JP2000514557A - 大きい感知面積を有する撮像装置 - Google Patents

大きい感知面積を有する撮像装置

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シユールマン,トム,グンナー
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シマゲ オユ
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Abstract

(57)【要約】 撮像装置は、撮像支持体と多数の撮像素子のタイル状薄板(56,58)を有する。各タイル状薄板は、撮像面を持つ一つの撮像素子を有し、タイル状薄板の端部、あるいはその近傍に非作動領域(50)を持つ。前記支持体に取付けられたタイル状薄板上の撮像素子は、別のタイル状薄板の撮像面(60)の一部が、別のタイル状薄板の非作動領域の上を少なくとも部分的に重なる様に傾けられており、それによって第一方向に実質的に連続した撮像を提供する。撮像素子の検出層の撮像面の幅が、撮像素子の読み出し層の幅および撮像素子用のマウントの幅と同じかあるいはそれよりも大きい、ということを確実にすることにより、その第一方向に直交する方向でのタイル状薄板間の間隔は、最小になる。

Description

【発明の詳細な説明】 大きい感知面積を有する撮像装置 本発明は、撮像装置に関わる。本発明は特に、大きい面積の撮像に応用される 。 撮像システムは広範囲の用途に使用されており、特に医学診断のための撮像、 バイオテクノロジーおよび工業用用途での非破壊検査、およびオンラインでの製 品品質管理に使用されている。 これらのすべての用途において普及しているものは、撮像を行う手段として放 射線、通常はX線、ガンマ線およびベータ線を用いるものである。放射線はある 種の撮像平面(イメージングプレイン)で検出されるが、それは平面状である必 要はない。したがって、以下においては、撮像面(イメージングサーフェイス) という用語を使用する。画像は撮像面上に直接形成される(投影撮像など)か、 またはコンピュータ内でデータが処理され画像が再構築される(核医学における コンピュータ化断層撮影や符号化開口結像法(コーデッドアパーチャーイメージ ング)など)。 従来の撮像面はカセット内のフィルムとして作成されていた。撮像面の他の方 式は、ディジタル撮像をもたらした過去40年に亙って開発されている。そのよう な例としては、NaIシンチレーティングスクリーン、NaIシンチ レーティング結晶、BGO結晶、ワイヤガスチャンバ、ディジタルイメージングプ レートなどがある。さらに最近では、電荷結合素子、Siマイクロストリップ検出 器、半導体画素検出器などの半導体撮像方式が開発されている。 一般に、上記すべての場合において、大きい撮像面積が必要となる場合、一体 構造(フィルム、ディジタルイメージングプレート、NaIスクリーンなど)、また は支持面上に集められ固定された小片(タイル状薄板、以下「タイル」という) のモザイク(NaI結晶を使用したガンマカメラなど)として作られる。 一体型の大きい撮像面が用いられる場合、撮像面の一部が欠損すると面全体を 交換しなければならなくなる。残念ながら、これまで提案された中でもっとも高 精度のディジタルオンライン撮像素子は、大きな領域(最大で数平方センチメー トルを越える大きさ)では製造不可能な画素単位の半導体を必要とするものであ る。さらに、例えば一体構造で30cmx30cmのディジタル半導体撮像面を製造する ことは歩留まりの低下を招くので望ましいことではない。また高価な撮像領域の 一部が欠損した場合、撮像面全体を交換しなければならない。 タイル張り取り組み方式を用いた、領域の大きな(数平方ミリメートルを越え る)撮像面の作製も提案されている。出願人の特許出願WO95/33332において、タ イル張り方式の採用が提案されている。このような方式を用いると、個々の撮像 素子が撮像支持体上に配列(アレイ) 状につまりモザイク状に配置され、撮像モザイクが形成される。個々の撮像素子 からの出力を処理すれば、撮像面によってカバーされる領域全体に実質的に一致 する単一の出力画像を得ることができる。しかしながら、撮像素子がこのような モザイクを形成するようタイル張りされる時、撮像素子の活性撮像領域のまわり にデッドスペースが残される。この問題を処理するために、配列中の隣接する撮 像素子の列(ロウ)を千鳥状に配列すること、および撮像すべき対象物と撮像配 列間の相対的な移動手段を備えることが提案されている。このような取り組みは 、少なくともデッドスペースの影響が実質的に無視し得る良い結果と手段を与え るけれども、相対的移動用の機構の設備と結果的に得られる多重露出画像を処理 する適当なソフトウェアを必要とする。 本発明の目的は、タイル張り取り組み方式の利点を提供しながら、先行技術の 問題を除去するか、少なくとも軽減する撮像システムおよびその方法を提供する ことである。 本発明の第一の側面によれば、撮像支持体と複数の撮像素子タイルを有する撮 像装置が提供され、そこでは、各タイルは撮像面を持つ一つの撮像素子を有し、 タイルの端部あるいはその近傍に非作動領域を持ち、支持体に取付けられたタイ ル上の撮像素子は、別のタイルの撮像面の一部が、別のタイルの非作動領域の上 を、少なくとも部分的に重なる様に傾けられ、あるいは角度を付けら れており、それによって第一方向に実質的に連続した撮像を提供する。 本発明の実施例は、タイル間のデッドスペースを低減するかあるいは実質的に 除去する方法で、複数の撮像素子タイルと撮像支持体を使用する撮像モザイクを 作り出す新撮像モザイクシステムを提供する。 平面状支持体の使用が可能な好ましい実施例では、各タイルは支持体にタイル を取付ける取り付け面を持つ一つのマウントと、撮像面が取り付け面に対して傾 けらるように撮像素子をマウントに載せる構造を有する。好ましい実施例では、 この構造は撮像素子とマウント間に中間部材を有し、この中間部材は撮像素子を 十分に支えるために楔型形状をしている。しかし、例えばタイルの一端にスペー サを置くなどの代案も可能である。 平面状タイルの使用が可能な別の実施例では、各タイルはタイルを支持体に取 り付けるための取り付け面を持つ一つのマウントを有し、支持体は支持面に複数 のそれぞれのタイル取り付け位置を備え、その取り付け位置は支持面に対して鋸 歯状のずれを与えるように傾けられており、それによって各撮像素子の撮像面は 支持面に対して傾けられている。 マウントは平面であるのが好ましく、プリント基板がより好ましい。 また撮像素子は平面で、例えば平面状画像読み出し層に重なる平面状検出層や 、撮像面を形成する検出層の面 を有していることが好ましい。検出層は、複数の検出器セルを備え、読み出し層 は複数の対応する読み出し回路を備えることができ、各読み出し回路は、それぞ れの検出器セルと結合されている。 好ましい実施例では、検出層は実質的に長方形であり、読み出し層は実質的に 長方形でその一端で検出層を越えて伸長した接続領域を持ち、マウントは実質的 に長方形でその一端で読み出し層を越えて延びた接続領域を持ち、配線接続が読 み出し層とマウントの接続領域間で行われ、そしてタイルの非作動領域は読み出 し層とマウントの接続領域を有する。タイルは、傾斜角度と視差の影響を最小に するように第一の方向に延びていることが好ましい。 タイルは、隣接するタイルの検出層が第一の方向に対して垂直な第二の方向に 、互いに殆ど、あるいは実際に接触するように伸長して、支持体の上に取付けら れることが好ましい。 撮像素子は、可逆的(着脱可能)にかつ非破壊的方法で支持体の上に置かれ、 保持されることが好ましい。着脱可能な位置決め/固定手段は、個々の撮像素子 を、同じ撮像素子が異なる撮像支持体に使用され、あるいはもし不良であると分 かった場合撮像支持体を損傷することなく、また撮像支持体にある他の撮像素子 の動作に影響を与えることなく取り替えることができるように、多数回の着脱を 可能にする。 支持体は、複数の取り付け位置を備え、各位置にそれ ぞれ一つのタイルを着脱可能なように取り付ける、着脱可能取り付け手段を備え る。 好ましい実施例では、各タイル取り付け位置は複数の支持体接点を持ち、その 各々は支持体とタイル間の信号伝達用のそれぞれのタイル接点と協同する。 支持体接点は、タイルの対応した形状の凸部を受け入れる凹部、あるいはタイ ルの対応した形状の凹部を受け入れる凸部を有する。支持体接点は接点パッド上 をおおう弾力性伝導部材を有することがより好ましい。 好ましい実施例では、撮像装置は分離した絶縁基板を有し、それは撮像素子タ イルと撮像支持体間に置かれ、それぞれの弾力性伝導部材を介して各支持体接点 とそれに対応するタイル接点間の電気的接触を可能にするように配列されている 。この実施例において、各弾力性伝導部材は、タイル接点、あるいは支持体接点 の凸部を、それぞれ対応する支持体の接点、あるいは対応するタイルの接点と配 列する穴を持つリングである。弾力性伝導部材は伝導性ゴム、伝導性重合体、あ るいは金属スプリングを含む。 取り付け部の構成は、タイル取り付け位置にタイルを着脱可能に取り付ける可 調整の取り付け力を加えるように適応されることが好ましい。取り付け部の構成 は、各タイル取り付け位置用の穴を有し、その穴は、タイルから突出している固 定手段に適合する適当な直径を持つ。固定手段との係合用締め付け手段は、各タ イル取り付け 位置で支持体の各穴に対して設けられる。好ましい実施例では、締め付け手段は ナットで、固定手段はネジであり、ナットは、撮像素子がタイル取り付け位置に 穴を通したネジで位置決めされた後、ネジで締められるように適応され、それに よってナットは、可調整の力でタイル取り付け位置にタイルを固定するために用 いられる。 取り付け部の構成には、一つの撮像素子タイルの一つのマウントにある一つの ネジ穴との係合用に、各撮像素子タイル位置に置かれた、あるいは置くことので きるネジを有することができる。 撮像装置は、複数の異なる撮像支持体、および選択された撮像支持体に何時で も、ただし着脱可能に取り付け可能であり、それによって撮像支持体の他の一つ に取り付けられる、撮像素子タイルの共通セットを有することができる。 本発明の他の側面によれば、上記のような装置用撮像支持体が提供され、撮像 支持体は、支持面にあるそれぞれのタイル取り付け位置を備え、取り付け位置は 、支持面から鋸歯状のずれを備えるように傾けられている。支持体は、一つの撮 像素子タイルを各取り付け位置に非破壊的、かつ着脱可能な方法で着脱可能に取 り付ける構成を有することが好ましい。この支持体により平面状撮像素子タイル の使用が可能となる。 本発明の更に別の側面によれば、上記のような撮像装置用撮像素子タイルが提 供され、ここで、タイルは、撮 像面とタイルの端部あるいはその近傍に非作動領域を持つ撮像素子と、タイルを 撮像支持体に取り付ける取り付け面を持つマウント、および撮像面が取り付け面 に対して角度をもつように撮像素子をマウントに支持する構造を有する。撮像素 子タイルのこの形式は、取り付け位置に鋸歯状のずれを持たない支持体の使用を 可能にする。 以下添付図面を参照して本発明の実施例を例示として記述する;添付図面にお いて、 図1Aは、撮像支持体の一部の図式的断面図である; 図1Bは、マウントを持つ撮像素子の一つの実施例を備えた図1Aの撮像支持体の一 部の図式的断面図である; 図1Cは、図Bの撮像素子用の撮像素子マウントの下側、および離れた部分の側断 面図の図式的図面である; 図1Dは、図1Bの撮像素子を取り付けた図1Bの撮像支持体の一部の図式的断面図で ある; 図2A-2Dは、撮像素子マウントの第二実施例に対する図1のそれらに対応する図面 である; 図3Aは、本発明の一実施例による撮像支持体に取り付けられた四個の撮像素子の 構成の図式的平面図である; 図3Bは、線B-Bに沿う図3Aの構成の断面図である; 図3Cは、図3Aの矢印Cの方向からみた図3Aの構成の端部図面である。 本発明の特定実施例を記述する前に、撮像素子の着脱可能取り付け部へ向けた 可能な改良の例を記述する。撮像素子の着脱可能取り付け具は、出願人の英国特 許出願 GB605978.7、およびGB9517608.8の主題をなしている。 例示的な意味に限定される本発明の好ましい実施例では、撮像素子は出願人の 特許出願WO95/33332に記述されているような作動半導体撮像素子(ASIDs)を含む 。ASIDは、多分数平方ミリメートルから数平方センチメートルの大きさの能動性 のダイナミックな半導体画素撮像素子である。 このような撮像素子タイル24の一つの断面が、図1Bで撮像支持体の基板9のタ イル取り付け位置の上方に、図式的に示されている。図1Aは、基板9上方の絶縁 層29と伝導性ゴムリング16の適用を図示する図式的断面図である。図1Cは、撮像 素子マウント(PCBなど)5の下側、および断面図を示している。図1Dは、撮像素子 タイル24のネジ31にナット33を係合させることによりタイル取り付け位置に固定 された撮像素子タイル24の断面図である。 撮像素子の面の面積は、その応用と選択される半導体材料によって変る。本発 明はその大きさの撮像素子に限定されるものではないが、一般的な大きさは、1 平方ミリメートルから数平方センチメートルである。放射線は撮像面(図1Bの上 面)から半導体検出器1に入射し、吸収されて電荷を作り出す。検出層1の出口面 に電極パッド(図示せず)が検出器セル、すなわち画素を画定する。連続した放 射により発生した電荷は、伝導性マイクロバンプ2(インジウムバンプなど−図 示せず)を介して検出器画素に接続された読み出し層3の対応する画素回路に蓄 積さ れる。 その画素回路は、読み出し層3を形成する半導体読み出しチップに形成される 。検出層1と読み出し層3により形成された撮像素子20は、例えばプリント基板(P CB)のようなマウント4に取り付けられる。撮像素子タイル24は、撮像素子20とマ ウント4の組み合わせにより形成される。 撮像素子20は、数万の画素を持つが、制御信号および電圧を供給し、信号を読 み出す外部線をおよそ5〜15本必要とするだけである。これらの線はPCB4と、撮 像素子タイル24が取り付けられている撮像支持体の基板9に配設されている。撮 像素子24はそれ自身、例えば微小金属球、あるいはバンプの形式を取る多数の接 点5を備えている。接点の数は一般的に外部線の数と対応する。金属バンプ5は、 撮像支持体の基板9の微小な適当な大きさの接点7の数と等しい数に適合する。 撮像支持体の基板9の接点は、前述した制御、供給、および信号線(図示せず) に接続される。この実施例では、中間絶縁層29は、撮像素子マウント4と撮像支 持体の基板9の間に配設される。穴30が、金属バンプ5と接点7に対応する位置の 絶縁層に設けられる。伝導性ゴムリング16は、絶縁層29の穴30に置かれる。 撮像素子マウント4の各接点バンプと、基板9の対応する接点7と、の間の良好 な電気的接続が、別体の伝導性ゴムリング16により固定される。これらは、基板 9の上部に配列し、接着された電気的絶縁層29の適当な穴に置かれる。伝導性ゴ ムリング(すなわち、穴を持ったもの)の 使用は必ずしも必要ではなく、可撓性の伝導性パッドが代わりに使用される。し かしながら、中心に穴を持つリング構造を使用することは、撮像素子の配列を助 けるのに有利である。 伝導性重合体や金属スプリングなどの、伝導性ゴムリング16の代替品も使用で きる。ネジ31は、撮像素子マウント4の穴34の中に接着される。このネジは、撮 像支持体の基板9の穴32を通して押し込まれ、ナットにより固定される。ナット はゴムリング16に対して撮像素子マウント4の金属球5を押し付けるように締めら れ、代わってゴムリング16は撮像支持体の基板9の金属パッド7に対して押し付け られて良好な電気的接触を確保する。 この実施例は、WO95/33332に記述されたような複数の容易に着脱可能な半導体 画素撮像素子、あるいは他のタイプの画素半導体撮像素子を有する撮像区域を提 供するのに特に適している。 個々の撮像素予は、何回でも着脱、および再設置できるので、同一の撮像素子 が多くの応用に使用し得る。例えば、マモグラフィに使用される撮像素子は、胸 部X線用の他の撮像支持体に即座に移すことができる。各種の撮像支持体が異な る大きさや形状を取り得るが、必要となるのは一組の撮像素子だけである。なお 、撮像素子の取り替えは非熟練者によっても可能であり、保守にかかる費用を最 小にできる。従って、大きい撮像面積が一体型の撮像手段、あるいは固定的タイ ル張りの撮像平面であ る従来技術に対して、本発明は、個々の撮像素子の多目的利用、および再利用を 可能にし、しかも撮像領域の経済的に有利な保守を可能にする着脱可能な撮像素 子によって撮像モザイクを作ることが可能な新規の大面積撮像システムを提示す るものである。 もし、マモグラフィのような特別の例を考慮した場合、30cmx30cmの撮像面( 特許出願WO95/33332で記述されているこのタイプの約600の撮像素子)が、必要 である。その600個の撮像素子は、撮像支持体のプリント基板9に取り付けれらる 。 ネジとナットにより、伝導性ゴムリングのような可撓性接点要素をを用いて良 好な配列と良好な電気的接触を確実にするために、各撮像素子に対して取り付け 力を個々に調整することも可能である。 特定のナットおよびネジの例とは別の幾つかの代替案も可能ではあるが、上記 の取り付け方にも依然利点が残っている。例えば、蝶ナットがナットの締めとそ の後の解放を助けるために使用される。また、ナットを長くした形としてネジに 取付けることもできるし、その長くナットがスロットを通して挿入され、長いナ ットが支持体平面の裏面と係合するように締められるよう、支持体平面の穴はス リット状にできる。ナットとスロットの寸法を適当に定めることにより、受け入 れ可能な回転調整の範囲が提供される。 別の代替法として、回転可能に取付けられたピンを撮 像素子のマウント裏側に配設することができよう、そしてそのピンは支持体平面 の同じ形状の鍵穴を通る少なくとも二個の垂直突起を備えており、鍵穴への挿入 後このピンを回すことにより突起が支持体平面の裏側と係合して撮像素子を固定 するようになっている。 ネジを用いた撮像素子の可逆的(着脱可能)そして非破壊的取り付けへの取り 組み方式の別の実施例が図2に図示されている。四つの概念図2A,2B,2C、および2 Dは、この場合、撮像素子のマウント5がネジ付き穴35を備え、それに、支持体平 面9の撮像素子に回転可能に取り付けられたネジ36が撮像素子を支持体平面に固 定するよう、そこに係合させられている、と言う点を除いて、全体的に図1のそ れらに対応している。ネジ36は、撮像素子をその設置位置に装着することが望ま しい時には、撮像素子の設置位置にある支持体平面9の穴32を通して挿入される 。 別法として、図2に示すように、ネジを、撮像素子の設置位置に恒久的に、回 転可能な状態で取り付けることもできる。例えば、ネジのネック部をカラー37に 取付けることができ、このカラーは、ネジ36がその設置位置に回転可能に取り付 けられるよう撮像素子の設置位置における支持体平面の穴32を覆うべく装着され る。この実施例において、撮像素子支持体は、ネジ穴を備えた撮像素子の装着が 可能な直立ネジ36の配列を有する。この例の利点は、その使用の容易性である。 この実施例のネジ36、およびネジ穴35に代わる手段と して、他の同様な構成、例えば支持体平面9に回転可能に取り付けられた差込み ピンを備えるスタッドと、マウント5における差込みピン受容構造を備えた協同 穴を配設することも可能である。 撮像素子の非破壊的取り付け用の技術のその例が記述されたので、次に本発明 の実施例におけるこの技術の使用について記述する。図1B、および2Bで撮像素子 の左手端に二つの段差があることに気付かれよう。第一段差12は検出器1と読み 出しチップ3の間で、第二段差14は読み出しチップ3とマウント4の間である。こ れらの段差の目的は、読み出しチップの接点パッドとマウント4の関連する接点 パッド間の結合配線(図示せず)の接続を可能にすることである。このことは、 上記した金属バンプ5に対する読み出しチップの外部電気的インターフェースを 与える。読み出しチップでは、この接続を容易にし、また撮像素子タイルのモザ イク用の不感撮像面積の大きさを低減するため、すべての内部電気的接続はチッ プの単一端に取り出されている。撮像素子タイルが側面と側面を、端部と端部を 衝き合わせて構成される時、上記の段差領域でデッドスペース(すなわち検出器 がそこには延びて来ていない区域)、が生じることが分かるであろう。また、従 来のタイル式配列では、支持体が検出器面よりも広いので、側面と側面が衝き合 わされて構成された隣接撮像素子間に間隔が生じる。この問題を扱う取り組みが 提案されており、そのやり方では撮像配列上の撮像素子 の隣接する列を千鳥にし、撮像すべき対象物と撮像配列間の相対的な移動を備え ることを必要とする。このことは、デッドスペースの影響は少なくとも実質的に は除去されることを意味するが、このことは、相対移動用の機構と結果的に得ら れる多重露出画像を処理する適当なソフトウェアの準備を必要とする。 本発明の実施例は、先行する方式の欠点を軽減しまたは完全に除去する機構を 提供する。 本発明の実施例の一部を図3に図式的に示している。この実施例において個々 のタイルの構造は、隣接タイルが非常に接近するか互いに殆ど接触するように取 り付けられるように変更される。タイルは、他の適当な取り付け技術を採用する ことができるが、電気的、および機械的の両方で例えば上記した方法の一つにお ける支持体平面に接続される。 図3に示した特別な実施例では、撮像素子マウント(タイルPCBなど)と支持体 平面42間の電気的接続は、タイルPCB41上の伝導性(金属など)球44と、リング4 5が支持体平面42の接点パッド(金属の、など)と重なるように、支持体平面42 の上部に配列され、接着された電気的絶縁された中間面46の適当な穴に置かれた 伝導性リング45(ゴムの、など)との間の接触によって達成される。機械的接続 はタイルPCB41の穴に接着されたネジ48によって固定される。このネジは、支持 体平面の穴を通して押し出されナット47で固定される。ナット47はタイルPCB41 の 金属球44をリング45に押し付けるように締められ、リング45は代わって支持体平 面の金属パッドに対して押し付けられ、良好な電気的接触を確保する。 この実施例において、信号検出要素(すなわち、検出器38と読み出しチップ39 )は、タイルPCB41と読み出しチップ39間の三角、あるいは楔形状の支持体部分4 0を用いて傾けられ、あるいは角度付けされている。検出器38と読み出しチップ3 9の一つの端辺は、配線結合パッド、および隣り合う撮像タイルの結合配線43を 覆うように延ばすことができる。配線結合パッドは、結合配線43の取り付け用に タイルPCB41に設けられ、それにより、読み出しチップ上の画素回路はタイルPCB 41に電気的に接続される。この方法で、撮像タイルが支持体平面42に取り付けら れた時、そうでなければ撮像タイル間に存在するであろうデッドスペースが最小 にされ、あるいは完全に除去される。このデッドスペースの除去は、完全な撮像 範囲(例えば、支持体平面42を移動して多重露出を取るなど)を提供する代替技 術は必要ではないことを意味する。 この実施例では、個々の撮像タイルの長い側辺が(好ましくはできるだけ長く )延びた矩形形状が、傾斜によって生じる視差誤差を最小にする(すなわち、傾 斜角度を最小にする)ため選択される。例えば、検出器38と読み出しチップ39の 大きさは、18mmx10mmとし得るが、チップ39と検出器38の処理によっては、その 他の多くの寸法も可能である。図3Aは、タイル構成の平面図を示す(一 般的には配列にはもっと多くのタイルがあるが、この例では四個のタイル)。図3 Bは、B-B面による断面図である。図3Cは、矢印Cの方向からの端面図である。 図3Aでは、最上部の撮像素子タイル52,54(図3Aで見られる)の結合配線43と段 付き最上部の端部50が見られる。しかしながら、最下部の撮像素子タイル56,58 (図3Aで見られる)の結合配線43と段付き最上部の端部50は、上から見た時(す なわち、図3Aの平面で見下ろした)、最上部の撮像素子タイル52,54の最下部の端 部60によって覆われるので、見ることはできない。これは、図3Bの断面図に見ら れるように、検出器38と読み出しチップ39を有する信号検出要素の傾斜の結果で ある。図3に示した特定の例では、検出器38と読み出しチップ39は、略18mmx10mm であり、かつ、傾斜が支持体ボード上で、撮像素子同士の端部の間の撮像素子の 「高さ」(すなわち、図3B上での水平距離D)で約1mmの差を与える場合で、撮像 素子の傾斜と撮像面の角度は約3°である。 傾斜方向に直交する方向(鎖線B-Bに対応する)のタイル間の間隔は、検出器3 8の撮像面の幅(すなわち、図3Aで見た水平方向の)は、読み出しチップ39及び タイルPCB41の幅と同じかそれ以上を確保することにより、小さくすることが好 ましい。この方法でタイルを、検出器がその方向で実際に接触するか、あるいは 非常に小さい距離だけ離すようにして取り付けることができる。 この種の実施例によれば、前のタイルの検出要素38に よって全デッド領域がオーバラップされるので、結合パッド、結合配線および読 み出しチップ39上の読み出しバッファ(デコーダ、マルチプレクサ等)により生 じるデッドスペース、およびタイルPCB41により生じるデッドスペースは除去さ れる。また、タイルは実質的に互いに接近、あるいは互いに接触するように形成 され、検出要素38は実際に、読み出しチップ39の寸法と正確に等しいか、あるい は僅か越えるように形成できるので、他の方向ではタイル間のデッドスペースが 最小か、あるいは全くない。 図3においては、四個のタイルの構成が示されているが、どのような数量のタ イルも、どのような実際上有用な大きさ、例えば45cmx40cm、を持つ撮像面積を 提供するようにも構成し得る、ということが知られる。また、上記実施例におい ては、支持体平面のことを言っているが、それは実際には平らである必要はなく 、希望する撮像面に形を適合させるように湾曲にされ、あるいは成形されること もできる。例えば、撮像支持体は、ある応用に対して完全な、あるいは部分的な リングとして成形される。 撮像支持体上の接点は、順番に撮像配列用の制御電子回路、あるいは出力電子 回路に接続される。出力電子回路は、撮像素子からのアナログ信号を画像データ の処理および表示用ディジタル信号に変換するための、一個以上のアナログ−デ ィジタル変換器を持つ。適切な制御、および出力電子回路、および画像プロセッ サの例が、こ の出願人の国際特許出願WO95/33332に記述されている。この国際特許出願はまた 、本発明と共に使用するのに適した半導体画素撮像素子の例を記述している。こ のように、上に参照した信号検出要素は、例えばその各々が放射線検出器と、放 射線検出器セルに入射する放射線から直接生じる電荷を貯蔵する対応の電荷貯蔵 器とを含む撮像セル(あるいは画素)の配列を提供する撮像素子であることがで き、そのそれぞれの撮像セルの電荷貯蔵器は、電荷読み出しおよび/あるいはリ セットのため個々にアドレス可能であることができる。しかしながら、半導体画 素素子以外の撮像素子には、着脱式CCDs,NaI結晶、あるいは小規模のワイヤガス チャンバのようなものが使用できる、ということに気付かれよう。 本発明の実施例は、最大のデッドスペースの方向にタイルの傾斜を与え、そし て一つのタイルの検出要素と隣接するタイルのデッド区域間のオーバラップを生 み出しているので、このようにデッドスペースを最小あるいは実際全く無くした 静止形タイル張り撮像区域を提供する。 他の直交する方向では、タイルは可能な限り互いに近付け、更には互いに接触す るように構成される。すべてのタイルは前と同じように個々に着脱可能であり、 このようにして性能を落とすことなく部分的に保守できる理想的なディジタル撮 像平面を提供する。 図3の実施例では、平らな検出要素と平らなPCBマウント間に楔型部分が示され ているが、検出要素の撮像面を 傾斜した構成を備えるような代替構造が採用できることに気付かれよう。例えば 、楔型部分でなく、一つの端部に沿うブロックも使用できよう。また、撮像素子 あるいはマウントは、楔型あるいは傾斜取り付け用に一つの辺に内部支持体を備 えても良い。代わりに、撮像支持体の取り付け位置は、撮像素子がこれらの素子 の角度付け、およびオーバラップ状取り付けを備えるように、各取り付け位置に 角度付け(傾け)あるいは楔型にすることができる。 例えば上記の取り付け技術を用いた例として、撮像素子の取り付けを待つべく 対応するシステムに用意され取り付けられた撮像支持体を備えた、各種の医療器 具を形成することが可能である。撮像素子は、適当に包装され、残りの撮像シス テムとは分けて供給され、どのような平均的な技術職員でもそれらを扱え、それ らを一つの平面から別の平面へ再設置できる。このやり方で、同時にすべてのシ ステムを設けるのに要する数より少ない撮像素子ですむので、比較的高価な画素 半導体撮像素子の使用が最適化される。更に、保守は経済的となる。撮像面(モ ザイク)全体ではなく、不良な撮像素子を取り換えることができ、さらにこの取 り換えは平均的な技術職員が容易に行なうことが出来る。 着脱可能な固定は、撮像素子、ボード、および対応する接点を実質的に同じ状 態に保ちながら、幾度となく撮像素子を撮像支持体に固定し、またそこから取り 除くと いう、非破壊的方法で達成される。 着脱可能な取り付けは、以下のような代替的技術を用いても達成される。 すなわち、 −撮像素子が定位置に吸引される上記のような減圧あるいは真空; −撮像素子におけるPCBsその他の取り付け手段に接着され、支持体平面(撮像 支持体の基板など)の対応する穴を貫通したネジであって、支持体平面の反対側 でナットにによって固定されるネジ; −撮像素子が、支持体平面の対応するソケットに差し込まれるピンを備えてい るようなソケット構造(好ましくは挿入カゼロのソケット手段); −機械的クリップ、紐あるいは同等物により撮像素子を定位置に保つようなク リップ; −撮像支持体上、あるいは撮像素子上、あるいは双方において小型磁石が撮像 素子を撮像平面に固定するような磁石; −その他の機械的構成。 本発明は、数平方mm以上の大きさの面積を必要とするどんな放射線撮像分野に おけるどんなタイプの放射線にも使用し得る。特に、X線やガンマ線を用いる医 学的診断撮像、ベータ線(ここでは撮像すべきサンプルにラベルとして同位元素 が用いられる)を用いるバイオテクノロジー撮像、並びに非破壊検査および製品 品質管理に関す る工業的用途にその用途がある。 具体的な実施例を述べてきたが、本発明から逸脱することなく多くの変形、お よび代替案を実施し得ることが了解されるべきである。 例えば、図3を参照して上述された実施例では、タイルは、検出器区域が実質 的に互いに接触するように構成されたタイルの隣接する列に対する一つの軸(一 つの方向)に関して傾けられている。しかしながら、代替の実施例では、一つの タイルの隣接する二つの辺(つまり端部)に沿ったデッド領域が、それらの隣接 する両辺間のコーナーで会う、隣接する二つのタイルの検出器撮像面によって覆 われるように、二つの軸に関して(すなわち、その各々は一つの方形タイルのそ れぞれの側に平行である二つの直交する方向に関して、あるいは一つのタイルの 相対するコーナーを通して通過する単一の軸に関して)タイルが傾けられること が可能である。この実施例を思い浮かべるには、タイルの行や列による矩形的な 配列よりも魚の鱗のように、あるいはダイアモンド形状に構成されたタイルにつ いて思うのが役立つ。言い換えれば、どの一つのタイルについても第一のコーナ ーの両側にデッドスペースを持つ二つの辺は、反対側のコーナーの両側の二つの 反対側の辺よりも低くなる。このようにして、問題のタイルの二つの低い辺のデ ッドスペースは、二つのそれぞれの隣接のタイルのより高い辺にある検出器撮像 面によって覆われる。 また、問題のタイルの検出器撮像面の相対する高い方の辺は、更に隣接する二 つのタイルの辺にあるデッドスペースの一部に重なる。このような代替の実施例 では、タイルは延びた矩形に対して実質的に方形であることが有利である。この 実施例は、結合配線接続、あるいは、図3の好ましい実施例における単一辺に沿 うよりも二つの辺に沿う他のデッドスペースを持つ撮像素子に対して有用である 。
【手続補正書】特許法第184条の8第1項 【提出日】平成10年5月14日(1998.5.14) 【補正内容】 請求の範囲 1.撮像支持体と複数の撮像素子タイルを有する撮像装置であって、 その撮像素子は複数の撮像素子セルを有し、 各タイルは、撮像面を持つ素子を有し、タイルの辺(端部)、あるいはその近傍 に非作動領域を持ち、 前記支持体に取り付けられた前記タイル上の前記撮像素子は前記の撮像素子の 前記撮像面の一部が別のタイルの非作動領域に少なくとも部分的に重なるように 傾けられそれによって第一の方向に実質的に連続した撮像を提供し、 各タイルはさらに前記タイルを支持体に取りつけるための取り付け面をもつマ ウントをもち、そこでは前記支持体が1つ以上のタイルに兼用である、 ことを特徴とする撮像装置。 2.各タイルが、 前記撮像面が前記取り付け面に対して傾けられるように前記マウント上に前記 撮像素子を載置するための構造部を有する、 ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 3.前記構造部が前記撮像素子と前記マウント間に中間部材を有する、 ことを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。 4.前記中間部材が楔型である、 ことを特徴とする請求項3に記載の撮像装置。 5.前記支持体が支持体面に複数のそれぞれのタイル取り付け位置を備え、前記 取り付け位置が前記支持面からの鋸歯状のずれを与えるように傾けられており、 それによって各撮像素子の前記撮像面は前記支持体面に対して傾けられている、 ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 6.前記マウントが平らである、 ことを特徴とする請求項2から5のいずれか一つに記載の撮像装置。 7.前記撮像素子が平らである、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像装置。 8.前記撮像素子が平面画像読み出し層に重なる平らな検 出層を有し、前記検出層の面は前記撮像面を形成する、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像装置。 9.前記検出層が複数の検出器セルを備え、前記読み出し層が複数の対応する読 み出し回路を有し、各読み出し回路かそれぞれの検出器セルに結合されている、 ことを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。 10.前記検出層は実質的に矩形であり、 前記読み出し層が実質的に矩形でかつその一つの端部で前記検出層を越えて延 びる接続領域を持ち、 前記マウントが実質的に矩形でかつ前記一つの端部で前記画像読み出し層を越 えて延びる接続領域を持ち、 配線接続が前記読み出し層の前記接続領域と前記マウント間に設けられ、そし て 前記タイルの前記非作動領域が前記読み出し層の前記接続領域と前記マウント を有する、 ことを特徴とする請求項9に記載の撮像装置。 11.前記タイルは、隣接するタイルの前記検出層が前記第一方向に垂直な第二方 向に、互いに殆どあるいは実際に接触するほど延びるように、前記支持体に取り 付けられている、 ことを特徴とする請求項8から10のいずれか一つに記載 の撮像装置。 12.前記タイルを前記撮像支持体上に非破壊的、かつ着脱可能な方法で着脱可能 に取り付ける配置構成を有する、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像装置。 13.複数のタイル取り付け位置を有し、 前記着脱可能取り付け手段が、それぞれのタイル30を前記各位置に着脱可能 に取り付ける、 ことを特徴とする請求項12に記載の撮像装置。 14.各タイル取り付け位置か、複数の支持体接点を有し、その各々は前記支持体 と前記タイル間の信号伝達用のそれぞれのタイル接点と協同する、 ことを特徴とする請求項13に記載の撮像装置。 15.前記支持体接点が、前記タイルの対応した形状の凸部を受け入れる凹部、あ るいは前記タイルの対応した形状の凹部を受け入れる凸部を有する、 ことを特徴とする請求項14に記載の撮像装置。 16.前記支持体接点が、接点パッドに重なる弾力性伝導部材を有する、 ことを特徴とする請求項15に記載の撮像装置。 17.分離した絶縁基板を有し、 前記弾力性伝導部材が、(複数の)前記撮像素子タイルと前記撮像支持体間に 置かれ、前記各支持体接点と対応するタイル接点間の電気的接触をそれぞれの弾 力性部材を介して可能にするように配列された前記分離絶縁基板の穴に設けられ ている、 ことを特徴とする請求項16に記載の撮像装置。 18.各弾力性伝導部材が、前記支持体接点、あるいは前記タイル接点の凸部を、 それぞれ、前記支持体の対応する接点、あるいは前記タイルの対応する接点と揃 うよう配列するための穴を持つリングである、 ことを特徴とする請求項16あるいは17に記載の撮像装置。 19.前記弾力性のある伝導性部材が、伝導性ゴム、伝導性重合体あるいは金属ス プリングを有する、 ことを特徴とする請求項16から18のいずれか一つに記載の撮像装置。 20.前記取り付け配置構成か、タイルをタイル取り付け位置に着脱可能に取り付 ける可調整の取り付け力を適用するようにされた、 ことを特徴とする請求項12から19のいずれか一つに記 載の撮像装置。 21.前記取り付け構成が、各タイル取り付け位置用の穴を有し、前記穴が前記タ イルから突出した固定手段を適合させるのに適当な直径である、 ことを特徴とする請求項20に記載の撮像装置。 22.前記固定手段に係合する締め付け手段が、各タイル取り付け位置の前記支持 体の各穴に対して設けられている、 ことを特徴とする請求項21に記載の撮像装置。 23.前記締め付け手段がナットであり、 前記固定手段がネジであり、 前記ナットが前記撮像素子が前記穴を通して延びる前記ネジによって前記タイ ル取り付け位置に置かれた後、前記ネジに締められるようにされており、 それによって前記ナットが前記タイル取り付け位置を前記取り付け位置に可調 整の取り付け力で固定するために用いられる、 ことを特徴とする請求項22に記載の撮像装置。 24.前記取り付け配置の構成が、撮像素子タイルのマウントのネジ切り穴と係合 するため、各撮像素子タイル位置に置かれあるいは置くことのできるネジを有す る、 ことを特徴とする請求項12から23のいずれか一つに記載の撮像装置。 25.複数の異なる撮像支持体と、 選択された撮像支持体にいつでも、着脱可能に取り付け可能な撮像素子タイル の共通セットを有し、 それによって撮像素子タイルが前記撮像支持体の別の一つに取り付けできる、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像装置。 26.前記支持体が、支持体面にそれぞれ複数のタイル取り付け位置を提供し、 前記取り付け位置が前記支持体面からの鋸歯状のずれを与えるために傾けられ ている、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の装置用撮像支持体。 27.撮像素子タイルを各取り付け位置に非破壊的、かつ着脱可能な方法で着脱可 能に取り付けるための配置構成を有する、 ことを特徴とする請求項26に記載の支持体。 28.前記タイルが、 撮像面、タイルの端部あるいはその近傍の非作動領域、 撮像支持体に前記タイルを取り付ける取り付け面を持つマウント、および 前記撮像面が前記取り付け面に対してゼロを超える角度を有するように前記撮 像素子を前記マウントに支持する構造、 を有することを特徴とする請求項1から25のいずれか一つに記載の撮像装置用 撮像素子タイル。 29.前記構造が中間部材を有する、 ことを特徴とする請求項28に記載の撮像素子タイル。 30.前記中間部材が楔型である、 ことを特徴とする請求項29に記載の撮像素子タイル。 31.前記マウントが平らである、 ことを特徴とする請求項28から30のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 32.前記撮像素子が平らである、 ことを特徴とする請求項28から31のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 33.前記撮像素子が、平面画像読み出し層に重なる平らな検出層を有し、 前記検出層の面が前記撮像面を形成する、 ことを特徴とする請求項28から32のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 34.前記検出層か複数の画像セルを提供し、 前記読み出し層は対応する複数の読み出し回路を有し、 各読み出し回路はそれぞれの画像検出器セルに接続されている、 ことを特徴とする請求項33に記載の撮像素子タイル。 35.前記検出層が実質的に矩形であり、 前記読み出し層が実質的に矩形でかつその一つの端部で前記検出層を越えて延 びる接続領域を持ち、 前記マウントが実質的に矩形でかつ前記一つの端部で前記画像読み出し層を越 えて延びる接続領域を持ち、 配線接続が前記読み出し層の前記接続領域と前記マウント間に備えられ、 そして前記タイルの前記非活性領域が前記読み出し層と前記マウントとの前記 接続領域を有する、 ことを特徴とする請求項34に記載の撮像素子タイル。 36.前記タイルを非破壊的、かつ着脱可能な方法で撮像支持体のタイル取り付け 位置に着脱可能に取り付けるための手段を有する、 ことを特徴とする請求項28から35のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 37.撮像素子タイルが画素半導体撮像素子の形式である、 ことを特徴とする請求項28から36のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。
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Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.撮像支持体と複数の撮像素子タイルを有する撮像装置であって、 各タイルは、撮像面を持つ素子を有し、タイルの辺(端部)、あるいはその近 傍に非作動領域を持ち、 前記支持体に取り付けられた前記タイル上の前記撮像素子は一つのタイルの前 記撮像面の一部が別のタイルの非作動領域に少なくとも部分的に重なるように傾 けられ、それによって第一の方向に実質的に連続した撮像を提供する、 ことを特徴とする撮像装置。 2.各タイルが、 前記支持体上に前記タイルを取り付ける取り付け面と、 前記撮像面が前記取り付け面に対して傾けられるように前記マウント上に前記 撮像素子を載置するための構造部、 を持つマウントを有する、 ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 3.前記構造部が、前記撮像素子と前記マウント間に中間部材を有する、 ことを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。 4.前記中間部材が楔型である、 ことを特徴とする請求項3に記載の撮像装置。 5.各タイルが、前記タイルを前記支持体に取り付ける取り付け面を持つ一つの マウントを有し、前記支持体が支持体面に複数のそれぞれのタイル取り付け位置 を備え、前記取り付け位置が前記支持面からの鋸歯状のずれを与えるように傾け られており、それによって各撮像素子の前記撮像面は前記支持体面に対して傾け られている、 ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 6.前記マウントが平らである、 ことを特徴とする請求項2から5のいずれか一つに記載の撮像装置。 7.前記撮像素子が平らである、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像装置。 8.前記撮像素子が平面画像読み出し層に重なる平らな検出層を有し、前記検出 層の面は前記撮像面を形成する、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像装置。 9.前記検出層が複数の検出器セルを備え、前記読み出し 層が複数の対応する読み出し回路を有し、各読み出し回路がそれぞれの検出器セ ルに結合されている、 ことを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。 10.前記検出層は実質的に矩形であり、 前記読み出し層が実質的に矩形でかつその一つの端部で前記検出層を越えて延 びる接続領域を持ち、 前記マウントが実質的に矩形でかつ前記一つの端部で前記画像読み出し層を越 えて延びる接続領域を持ち、 配線接続が前記読み出し層の前記接続領域と前記マウント間に設けられ、そし て 前記タイルの前記非作動領域が前記読み出し層の前記接続領域と前記マウント を有する、 ことを特徴とする請求項9に記載の撮像装置。 11.前記タイルは、隣接するタイルの前記検出層が前記第一方向に垂直な第二方 向に、互いに殆どあるいは実際に接触するほど延びるように、前記支持体に取り 付けられている、 ことを特徴とする請求項8から10のいずれか一つに記載の撮像装置。 12.前記タイルを前記撮像支持体上に非破壊的、かつ着脱可能な方法で着脱可能 に取り付ける配置構成を有する、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像 装置。 13.複数のタイル取り付け位置を有し、 前記着脱可能取り付け手段が、それぞれのタイルを前記各位置に着脱可能に取 り付ける、 ことを特徴とする請求項12に記載の撮像装置。 14.各タイル取り付け位置が、複数の支持体接点を有し、その各々は前記支持体 と前記タイル間の信号伝達用のそれぞれのタイル接点と協同する、 ことを特徴とする請求項13に記載の撮像装置。 15.前記支持体接点が、前記タイルの対応した形状の凸部を受け入れる凹部、あ るいは前記タイルの対応した形状の凹部を受け入れる凸部を有する、 ことを特徴とする請求項14に記載の撮像装置。 16.前記支持体接点が、接点パッドに重なる弾力性伝導部材を有する、 ことを特徴とする請求項15に記載の撮像装置。 17.分離した絶縁基板を有し、 前記弾力性伝導部材が、(複数の)前記撮像素子タイルと前記撮像支持体間に 置かれ、前記各支持体接点と対応するタイル接点間の電気的接触をそれぞれの弾 力性部 材を介して可能にするように配列された前記分離絶縁基板の穴に設けられている 、 ことを特徴とする請求項16に記載の撮像装置。 18.各弾力性伝導部材が、前記支持体接点、あるいは前記タイル接点の凸部を、 それぞれ、前記支持体の対応する接点、あるいは前記タイルの対応する接点と揃 うよう配列するための穴を持つリングである、 ことを特徴とする請求項16あるいは17に記載の撮像装置。 19.前記弾力性のある伝導性部材が、伝導性ゴム、伝導性重合体あるいは金属ス プリングを有する、 ことを特徴とする請求項16から18のいずれか一つに記載の撮像装置。 20.前記取り付け配置構成が、タイルをタイル取り付け位置に着脱可能に取り付 ける可調整の取り付け力を適用するようにされた、 ことを特徴とする請求項12から19のいずれか一つに記載の撮像装置。 21.前記取り付け構成が、各タイル取り付け位置用の穴を有し、前記穴が前記タ イルから突出した固定手段を適合させるのに適当な直径である、 ことを特徴とする請求項20に記載の撮像装置。 22.前記固定手段に係合する締め付け手段が、各タイル取り付け位置の前記支持 体の各穴に対して設けられている、 ことを特徴とする請求項21に記載の撮像装置。 23.前記締め付け手段がナットであり、 前記固定手段がネジであり、 前記ナットが前記撮像素子が前記穴を通して延びる前記ネジによって前記タイ ル取り付け位置に置かれた後、前記ネジに締められるようにされており、 それによって前記ナットが前記タイル取り付け位置を前記取り付け位置に可調 整の取り付け力で固定するために用いられる、 ことを特徴とする請求項22に記載の撮像装置。 24.前記取り付け配置の構成が、撮像素子タイルのマウントのネジ切り穴と係合 するため、各撮像素子タイル位置に置かれあるいは置くことのできるネジを有す る、 ことを特徴とする請求項12から23のいずれか一つに記載の撮像装置。 25.複数の異なる撮像支持体と、 選択された撮像支持体にいつでも、着脱可能に取り付 け可能な撮像素子タイルの共通セットを有し、 それによって撮像素子タイルが前記撮像支持体の別の一つに取り付けできる、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の撮像装置。 26.前記支持体が、支持体面にそれぞれ複数のタイル取り付け位置を提供し、 前記取り付け位置が前記支持体面からの鋸歯状のずれを与えるために傾けられ ている、 ことを特徴とする上記請求項のいずれかに記載の装置用撮像支持体。 27.撮像素子タイルを各取り付け位置に非破壊的、かつ着脱可能な方法で着脱可 能に取り付けるための配置構成を有する、 ことを特徴とする請求項26に記載の支持体。 28.前記タイルが、 撮像面、タイルの端部あるいはその近傍の非作動領域、撮像支持体に前記タイ ルを取り付ける取り付け面を持つマウント、および 前記撮像面が前記取り付け面に対して角度を有するように前記撮像素子を前記 マウントに支持する構造、 を有することを特徴とする請求項1から25のいずれか一 つに記載の撮像装置用撮像素子タイル。 29.前記構造が中間部材を有する、 ことを特徴とする請求項28に記載の撮像素子タイル。 30.前記中間部材が楔型である、 ことを特徴とする請求項29に記載の撮像素子タイル。 31.前記マウントが平らである、 ことを特徴とする請求項28から30のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 32.前記撮像素子が平らである、 ことを特徴とする請求項28から31のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 33.前記撮像素子が、平面画像読み出し層に重なる平らな検出層を有し、 前記検出層の面が前記撮像面を形成する、 ことを特徴とする請求項28から32のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 34.前記検出層が複数の画像セルを提供し、 前記読み出し層は対応する複数の読み出し回路を有し、 各読み出し回路はそれぞれの画像検出器セルに接続さ れている、 ことを特徴とする請求項33に記載の撮像素子タイル。 35.前記検出層が実質的に矩形であり、 前記読み出し層が実質的に矩形でかつその一つの端部で前記検出層を越えて延 びる接続領域を持ち、 前記マウントが実質的に矩形でかつ前記一つの端部で前記画像読み出し層を越 えて延びる接続領域を持ち、 配線接続が前記読み出し層の前記接続領域と前記マウント間に備えられ、 そして前記タイルの前記非活性領域が前記読み出し層と前記マウントとの前記 接続領域を有する、 ことを特徴とする請求項34に記載の撮像素子タイル。 36.前記タイルを非破壊的、かつ着脱可能な方法で撮像支持体のタイル取り付け 位置に着脱可能に取り付けるための手段を有する、 ことを特徴とする請求項28から35のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。 37.撮像素子タイルが画素半導体撮像素子の形式である、 ことを特徴とする請求項28から36のいずれか一つに記載の撮像素子タイル。
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