JP2001004985A - セル基板、液晶セル、液晶表示装置及び電極形成法 - Google Patents
セル基板、液晶セル、液晶表示装置及び電極形成法Info
- Publication number
- JP2001004985A JP2001004985A JP11174369A JP17436999A JP2001004985A JP 2001004985 A JP2001004985 A JP 2001004985A JP 11174369 A JP11174369 A JP 11174369A JP 17436999 A JP17436999 A JP 17436999A JP 2001004985 A JP2001004985 A JP 2001004985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- liquid crystal
- vapor deposition
- cell
- resin substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 81
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 title claims abstract description 28
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 title claims abstract description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 63
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 63
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 11
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 31
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 27
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 8
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N methylhexahydrophthalic anhydride Chemical compound C1CCCC2C(=O)OC(=O)C21C VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CC(C)=CC2C(=O)OC(=O)C12 MWSKJDNQKGCKPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 2
- -1 alkyl phosphines Chemical class 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 239000003398 denaturant Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- FPVGTPBMTFTMRT-NSKUCRDLSA-L fast yellow Chemical compound [Na+].[Na+].C1=C(S([O-])(=O)=O)C(N)=CC=C1\N=N\C1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1 FPVGTPBMTFTMRT-NSKUCRDLSA-L 0.000 description 1
- 239000005262 ferroelectric liquid crystals (FLCs) Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000000025 natural resin Substances 0.000 description 1
- MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N oxidophosphanium Chemical class [PH3]=O MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- UJMLRSWRUXXZEW-UHFFFAOYSA-M tributyl(octyl)phosphanium;bromide Chemical compound [Br-].CCCCCCCC[P+](CCCC)(CCCC)CCCC UJMLRSWRUXXZEW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133305—Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/04—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B15/08—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 密着力に優れるITO蒸着膜等からなる透明
電極膜を有してその表面抵抗値の低さに優れており、薄
型軽量の液晶セルを形成しうる樹脂系のセル基板の開
発。 【解決手段】 揮発成分の含有量を0.1重量%以下と
した樹脂基板(1)に、透明電極材からなる蒸着膜
(3)を設けてなるセル基板、及び揮発成分の含有量を
0.1重量%以下とした樹脂基板を減圧下の蒸着室に配
置して、蒸着方式により透明電極材からなる蒸着膜を樹
脂基板上に設ける電極形成法。 【効果】 樹脂基板を減圧下の蒸着室に配置した場合に
基板中の揮発成分が揮発してチャンバー内に拡散してそ
のガスが表面抵抗値や基板との密着力に影響することを
回避できる。
電極膜を有してその表面抵抗値の低さに優れており、薄
型軽量の液晶セルを形成しうる樹脂系のセル基板の開
発。 【解決手段】 揮発成分の含有量を0.1重量%以下と
した樹脂基板(1)に、透明電極材からなる蒸着膜
(3)を設けてなるセル基板、及び揮発成分の含有量を
0.1重量%以下とした樹脂基板を減圧下の蒸着室に配
置して、蒸着方式により透明電極材からなる蒸着膜を樹
脂基板上に設ける電極形成法。 【効果】 樹脂基板を減圧下の蒸着室に配置した場合に
基板中の揮発成分が揮発してチャンバー内に拡散してそ
のガスが表面抵抗値や基板との密着力に影響することを
回避できる。
Description
【0001】
【発明の技術分野】本発明は、表面抵抗値の低いITO
蒸着膜等の透明電極膜を密着性よく有して液晶セルや液
晶表示装置の形成に好適な樹脂系のセル基板に関する。
蒸着膜等の透明電極膜を密着性よく有して液晶セルや液
晶表示装置の形成に好適な樹脂系のセル基板に関する。
【0002】
【発明の背景】液晶表示装置を形成する液晶セルの大型
化等に伴い、ガラス系のセル基板では重くて嵩高いこと
から、薄型軽量化などを目的にエポキシ樹脂等からなる
樹脂系のセル基板が提案されている。しかしながら、か
かる樹脂系のセル基板にITO蒸着膜等の透明電極膜を
設けた場合に表面抵抗値がバラツキやすくて高くなりや
すく、基板との密着力に乏しくて剥がれやすい問題点が
あった。
化等に伴い、ガラス系のセル基板では重くて嵩高いこと
から、薄型軽量化などを目的にエポキシ樹脂等からなる
樹脂系のセル基板が提案されている。しかしながら、か
かる樹脂系のセル基板にITO蒸着膜等の透明電極膜を
設けた場合に表面抵抗値がバラツキやすくて高くなりや
すく、基板との密着力に乏しくて剥がれやすい問題点が
あった。
【0003】
【発明の技術的課題】本発明は、密着力に優れるITO
蒸着膜等からなる透明電極膜を有してその表面抵抗値の
低さに優れており、薄型軽量の液晶セルを形成しうる樹
脂系のセル基板の開発を課題とする。
蒸着膜等からなる透明電極膜を有してその表面抵抗値の
低さに優れており、薄型軽量の液晶セルを形成しうる樹
脂系のセル基板の開発を課題とする。
【0004】
【課題の解決手段】本発明は、揮発成分の含有量を0.
1重量%以下とした樹脂基板に、透明電極材からなる蒸
着膜を設けてなることを特徴とするセル基板、及び揮発
成分の含有量を0.1重量%以下とした樹脂基板を減圧
下の蒸着室に配置して、蒸着方式により透明電極材から
なる蒸着膜を樹脂基板上に設けることを特徴とする電極
形成法を提供するものである。
1重量%以下とした樹脂基板に、透明電極材からなる蒸
着膜を設けてなることを特徴とするセル基板、及び揮発
成分の含有量を0.1重量%以下とした樹脂基板を減圧
下の蒸着室に配置して、蒸着方式により透明電極材から
なる蒸着膜を樹脂基板上に設けることを特徴とする電極
形成法を提供するものである。
【0005】
【発明の効果】本発明によれば、樹脂基板との密着力に
優れると共に表面抵抗値のバラツキが少なくてその低さ
に優れるITO蒸着膜等からなる透明電極膜を有する樹
脂系のセル基板を得ることができて、薄型軽量の液晶セ
ルや液晶表示装置を形成することができる。これは透明
電極膜の付設時に樹脂基板における揮発成分の含有量を
0.1重量%以下としたことによる。
優れると共に表面抵抗値のバラツキが少なくてその低さ
に優れるITO蒸着膜等からなる透明電極膜を有する樹
脂系のセル基板を得ることができて、薄型軽量の液晶セ
ルや液晶表示装置を形成することができる。これは透明
電極膜の付設時に樹脂基板における揮発成分の含有量を
0.1重量%以下としたことによる。
【0006】すなわち本発明者らは上記の課題を克服す
るために鋭意研究を重ねる中で、ITO蒸着膜等を付設
するために樹脂基板を減圧下の蒸着室(チャンバー)に
配置した場合にその基板中の揮発成分が揮発してチャン
バー内に拡散し、そのガスが影響して表面抵抗値のバラ
ツキや基板との密着力の低下が生じることを究明し、樹
脂基板を事前処理してその揮発成分の含有量を0.1重
量%以下とすることでかかるガスの影響を回避すること
に成功したものである。
るために鋭意研究を重ねる中で、ITO蒸着膜等を付設
するために樹脂基板を減圧下の蒸着室(チャンバー)に
配置した場合にその基板中の揮発成分が揮発してチャン
バー内に拡散し、そのガスが影響して表面抵抗値のバラ
ツキや基板との密着力の低下が生じることを究明し、樹
脂基板を事前処理してその揮発成分の含有量を0.1重
量%以下とすることでかかるガスの影響を回避すること
に成功したものである。
【0007】
【発明の実施形態】本発明によるセル基板は、揮発成分
の含有量を0.1重量%以下とした樹脂基板に、透明電
極材からなる蒸着膜を設けたものである。その例を図1
に示した。1が樹脂基板、3が透明電極材からなる蒸着
膜であり、2は必要に応じての下地層である。
の含有量を0.1重量%以下とした樹脂基板に、透明電
極材からなる蒸着膜を設けたものである。その例を図1
に示した。1が樹脂基板、3が透明電極材からなる蒸着
膜であり、2は必要に応じての下地層である。
【0008】セル基板の形成は、例えば樹脂基板におけ
る揮発成分の含有量を0.1重量%以下としてそれを減
圧下の蒸着室に配置し、蒸着方式により透明電極材から
なる蒸着膜を当該樹脂基板上に設ける方法などにより行
うことができる。樹脂基板中の揮発成分は、例えば必要
に応じ減圧状態とした雰囲気下で加熱脱気処理する方式
などの適宜な方式で揮発除去することができる。品質や
密着力の良好な蒸着膜を形成する点より好ましい樹脂基
板は、揮発成分の含有量を0.09重量%以下、0.0
8重量%以下、特に0.07重量%以下としたものであ
る。
る揮発成分の含有量を0.1重量%以下としてそれを減
圧下の蒸着室に配置し、蒸着方式により透明電極材から
なる蒸着膜を当該樹脂基板上に設ける方法などにより行
うことができる。樹脂基板中の揮発成分は、例えば必要
に応じ減圧状態とした雰囲気下で加熱脱気処理する方式
などの適宜な方式で揮発除去することができる。品質や
密着力の良好な蒸着膜を形成する点より好ましい樹脂基
板は、揮発成分の含有量を0.09重量%以下、0.0
8重量%以下、特に0.07重量%以下としたものであ
る。
【0009】樹脂基板としては、熱可塑性樹脂や熱硬化
性樹脂などの適宜な樹脂からなるものを用いることがで
きる。透明導電膜を付設する際の耐熱性などの点より好
ましく用いうる樹脂基板は、ガラス転移温度が130℃
以上、就中150℃以上、特に160℃以上の樹脂から
なるものである。また樹脂基板は透明性や耐衝撃性に優
れることが好ましく、就中、光透過率が80%以上、特
に85%以上であるものが好ましい。
性樹脂などの適宜な樹脂からなるものを用いることがで
きる。透明導電膜を付設する際の耐熱性などの点より好
ましく用いうる樹脂基板は、ガラス転移温度が130℃
以上、就中150℃以上、特に160℃以上の樹脂から
なるものである。また樹脂基板は透明性や耐衝撃性に優
れることが好ましく、就中、光透過率が80%以上、特
に85%以上であるものが好ましい。
【0010】さらに液晶の変質防止や液晶セルとした場
合の耐久性などの点より耐薬品性、光学的等方性、低吸
水性、低透湿性、酸素等のガスバリア性に優れる樹脂基
板が好ましい。加えて液晶表示装置とする際に付加する
光学部材の温度や湿度による寸法変化に耐えて反りの生
じることを抑制する点などより、30℃において0.2
%の引張り伸びを与えた場合の弾性率が300kgf/mm
2以上の樹脂基板が好ましく用いられる。
合の耐久性などの点より耐薬品性、光学的等方性、低吸
水性、低透湿性、酸素等のガスバリア性に優れる樹脂基
板が好ましい。加えて液晶表示装置とする際に付加する
光学部材の温度や湿度による寸法変化に耐えて反りの生
じることを抑制する点などより、30℃において0.2
%の引張り伸びを与えた場合の弾性率が300kgf/mm
2以上の樹脂基板が好ましく用いられる。
【0011】ちなみに前記の樹脂基板を形成する樹脂の
例としては、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリ
エーテルスルホン、ポリエステル、ポリスルホン、ポリ
メチルメタクリレート、ポリエーテルイミド、ポリアミ
ドなどの熱可塑性樹脂や、エポキシ系樹脂、不飽和ポリ
エステル、ポリジアリルフタレート、ポリイソボニルメ
タクリレートなどの熱硬化性樹脂などがあげられる。か
かる樹脂は、1種又は2種以上を用いることができ、他
成分との共重合体や混合物などとしても用いうる。
例としては、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリ
エーテルスルホン、ポリエステル、ポリスルホン、ポリ
メチルメタクリレート、ポリエーテルイミド、ポリアミ
ドなどの熱可塑性樹脂や、エポキシ系樹脂、不飽和ポリ
エステル、ポリジアリルフタレート、ポリイソボニルメ
タクリレートなどの熱硬化性樹脂などがあげられる。か
かる樹脂は、1種又は2種以上を用いることができ、他
成分との共重合体や混合物などとしても用いうる。
【0012】上記した性能の点などより特に好ましく用
いうる樹脂基板は、エポキシ系樹脂、就中、脂環式エポ
キシ樹脂と酸無水物系硬化剤とリン系硬化触媒を含有す
るエポキシ系組成物の硬化体からなるものである。その
脂環式エポキシ樹脂としては、種々のものを用いること
ができ、特に限定はない。
いうる樹脂基板は、エポキシ系樹脂、就中、脂環式エポ
キシ樹脂と酸無水物系硬化剤とリン系硬化触媒を含有す
るエポキシ系組成物の硬化体からなるものである。その
脂環式エポキシ樹脂としては、種々のものを用いること
ができ、特に限定はない。
【0013】酸無水物系硬化剤としては例えば無水フタ
ル酸、3.6エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル
酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、ヘキサヒドロ無水
フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒ
ドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸な
どがあげられ、就中ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラ
ヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル
酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸などの無色ないし
淡黄色の酸無水物が好ましく用いうる。酸無水物系硬化
剤の配合量は、エポキシ樹脂における1エポキシ当量あ
たり0.5〜1.3当量が好ましい。
ル酸、3.6エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル
酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、ヘキサヒドロ無水
フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒ
ドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸な
どがあげられ、就中ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラ
ヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル
酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸などの無色ないし
淡黄色の酸無水物が好ましく用いうる。酸無水物系硬化
剤の配合量は、エポキシ樹脂における1エポキシ当量あ
たり0.5〜1.3当量が好ましい。
【0014】リン系硬化触媒としてはアルキルホスフィ
ン類、ホスフィンオキサイド類、ホスホニウム塩類など
があげられる。その配合量は、酸無水物系硬化剤100
重量部あたり、0.2〜10重量部、就中0.5〜4重
量部が好ましい。
ン類、ホスフィンオキサイド類、ホスホニウム塩類など
があげられる。その配合量は、酸無水物系硬化剤100
重量部あたり、0.2〜10重量部、就中0.5〜4重
量部が好ましい。
【0015】樹脂基板の形成は、例えばキャスティング
成形方式、流延成形方式、射出成形方式、ロール塗工成
形方式、押出成形方式、トランスファ成形方式、反応射
出成形方式(RIM)などの適宜な方式で行うことがで
きる。その形成に際しては、必要に応じて例えば染料、
変性剤、変色防止剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、離型
剤、反応性希釈剤、非反応性希釈剤などの適宜な添加剤
を透明性を損なわない範囲で適宜に配合することができ
る。
成形方式、流延成形方式、射出成形方式、ロール塗工成
形方式、押出成形方式、トランスファ成形方式、反応射
出成形方式(RIM)などの適宜な方式で行うことがで
きる。その形成に際しては、必要に応じて例えば染料、
変性剤、変色防止剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、離型
剤、反応性希釈剤、非反応性希釈剤などの適宜な添加剤
を透明性を損なわない範囲で適宜に配合することができ
る。
【0016】樹脂基板の厚さは、薄型化や軽量性、強度
や変形防止性などの点より1mm以下、就中0.8mm以
下、特に0.1〜0.5mmが好ましい。なお樹脂基板
は、単層物や積層物として形成されていてよく、従って
樹脂基板の前記厚さは、同種又は異種の樹脂からなる2
層又は3層以上の積層物として達成されていてもよい。
や変形防止性などの点より1mm以下、就中0.8mm以
下、特に0.1〜0.5mmが好ましい。なお樹脂基板
は、単層物や積層物として形成されていてよく、従って
樹脂基板の前記厚さは、同種又は異種の樹脂からなる2
層又は3層以上の積層物として達成されていてもよい。
【0017】樹脂基板上への透明電極材からなる蒸着膜
の付設は、上記した所定の揮発成分含有量とした樹脂基
板を用いる点を除いて特に限定はなく、樹脂基板を減圧
下の蒸着室に配置して例えばスパッタリング法や真空蒸
着法等の従来に準じた適宜な蒸着方式を適用して行うこ
とができ、その減圧条件や処理温度等の蒸着条件も従来
に準じることができる。その場合、透明導電膜(蒸着
層)を所定の電極パターン状態に直接形成することも可
能である。
の付設は、上記した所定の揮発成分含有量とした樹脂基
板を用いる点を除いて特に限定はなく、樹脂基板を減圧
下の蒸着室に配置して例えばスパッタリング法や真空蒸
着法等の従来に準じた適宜な蒸着方式を適用して行うこ
とができ、その減圧条件や処理温度等の蒸着条件も従来
に準じることができる。その場合、透明導電膜(蒸着
層)を所定の電極パターン状態に直接形成することも可
能である。
【0018】また前記の透明電極材としても、例えば酸
化インジウムや酸化スズ、ITO(インジウム・錫混合
酸化物)や金、白金やパラジウムなどの従来に準じた適
宜なものを1種又は2種以上用いることができる。なお
蒸着層の形成に際しては、図1に例示した如く必要に応
じ密着力の向上等を目的としたSiO2層や金属アルコ
キシドの加水分解・重縮合体などからなる1層又は2層
以上の適宜な下地層2を樹脂基板に設けることもでき
る。
化インジウムや酸化スズ、ITO(インジウム・錫混合
酸化物)や金、白金やパラジウムなどの従来に準じた適
宜なものを1種又は2種以上用いることができる。なお
蒸着層の形成に際しては、図1に例示した如く必要に応
じ密着力の向上等を目的としたSiO2層や金属アルコ
キシドの加水分解・重縮合体などからなる1層又は2層
以上の適宜な下地層2を樹脂基板に設けることもでき
る。
【0019】反りを防止する点などより好ましいセル基
板は、樹脂基板にSiO2層からなる下地層を介してI
TO蒸着膜からなる透明導電膜を設けたものである。な
おSiO2層の形成は、前記した蒸着膜の形成方法に準
じた方法などにて行うことができる。
板は、樹脂基板にSiO2層からなる下地層を介してI
TO蒸着膜からなる透明導電膜を設けたものである。な
おSiO2層の形成は、前記した蒸着膜の形成方法に準
じた方法などにて行うことができる。
【0020】また金属アルコキシドの加水分解・重縮合
体等からなる下地層には、凹凸構造に基づくアンカー効
果等による透明導電膜等の密着力のより向上などを目的
として、無機酸化物粒子を分散含有させることもでき
る。その無機酸化物粒子としては、例えばシリカ、アル
ミナ、酸化チタン、酸化アンチモン、ジルコニアなどか
らなる、無機酸化物層中で透明性を示す適宜な粒子を用
いることができ、就中、アルミナ粒子が好ましい。
体等からなる下地層には、凹凸構造に基づくアンカー効
果等による透明導電膜等の密着力のより向上などを目的
として、無機酸化物粒子を分散含有させることもでき
る。その無機酸化物粒子としては、例えばシリカ、アル
ミナ、酸化チタン、酸化アンチモン、ジルコニアなどか
らなる、無機酸化物層中で透明性を示す適宜な粒子を用
いることができ、就中、アルミナ粒子が好ましい。
【0021】本発明によるセル基板は、液晶表示装置、
就中、液晶セルの形成に好ましく用いうる。その液晶セ
ルの形成は、例えば樹脂基板上に設けた透明導電膜を電
極パターン化したセル基板を対向配置し、その間に液晶
層を封入する従来に準じた方法などにより行うことがで
きる。透明導電膜上に必要に応じて設けられる液晶配列
用の配向膜も同様に従来に準じた方式で行うことができ
る。形成する液晶セルは、例えばTN型、STN型、T
FT型、強誘電性液晶型など任意である。
就中、液晶セルの形成に好ましく用いうる。その液晶セ
ルの形成は、例えば樹脂基板上に設けた透明導電膜を電
極パターン化したセル基板を対向配置し、その間に液晶
層を封入する従来に準じた方法などにより行うことがで
きる。透明導電膜上に必要に応じて設けられる液晶配列
用の配向膜も同様に従来に準じた方式で行うことができ
る。形成する液晶セルは、例えばTN型、STN型、T
FT型、強誘電性液晶型など任意である。
【0022】前記の液晶セルの形成には、厚さ0.4mm
の場合に基づいて分光光度計による波長600nmの光の
透過率が60%以上、就中80%以上の透明性を示す樹
脂基板を用いたセル基板が好ましく用いられる。なお液
晶表示装置についても、前記の液晶セルを用いてその片
側又は両側に所定の光学素材を配置してなる従来に準じ
た構造を有するものとして形成することができる。
の場合に基づいて分光光度計による波長600nmの光の
透過率が60%以上、就中80%以上の透明性を示す樹
脂基板を用いたセル基板が好ましく用いられる。なお液
晶表示装置についても、前記の液晶セルを用いてその片
側又は両側に所定の光学素材を配置してなる従来に準じ
た構造を有するものとして形成することができる。
【0023】液晶セルや液晶表示装置の形成に際して
は、そのセル基板ないし樹脂基板に基板の湾曲や液晶の
変質等の原因となる水分や酸素の遮蔽を目的に必要に応
じてガスバリア層を設けることができる。ガスバリア層
は通例、耐久性や良変形性等を目的に高分子皮膜にて形
成される。
は、そのセル基板ないし樹脂基板に基板の湾曲や液晶の
変質等の原因となる水分や酸素の遮蔽を目的に必要に応
じてガスバリア層を設けることができる。ガスバリア層
は通例、耐久性や良変形性等を目的に高分子皮膜にて形
成される。
【0024】前記の高分子としては例えばポリビニルア
ルコールやその部分ケン化物、エチレン・ビニルアルコ
ール共重合体やポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリ
デンなどの酸素透過係数が小さいポリマーが好ましく用
いうる。特にガスバリア性や水分の拡散性ないし吸水度
の均一化などの点より、ビニルアルコール系ポリマーが
好ましい。
ルコールやその部分ケン化物、エチレン・ビニルアルコ
ール共重合体やポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリ
デンなどの酸素透過係数が小さいポリマーが好ましく用
いうる。特にガスバリア性や水分の拡散性ないし吸水度
の均一化などの点より、ビニルアルコール系ポリマーが
好ましい。
【0025】ガスバリア層の形成は、キャスティング方
式やスピンコート方式等の適宜な塗工方式による高分子
溶液の展開方式などにより行うことができる。ガスバリ
ア層の厚さは、透明性や着色の防止、酸素や水蒸気等の
ガスバリア性などの点より、15μm以下、就中1〜1
0μmが好ましい。
式やスピンコート方式等の適宜な塗工方式による高分子
溶液の展開方式などにより行うことができる。ガスバリ
ア層の厚さは、透明性や着色の防止、酸素や水蒸気等の
ガスバリア性などの点より、15μm以下、就中1〜1
0μmが好ましい。
【0026】また樹脂基板等には表面の耐擦傷性の向上
などを目的に、必要に応じてコート層を設けることもで
きる。樹脂基板等が上記したガスバリア層を有する場合
には、そのガスバリア層の上方にコート層は設けられ
る。コート層は、透明な硬質膜を形成する適宜な架橋性
樹脂にて形成でき就中、多官能性単量体を光触媒等を介
して紫外線照射により三次元架橋しうるようにした、例
えばウレタンアクリレート系やエポキシ系などの紫外線
硬化樹脂が好ましく用いうる。
などを目的に、必要に応じてコート層を設けることもで
きる。樹脂基板等が上記したガスバリア層を有する場合
には、そのガスバリア層の上方にコート層は設けられ
る。コート層は、透明な硬質膜を形成する適宜な架橋性
樹脂にて形成でき就中、多官能性単量体を光触媒等を介
して紫外線照射により三次元架橋しうるようにした、例
えばウレタンアクリレート系やエポキシ系などの紫外線
硬化樹脂が好ましく用いうる。
【0027】コート層の形成は、キャスティング方式や
スピンコート方式やディッピング方式等の適宜な塗工方
式で樹脂液を樹脂基板ないしガスバリア層等の上に展開
して架橋処理する方法などにより行うことができる。コ
ート層の厚さは、適宜に決定でき一般には200μm以
下、就中100μm以下、特に1〜50μmとされる。
スピンコート方式やディッピング方式等の適宜な塗工方
式で樹脂液を樹脂基板ないしガスバリア層等の上に展開
して架橋処理する方法などにより行うことができる。コ
ート層の厚さは、適宜に決定でき一般には200μm以
下、就中100μm以下、特に1〜50μmとされる。
【0028】液晶表示装置の形成に際して用いる上記し
た光学素材としては、例えば偏光板や位相差板や反射
板、その偏光板と位相差板を積層した楕円偏光板、反射
型偏光板やそれを用いた前記楕円偏光板などの従来の液
晶表示装置に準じたものが使用され、その種類について
特に限定はない。
た光学素材としては、例えば偏光板や位相差板や反射
板、その偏光板と位相差板を積層した楕円偏光板、反射
型偏光板やそれを用いた前記楕円偏光板などの従来の液
晶表示装置に準じたものが使用され、その種類について
特に限定はない。
【0029】光学素材は、1種又は2種以上を用いるこ
とができ、その配置に際しては必要に応じ2種以上の光
学素材を粘着層等を介し予め接着した積層体として用い
ることもできる。粘着層は、適宜な粘着剤にて形成しう
るが、光学素材の浮き(剥離)やセル基板の反りを防止
する点よりは、90℃における1000%弾性率が3〜
10g/mm2、就中4〜8g/mm2の粘着層にて形成す
ることが好ましい。
とができ、その配置に際しては必要に応じ2種以上の光
学素材を粘着層等を介し予め接着した積層体として用い
ることもできる。粘着層は、適宜な粘着剤にて形成しう
るが、光学素材の浮き(剥離)やセル基板の反りを防止
する点よりは、90℃における1000%弾性率が3〜
10g/mm2、就中4〜8g/mm2の粘着層にて形成す
ることが好ましい。
【0030】また接着力については特に限定はないが、
接着ミス時の液晶セルの再利用などの点よりはセル基板
に対する90度剥離(常温〜70℃、剥離速度300mm
/分)に基づいて400〜1000g/25mmとすること
が好ましい。
接着ミス時の液晶セルの再利用などの点よりはセル基板
に対する90度剥離(常温〜70℃、剥離速度300mm
/分)に基づいて400〜1000g/25mmとすること
が好ましい。
【0031】粘着層の形成には、前記の如く例えばアク
リル系重合体やシリコーン系ポリマー、ポリエステルや
ポリウレタン、ポリエーテルや合成ゴムなどの適宜なポ
リマーをベースポリマーとする粘着性物質や粘着剤を用
いることができ、特に限定はない。
リル系重合体やシリコーン系ポリマー、ポリエステルや
ポリウレタン、ポリエーテルや合成ゴムなどの適宜なポ
リマーをベースポリマーとする粘着性物質や粘着剤を用
いることができ、特に限定はない。
【0032】就中アクリル系粘着剤の如く光学的透明性
に優れ、適度な濡れ性と凝集性と接着性の粘着特性を示
して、耐候性や耐熱性などに優れるものが好ましく用い
うる。また吸湿による発泡現象や剥がれ現象の防止、熱
膨張差等による光学特性の低下防止、ひいては高品質で
耐久性に優れる液晶表示装置の形成性などの点より吸湿
率が低くて耐熱性に優れる粘着層が好ましい。
に優れ、適度な濡れ性と凝集性と接着性の粘着特性を示
して、耐候性や耐熱性などに優れるものが好ましく用い
うる。また吸湿による発泡現象や剥がれ現象の防止、熱
膨張差等による光学特性の低下防止、ひいては高品質で
耐久性に優れる液晶表示装置の形成性などの点より吸湿
率が低くて耐熱性に優れる粘着層が好ましい。
【0033】なお粘着層には、例えば天然物や合成物の
樹脂類、就中、粘着性付与樹脂、ガラス繊維やガラスビ
ーズ、金属粉やその他の無機粉末等からなる充填剤や顔
料、着色剤や酸化防止剤などの粘着層に添加されること
のある適宜な添加剤を含有させることもできる。また微
粒子を含有させて光拡散性を示す粘着層とすることもで
きる。
樹脂類、就中、粘着性付与樹脂、ガラス繊維やガラスビ
ーズ、金属粉やその他の無機粉末等からなる充填剤や顔
料、着色剤や酸化防止剤などの粘着層に添加されること
のある適宜な添加剤を含有させることもできる。また微
粒子を含有させて光拡散性を示す粘着層とすることもで
きる。
【0034】粘着層の付設は、例えば溶液や分散液等か
らなる粘着剤液を流延方式や塗工方式等の適宜な展開方
式で付設する方式、あるいはそれに準じセパレータ上に
粘着層を形成してそれを移着する方式などの適宜な方式
で行うことができる。粘着層は、異なる組成又は種類等
のものの重畳層として設けることもでき、厚さは被着体
の種類等に応じて適宜に決定でき一般には1〜500μ
mとされる。
らなる粘着剤液を流延方式や塗工方式等の適宜な展開方
式で付設する方式、あるいはそれに準じセパレータ上に
粘着層を形成してそれを移着する方式などの適宜な方式
で行うことができる。粘着層は、異なる組成又は種類等
のものの重畳層として設けることもでき、厚さは被着体
の種類等に応じて適宜に決定でき一般には1〜500μ
mとされる。
【0035】液晶表示装置の形成は、予め光学素材を接
着したセル基板を用いて液晶セルとする方式、あるいは
液晶セルとした後のセル基板に対して光学素材を接着す
る方式などの適宜な方式にて行うことができる。液晶表
示装置の形成に際しては、偏光板や位相差板等が所定の
配置位置となるように行われが、その配置位置について
は従来に準じることができる。
着したセル基板を用いて液晶セルとする方式、あるいは
液晶セルとした後のセル基板に対して光学素材を接着す
る方式などの適宜な方式にて行うことができる。液晶表
示装置の形成に際しては、偏光板や位相差板等が所定の
配置位置となるように行われが、その配置位置について
は従来に準じることができる。
【0036】本発明によるセル基板は、柔軟性を有して
湾曲面や大面積面等への適用が容易であり、例えば薄膜
トランジスタ型に代表されるアクティブマトリクス駆動
型のもの、TN型やSTN型に代表される単純マトリク
ス駆動型のものなどの適宜なタイプの液晶セルに適用し
て種々の液晶表示装置を形成することができる。
湾曲面や大面積面等への適用が容易であり、例えば薄膜
トランジスタ型に代表されるアクティブマトリクス駆動
型のもの、TN型やSTN型に代表される単純マトリク
ス駆動型のものなどの適宜なタイプの液晶セルに適用し
て種々の液晶表示装置を形成することができる。
【0037】
【実施例】実施例1 下式で表される脂環式エポキシ樹脂100部(重量部、
以下同じ)とメチルヘキサヒドロ無水フタル酸125部
とトリ−n−ブチルオクチルホスホニウムブロマイド1
部からなる混合物を型に注入し、120℃で2時間硬化
処理して厚さ0.4mmの樹脂基板を得た。
以下同じ)とメチルヘキサヒドロ無水フタル酸125部
とトリ−n−ブチルオクチルホスホニウムブロマイド1
部からなる混合物を型に注入し、120℃で2時間硬化
処理して厚さ0.4mmの樹脂基板を得た。
【0038】次に、前記の樹脂基板を150℃で1時間
加熱脱気処理して揮発成分の含有量を0.06重量%と
し、それを蒸着室に配置してスパッタリング方式により
先ず、RF500W、Arガス30cc、圧力3mTo
rrの条件にて厚さ200ÅのSiO2層を形成した
後、その上にDC0.3A、Arガス40cc、O2ガ
ス0.5cc、圧力4mTorrの条件にて厚さ200
0ÅのITO膜を形成して、セル基板を得た。なおスパ
ッタリング時に揮発した主成分は水であった。
加熱脱気処理して揮発成分の含有量を0.06重量%と
し、それを蒸着室に配置してスパッタリング方式により
先ず、RF500W、Arガス30cc、圧力3mTo
rrの条件にて厚さ200ÅのSiO2層を形成した
後、その上にDC0.3A、Arガス40cc、O2ガ
ス0.5cc、圧力4mTorrの条件にて厚さ200
0ÅのITO膜を形成して、セル基板を得た。なおスパ
ッタリング時に揮発した主成分は水であった。
【0039】比較例 樹脂基板を加熱脱気処理せずに用いたほかは(揮発成分
含有量1.49重量%)、実施例1に準じてセル基板を
得た。
含有量1.49重量%)、実施例1に準じてセル基板を
得た。
【0040】評価試験 実施例、比較例で得たセル基板におけるITO透明導電
膜の表面抵抗を調べると共に、40℃の2.5重量%N
aOHに150秒間浸漬して取り出し、顕微鏡にて表面
を観察することによりITO透明導電膜の密着性を調べ
た。
膜の表面抵抗を調べると共に、40℃の2.5重量%N
aOHに150秒間浸漬して取り出し、顕微鏡にて表面
を観察することによりITO透明導電膜の密着性を調べ
た。
【0041】前記の結果を次表に示した。 表面抵抗値 密着性 実施例1 33Ω/□ 良 好 比 較 例 39Ω/□ 剥がれ発生
【図1】実施例の断面図
【符号の説明】 1:樹脂基板 3:透明導電材の蒸着層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01B 5/14 H01B 5/14 A (72)発明者 梅原 俊志 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号日東電 工株式会社内 Fターム(参考) 2H090 HA04 HB13X HC05 HC17 HC18 HD08 JA06 JB03 JC07 JC18 JD08 2H092 HA04 KB05 KB23 KB24 MA05 MA35 MA37 NA25 NA28 PA02 4K029 AA11 AA24 BA50 BC09 BD00 5C094 AA04 AA14 AA15 AA43 AA47 AA60 BA43 DA13 EA05 EB02 FB01 FB02 FB12 FB15 JA01 5G307 FA01 FB01 FC05 FC10
Claims (5)
- 【請求項1】 揮発成分の含有量を0.1重量%以下と
した樹脂基板に、透明電極材からなる蒸着膜を設けてな
ることを特徴とするセル基板。 - 【請求項2】 請求項1において、樹脂基板がエポキシ
系樹脂からなるセル基板。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載のセル基板を用い
てなることを特徴とする液晶セル。 - 【請求項4】 請求項3に記載の液晶セルを用いてなる
ことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項5】 揮発成分の含有量を0.1重量%以下と
した樹脂基板を減圧下の蒸着室に配置して、蒸着方式に
より透明電極材からなる蒸着膜を樹脂基板上に設けるこ
とを特徴とする電極形成法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11174369A JP2001004985A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | セル基板、液晶セル、液晶表示装置及び電極形成法 |
KR1020000033750A KR20010029817A (ko) | 1999-06-21 | 2000-06-20 | 셀 기판, 액정 셀, 액정 디스플레이, 및 전극의 제조 방법 |
DE10030175A DE10030175A1 (de) | 1999-06-21 | 2000-06-20 | Zellsubstrat, Flüssigkristall-Zelle, Flüssigkristall-Display und Verfahren zur Herstellung einer Elektrode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11174369A JP2001004985A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | セル基板、液晶セル、液晶表示装置及び電極形成法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001004985A true JP2001004985A (ja) | 2001-01-12 |
Family
ID=15977420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11174369A Pending JP2001004985A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | セル基板、液晶セル、液晶表示装置及び電極形成法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001004985A (ja) |
KR (1) | KR20010029817A (ja) |
DE (1) | DE10030175A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003066423A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-03-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 表示素子及びその製造方法 |
JP2006039331A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 表示素子用プラスチック基板 |
JP2006284739A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 表示素子の製造方法 |
CN103995395A (zh) * | 2014-05-16 | 2014-08-20 | 深圳莱宝高科技股份有限公司 | 一种液晶显示屏及制造方法 |
-
1999
- 1999-06-21 JP JP11174369A patent/JP2001004985A/ja active Pending
-
2000
- 2000-06-20 DE DE10030175A patent/DE10030175A1/de not_active Withdrawn
- 2000-06-20 KR KR1020000033750A patent/KR20010029817A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003066423A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-03-05 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 表示素子及びその製造方法 |
JP4701561B2 (ja) * | 2001-08-22 | 2011-06-15 | 住友ベークライト株式会社 | 表示素子及びその製造方法 |
JP2006039331A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 表示素子用プラスチック基板 |
JP2006284739A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 表示素子の製造方法 |
CN103995395A (zh) * | 2014-05-16 | 2014-08-20 | 深圳莱宝高科技股份有限公司 | 一种液晶显示屏及制造方法 |
CN103995395B (zh) * | 2014-05-16 | 2018-03-09 | 深圳莱宝高科技股份有限公司 | 一种液晶显示屏及制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010029817A (ko) | 2001-04-16 |
DE10030175A1 (de) | 2001-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6331882B1 (en) | Optical member, cell substrate and liquid-crystal display | |
EP0726579B1 (en) | Transparent conductive sheet | |
EP1574882B1 (en) | Transparent conductive laminate, touch panel and liquid crystal display unit with touch panel | |
JP4183419B2 (ja) | 透明導電性積層体及びこれを用いたタッチパネル | |
JP2002327024A (ja) | 樹脂フィルム、およびその用途 | |
WO2006053344A1 (en) | Scratch and mar resistant pdlc modulator | |
US6208397B1 (en) | Optical member cell substrate and liquid-crystal display | |
JPH07301792A (ja) | 光学フィルム及び液晶表示装置 | |
JP2001004985A (ja) | セル基板、液晶セル、液晶表示装置及び電極形成法 | |
JPH08201791A (ja) | 透明電極基板 | |
JPH1024516A (ja) | 透明導電性積層体および透明タブレット | |
JP2005018551A (ja) | 電磁波シールド機能を有するタッチパネル、およびそれに用いる透明積層フィルム | |
JPH10119162A (ja) | 光学用積層シート | |
JP4499995B2 (ja) | 反射防止層用保護フィルム及び反射防止層付き光学部材 | |
JP4230609B2 (ja) | セル基板、液晶セル及び液晶表示装置 | |
TW202132877A (zh) | 光學薄膜組以及液晶面板 | |
JPH09254303A (ja) | 透明導電フィルム | |
JP2001188103A (ja) | 反射防止膜 | |
JPH1166969A (ja) | 透明導電フィルム | |
JPH08211376A (ja) | 透明積層フィルム | |
JP2002018997A (ja) | 光学部材の表面を保護する保護フィルム | |
JPH09157419A (ja) | 透明導電性フィルム | |
JPH10206835A (ja) | 液晶表示素子用基板 | |
JP3608836B2 (ja) | 光学用積層シートおよびその製造法 | |
JPH11258423A (ja) | 光学部材 |