔の割合が減少するので、
フィルタ−の通過量が低くなってくる。

【００１１】本発明の高耐熱性樹脂からなるフィルタ−
用多孔質フィルムは、耐熱温度が２００℃以上である。
ここで言う耐熱性とは、たとえばＤＳＣで評価したガラ
ス転移温度（Ｔｇ）のことを言う。耐熱温度が２００℃
より低くなると、形状が熱によって、収縮したり、伸び
たり、変形することがある。高温や局部的に熱が発生す
るところでは、フィルタ−としての機能が低下するの
で、耐熱温度２００℃以下では適当でない。

【００１２】本発明のフィルタ−用多孔質フィルムは、
１層もしくは２層以上を積層し、あるいはフィルタ−用
多孔質フィルムと他の不織布あるいは多孔膜、織物を積
層することによって得ることができる。１層または２層
以上のポリイミド多孔膜を組み合わせると、さらに、フ
ィルタ−として、幅広い性能が期待できる。２層以上組
み合わせて使用すると、捕集率がさらに増加する。ま
た、他のフィルタ−エレメントである不織布、織物を積
層して単層または複層構造のフィルタ−を得ることがで
きる。組み合わせる不織布、織物としては、ガラス繊
維、炭素繊維、金属繊維、有機耐熱性繊維などの不織
布、織物などが耐熱性で好ましい。また、他の多孔質の
炭素板、黒鉛粉末、窒化珪素、窒化アルミなど無機物の
焼結膜、板状のものも多孔膜であれば好適に使用するこ
とができる。

【００１３】特に、ポリイミド多孔質フィルムを有する
フィルタ−からなるバグフィルタ−は、０．５μｍ以上
の微粒子が捕捉される。

【００１４】本発明のフィルタ−用多孔質フィルムの代
表例であるポリイミドフィルタ−用多孔質フィルムは、
例えば次の方法によって製造することができる。ポリイ
ミド前駆体溶液の流延物を溶媒置換速度調整材を介して
凝固溶媒と接触させてポリイミド前駆体の析出、多孔質
化を行い、次いで多孔質化されたポリイミド前駆体フィ
ルムを熱イミド化あるいは化学イミド化してフィルタ−
用多孔質ポリイミドフィルムを製造する。

【００１５】前記のポリイミド前駆体とは、テトラカル
ボン酸成分とジアミン成分、好ましくは芳香族モノマ−
を重合して得られたポリアミック酸或いはその部分的に
イミド化したものであり、熱イミド化あるいは化学イミ
ド化することで閉環してポリイミド樹脂とすることがで
きるものである。ポリイミド樹脂とは、後述のイミド化
率が約８０％以上、好適には約９５％以上の耐熱性ポリ
マ−である。

【００１６】前記のポリイミド前駆体の溶媒として用い
る有機溶媒は、パラクロロフェノ−ル、Ｎ−メチル−２
−ピロリドン（ＮＭＰ）、ピリジン、Ｎ，Ｎ−ジメチル
アセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチ
ルスルホキシド、テトラメチル尿素、フェノ−ル、クレ
ゾ−ルなどが挙げられる。

【００１７】前記のテトラカルボン酸成分と芳香族ジア
ミン成分は、上記の有機溶媒中に大略等モル溶解し重合
して、対数粘度（３０℃、濃度；０．５ｇ／１００ｍＬ
ＮＭＰ）が０．３以上、特に０．５−７であるポリイ
ミド前駆体が製造される。また、重合を約８０℃以上の
温度で行った場合に、部分的に閉環してイミド化したポ
リイミド前駆体が製造される。

【００１８】前記の芳香族ジアミンとしては、例えば、
一般式（１） Ｈ2Ｎ−Ｒ（Ｒ1）m−Ａ−（Ｒ2）nＲ’−ＮＨ2 （１） （ただし、前記一般式において、ＲおよびＲ’は直接結
合あるいは二価の芳香族環、Ｒ1およびＲ2は、水素、低
級アルキル、低級アルコキシ、ハロゲン原子などの置換
基であり、Ａは、Ｏ、Ｓ、ＣＯ、ＳＯ2、ＳＯ、ＣＨ2、
Ｃ（ＣＨ3）2などの二価の基であり、ｍおよびｎは１−
４の整数である。）で示される芳香族ジアミン化合物が
好ましい。

【００１９】前記芳香族ジアミンの具体的な化合物とし
ては、４，４’−ジアミノジフェニルエ−テル（以下、
ＤＡＤＥと略記することもある）、３，３’−ジメチル
−４，４’−ジアミノジフェニルエ−テル、３，３’−
ジエトキシ−４，４’−ジアミノジフェニルエ−テル、
パラフェニレンジアミン（以下ｐ−ＰＤＡと略記するこ
ともある）などが挙げられる。

【００２０】また、前記の芳香族ジアミン成分として
は、ジアミノピリジンであってもよく、具体的には、
２，６−ジアミノピリジン、３，６−ジアミノピリジ
ン、２，５−ジアミノピリジン、３，４−ジアミノピリ
ジンなどが挙げられる。芳香族ジアミン成分は上記の各
芳香族ジアミンを２種以上組み合わせて使用してもよ
い。

【００２１】前記のテトラカルボン酸成分としては、好
適にはビフェニルテトラカルボン酸成分が挙げられ、例
えば３，３’，４，４’− ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物（以下、ｓ−ＢＰＤＡと略記することもあ
る）、２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物（以下、ａ−ＢＰＤＡと略記することもあ
る）が好ましいが、２，３，３’，４’−又は３，
３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸、あるい
は２，３，３’，４’− 又は３，３’，４，４’−ビ
フェニルテトラカルボン酸の塩またはそれらのエステル
化誘導体であってもよい。ビフェニルテトラカルボン酸
成分は、上記の各ビフェニルテトラカルボン酸類の混合
物であってもよい。

【００２２】また、上記のテトラカルボン酸成分は、ピ
ロメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシ
フェニル）プロパン、ビス（３，４−ジカルボキシフェ
ニル）スルホン，ビス（３，４−ジカルボキシフェニ
ル）エ−テル、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）
チオエ−テルあるいはそれらの酸無水物、塩またはエス
テル化誘導体などのテトラカルボン酸類であってもよ
い。またこれら芳香族テトラカルボン酸成分の一部をブ
タンテトラカルボン酸、あるいはそれらの酸無水物、塩
またはエステル化誘導体などの脂肪族テトラカルボン酸
類で、全テトラカルボン酸成分に対して１０モル％以
下、特に５モル％以下の割合で置き換えてもよい。

【００２３】前記のポリイミド前駆体は、前記有機溶媒
に０．３−６０重量％、好ましくは１％−３０重量％の
割合で溶解してポリイミド前駆体溶液に調製される（有
機溶媒を加えてもよくあるいは重合溶液をそのまま用い
ても良い）。ポリイミド前駆体の割合が０．３重量％よ
り小さいと多孔質フィルムを作製した際のフィルム強度
が低下するので適当でなく、６０重量％より大きいと多
孔質フィルムのイオン透過性が低下するため、上記範囲
の割合が好適である。また、調製されたポリイミド前駆
体溶液の溶液粘度は１０−１００００ポイズ、好ましく
は４０−３０００ポイズである。溶液粘度が１０ポイズ
より小さいと多孔質フィルムを作製した際のフィルム強
度が低下するので適当でなく、１００００ポイズより大
きいとフィルム状に流延することが困難となるので、上
記範囲が好適である。

【００２４】ポリイミド前駆体溶液にはその他、繊維、
粉末、織物などの充填材を配合してもよい。たとえば、
炭素繊維、ガラス繊維、窒化珪素繊維、金属繊維、黒鉛
粉末、窒化珪素、窒化硼素、石英、炭素繊維布などを配
合してもよい。これらの添加剤及び補強材は上記ポリイ
ミド前駆体溶液に、本発明の多孔性高耐熱性フィルムの
阻害しない範囲で、適宜配合することができる。

【００２５】ポリイミド前駆体溶液は、フィルム状に流
延して流延物とした後、少なくとも片面に溶媒置換速度
調整材を配した積層フィルムとされる。ポリイミド前駆
体溶液の流延積層フィルムを得る方法としては特に制限
はないが、該ポリイミド前駆体溶液を基台となるガラス
等の板上或いは可動式のベルト上に流延した後、流延物
表面を溶媒置換速度調整材で覆う方法、該ポリイミド前
駆体溶液をスプレ−法あるいはドクタ−ブレ−ド法を用
いて溶媒置換速度調整材上に薄くコ−ティングする方
法、該ポリイミド前駆体溶液をＴダイから押出して溶媒
置換速度調整材間に挟み込み、両面に溶媒置換速度調整
材を配した３層積層フィルムを得る方法などの手法を用
いることができる。

【００２６】溶媒置換速度調整材としては、前記多層フ
ィルムを凝固溶媒と接触させてポリイミド前駆体を析出
させる際に、ポリイミド前駆体の溶媒及び凝固溶媒が適
切な速度で透過する事が出来る程度の透過性を有するも
のが好ましい。特に、透気度が５０−１０００秒／１０
０ｃｃ、特に２５０−８００秒／１００ｃｃであるもの
が好ましい。溶媒置換速度調整材の膜厚は５−５００μ
ｍ、好ましくは１０−１００μｍであり、フィルム断面
方向に貫通した０．０１−５μｍ、好ましくは０．０３
−１μｍの孔が十分な密度で分散しているものが好適で
ある。溶媒置換速度調整材の膜厚が上記範囲より小さい
と溶媒置換速度が速すぎる為に析出したポリイミド前駆
体表面に緻密層が形成されるだけでなく凝固溶媒と接触
させる際にシワが発生する場合があるので適当でなく、
上記範囲より大きいと溶媒置換速度が遅くなる為にポリ
イミド前駆体内部に形成される孔構造が不均一となる。

【００２７】溶媒置換速度調整材としては、具体的に
は、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン、セルロース、テフロンなどを材料とした不織布或い
は多孔膜などが用いられ、特にポリオレフィン製の微多
孔質膜を用いた際に、製造されたポリイミド多孔質フィ
ルム表面の平滑性に優れるので好適である。

【００２８】複層化されたポリイミド前駆体流延物は、
溶媒置換速度調整材を介して凝固溶媒と接触させること
でポリイミド前駆体の析出、多孔質化を行う。ポリイミ
ド前駆体の凝固溶媒としては、エタノ−ル、メタノ−ル
等のアルコ−ル類、アセトン、水等のポリイミド前駆体
の非溶媒またはこれら非溶媒９９．９−５０重量％と前
記ポリイミド前駆体の溶媒０．１−５０重量％とのの混
合溶媒を用いることができる。非溶媒及び溶媒の組合わ
せには特に制限はないが、凝固溶媒に非溶媒と溶媒から
なる混合溶媒を用いた場合に析出したポリイミド前駆体
の多孔質構造が均一となるので好適である。特に、凝固
溶媒として、ポリイミド前駆体の溶媒０．１−６０重量
％と非溶媒９９．９−４０重量％とからなる混合溶媒を
用いることが好ましい。

【００２９】多孔質化されたポリイミド前駆体フィルム
は、ついで熱イミド化処理或いは化学イミド化処理が施
される。ポリイミド前駆体フィルムの熱イミド化は、溶
媒置換速度調整材を取除いたポリイミド前駆体多孔質フ
ィルムをピン、チャック或いはピンチロ−ル等を用いて
熱収縮が生じないように固定し、大気中にて２８０−５
００℃で５−６０分間行われる。

【００３０】ポリイミド前駆体多孔質フィルムの化学イ
ミド化処理は、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物を脱水
剤として用い、トリエチルアミン等の第三級アミンを触
媒として行われる。また、特開平４−３３９８３５のよ
うに、イミダ−ル、ベンズイミダゾ−ル、もしくはそれ
らの置換誘導体を用いても良い。

【００３１】ポリイミド前駆体多孔質フィルムの化学イ
ミド化処理は、ポリイミド多孔質フィルムを複層構成で
製造する場合に好適に用いられる。複層ポリイミド多孔
質フィルムは、例えば溶媒置換速度調整材として用いる
ポリオレフィン微多孔膜表面をポリイミド多孔質層との
界面接着性を改良するためにプラズマ、電子線或いは化
学処理した後、ポリイミド前駆体溶液流延物と複層化
し、凝固溶媒との接触によってポリイミド前駆体溶液流
延物を析出、多孔質化し、得られた前駆体多孔質フィル
ムを複層化する。最後に化学イミド化処理を行うことで
複層ポリイミド多孔質フィルムを製造することができ
る。複層ポリイミド多孔質フィルムの化学イミド化処理
は、積層する溶媒置換速度調整材の融点或いは耐熱温度
以下の温度範囲で行われることが好ましい。

【００３２】このようにして製造される多孔質ポリイミ
ドフィルムは、前記製造条件の選択によっても多少異な
るが、空孔率が１５−８５％、好適には３０−８５％、
特に４０−７０％、さらに平均孔径が０．０１−５μ
ｍ、好適には０．０５−５μｍ、特に０．１−１μｍで
最大孔径１０μｍ以下である。

【００３３】また、該多孔質ポリイミドフィルムは単層
あるいは複層いずれの構成であってもよくフィルム全体
の膜厚が５−１００μｍ、好適には透気度３０秒／１０
０ｃｃ−２０００秒／１００ｃｃに調製され、ポリイミ
ド多孔質層の耐熱温度が２００℃以上、１０５℃で８時
間熱処理した際の熱収縮率は±１％以下であるものが好
ましい。

【００３４】ポリイミド前駆体多孔質フィルムの化学処
理は、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物を脱水剤として
用い、トリエチルアミン等の第三級アミンを触媒として
行われる。また、特開平４−３３９８３５のように、イ
ミダール、ベンズイミダゾール、もしくはそれらの置換
誘導体を用いても良い。

【００３５】熱処理或は化学処理したポリイミド多孔質
フィルムのイミド化率は、８０％以上、好ましくは９５
％以上である。イミド化率が８０％より小さいと、フィ
ルタ−を高温で使用する際に、イミド化による脱水が起
こる、またはフィルタ−が変形してしまうので不都合で
ある。

【００３６】このようにして製造されるポリイミド多孔
質フィルムは、前記製造条件の選択によっても多少異な
るが、空孔率１５−８５％、好ましくは３０−８５％、
平均孔径０．０１−５μｍ、好ましくは０．０５−５μ
ｍ、特に０．１−１μｍで最大孔径１０μｍ以下であ
る。空孔率が３０％より低いと、フィルタ−として、透
過係数が低くり、空孔率が８５％を越えると、微粒子の
捕集効率が低くなりがちである。膜の機械的強度も低く
なるので不適当である。

【００３７】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。参考例、実施例、比較例における試験・評価方法ま
たは判定基準は次に示すとおりである。

【００３８】ポリイミド多孔質フィルムの評価 ポリイミド多孔質フィルムの膜厚、空孔率、平均孔径の
測定は以下に従って行った。 空孔率 所定の大きさに切取った多孔質フィルムの膜厚及び重量
を測定し、目付重量から空孔率を次の式（１）によって
求めた。式（１）のＳは多孔質フィルムの面積、ｄは膜
厚、ｗは測定した重量、Ｄはポリイミドの密度を意味
し、ポリイミドの密度は１．３４ｇ／ｃｍ3とした。 空孔率＝Ｓ×ｄ×Ｄ／ｗ×１００

【００３９】平均孔径 多孔質フィルム表面の走査型電子顕微鏡写真より、５０
点以上の開孔部について孔面積を測定し、該孔面積の平
均値から式（２）に従って孔形状が真円であるとした際
の平均直径を計算より求めた。式（２）のＳａは孔面積
の平均値を意味する。 平均孔径＝２×（Ｓａ／π）^1/2

【００４０】（フィルタ−としての評価）フィルタ−の
評価は、下記の方法でおこなった。 圧力損失（ΔＰ） 自製のステンレス製の円筒枠に張り付け、有効面積１０
０ｃｍ2のフィルタ−に、面風速５．３ｃｍ／秒で空気
を通過させ、その時の差圧（ｍｍH2O）を微差圧計で測
定した。

【００４１】ＤＯＰ捕集効率（Ｚ） ラスキンノズルで発生させた多分散DOP粒子を含む空気
を、有効面積１００ｃｍ2のフィルタ−に、面風速５．
３ｃｍ／秒で空気を通過させた時のＤＯＰ捕集効率をリ
オン株式会社製レ−ザ−パ−ティクルカウンタ−で測定
した。対象粒径は０．３−０．４μｍで測定した。捕集
効率は捕捉した割合（％）で示した。高温（２００℃、
１６０℃）での測定に際しては、その温度で１時間保持
し、その後室温まで冷却して測定した。

【００４２】ＰＦ値 フィルタ−の濾過性能の指標となるＰＦ値は、圧力損失
とＤＯＰ捕集効率から次式により求めた。

【００４３】参考例１ （ポリイミド多孔質フィルムの作製）テトラカルボン酸
成分としてｓ−ＢＰＤＡを、ジアミン成分としてＤＡＤ
Ｅを用い、ｓ−ＢＰＤＡに対するＤＡＤＥのモル比が
０．９９４で且つ該モノマー成分の合計重量が１５重量
％になるようにＮＭＰに溶解し、温度４０℃、６時間重
合を行ってポリイミド前駆体を得た。ポリイミド前駆体
溶液の溶液粘度は４５０ポイズであった。

【００４４】得られたポリイミド前駆体溶液を、ガラス
板上に厚みが約１５０μｍになるように流延し、溶媒置
換速度調整材として透気度５５０秒／１００ｃｃのポリ
オレフィン微多孔膜（宇部興産株式会社製ユ−ポアUP20
15）でシワの生じないように表面を覆った。該積層物を
メタノ−ル中に５分間浸漬し、溶媒置換速度調整材を介
して溶媒置換を行うことでポリイミド前駆体の析出、多
孔質化を行った。

【００４５】析出したポリイミド前駆体多孔質フィルム
を水中に１５分間浸漬した後、ガラス板及び溶媒置換速
度調整材から剥離し、ピンテンタ−に固定した状態で、
大気中にて３００℃、１０分間熱処理を行った。ポリイ
ミド多孔質フィルムのイミド化率は８０％であり、走査
電子顕微鏡観察の結果ではフィルム断面方向に微細な屈
曲した連続孔を有していた。得られた多孔質フィルムの
膜厚、空孔率、平均孔径の測定結果を次に示す。またＤ
ＳＣによって測定したＴｇは２８５℃であり、１０５℃
で８時間加熱した際の熱収縮率は±１％以下であった。 膜厚（μｍ） ４４ 空孔率（％） ５９．３ 平均孔径（μｍ） ０．６０

【００４６】参考例２ 流延するポリイミド前駆体溶液の濃度を１０重量％とし
た以外は参考例１と同様にしてポリイミド多孔質フィル
ムを得た。得られた多孔質フィルムの膜厚、空孔率、平
均孔径の測定結果を次に示す。他の物性は参考例１で得
られたものと同等であった。 膜厚（μｍ） ４０ 空孔率（％） ５９．０ 平均孔径（μｍ） ０．２０

【００４７】実施例１ 参考例１で作製したポリイミド多孔フィルムを１枚の単
層にしてフィルタ−を得た。このフィルタ−の性能を評
価した。結果を次に示す。 フィルタ−の構成 ポリイミド多孔質フィルム１
層 圧損失ΔＰ（ｍｍＨ2Ｏ） ２７４ 捕集率Ｚ（％） ９９．９９６３ ＰＦ値 １．６２

【００４８】実施例２ 参考例２で作製したポリイミド多孔フィルムを１枚の単
層にしてフィルタを得た。このフィルタ−の性能を評価
した。結果を次に示す。 フィルタ−の構成 ポリイミド多孔質フィルム１
層 圧損失ΔＰ（ｍｍＨ2Ｏ） ２４１ 捕集率Ｚ（％） ９９．９９０２ ＰＦ値 １．６６

【００４９】実施例３ 参考例１で作製したポリイミド多孔質フィルムを２層積
層してフィルタを得た。このフィルタ−の性能を評価し
た。結果を次に示す。 フィルタ−の構成 ポリイミド多孔質フィルム２
層 圧損失ΔＰ（ｍｍＨ2Ｏ） ５２５ 捕集率Ｚ（％） ９９．９９８３ ＰＦ値 ０．０９１

【００５０】実施例４ 参考例１で作製したポリイミド多孔質フィルムとガラス
繊維布（繊維径１３μｍ、目開き１００μｍ）を補強の
ために組み合わせて、複層にしてフィルタ−を作製し
た。フィルタ−としての性能を測定した。結果を次に示
す。 フィルタ−の構成 ポリイミド多孔質フィルム２
層とガラス繊維布２枚／２００℃ 圧損失ΔＰ（ｍｍＨ2Ｏ） ４７３ 捕集率Ｚ（％） ９９．９８５４ ＰＦ値 ０．８１

【００５１】実施例５ 参考例１のポリイミド多孔質フィルムを２枚と、その間
に炭素繊維で構成された公称目開き３０μｍからなるフ
ィルタ−エレメントとしたバグフィルタ−を作製した。
ＤＯＰ粒子を含んだ空気を面圧５．３ｍで通過させ、フ
ィルタ−性能を測定した。結果を次に示す。 フィルタ−の構成 ポリイミド多孔質フィルム２
層と炭素繊維２枚／２００℃ 圧損失ΔＰ（ｍｍＨ2Ｏ）３１０ 捕集率Ｚ（％） ９９．９８６０ ＰＦ値 １．２４

【００５２】比較例１ ポリオレフィン多孔フィルム（宇部興産製、ユ−ポアUP
2015）を２枚重ねて、フィルタ−を作製した。温度１６
０℃で保持後、ＤＯＰ粒子を含んだ空気を通過させた。
圧力損失が大きくなり、測定が不可能になった。

【００５３】

【発明の効果】本発明のフィルタ−用多孔質フィルム、
フィルタ−およびバグフィルタ−は、微細な連続孔を有
する高耐熱性樹脂からなる多孔質フィルムから作製され
ているので、集塵、精密濾過、バグフィルタ−、電子機
器、半導体産業、特に耐熱用途に、圧力損失が少なく、
微粒子の捕集効率が高い。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D019 AA01 BA13 BB03 BB08 BB10 BC12 BD01 4F074 AA74 CB31 CB34 CB47 CC04Z DA03 DA24 DA43

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 微細な連続孔を有する、多孔質構造を持
   ち、空孔率１５−８５％、平均孔径０．０１−５μｍ、
   最大孔径が１０μｍ以下、膜厚５−１００μｍ、耐熱温
   度２００℃以上である高耐熱性樹脂からなるフィルタ−
   用多孔質フィルム。
2. 【請求項２】 高耐熱樹脂がポリイミドである請求項１
   記載のフィルタ−用多孔質フィルム。
3. 【請求項３】 請求項１の高耐熱性樹脂からなるフィル
   タ−用多孔質フィルムを１層もしくは２層以上積層した
   あるいは、該フィルタ−用多孔質フィルムと不織布ある
   いは他の多孔膜とを積層した単層または複層構造のフィ
   ルタ−。
4. 【請求項４】 請求項１の高耐熱樹脂からなるフィルタ
   −用多孔質フィルムを有するフィルタ−からなるバグフ
   ィルタ−。