JP2001006396A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2001006396A
JP2001006396A JP11169752A JP16975299A JP2001006396A JP 2001006396 A JP2001006396 A JP 2001006396A JP 11169752 A JP11169752 A JP 11169752A JP 16975299 A JP16975299 A JP 16975299A JP 2001006396 A JP2001006396 A JP 2001006396A
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Tomonori Hayashi
智規 林
Naoharu Shinozaki
直治 篠▲崎▼
Hiroyoshi Tomita
浩由 富田
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、外部とのデータの受け渡しを直列
データで行い、メモリセルへのデータの読み書きを並列
データで行う半導体集積回路に関し、動作試験を高速に
行い、試験コストを低減することを目的とする。本発明
の別の目的は、試験コストを低減すること 【解決手段】 外部から供給される直列データを並列デ
ータに変換する入力変換部42と、並列データの各デー
タをそれぞれ書き込む複数のメモリセル領域16a、1
6bと、各メモリセル領域16a、16bから読み出さ
れるデータにより生成される並列データを直列データに
変換する出力変換部44とを備えた半導体集積回路にお
いて、試験モード時に、各メモリセル領域16a、16
bから読み出される並列データを論理演算する演算部5
6を備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部とのデータの
受け渡しを直列データで行い、メモリセルへのデータの
読み書きを並列データで行う半導体集積回路に関する。
また、本発明は、メモリセルへのデータの読み書き試験
を行う試験モードを備えた半導体集積回路に関し、特
に、試験コストを低減する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】外部とのデータの受け渡しを直列に行
い、メモリセルへのデータの読み書きを並列に行う半導
体集積回路として、DDR-SDRAM(Double Data Rate Sync
hronousDRAM)等が知られている。DDR-SDRAMは、外部と
のデータの受け渡しをデータストローブ信号DQSの立ち
上がりエッジおよび立ち下がりエッジの両方に同期して
行うことで、データの書き込み・読み出しを高速に行う
ことを可能にしている。
【0003】図9は、この種のDDR-SDRAMの概要を示し
ている。DDR-SDRAM1は、入力データラッチ部2、出力
データラッチ部3、アドレス入力部4、プリデコーダ
5、タイミング制御部6、コマンドデコーダ7、メモリ
コア部8、入力バッファ9、およびパッド10を備えて
構成されている。なお、メモリコア部8は、チップ内に
複数形成されている。
【0004】入力データラッチ部2は、入力バッファ9
を介してデータ信号DQおよびデータストローブ信号DQS
を取り込み、書き込みデータ信号GWED、GWODを出力して
いる。入力データラッチ部2には、データアドレス信号
GCAおよび内部クロック信号LCLK0が供給されている。出
力データラッチ部3は、データアドレス信号GCA、内部
クロック信号CLK0、CLK180を受け、メモリコア部8から
読み出しデータ信号GRED、GRODを取り込み、データ信号
DQとして出力している。
【0005】アドレス入力部4は、クロック信号CLKに
同期して外部からアドレス信号ADを取り込み、内部アド
レス信号ADINとして出力している。プリデコーダ5は、
内部アドレス信号ADIN、タイミング信号T1を受け、プリ
デコード信号PDECを出力している。タイミング制御部6
は、クロック信号CLK、/CLK、コマンド信号CMD1を受
け、内部クロック信号CLK0、CLK180、LCLK0、データア
ドレス信号GCA、イネーブル信号EN、およびタイミング
信号T1を出力している。
【0006】コマンドデコーダ7は、クロック信号CLK
およびコマンド信号CMDを受け、制御コマンド信号CMD
1、試験コマンド信号TEST1、TEST2等を出力している。
試験コマンド信号TEST1は、後述するDDRデータ圧縮試験
モード時およびSDRデータ圧縮試験モード時に高レベル
になる信号である。試験コマンド信号TEST2は、SDRデー
タ圧縮試験モード時に高レベルになる信号である。
【0007】メモリコア部8は、偶側コア部8aと奇側
コア部8bとで構成されている。偶側コア部8aおよび
奇側コア部8bは、それぞれ書き込み制御回路11、ラ
イトアンプ12、リードアンプ13、センスアンプ1
4、デコーダ15、および複数のメモリセルを有するメ
モリセル領域16a、16bを備えている。偶側コア部
8aは、最下位のアドレス信号A0が低レベルにされたと
きに活性化される回路である。奇側コア部8bは、アド
レス信号A0が高レベルにされたときに活性化される回路
である。
【0008】書き込み制御回路11は、書き込みデータ
信号GWED、GWODをライトアンプに伝達する回路である。
ライトアンプ12は、書き込みデータ信号GWED、GWODを
センスアンプ14に出力する回路である。リードアンプ
13は、センスアンプ14が増幅したデータを読み出し
データ信号GRED、GRODとして出力する回路である。デコ
ーダ15は、プリデコード信号PDECを受け、デコード信
号(図示せず)を出力する回路である。書き込みデータ
信号GWED、GWOD、読み出しデータ信号GRED、GRODは、全
てのメモリコア部8に共通して使用される信号であり、
その配線長は長い。
【0009】なお、/CLK等の“/”の表現は、逆論理の
信号を意味している。太線で示した信号は複数本からな
る信号である。例えば、読み出しデータ信号GRED、GROD
は、それぞれ読み出しデータ信号GRED0、GRED1、GRED
2、GRED3、読み出しデータ信号GROD0、GROD1、GROD2、G
ROD3から構成されている。書き込みデータ信号GWED、GW
ODは、それぞれ書き込みデータ信号GWED0、GWED1、GWED
2、GWED3、書き込みデータ信号GWOD0、GWOD1、GWOD2、G
WOD3から構成されている。読み出しデータ信号GRED0-
3、GROD0-3および書き込みデータ信号GWED0-3、GWOD0-3
は、それぞれデータ信号DQ0-3に対応する信号である。
【0010】図10は、データ信号DQ0の入力データラ
ッチ部2を示している。データ信号DQ1-DQ3の入力デー
タラッチ部は、入力データラッチ部2と同一の回路であ
る。入力データラッチ部2は、フリップフロップ回路1
7a、17b、17cと、転送回路18、19と、デー
タ入れ替え回路20とで構成されている。フリップフロ
ップ回路17aは、内部データストローブ信号DQSINの
立ち上がりに同期して内部データ信号DQIN0を取り込
み、書き込みデータ信号DU0を出力している。フリップ
フロップ回路17bは、内部データストローブ信号DQSI
Nの立ち下がりに同期して書き込みデータ信号DU0を取り
込み、書き込みデータ信号DUを出力している。フリップ
フロップ回路17cは、内部データストローブ信号DQSI
Nの立ち下がりに同期して同期して内部データ信号DQIN0
を取り込み、書き込みデータ信号DLを出力している。
【0011】転送回路18は、pMOSおよびnMOSのソース
とドレインとを互いに接続したMOSスイッチ18a、1
8bとインバータ18cとで構成されている。MOSスイ
ッチ18aは、書き込みデータ信号DUを入力し、書き込
みデータ信号DU2を出力している。MOSスイッチ18b
は、書き込みデータ信号DLを入力し、書き込みデータ信
号DL2を出力している。MOSスイッチ18a、18bのpM
OSのゲートには、インバータ18cを介して内部データ
ストローブ信号DSの反転信号が供給されている。MOSス
イッチ18a、18bのnMOSのゲートには、内部データ
ストローブ信号DSが供給されている。ここで、内部デー
タストローブ信号DSは、データストローブ信号DQSの低
レベル時に、所定の期間高レベルになる信号である。
【0012】入れ替え回路20は、pMOSおよびnMOSのソ
ースとドレインとを互いに接続したMOSスイッチ20
a、20b、20c、20dとインバータ20eとで構
成されている。MOSスイッチ20a、20cは、書き込
みデータ信号DU2を入力し、それぞれ書き込みデータ信
号WED0、WOD0として出力している。MOSスイッチ20
b、20dは、書き込みデータ信号DL2を入力し、それ
ぞれ書き込みデータ信号WED0、WOD0として出力してい
る。MOSスイッチ20a、20dのpMOSのゲートおよびM
OSスイッチ20b、20cのnMOSのゲートには、インバ
ータ20eを介してデータアドレス信号GCAの反転信号
が供給されている。MOSスイッチ20a、20dのnMOS
のゲートおよびMOSスイッチ20b、20cのpMOSのゲ
ートには、データアドレス信号GCAが供給されている。
【0013】転送回路19は、転送回路18と同一の回
路である。MOSスイッチ19aは、書き込みデータ信号D
U2を入力し、書き込みデータ信号GWED0を出力してい
る。MOSスイッチ19bは、書き込みデータ信号DL2を入
力し、書き込みデータ信号GWOD0を出力している。MOSス
イッチ19a、19bのpMOSのゲートには、インバータ
19cを介して内部クロック信号LCLK0の反転信号が供
給されている。MOSスイッチ19a、19bのnMOSのゲ
ートには、内部クロック信号LCLK0が供給されている。
【0014】図11は、書き込み制御回路11およびそ
の周囲の回路を示している。書き込み制御回路11は、
タイミング発生回路21、書き込みデータ信号GWED-3、
GWOD0-3をそれぞれライトアンプ12に供給する8つの
スイッチ回路22、およびインバータ23を備えてい
る。タイミング発生回路21は、アドレス信号A0、内部
クロック信号CLK0、および試験コマンド信号TEST2を受
けて、タイミング信号T2、T3を出力している。タイミン
グ発生回路21は、SDRデータ圧縮試験モード時に、試
験コマンド信号TEST2の高レベルを受けて活性化され、
偶側コア部8aのライトアンプ12を制御するタイミン
グ信号T2と、奇側コア部8bのライトアンプ12を制御
するタイミング信号T3とをそれぞれ生成する回路であ
る。タイミング発生回路21は、通常動作モード時およ
び通常のデータ圧縮試験モード時には、活性化されな
い。
【0015】スイッチ回路22は、pMOSおよびnMOSのソ
ースとドレインとを互いに接続した2つのMOSスイッチ
22a、22bで構成されている。偶側コア部8aの4
つのMOSスイッチ22aの入力には、それぞれ書き込み
データ信号GWED0-3のいずれかが供給されている。偶側
コア部8aのMOSスイッチ22bの入力には、書き込み
データ信号GWED0が供給されている。奇側コア部8bの
4つのMOSスイッチ22aの入力には、それぞれ書き込
みデータ信号GWOD0-3のいずれかが供給されている。奇
側コア部8bのMOSスイッチ22bの入力には、書き込
みデータ信号GWOD0が供給されている。各MOSスイッチ2
2a、22bの出力は互いに接続されており、ライトア
ンプ12に供給されている。MOSスイッチ22aのpMOS
のゲートおよびMOSスイッチ22bのnMOSのゲートに
は、試験コマンド信号TEST1が供給されている。MOSスイ
ッチ22aのnMOSのゲートおよびMOSスイッチ22bのp
MOSのゲートには、インバータ23を介して試験コマン
ド信号TEST1の反転信号が供給されている。
【0016】偶側コア部8aのライトアンプ12には、
タイミング信号T2が供給されている。奇側コア部8bの
ライトアンプ12には、タイミング信号T3が供給されて
いる。図12は、データ信号DQ0の出力データラッチ部
3およびその周囲の回路を示している。出力データラッ
チ部3は、2つの演算回路24、25と、2つのスイッ
チ26、27と、データ出力回路28とで構成されてい
る。
【0017】演算回路24は、4入力のNANDゲート24
aと、4入力のNORゲート24bと、インバータ24c
と、2入力のNANDゲート24dとで構成されている。NAN
Dゲート24aおよびNORゲート24bの入力には、読み
出しデータ信号GRED0-3が供給されている。NORゲート2
4bの出力は、インバータ24cの入力に接続されてい
る。NANDゲート24dの入力には、NANDゲート24aの
出力およびインバータ24cの出力が接続されている。
NANDゲート24dの出力からは、検出信号TEDが出力さ
れている。
【0018】演算回路25は、演算回路24と同一の回
路である。NANDゲート25aおよびNORゲート25bの
入力には、読み出しデータ信号GROD0-3が供給されてい
る。NANDゲート25dの出力からは、検出信号TODが出
力されている。スイッチ26は、試験コマンド信号TEST
2が低レベルの時に読み出しデータ信号GRED0を読み出し
データ信号REDとして出力し、試験コマンド信号TEST2が
高レベルの時に検出信号TEDを読み出しデータ信号REDと
して出力する回路である。スイッチ27は、試験コマン
ド信号TEST2が低レベルの時に読み出しデータ信号GROD0
を読み出しデータ信号RODとして出力し、試験コマンド
信号TEST2が高レベルの時に検出信号TODを読み出しデー
タ信号RODとして出力する回路である。スイッチ26、
27は、MOSスイッチおよびインバータを組み合わせて
形成されている。
【0019】データ出力回路28は、入れ替え回路29
と、転送回路30と、転送回路31とで構成されてい
る。入れ替え回路29および転送回路30は、図10に
示した入れ替え回路20および転送回路18と同一の回
路である。入れ替え回路29のMOSスイッチ29a、2
9cは、読み出しデータ信号REDを入力し、それぞれ読
み出しデータ信号RED0、ROD0として出力している。MOS
スイッチ29b、29dは、読み出しデータ信号RODを
入力し、それぞれ読み出しデータ信号RED0、ROD0として
出力している。MOSスイッチ29a、29dのpMOSのゲ
ートおよびMOSスイッチ29b、29cのnMOSのゲート
には、インバータ29eを介してデータアドレス信号GC
Aの反転信号が供給されている。MOSスイッチ29a、2
9dのnMOSのゲートおよびMOSスイッチ29b、29c
のpMOSのゲートには、データアドレス信号GCAが供給さ
れている。
【0020】転送回路30のMOSスイッチ30aは、読
み出しデータ信号RED0を入力し、読み出しデータ信号RE
D1を出力している。MOSスイッチ30bは、読み出しデ
ータ信号ROD0を入力し、データ出力信号DOUT0を出力し
ている。MOSスイッチ30a、30bのpMOSのゲートに
は、インバータ30cを介して内部クロック信号CLK0の
反転信号が供給されている。MOSスイッチ30a、30
bのnMOSのゲートには、内部クロック信号CLK0が供給さ
れている。
【0021】転送回路31は、3つのインバータ31
a、31b、31cと、2入力のNORゲート31dと、M
OSスイッチ31eとで構成されている。NORゲート31
dの入力には、試験コマンド信号TEST1およびインバー
タ31aを介してクロック信号CLK180の反転信号が供給
されている。MOSスイッチ31eのpMOSのゲートには、
インバータ31bを介してNORゲート31dの出力が接
続されている。MOSスイッチ31eのnMOSのゲートに
は、インバータ31cを介してインバータ31bbの出
力が接続されている。MOSスイッチ31eの入力には、
読み出しデータ信号RED1が供給されている。MOSスイッ
チ31eの出力からは、データ信号DQ0に対応する読み
出しデータ信号DOUT0が出力されている。
【0022】読み出しデータ信号GRED0-3、GROD0-3に
は、それぞれ複数のリードアンプ13が接続されてい
る。各リードアンプ13には、図示しないセンスアンプ
14からの読み出しデータ信号が供給されている。図の
左側の4つのリードアンプ13には、イネーブル信号EN
とアドレス信号A1とのアンド論理をとった信号が供給さ
れている。図の右側の4つのリードアンプ13には、イ
ネーブル信号ENとアドレス信号/A1とのアンド論理をと
った信号が供給されている。すなわち、アドレス信号A1
が高レベルのときには、図の左側のリードアンプ13か
ら読み出しデータ信号が出力され、アドレス信号/A1が
高レベル(アドレス信号A1が低レベル)のときには、図
の右側のリードアンプ13から読み出しデータ信号が出
力される。
【0023】なお、データ信号DQ1-DQ3の出力データラ
ッチ部は、出力データラッチ部3のデータ出力回路28
のみから構成されている。すなわち、データ信号DQ1-DQ
3の出力データラッチ部では、読み出しデータ信号GRED0
-3、GROD0-3は、直接読み出しデータ信号RED、RODとし
てデータ出力回路28に供給されている。上述したDDR-
SDRAM1では、以下示すように、DDRデータ圧縮試験また
はSDRデータ圧縮試験が行われる。DDR-SDRAM1は、外部
から供給されるコマンド信号を受けて、試験モードへの
移行を行う。DDR-SDRAM1は、試験コマンド信号TEST1、
TEST2がともに高レベルの時に、DDRデータ圧縮試験を実
行する。DDR-SDRAM1は、試験コマンド信号TEST1が低レ
ベルかつTEST2が高レベルの時に、SDRデータ圧縮試験を
実行する。
【0024】ここで、データ圧縮試験とは、読み出しデ
ータ信号、書き込みデータ信号の配線を集約して、読み
書き動作試験を行う試験である。データ圧縮試験は、ウ
エハ状態でのプローブ試験、およびパッケージに組み立
て後の選別試験の最初に、チップの動作を確認するため
に行われることが多い。DDRデータ圧縮試験とは、クロ
ック信号CLKの1周期にデータの取り込みおよび出力を
2回行う試験である。DDRデータ圧縮試験では、データ
の入出力を通常動作時と同様に高速に行える。このた
め、試験時間を短縮できる。反面、クロック信号の両エ
ッジに同期してデータの出力およびデータの取り込みを
行うため、高速なLSIテスタ等の高価な評価装置が必要
になる。この結果、試験コストが上昇する。
【0025】SDRデータ圧縮試験とは、クロック信号の
1周期にデータの取り込みおよび出力を1回行う試験モ
ードである。SDRデータ圧縮試験では、試験を従来のSDR
AMと同一のタイミングで行えるため、SDRAMの評価に使
用していた従来のLSIテスタ等を使用して試験を行うこ
とができる。このため、チップを搭載する評価基板の仕
様、および評価プログラムの流用が可能になる。この結
果、試験コストが低減される。試験時間は従来と変わら
ない。
【0026】図13は、DDRデータ圧縮試験におけるデ
ータの書き込みタイミングを示している。DDRデータ圧
縮試験モード時には、試験コマンド信号TEST1は高レベ
ルにされ、試験コマンド信号TEST2は低レベルにされて
いる。図10に示したフリップフロップ回路17aは、
内部データストローブ信号DQSINの立ち上がりに同期し
て内部データ信号DQIN0を取り込み、書き込みデータ信
号DU0として出力する(図13(a))。フリップフロップ
回路17bは内部データストローブ信号DQSINの立ち下
がりに同期して書き込みデータ信号DU0を取り込み、書
き込みデータ信号DUとして出力する。フリップフロップ
回路17cは内部データストローブ信号DQSINの立ち下
がりに同期して内部データ信号DQINを取り込み、書き込
みデータ信号DLとして出力する(図13(b))。データ
信号DQ0は、データストローブ信号DQSの立ち下がりと立
ち上がりとに同期して2回取り込まれる。
【0027】転送回路18は、内部データストローブ信
号DSの高レベルを受け、書き込みデータ信号DU、DLを書
き込みデータ信号DU2、DL2として出力する(図13
(c))。切り替え回路20は、アドレスデータ信号GCAの
高レベルを受け、書き込みデータ信号DU2、DL2を書き込
みデータ信号WED0、WOD0として出力する(図13
(d))。転送回路19は、内部クロック信号LCLK0の高レ
ベルを受け、書き込みデータ信号WED0、WOD0を、書き込
みデータ信号GWED0、GWOD0として出力する(図13
(e))。
【0028】図11に示したタイミング発生回路21
は、試験コマンド信号TEST2の低レベルを受け非活性状
態になっている。書き込み制御回路11の各スイッチ回
路22は、試験コマンド信号TEST1の高レベルを受け、M
OSスイッチ22bをオンにし、MOSスイッチ22aをオ
フにする。各ライトアンプ12は、MOSスイッチ22b
を介して書き込みデータ信号GWED0、GWOD0を受け、受け
たデータ信号GWED0、GWOD0をメモリセル領域16a、1
6bに書き込む。このため、データ信号DQ0が、データ
信号DQ0-DQ3としてメモリセル領域16a、16bに書
き込まれる。
【0029】図14は、DDRデータ圧縮試験におけるデ
ータの読み出しタイミングを示している。図9に示した
タイミング制御部6は、クロック信号CLKの立ち上がり
に同期して内部クロック信号CLK0を出力する(図14
(a))。タイミング制御部6は、内部クロック信号/CLK
の立ち上がりに同期して内部クロック信号CLK180を出力
する(図14(b))。タイミング制御部6は、例えば、
クロック信号の1周期に対応するデータアドレス信号GC
Aを出力する(図14(c))。データアドレス信号GCA
は、偶側コア部8a、奇側コア部8bから出力される読
み出しデータの出力順序を決める信号である。
【0030】図12に示した演算部24は、リードアン
プ13から出力される読み出しデータ信号GRED0-3の論
理演算を行い、演算結果を検出信号TEDとして出力す
る。演算部25は、リードアンプ13から出力される読
み出しデータ信号GROD0-3の論理演算を行い、演算結果
を検出信号TODとして出力する。あらかじめメモリセル
には、全て0または全て1が書き込まれているため、動
作試験が正しく行われた場合には、検出信号TED、TODは
高レベルになる。誤ったデータが読み出された場合に
は、検出信号TED、TODは低レベルになる。このような試
験は、一般に1-0テストモード方式と称されている。
【0031】スイッチ26は、試験コマンド信号TEST2
の高レベルを受け、検出信号TEDを読み出しデータ信号R
EDとして出力する。スイッチ27は、試験コマンド信号
TEST2の高レベルを受け、検出信号TODを読み出しデータ
信号RODとして出力する。入れ替え回路29は、データ
アドレス信号GCAの高レベルを受け、MOSスイッチ29
a、29dをオンにし、MOSスイッチ29b、29cを
オフにする。読み出しデータ信号RED、RODは、それぞれ
読み出しデータ信号RED0、ROD0として転送回路30に出
力される(図14(d)、(e))。
【0032】転送回路30は、内部クロック信号CLK0の
高レベル時に、読み出しデータ信号ROD0をデータ出力信
号DOUT0として出力する(図14(f))。この結果、出力
バッファ(図示せず)を介して検出信号TODは、データ
信号DQ0として出力される。同時に転送回路30は、読
み出しデータ信号RED0を読み出しデータ信号RED1として
出力する。転送回路31は、内部クロック信号CLK180が
低レベルの期間、MOSスイッチ31eをオフにしてい
る。このため、転送回路30のMOSスイッチ30aから
出力された読み出しデータRED1がデータ出力信号DOUT0
に出力されることはない。
【0033】転送回路30は、内部クロック信号CLK0の
低レベルを受けて、読み出しデータ信号RED0、ROD0の出
力を停止する。この際、読み出しデータ信号RED1、デー
タ出力信号の値は、図示しないラッチにより所定のレベ
ルに保持される。転送回路31は、試験コマンド信号TE
ST1の低レベルにより活性化されている。転送回路31
は、内部クロック信号CLK180の高レベルを受け、MOSス
イッチ31eをオンにし、読み出しデータ信号RED1をデ
ータ出力信号DOUT0として出力する(図14(g))。この
結果、検出信号TEDは、出力バッファ(図示せず)を介
してデータ信号DQ0として出力される。このようにし
て、クロック信号CLKの1周期の間に、データ信号DQ0-D
Q3に対応する4ビットを圧縮した検出信号TOD、TEDが出
力され、合計8ビットのデータの読み出し試験が行われ
る。
【0034】図15は、SDRデータ圧縮試験におけるデ
ータの書き込みタイミングを示している。SDRデータ圧
縮試験モード時には、試験コマンド信号TEST1、TEST2は
ともに高レベルにされている。図10に示したフリップ
フロップ回路17aは、内部データストローブ信号DQSI
Nの立ち上がりに同期して内部データ信号DQIN0を取り込
み、書き込みデータ信号DU0として出力する(図15
(a))。フリップフロップ回路17bは内部データスト
ローブ信号DQSINの立ち下がりに同期して書き込みデー
タ信号DU0を取り込み、書き込みデータ信号DUとして出
力する(図15(b))。フリップフロップ回路17cは
内部データストローブ信号DQSINの立ち下がりに同期し
て内部データ信号DQINを取り込み、書き込みデータ信号
DLとして出力する。ここで、SDRデータ圧縮試験モード
時には、データ信号DQ0は、データストローブ信号DQSの
高レベル時のみに供給される。すなわち、データ信号DQ
0は、データストローブ信号DQSの1周期に1回供給され
る。このため、内部データストローブ信号DQSINの立ち
下がりに同期して取り込んだ内部データ信号DQIN0は、
本来の書き込みデータではない。図15では、本来の書
き込みデータでない信号は、破線で示している。
【0035】転送回路18は、内部データストローブ信
号DSの高レベルを受け、書き込みデータ信号DUを書き込
みデータ信号DU2として出力する(図15(c))。切り替
え回路20は、アドレスデータ信号GCAの高レベルを受
け、書き込みデータ信号DU2を書き込みデータ信号WED0
として出力する(図15(d))。転送回路19は、内部
クロック信号LCLK0の高レベルを受け、書き込みデータ
信号WED0を、書き込みデータ信号GWED0として出力する
(図15(e))。
【0036】図11に示したタイミング発生回路21
は、試験コマンド信号TEST2の高レベルを受け活性状態
になっている。タイミング発生回路21は、アドレス信
号A0の高レベル、および内部クロック信号CLK0を受け、
タイミング信号T2を所定の期間高レベルにする。(図1
5(f))。タイミング信号T3は、低レベルを保持する。
偶側コア部8aのライトアンプ12は、タイミング信号
T2の高レベルを受け、活性化される。奇側コア部8bの
ライトアンプ12は、タイミング信号T3の低レベルを受
け、非活性状態を保持する。各スイッチ回路22は、試
験コマンド信号TEST1の高レベルを受け、MOSスイッチ2
2bをオンにし、MOSスイッチ22aをオフにする。
【0037】偶側コア部8aのライトアンプ12は、MO
Sスイッチ22bを介して書き込みデータ信号GWED0を受
け、受けた書き込みデータ信号GWED0をメモリセル領域
16aに書き込む。このため、データ信号DQ0が、デー
タ信号DQ0-DQ3として偶側コア部8aのメモリセル領域
16aに書き込まれる。また、図10に示したフリップ
フロップ回路17aは、内部データストローブ信号DQSI
Nの立ち上がりに同期して次の内部データ信号DQIN0を取
り込み、書き込みデータ信号DU0として出力する(図1
5(g))。転送回路18は、上述と同様に書き込みデー
タ信号DU2を出力する(図15(h))。
【0038】切り替え回路20は、アドレスデータ信号
GCAの低レベルを受け、書き込みデータ信号DU2を書き込
みデータ信号WOD0として出力する(図15(j))。転送
回路19は、内部クロック信号LCLK0の高レベルを受
け、書き込みデータ信号WOD0を、書き込みデータ信号GW
OD0として出力する(図15(k))。図11に示したタイ
ミング発生回路21は、アドレス信号A0の低レベル、お
よび内部クロック信号CLK0を受け、タイミング信号T3を
所定の期間高レベルにする。(図15(m))。タイミン
グ信号T2は、低レベルを保持する。
【0039】奇側コア部8bのライトアンプ12は、タ
イミング信号T3の高レベルを受け、活性化される。偶側
コア部8aのライトアンプ12は、タイミング信号T2の
低レベルを受け、非活性化される。各スイッチ回路22
は、試験コマンド信号TEST1の高レベルを受け、MOSスイ
ッチ22bをオンにし、MOSスイッチ22aをオフにし
ている。
【0040】奇側コア部8bのライトアンプ12は、MO
Sスイッチ22bを介して書き込みデータ信号GWOD0を受
け、受けた書き込みデータ信号GWOD0をメモリセル領域
16bに書き込む。このため、データ信号DQ0が、デー
タ信号DQ0-DQ3として奇側コア部8bのメモリセル領域
16bに書き込まれる。
【0041】この結果、データストローブ信号DQSの2
周期の間に、それぞれ偶側コア部8bおよび奇側コア部
8bへのデータの書き込みが行われる。図16は、SDR
データ圧縮試験におけるデータの読み出しタイミングを
示している。SDR読み出し試験時は、試験コマンド信号T
EST1、TEST2がともに高レベルにされている。図12に
示した転送回路31は、試験コマンド信号TEST1の高レ
ベルを受け、MOSスイッチ31eを、常にオフにしてい
る。
【0042】入れ替え回路29は、クロック信号CLKの
1周期目に、データアドレス信号GCAの高レベルを受け
て、読み出しデータ信号RED、RODを、それぞれ読み出し
データ信号RED0、ROD0として転送回路30に出力する。
入れ替え回路29は、クロック信号CLKの2周期目に、
データアドレス信号GCAの低レベルを受けて、読み出し
データ信号RED、RODを、それぞれ読み出しデータ信号RO
D0、RED0として転送回路30に出力する。
【0043】転送回路30は、クロック信号CLKの1周
期目に、内部クロック信号CLK0の高レベルを受けて、読
み出しデータ信号ROD0をデータ出力信号DOUT0として出
力する。この結果、データ出力信号DOUT0を介してデー
タ信号DQから、検出信号TODが出力される(図16
(a))。同時に転送回路30は、読み出しデータ信号RED
0を読み出しデータ信号RED1として、オフされているMOS
スイッチ31eに向けて出力する。
【0044】転送回路30は、クロック信号CLKの2周
期目に、内部クロック信号CLK0の高レベルを受けて、読
み出しデータ信号RED0をデータ出力信号DOUT0として出
力する。この結果、データ出力信号DOUT0を介してデー
タ信号DQからは、検出信号TEDが出力される(図16
(b))。同時に転送回路30は、読み出しデータ信号ROD
0を読み出しデータ信号RED1として出力する。転送回路
31は、試験コマンド信号TEST1が高レベルの期間、MOS
スイッチ31eをオフにしている。このため、転送回路
30のMOSスイッチ30aから出力された読み出しデー
タRED1がデータ出力信号DOUT0に出力されることはな
い。
【0045】このようにして、クロック信号CLKの2周
期の間に、データ信号DQ0-DQ3に対応する4ビットを圧
縮した検出信号TOD、TEDが出力され、8ビットのデータ
の読み出し試験が行われる。
【0046】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したDD
Rデータ圧縮試験は、クロック信号CLK、/CLKの両方に同
期して試験を行うため、従来のSDRAM用のLSIテスタ等の
評価装置を流用することができなかった。このため、製
造コストに占める試験コストが大幅に増大するという問
題があった。
【0047】また、上述したSDRデータ圧縮試験の書き
込み動作では、偶側コア部8a、奇側コア部8bにデー
タを書き込むためには、データストローブ信号DQSの2
周期分の期間が必要であった。SDRデータ圧縮試験の読
み出し動作では、クロック信号CLKの1周期目に8ビッ
トの試験結果である検出信号TED、TODが生成されている
にもかかわらず、クロック信号CLKの1周期の間に、4ビ
ットの試験結果しか出力していない。このため、SDRデ
ータ圧縮試験では、従来のSDRAMの試験環境を流用でき
る反面、DDR-SDRAM1の機能を十分に生かした試験を行
うことができず、試験に長時間を要していた。
【0048】そこで、本発明者は、SDRデータ圧縮試験
の読み出し動作において、クロック信号CLKの1周期の
間に8ビットの試験結果を得られる回路を提案した。図
17は、本発明者により提案された出力データラッチ部
32、およびその周辺の回路を示している。なお、図1
7に示す回路は未だ公知ではない。DDR-SDRAM1には、
16本の読み出しデータ信号GRED0-7、GROD0-7の配線が
形成されている。出力データラッチ部32以外の構成
は、上述した回路と同一である。
【0049】出力データラッチ部32は、2つの演算回
路33、34と、2つのスイッチ35、36と、図12
と同一のデータ出力回路28とで構成されている。演算
回路33は、8入力のNANDゲート33aと、8入力のNO
Rゲート33bと、インバータ33cと、2入力のNANDゲ
ート33dとで構成されている。NANDゲート33aおよ
びNORゲート33bの入力には、それぞれ読み出しデー
タ信号GRED0-7が供給されている。NORゲート33bの出
力は、インバータ33cの入力に接続されている。NAND
ゲート33dの入力には、NANDゲート33aの出力と、
インバータ33cの出力が接続されている。NANDゲート
33dの出力からは、検出信号TEDが出力されている。
【0050】演算回路34は、演算回路33と同一の回
路である。NANDゲート34aおよびNORゲート34bの
入力には、それぞれ読み出しデータ信号GROD0-7が供給
されている。NANDゲート34dの出力からは、検出信号
TODが出力されている。スイッチ35、36は、2つの
スイッチを備え、入力される3つの信号のうち、所定の
信号を読み出しデータ信号RED、RODとして出力する機能
を有している。
【0051】スイッチ35は、アドレス信号A1が低レベ
ルの時に読み出しデータ信号GRED0を選択し、アドレス
信号A1が高レベルの時に読み出しデータ信号GRED4を選
択する機能を有している。スイッチ35は、試験コマン
ド信号TEST2が低レベルの時にアドレス信号A1により選
択した読み出しデータ信号GRED0(またはGRED4)を読み
出しデータ信号REDとして出力し、試験コマンド信号TES
T2が高レベルの時に検出信号TEDを読み出しデータ信号R
EDとして出力する機能を有している。
【0052】同様に、スイッチ36は、アドレス信号A1
が低レベルの時に読み出しデータ信号GROD0を選択し、
アドレス信号A1が高レベルの時に読み出しデータ信号GR
OD4を選択する機能を有している。スイッチ36は、試
験コマンド信号TEST2が低レベルの時にアドレス信号A1
により選択した読み出しデータ信号GROD0(またはGROD
4)を読み出しデータ信号RODとして出力し、試験コマン
ド信号TEST2が高レベルの時に検出信号TODを読み出しデ
ータ信号RODとして出力する機能を有している。スイッ
チ35、36は、MOSスイッチおよびインバータを組み
合わせて形成されている。
【0053】読み出しデータ信号GRED0-7、GROD0-7は、
それぞれリードアンプ13から供給されている。各リー
ドアンプ13には、図示しないセンスアンプ14からの
読み出しデータ信号が供給されている。図の左側の4つ
のリードアンプ13には、イネーブル信号ENおよびアド
レス信号A1のアンド論理と、試験コマンド信号TEST2と
のオア論理が供給されている。図の右側の4つのリード
アンプ13には、イネーブル信号ENおよびアドレス信号
/A1のアンド論理と、試験コマンド信号TEST2とのオア論
理が供給されている。すなわち、試験コマンド信号TEST
2が高レベルのときには、読み出しデータ信号GRED0-7、
GROD0-7に接続されているリードアンプ13が全て活性
化され、リードアンプ13から読み出しデータ信号GRED
0-7、GROD0-7が出力される。試験コマンド信号TEST2が
低レベルかつアドレス信号A1が高レベルのときには、図
の左側のリードアンプ13から読み出しデータ信号GRED
0-3、GROD0-3が出力され、試験コマンド信号TEST2が低
レベルかつアドレス信号A1が低レベル(アドレス信号/A
1が高レベル)のときには、図の右側のリードアンプ1
3から読み出しデータ信号GRED4-7、GROD4-7が出力され
る。
【0054】スイッチ35、36により伝達される読み
出しデータ信号RED、RODは、データ出力回路28に供給
されている。データ出力回路28からは、データ出力信
号DOUT0が出力されている。上述したDDR-SDRAM1では、
以下示すようにSDRデータ圧縮試験の読み出し動作が行
われる。
【0055】図18は、SDRデータ圧縮試験におけるデ
ータの読み出しタイミングを示している。図17に示し
た演算回路33、34は、それぞれ8ビットの読み出し
データ信号GRED0-7、GROD0-7を演算し、検出信号TED、T
ODを出力する。スイッチ35、36は、試験コマンド信
号TEST2の高レベルを受け、検出信号TED、TODを読み出
しデータ信号RED、RODとして出力する(図18(a)、
(b))。
【0056】データ出力回路28は、クロック信号CLK
の最初の1周期の間に、圧縮された8ビットの検出結果
TODを出力する(図18(c))。データ出力回路28は、
クロック信号CLKの次の1周期の間に、圧縮された8ビ
ットの検出結果TEDを出力する(図18(d))。したがっ
て、クロック信号CLKの1周期の間に、8ビットのデー
タの読み出し試験が行われる。すなわち、クロック信号
CLKの1周期の間では、DDRデータ圧縮試験モードと同様
に、8ビットのデータの読み出し試験が行われる。
【0057】しかしながら、図17に示した出力データ
ラッチ部32では、16本の読み出しデータ信号GRED0-
7、GROD0-7の長大な配線を形成しなくてはならない。こ
のため、チップサイズが増大し、製造コストが増大する
という問題があった。本発明の目的は、動作試験を高速
に行うことができる半導体集積回路を提供することにあ
る。
【0058】本発明の別の目的は、試験コストを低減す
ることができる半導体集積回路を提供することにある。
本発明の別の目的は、容易に試験モードに移行すること
ができる半導体集積回路を提供することにある。
【0059】
【課題を解決するための手段】図1は、請求項1ないし
請求項5に記載の発明の基本原理を示すブロック図であ
る。
【0060】請求項1の半導体集積回路では、入力変換
部42は、外部から供給される直列データを並列データ
に変換する。並列データに変換された各データは、それ
ぞれ複数のメモリセル領域16a、16bに書き込まれ
る。出力変換部44は、各メモリセル領域16a、16
bから読み出されるデータにより生成される並列データ
を直列データに変換する。すなわち、外部とのデータの
受け渡しは、直列データで行われ、内部でのデータの処
理は並列データで行われる。
【0061】演算部56は、試験モード時に活性化さ
れ、各メモリセル領域16a、16bから読み出される
並列データを論理演算する。あらかじめ各メモリセル領
域16a、16bに所定のデータを書き込むことで、論
理演算により、各メモリセル領域16a、16bに正し
いデータが記憶されていることが確認される。データの
確認は、複数のメモリセル領域16a、16bについて
同時に行えるため、メモリセル領域16a、16bの動
作試験が高速に行われる。
【0062】請求項2の半導体集積回路では、入力変換
部42は、外部から供給される直列データをデータスト
ローブ信号DQSの1周期の間に2回に分けて取り込み、
取り込んだデータを並列データに変換する。並列データ
に変換された各データは、それぞれ第1メモリセル領域
16aおよび第2メモリセル領域16bに書き込まれ
る。出力変換部44は、第1メモリセル領域16aおよ
び第2メモリセル領域16bから読み出されるデータに
より生成される並列データを直列データに変換し、変換
した直列データをクロック信号のCLK(/CLK)1周期の
間に2回に分けて出力する。
【0063】演算部56は、試験モード時に活性化さ
れ、第1メモリセル領域16aおよび第2メモリセル領
域16bから読み出される並列データを論理演算する。
演算部56は、演算結果TEODをクロック信号CLK(/CL
K)に同期して1回で出力する。あらかじめ第1メモリ
セル領域16aおよび第2メモリセル領域16bに所定
のデータを書き込むことで、論理演算により、第1メモ
リセル領域16aおよび第2メモリセル領域16bに正
しいデータが記憶されていることが確認される。データ
の確認は、第1メモリセル領域16aおよび第2メモリ
セル領域16bについて同時に行えるため、メモリセル
領域16a、16bの動作試験が高速に行われる。
【0064】また、通常動作時にクロック信号CLK(/CL
K)の1周期の間に2回に分けてデータを出力する半導
体集積回路において、試験モード時には、メモリセル領
域16a、16bから読み出される並列データの演算結
果TEODが、クロック信号CLK(/CLK)に同期して1回で
出力される。このため、動作試験のデータの読み出し時
に使用する評価装置は、半導体集積回路に対して複雑な
クロック制御をする必要がない。すなわち、高価な評価
装置を新たに導入する必要はない。評価用のプログラム
は、蓄積されたノウハウを生かして作成することができ
る。この結果、試験コストが低減される。
【0065】請求項3の半導体集積回路では、入力変換
部42は、外部から供給される直列データを並列データ
に変換する。並列データに変換された各データは、それ
ぞれ複数のメモリセル領域16a、16bに書き込まれ
る。出力変換部44は、各メモリセル領域16a、16
bから読み出されるデータにより生成される並列データ
を直列データに変換する。すなわち、外部とのデータの
受け渡しは、直列データで行われ、内部でのデータの処
理は並列データで行われる。
【0066】書き込み部48は、試験モード時に活性化
され、外部から供給される同一のデータを、各メモリセ
ル領域16a、16bに同時に書き込む。このため、試
験モード時に、データの書き込み動作が高速に行われ
る。請求項4の半導体集積回路では、入力変換部42
は、外部から供給される直列データをデータストローブ
信号DQSの1周期の間に2回に分けて取り込み、取り込
んだデータを並列データに変換する。並列データに変換
された各データは、それぞれ第1メモリセル領域16a
および第2メモリセル領域16bに書き込まれる。出力
変換部44は、第1メモリセル領域16aおよび第2メ
モリセル領域16bから読み出されるデータにより生成
される並列データを直列データに変換し、変換した直列
データをクロック信号CLK(/CLK)の1周期の間に2回
に分けて出力する。
【0067】書き込み部48は、試験モード時に活性化
され、外部から供給されるデータをデータストローブ信
号DQSに同期して1回で取り込み、取り込んだ前記デー
タをクロック信号CLK(/CLK)に同期して第1メモリセ
ル領域16aおよび第2メモリセル領域16bに同時に
書き込む。このため、動作試験のデータの書き込み時に
使用する評価装置は、半導体集積回路に対して複雑なク
ロック制御をする必要がない。すなわち、高価な評価装
置を新たに導入する必要はない。評価用のプログラム
は、蓄積されたノウハウを生かして作成することができ
る。この結果、試験コストが低減される。
【0068】請求項5の半導体集積回路では、コマンド
制御部7は、外部から供給される複数のコマンド入力信
号を受け、コマンド入力信号に応じて動作モードを決定
し、動作モード制御信号CMD1を出力する。コマンド制御
部7は、所定のコマンド入力を受けたときに、動作モー
ドが試験モードであると判定し、試験モード制御信号TE
ST1を出力する。このため、専用の端子を設けることな
く、半導体集積回路の制御は、容易に試験モードに移行
する。
【0069】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて詳細に説明する。図2は、本発明の半導体記憶装
置の一実施形態を示している。この実施形態は請求項1
ないし請求項5に対応している。この実施形態の半導体
集積回路は、シリコン基板上に、CMOSプロセス技術を使
用して、例えば、64MビットのDDR-SDRAM40として
形成されている。
【0070】なお、従来技術で説明した回路と同一の回
路については、同一の符号を付し、これ等の回路につい
ては、詳細な説明を省略する。また、従来技術で説明し
た信号と同一の信号については、同一の符号を付してい
る。DDR-SDRAM40は、入力データラッチ部42、出力
データラッチ部44、アドレス入力部4、プリデコーダ
5、タイミング制御部6、コマンドデコーダ7、メモリ
コア部46、入力バッファ9、およびパッド10を備え
て構成されている。入力データラッチ部42は入力変換
部に対応し、出力データラッチ部44は、出力変換部に
対応し、コマンドデコーダ7は、コマンド制御部に対応
している。データ信号DQ用のパッド10は、入出力端子
であり、その他のパッド10は入力端子である。なお、
DDR-SDRAM40は、16本のデータ信号DQ0-DQ15を備え
ている。
【0071】入力データラッチ部42は、入力バッファ
9を介してデータ信号DQおよびデータストローブ信号DQ
Sを取り込み、書き込みデータ信号GWED、GWODを出力し
ている。入力データラッチ部2には、データアドレス信
号GCAおよび内部クロック信号LCLK0が供給されている。
入力データラッチ部42は、外部から供給される直列デ
ータ(データ信号DQ)を、並列データ(書き込みデータ
信号GWED、GWOD)に変換する回路である。
【0072】出力データラッチ部44は、データアドレ
ス信号GCA、内部クロック信号CLK0、CLK180を受け、メ
モリコア部46から読み出しデータ信号GRED、GRODを取
り込み、データ信号DQとして出力している。出力データ
ラッチ部44は、メモリコア部46から読み出される並
列データ(読み出しデータ信号GRED、GROD)を、直列デ
ータ(データ信号DQ)に変換する回路である。
【0073】アドレス入力部4は、クロック信号CLKに
同期して外部からアドレス信号ADを取り込み、内部アド
レス信号ADINとして出力している。プリデコーダ5は、
内部アドレス信号ADIN、タイミング信号T1を受け、プリ
デコード信号PDECを出力している。タイミング制御部6
は、クロック信号CLK、/CLK、制御コマンド信号CMD1を
受け、内部クロック信号CLK0、CLK180、LCLK0、データ
アドレス信号GCA、イネーブル信号EN、およびタイミン
グ信号T1を出力している。
【0074】コマンドデコーダ7は、クロック信号CLK
およびコマンド信号CMDを受け、制御コマンド信号CMD
1、試験コマンド信号TEST1等を出力している。コマンド
信号CMDは、コマンド入力信号に対応している。制御コ
マンド信号CMD1は、動作モード制御信号であり、書き込
み動作および読み出し動作等を制御する信号である。試
験コマンド信号TEST1は、試験モード制御信号であり、
後述するSDRデータ圧縮試験モード時に高レベルになる
信号である。なお、この実施形態のDDR-SDRAM40は、D
DRデータ圧縮試験モードの機能を備えていない。
【0075】メモリコア部46は、偶側コア部46aと
奇側コア部46bとで構成されている。偶側コア部46
aおよび奇側コア部46bは、それぞれ書き込み制御回
路48、ライトアンプ12、リードアンプ13、センス
アンプ14、デコーダ15、および複数のメモリセルを
有するメモリセル領域16a、16bを備えている。メ
モリセル領域16a、16bは、それぞれ第1メモリセ
ル領域、第2メモリセル領域に対応している。書き込み
制御回路48は、書き込み部に対応している。書き込み
制御回路48以外の構成および配線は、従来と同一であ
る。
【0076】書き込み制御回路48は、書き込みデータ
信号GWED、GWODをライトアンプ12に伝達する回路であ
る。ライトアンプ12は、書き込みデータ信号GWED、GW
ODをセンスアンプ14に出力する回路である。書き込み
データ信号GWED、GWODは内部データバスに対応してい
る。図3および図4は、データ信号DQ0用の入力データ
ラッチ部42を示している。データ信号DQ4、DQ8、DQ12
用の入力データラッチ部は、入力データラッチ部42と
同一である。データ信号DQ1-3、DQ5-7、DQ9-11、DQ13-1
5用の入力データラッチ部は、図10に示した従来の入
力データラッチ部2と同一である。
【0077】図3に示すように、入力データラッチ部4
2は、フリップフロップ回路17a、17b、17cを
備えている。フリップフロップ回路17aは、内部デー
タストローブ信号DQSINの立ち上がりに同期して内部デ
ータ信号DQIN0を取り込み、書き込みデータ信号DU0を出
力している。フリップフロップ回路17bは、内部デー
タストローブ信号DQSINの立ち下がりに同期して書き込
みデータ信号DU0を取り込み、書き込みデータ信号DUを
出力している。フリップフロップ回路17cは、内部デ
ータストローブ信号DQSINの立ち下がりに同期して同期
して内部データ信号DQIN0を取り込み、書き込みデータ
信号DLを出力している。
【0078】また、図4に示すように、入力データラッ
チ部42は、3つの転送回路18、50、19と、転送
回路50を制御する制御回路52と、入れ替え回路53
と、入れ替え回路53を制御する制御回路54とを備え
ている。転送回路18のMOSスイッチ18aは、書き込
みデータ信号DUを入力し、書き込みデータ信号DU2を出
力している。MOSスイッチ18bは、書き込みデータ信
号DLを入力し、書き込みデータ信号DL2を出力してい
る。インバータ18cの入力には、内部データストロー
ブ信号DSが供給されている。
【0079】制御回路54は、インバータ54a、54
b、54cと、2入力のNANDゲート54dと、2入力の
NORゲート54eとで構成されている。NANDゲート54
dの入力には、インバータ54aを介してアドレスデー
タ信号GCAの反転信号と、インバータ54bを介して試
験コマンド信号TEST1の反転信号とが供給されている。N
ANDゲート54dの出力は、インバータ54cの入力に
接続されている。インバータ54cの出力からは、制御
信号C1が出力されている。NORゲート54eの入力に
は、制御信号C1および試験コマンド信号TEST1が供給さ
れている。NORゲート54eの出力からは、制御信号C2
が出力されている。
【0080】制御回路54は、SDRデータ圧縮試験モー
ド時に制御信号C1、C2を低レベルにし、通常動作モード
時にアドレスデータ信号GCAの反転論理を制御信号C1と
して出力し、アドレスデータ信号GCAを制御信号C2とし
て出力する回路である。入れ替え回路53は、pMOSおよ
びnMOSのソースとドレインとを互いに接続したMOSスイ
ッチ53a、53b、53c、53dとインバータ53
e、53fとで構成されている。MOSスイッチ53a、
53cは、書き込みデータ信号DU2を入力し、それぞれ
書き込みデータ信号WED0、WOD0として出力している。MO
Sスイッチ53b、53dは、書き込みデータ信号DL2を
入力し、それぞれ書き込みデータ信号WED0、WOD0として
出力している。MOSスイッチ53aのpMOSのゲートおよ
びMOSスイッチ53bのnMOSのゲートには、制御信号C1
が供給されている。MOSスイッチ53aのnMOSのゲート
およびMOSスイッチ53bのpMOSのゲートには、インバ
ータ53eを介して制御信号C1の反転信号が供給されて
いる。MOSスイッチ53cのpMOSのゲートおよびMOSスイ
ッチ53dのnMOSのゲートには、制御信号C2が供給され
ている。MOSスイッチ53cのnMOSのゲートおよびMOSス
イッチ53dのpMOSのゲートには、インバータ53fを
介して制御信号C2の反転信号が供給されている。
【0081】制御回路52は、インバータ52aと、2
入力のNANDゲート52bとで構成されている。NANDゲー
ト52bの入力には、インバータ52aを介して試験コ
マンド信号TEST1と、内部クロック信号LCLK0とが供給さ
れている。NANDゲート52bの出力からは、制御信号C3
が出力されている。制御回路52は、SDRデータ圧縮試
験モード時に制御信号C3を高レベルにし、通常動作時に
制御信号C3を内部クロック信号LCLK0として出力する回
路である。
【0082】転送回路50は、転送回路19と同一の回
路である。MOSスイッチ50aは、書き込みデータ信号W
ED0を入力し、書き込みデータ信号WED1を出力してい
る。MOSスイッチ50bは、書き込みデータ信号WOD0を
入力し、書き込みデータ信号WOD1を出力している。イン
バータ50cの入力には、制御信号C1が供給されてい
る。転送回路19のMOSスイッチ19aは、書き込みデ
ータ信号WED1を入力し、書き込みデータ信号GWED0を出
力している。MOSスイッチ19bは、書き込みデータ信
号WOD1を入力し、書き込みデータ信号GWOD0を出力して
いる。インバータ19cの入力には、内部クロック信号
LCLK0が供給されている。。
【0083】転送回路19は、転送回路18と同一の回
路である。を介して内部クロック信号LCLK0の反転信号
が供給されている。MOSスイッチ19a、19bのnMOS
のゲートには、内部クロック信号LCLK0が供給されてい
る。図5は、データ信号DQ0-DQ3に対応する書き込み制
御回路48およびその周囲の回路を示している。データ
信号DQ4-DQ7、DQ8-DQ11、DQ12-DQ15に対応する書き込み
制御回路は、書き込み制御回路48と同一の回路であ
る。
【0084】書き込み制御回路48は、タイミング発生
回路21を削除した以外、図10に示した書き込み制御
回路11と同一である。図6は、データ信号DQ0用の出
力データラッチ部44およびその周囲の回路を示してい
る。データ信号DQ4、DQ8、DQ1用の出力データラッチ部
は、出力データラッチ部44と同一の回路である。デー
タ信号DQ1-3、DQ5-7、DQ9-11、DQ13-15用の出力データ
ラッチ部は、従来と同一の回路である(図12におい
て、読み出しデータ信号GRED0-3、GROD0-3が直接読み出
しデータ信号RED、RODとしてデータ出力回路28に供給
された回路)。
【0085】出力データラッチ部44は、演算回路56
と、制御回路58と、データ出力回路60とで構成され
ている。演算回路56は、演算部に対応している。演算
回路56は、8入力のNANDゲート56aと、8入力のNO
Rゲート56bと、インバータ56cと、2入力のNANDゲ
ート56dとで構成されている。NANDゲート56aおよ
びNORゲート56bの入力には、読み出しデータ信号GRE
D0-3、GROD0-3が供給されている。NORゲート56bの出
力は、インバータ56cの入力に接続されている。NAND
ゲート56dの入力には、NANDゲート56aの出力およ
びインバータ56cの出力が接続されている。NANDゲー
ト56dの出力からは、演算結果である検出信号TEODが
出力されている。
【0086】制御回路58は、pMOSおよびnMOSのソース
・ドレインを互いに接続したMOSスイッチ58aと、2
入力のNANDゲート58bと、インバータ58cとで構成
されている。MOSスイッチ58aの入力には、検出信号T
EODが供給され、MOSスイッチ58aの出力からは、読み
出しデータ信号ROD0が出力されている。NANDゲート58
bの入力には、試験コマンド信号TEST1およびアドレス
データ信号GCAが供給されている。MOSスイッチ58aの
pMOSの入力には、NANDゲート58bの出力が接続されて
いる。MOSスイッチ58aのnMOSの入力には、インバー
タ58cを介してNANDゲート58bの出力の反転論理が
供給されている。
【0087】データ出力回路60は、転送回路62と、
選択回路64と、転送回路30と、転送回路31とで構
成されている。転送回路30、31は、図11と同一の
回路である。転送回路62は、pMOSおよびnMOSのソース
・ドレインとを互いに接続したMOSスイッチ62a、6
2b、62c、62dとインバータ62eとで構成され
ている。MOSスイッチ62a、62cは、読み出しデー
タ信号GRED0を入力し、それぞれ読み出しデータ信号RED
A、REDBとして出力している。MOSスイッチ62b、62
dは、読み出しデータ信号GROD0を入力し、それぞれ読
み出しデータ信号RODA、RODBとして出力している。MOS
スイッチ62a、62b、62c、62dのpMOSのゲー
トには、試験コマンド信号TEST1が供給されている。MOS
スイッチ62a、62b、62c、62dのnMOSのゲー
トには、インバータ62eを介して試験コマンド信号TE
ST1の反転信号が供給されている。
【0088】選択回路64は、pMOSおよびnMOSのソース
とドレインとを互いに接続したMOSスイッチ64a、6
4b、64c、64dとインバータ64eとで構成され
ている。MOSスイッチ64aは、読み出しデータ信号RED
Aを入力し、読み出しデータ信号RED0として出力してい
る。MOSスイッチ64bは、読み出しデータ信号RODAを
入力し、読み出しデータ信号RED0として出力している。
MOSスイッチ64cは、読み出しデータ信号REDBを入力
し、読み出しデータ信号ROD0として出力している。MOS
スイッチ64dは、読み出しデータ信号RODBを入力し、
読み出しデータ信号ROD0として出力している。MOSスイ
ッチ64a、64dのpMOSのゲートおよびMOSスイッチ
64b、64cのnMOSのゲートには、インバータ64e
を介してデータアドレス信号GCAの反転信号が供給され
ている。MOSスイッチ64a、64dのnMOSのゲートお
よびMOSスイッチ64b、64cのpMOSのゲートには、
データアドレス信号GCAが供給されている。
【0089】転送回路30のMOSスイッチ30aは、読
み出しデータ信号RED0を入力し、読み出しデータ信号RE
D1を出力している。MOSスイッチ30bは、読み出しデ
ータ信号ROD0を入力し、データ出力信号DOUT0を出力し
ている。インバータ30cの入力には、内部クロック信
号CLK0が供給されている。
【0090】転送回路31のNORゲート31dの入力に
は、試験コマンド信号TEST1と、インバータ31aを介
してクロック信号CLK180の反転信号とが供給されてい
る。MOSスイッチ31eのpMOSのゲートには、インバー
タ31bを介してNORゲート31dの出力が接続されて
いる。MOSスイッチ31eのnMOSのゲートには、インバ
ータ31cを介してインバータ31bの出力が接続され
ている。MOSスイッチ31eの入力には、読み出しデー
タ信号RED1が供給されている。MOSスイッチ31eの出
力からは、読み出しデータ信号DOUT0が出力されてい
る。
【0091】読み出しデータ信号GRED0-3、GROD0-3とリ
ードアンプ13との接続関係は、図11と同一である。
すなわち、図の左側の4つのリードアンプ13には、イ
ネーブル信号ENとアドレス信号A1とのアンド論理をとっ
た信号が供給されている。図の右側の4つのリードアン
プ13には、イネーブル信号ENとアドレス信号/A1との
アンド論理をとった信号が供給されている。
【0092】上述したDDR-SDRAM40では、以下示すよ
うに、SDRデータ圧縮試験が行われる。DDR-SDRAM40
は、外部から供給されるコマンド信号を受けて、試験モ
ードへの移行を行う。DDR-SDRAM40は、試験コマンド
信号TEST1を高レベルにする。図7は、SDRデータ圧縮試
験におけるデータの書き込みタイミングを示している。
図4に示した転送回路18が出力する書き込みデータ信
号DUのタイミングまでは従来と同一であるため、説明を
省略する。
【0093】制御回路54は、試験コマンド信号TEST1
の高レベルを受け、制御信号C1を低レベルにし、制御信
号C2を高レベルにする。切り替え回路53は、制御信号
C1の低レベルを受け、MOSスイッチ53aをオンにし、M
OSスイッチ53bをオフにする。切り替え回路53は、
制御信号C2の低レベルを受け、MOSスイッチ53cをオ
ンにし、MOSスイッチ53dをオフにする。このため、
切り替え回路53は、書き込みデータ信号DU2を、書き
込みデータ信号WED0、WOD0として出力する(図7
(a))。
【0094】なお、通常動作時には、試験コマンド信号
TEST1は低レベルである。このため、制御回路54は、
制御信号C1としてアドレスデータ信号GCAの反転論理を
出力し、制御信号C2としてアドレスデータ信号GCAを出
力する。この結果、切り替え回路53は、図9に示した
切り替え回路20と同一の動作をする。制御回路52
は、試験コマンド信号TEST1の高レベルを受け、制御信
号C3を高レベルにする。転送回路50は、制御信号C3の
高レベルを受け、MOSスイッチ50a、50bをオンに
し、書き込みデータ信号WED0、WOD0を書き込みデータ信
号WED1、WOD1として出力する(図7(b))。
【0095】転送回路19は、内部クロック信号LCLK0
の高レベルを受け、書き込みデータ信号WED1、WOD1を書
き込みデータ信号GWED0、GWOD0として出力する(図7
(c))。図5に示した各スイッチ回路22は、試験コマ
ンド信号TEST1の高レベルを受け、MOSスイッチ22bを
オンにし、MOSスイッチ22aをオフにする。各ライト
アンプ12は、MOSスイッチ22bを介して書き込みデ
ータ信号GWED0、GWOD0を受け、受けたデータ信号GWED
0、GWOD0をメモリセル領域16a、16bに書き込む。
このため、データストローブ信号DQSの1周期の間にデ
ータ信号DQ0が、データ信号DQ0-DQ3としてメモリセル領
域16a、16bに書き込まれる。
【0096】図8は、データ圧縮試験におけるデータの
読み出しタイミングを示している。図6に示した転送回
路62は、MOSスイッチ62a、62b、62c、62
dを全てオフにする。このため、選択回路64のMOSス
イッチ64a、64b、64c、64dには、書き込み
データが転送されない。制御回路58のMOSスイッチ5
8aは、アドレスデータ信号GCAの高レベルを受け、検
出信号TEODを読み出しデータ信号ROD0として出力する
(図8(a))。このとき、選択回路6には、書き込みデ
ータが転送されないため、読み出しデータ信号RED0は不
定である。
【0097】転送回路30のMOSスイッチ30bは、内
部クロック信号CLK0の高レベルを受け、検出信号TEODで
ある読み出しデータ信号ROD0を、データ出力信号DOUT0
として出力する(図8(b))。このとき、転送回路31
は、試験コマンド信号TEST1の高レベルを受け、MOSスイ
ッチ31eを、常にオフにしている。したがって、クロ
ック信号CLKの1周期の間に偶側コア部46aからの読
み出しデータ信号GRED0-3と、奇側コア部46bからの
読み出しデータ信号GROD0-3に対応する8ビットを圧縮
した検出信号TEODが出力され、8ビットのデータの読み
出し試験が行われる。
【0098】なお、通常動作時には、試験コマンド信号
TEST1は低レベルである。転送回路62のMOSスイッチ6
2a、62b、62c、62dは、全てオンにされる。
制御回路58のMOSスイッチ58aはオフしている。こ
のため、読み出しデータ信号GRED0、GROD0は、それぞれ
アドレスデータ信号GCAの信号レベルにより、選択回路
64から読み出しデータ信号RED0または読み出しデータ
信号ROD0として出力される。そして、読み出しデータ信
号ROD0、RED0は、クロック信号CLK、/CLKの立ち上がり
に同期して、順次データ信号DQ0として出力される。
【0099】以上のように構成された半導体記憶装置で
は、試験モード時に、書き込みデータ信号DU2を、偶側
コア部46aの書き込みデータ信号GWED0、および奇側
コア部46bの書き込みデータ信号GWOD0として出力す
る入れ替え回路53を備えた。このため、外部から供給
されるデータ信号DQ0を、データストローブ信号DQSの1
周期の間に1回で、メモリセル領域16a、16bの複
数ビットに書き込むことができる。したがって、従来の
SDRAM用の評価装置を使用して、DDRデータ圧縮試験モー
ドと同一の書き込みレートで、動作試験を行うことがで
きる。書き込み制御回路48からタイミング発生回路2
1を削除することができ、DDR-SDRAM40のチップサイ
ズを低減することができる。
【0100】データ信号DQ0、DQ4、DQ8、DQ12に対応す
る出力データラッチ部46を備えた。このため、データ
信号DQ0、DQ4、DQ8、DQ12の4ビットを偶側コア部46
a、奇側コア部46bの各16ビットに書き込むことが
できる。したがって、1クロック周期あたりの書き込み
ビット数を増大することができる。
【0101】読み出しデータ信号GRED0-3、GROD0-3を論
理演算し演算結果を検出信号TEODとして出力する演算回
路56を備えた。このため試験モード時に、メモリセル
領域16a、16bから読み出した8ビットのデータを
検出信号TEODとして圧縮して、クロック信号CLKの1周
期の間に1回で読み出すことができる。したがって、従
来のSDRAM用の評価装置を使用して、DDRデータ圧縮試験
モードと同一の読み出しレートで、動作試験を行うこと
ができる。
【0102】この結果、高価な評価装置を新たに導入す
ることが不要になる。評価用のプログラムは、蓄積され
たノウハウを生かして作成することができる。また、動
作試験に必要な評価装置の試験端子数を低減することが
でき、評価基板上に多数のDDR-SDRAM40を搭載し、動
作試験を一度に行うことができる。データ信号DQ0、DQ
4、DQ8、DQ12に対応する演算回路56を備えた。このた
め、偶側コア部46a、奇側コア部46bの各16ビッ
トのデータを4ビットに圧縮して動作試験を行うことが
できる。したがって、1クロック周期あたりの試験ビッ
ト数を増大することができる。
【0103】コマンド信号CMDを受け、試験コマンド信
号TEST1を出力するコマンドデコーダ7を備えた。この
ため、専用の試験端子を設けることなく、容易にSDRデ
ータ圧縮試験モードに移行することができる。以上、本
発明の半導体集積回路では、試験コストを大幅に低減す
ることができる。
【0104】なお、上述した実施形態では、本発明をDD
R-SDRAMに適用した例について述べた。しかしながら、
本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例
えば、本発明をDDR-SDRAM仕様のメモリコアを内蔵した
システムLSIに適用してもよい。また、本発明を1クロ
ックの間にデータを読み書きを4回行う半導体メモリに
適用してもよい。
【0105】上述した実施形態では、8ビットの読み出
しデータ信号GRED0-3、GROD0-3を1ビットに圧縮して試
験を行った例について述べた。しかしながら、本発明は
かかる実施形態に限定されるものではない。例えば、1
6ビットの読み出しデータ信号GRED0-7、GROD0-7を1ビ
ットに圧縮して試験を行ってもよい。上述した実施形態
では、本発明を読み出しデータに誤りがあるときに検出
信号TEODが低レベルになる1-0テストモード方式に適
用した例について述べた。しかしながら、本発明はかか
る実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明
を読み出しデータに誤りがあるときに検出信号が高イン
ピーダンスになる1-0HiZテストモード方式に適用して
もよい。
【0106】以上の実施形態において説明した発明を整
理して以下の項を開示する。 (1)請求項1記載の半導体集積回路において、前記演
算部56は、前記各メモリセル領域16a、16bから
読み出される複数の入出力端子DQ0-3に対応するデータ
を演算し、演算結果TEODを1つの入出力端子DQ0から出
力することを特徴とする。
【0107】この半導体集積回路では、1つの入出力端
子DQ0を使用することで、動作試験において、複数の入
出力端子DQ0-3に対応するメモリセル領域16a、16
bのデータの読み出しが行われる。このため、動作試験
に必要な評価装置の試験端子数が低減され、多数の半導
体集積回路の動作試験を一度に行うことが可能になる。
この結果、試験コストが低減される。
【0108】(2)上記(1)記載の半導体集積回路に
おいて、前記演算部56を複数備えたことを特徴とす
る。この半導体集積回路では、入出力端子DQの数、ある
いはチップ内部のメモリセル領域16a、16bのレイ
アウトに応じて、複数の演算部56が備えられる。演算
部56の数は、チップサイズを最小限にし、かつ動作試
験が最も効率的に行われるように決められる。
【0109】(3)請求項3記載の半導体集積回路にお
いて、前記書き込み部48は、1つの入出力端子DQ0か
ら供給されるデータを複数の入出力端子DQ0-3に対応す
る前記各メモリセル領域16a、16bに書き込むこと
を特徴とする。この半導体集積回路では、1つの入出力
端子DQ0を使用することで、動作試験において、複数の
入出力端子DQ0-3に対応するメモリセル領域16a、1
6bにデータの書き込みが行われる。このため、動作試
験に必要な評価装置の試験端子数が低減され、多数の半
導体集積回路の動作試験を一度に行うことが可能にな
る。この結果、試験コストが低減される。
【0110】(4)上記(3)記載の半導体集積回路に
おいて、前記書き込み部を複数備えたことを特徴とす
る。この半導体集積回路では、入出力端子DQの数、ある
いはチップ内部のメモリセル領域16a、16bのレイ
アウトに応じて、複数の書き込み部48が備えられる。
書き込み部48の数は、チップサイズを最小限にし、か
つ動作試験が最も効率的に行われるように決められる。
【0111】(5)上記(1)または上記(3)記載の
半導体集積回路において、前記試験モードは、前記各入
出力端子DQに対応する内部データバスGRED、GROD、GWE
D、GWODを集約して、動作試験を行うデータ圧縮試験モ
ードであることを特徴とする。この半導体集積回路で
は、データ圧縮試験において、単位時間あたりの試験ビ
ット数を増大することができる。
【0112】
【発明の効果】請求項1の半導体記憶装置では、複数の
メモリセル領域に書き込んだデータの確認を同時に行う
ことができ、動作試験を高速に行うことができる。請求
項2の半導体集積回路では、高価な評価装置を新たに導
入することなく、半導体集積回路の動作試験を行うこと
ができる。評価用のプログラムは、蓄積されたノウハウ
を生かして作成することができる。この結果、試験コス
トを低減することができる。
【0113】請求項3の半導体集積回路では、外部から
供給される同一のデータを、複数のメモリセル領域に同
時に書き込むことで、動作試験を高速に行うことができ
る。請求項4の半導体集積回路では、高価な評価装置を
新たに導入することなく、半導体集積回路の動作試験を
行うことができる。評価用のプログラムは、蓄積された
ノウハウを生かして作成することができる。この結果、
試験コストを低減することができる。
【0114】請求項5の半導体集積回路では、専用の端
子を設けることなく、外部から複数のコマンド入力信号
を受けることで、半導体集積回路の制御を、容易に試験
モードに移行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1ないし請求項5に記載の発明の基本原
理を示すブロック図である。
【図2】本発明の半導体集積回路の一実施形態を示す全
体構成図である。
【図3】図2の入力データラッチ部の一部を示す回路図
である。
【図4】図2の入力データラッチ部の一部を示す回路図
である。
【図5】図2の書き込み制御回路およびその周囲を示す
回路図である。
【図6】図2の出力データラッチ部およびその周囲を示
す回路図である。
【図7】データ圧縮試験におけるデータの書き込み動作
を示すタイミング図である。
【図8】データ圧縮試験におけるデータの読み出し動作
を示すタイミング図である。
【図9】従来のDDR-SDRAMの概要を示す全体構成図であ
る。
【図10】図9の入力データラッチ部を示す回路図であ
る。
【図11】図9の書き込み制御回路およびその周囲を示
す回路図である。
【図12】図9の出力データラッチ部およびその周囲を
示す回路図である。
【図13】従来のDDRデータ圧縮試験におけるデータの
書き込み動作を示すタイミング図である。
【図14】従来のDDRデータ圧縮試験におけるデータの
読み出し動作を示すタイミング図である。
【図15】従来のSDRデータ圧縮試験におけるデータの
書き込み動作を示すタイミング図である。
【図16】従来のSDRデータ圧縮試験におけるデータの
読み出し動作を示すタイミング図である。
【図17】従来の別の出力データラッチ部およびその周
辺を示す回路図である。
【図18】従来の別のSDRデータ圧縮試験におけるデー
タの読み出し動作を示すタイミング図である。
【符号の説明】
4 アドレス入力部 5 プリデコーダ 6 タイミング制御部 7 コマンドデコーダ 8a 偶側コア部 8b 奇側コア部 9 入力バッファ 10 パッド 12 ライトアンプ 13 リードアンプ 14 センスアンプ 15 デコーダ 16a、16b メモリセル領域 40 DDR-SDRAM 42 入力データラッチ部 44 出力データラッチ部 46 メモリコア部 48 書き込み制御回路 50 転送回路 52 制御回路 53 入れ替え回路 54 制御回路 56 演算回路 CLK0、CLK180、LCLK0 内部クロック信号 CMD コマンド信号 CMD1 制御コマンド信号 DQ データ信号 DQS データストローブ信号 GWED、GWOD 書き込みデータ信号 GCA データアドレス信号 GRED、GROD 読み出しデータ信号 TEST1 試験コマンド信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 富田 浩由 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 5B024 AA15 BA21 BA29 CA07 CA15 EA02 EA04 5F083 AD00 ZA20 5L106 AA01 DD01 DD06 GG03

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部から供給される直列データを並列デ
    ータに変換する入力変換部と、 前記並列データの各データをそれぞれ書き込む複数のメ
    モリセル領域と、 前記各メモリセル領域から読み出されるデータにより生
    成される並列データを直列データに変換する出力変換部
    とを備えた半導体集積回路において、 試験モード時に、前記各メモリセル領域から読み出され
    る前記並列データを論理演算する演算部を備えたことを
    特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 外部から供給される直列データをデータ
    ストローブ信号の1周期の間に2回に分けて取り込み、
    取り込んだデータを並列データに変換する入力変換部
    と、 前記並列データの各データをそれぞれ書き込む第1メモ
    リセル領域および第2メモリセル領域と、 前記第1メモリセル領域および前記第2メモリセル領域
    から読み出されるデータにより生成される並列データを
    直列データに変換し、変換した直列データをクロック信
    号の1周期の間に2回に分けて出力する出力変換部とを
    備えた半導体集積回路において、 試験モード時に、前記第1メモリセル領域および前記第
    2メモリセル領域から読み出される前記並列データを論
    理演算し、演算結果を前記クロック信号に同期して1回
    で出力する演算部を備えたことを特徴とする半導体集積
    回路。
  3. 【請求項3】 外部から供給される直列データを並列デ
    ータに変換する入力変換部と、 前記並列データの各データをそれぞれ書き込む複数のメ
    モリセル領域と、 前記各メモリセル領域から読み出されるデータにより生
    成される並列データを直列データに変換する出力変換部
    とを備えた半導体集積回路において、 試験モード時に、外部から供給されるデータを、前記各
    メモリセル領域に同時に書き込む書き込み部を備えたこ
    とを特徴とする半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 外部から供給される直列データをデータ
    ストローブ信号の1周期の間に2回に分けて取り込み、
    取り込んだデータを並列データに変換する入力変換部
    と、 前記並列データの各データをそれぞれ書き込む第1メモ
    リセル領域および第2メモリセル領域と、 前記第1メモリセル領域および前記第2メモリセル領域
    から読み出されるデータにより生成される並列データを
    直列データに変換し、変換した直列データをクロック信
    号の1周期の間に2回に分けて出力する出力変換部とを
    備えた半導体集積回路において、 試験モード時に、外部から供給されるデータを、前記デ
    ータストローブ信号に同期して1回で取り込み、取り込
    んだ前記データを前記クロック信号に同期して前記第1
    メモリセル領域および前記第2メモリセル領域に同時に
    書き込む書き込み部を備えたことを特徴とする半導体集
    積回路。
  5. 【請求項5】 請求項1または請求項3記載の半導体集
    積回路において、 外部から供給される複数のコマンド入力信号を受けて動
    作モードを決定するコマンド制御部を備え、 前記試験モードへの移行は、前記コマンド入力により行
    われることを特徴とする半導体集積回路。
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