JP2000340421A - ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置 - Google Patents
ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置Info
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- JP2000340421A JP2000340421A JP15335099A JP15335099A JP2000340421A JP 2000340421 A JP2000340421 A JP 2000340421A JP 15335099 A JP15335099 A JP 15335099A JP 15335099 A JP15335099 A JP 15335099A JP 2000340421 A JP2000340421 A JP 2000340421A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の輻射シールド板とコイルヨーク２
１とを兼用し輻射シールド板を廃止可能とし、重量のあ
るコイルヨーク２１の冷却時間を短縮して、従来に比較
してコンパクト、軽量で、かつ熱侵入の少ないヨーク付
き伝導冷却型超電導マグネット装置を提供すること。 【解決手段】 コイルヨーク２１を冷凍機（ＧＭ冷凍機
３）の第二段冷却ステージ１１ではなく、第一段冷却ス
テージ１０に接続することに着目したもので、超電導コ
イル７による磁路を形成するためのコイルヨーク２１
と、超電導コイル７を冷却可能な冷凍機３と、を有し、
冷凍機３の第一段冷却ステージ１０にコイルヨーク２１
を接続するとともに、冷凍機３の第二段冷却ステージ１
１に超電導コイル７を接続したことを特徴とする。
１とを兼用し輻射シールド板を廃止可能とし、重量のあ
るコイルヨーク２１の冷却時間を短縮して、従来に比較
してコンパクト、軽量で、かつ熱侵入の少ないヨーク付
き伝導冷却型超電導マグネット装置を提供すること。 【解決手段】 コイルヨーク２１を冷凍機（ＧＭ冷凍機
３）の第二段冷却ステージ１１ではなく、第一段冷却ス
テージ１０に接続することに着目したもので、超電導コ
イル７による磁路を形成するためのコイルヨーク２１
と、超電導コイル７を冷却可能な冷凍機３と、を有し、
冷凍機３の第一段冷却ステージ１０にコイルヨーク２１
を接続するとともに、冷凍機３の第二段冷却ステージ１
１に超電導コイル７を接続したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はヨーク付き伝導冷却
型超電導マグネット装置にかかるもので、とくに液体ヘ
リウムなどを使用せずに冷凍機により超電導コイルを冷
却する伝導冷却型超電導マグネット装置であって、超電
導コイル用にコイルヨークを設けたヨーク付き伝導冷却
型超電導マグネット装置に関するものである。
型超電導マグネット装置にかかるもので、とくに液体ヘ
リウムなどを使用せずに冷凍機により超電導コイルを冷
却する伝導冷却型超電導マグネット装置であって、超電
導コイル用にコイルヨークを設けたヨーク付き伝導冷却
型超電導マグネット装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のヨーク付き伝導冷却型超電導マグ
ネット装置１について図２にもとづき概説する。図２
は、たとえば超電導ウィグラーなどに採用されるヨーク
付き伝導冷却型超電導マグネット装置１の概略断面図で
あって、ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置１
は、真空容器２と、ＧＭ冷凍機３（冷凍機）と、輻射シ
ールド板４と、伝熱板５と、コイルヨーク６と、超電導
コイル７と、荷重支持材８と、超電導ウィグラーにおけ
るビームダクト９と、を有する。
ネット装置１について図２にもとづき概説する。図２
は、たとえば超電導ウィグラーなどに採用されるヨーク
付き伝導冷却型超電導マグネット装置１の概略断面図で
あって、ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置１
は、真空容器２と、ＧＭ冷凍機３（冷凍機）と、輻射シ
ールド板４と、伝熱板５と、コイルヨーク６と、超電導
コイル７と、荷重支持材８と、超電導ウィグラーにおけ
るビームダクト９と、を有する。
【０００３】ＧＭ冷凍機３は、第一段冷却ステージ１０
および第二段冷却ステージ１１を有する。第一段冷却ス
テージ１０を輻射シールド板４に接続し（熱接触し）、
温度約４０〜５０Ｋまでこれを冷却するとともに、第二
段冷却ステージ１１を伝熱板５を介してコイルヨーク６
に接続し（熱接触し）、超電導コイル７とともにこれを
温度４Ｋ付近まで冷却する。
および第二段冷却ステージ１１を有する。第一段冷却ス
テージ１０を輻射シールド板４に接続し（熱接触し）、
温度約４０〜５０Ｋまでこれを冷却するとともに、第二
段冷却ステージ１１を伝熱板５を介してコイルヨーク６
に接続し（熱接触し）、超電導コイル７とともにこれを
温度４Ｋ付近まで冷却する。
【０００４】輻射シールド板４は、その冷却効率を良好
にするためには熱伝導性の良好な無酸素銅などを採用
し、また伝熱面積を大きく取るためには同じく熱伝導性
の良好なアルミニウムなどを採用する。伝熱板５は、熱
伝導性の良好な無酸素銅やアルミニウムなどからこれを
構成する。
にするためには熱伝導性の良好な無酸素銅などを採用
し、また伝熱面積を大きく取るためには同じく熱伝導性
の良好なアルミニウムなどを採用する。伝熱板５は、熱
伝導性の良好な無酸素銅やアルミニウムなどからこれを
構成する。
【０００５】コイルヨーク６は通常、超電導コイル７の
外側にこれを配置するとともに超電導コイル７全体を覆
って、超電導コイル７の磁路を形成する。なお、コイル
ヨーク６のポール１２を超電導コイル７の中心に配置す
る。
外側にこれを配置するとともに超電導コイル７全体を覆
って、超電導コイル７の磁路を形成する。なお、コイル
ヨーク６のポール１２を超電導コイル７の中心に配置す
る。
【０００６】超電導コイル７は、ビームダクト９の図中
上下に対称に計６個を配置し、その軸心は、それぞれの
ポール１２とともにビームダクト９側に臨んでいる。
上下に対称に計６個を配置し、その軸心は、それぞれの
ポール１２とともにビームダクト９側に臨んでいる。
【０００７】荷重支持材８は、その一端を真空容器２に
固定するとともに他端を超電導コイル７に固定して超電
導コイル７を支持するもので、熱伝導性が低く許容荷重
の大きな材料、たとえばＦＲＰなどでこれを構成する。
固定するとともに他端を超電導コイル７に固定して超電
導コイル７を支持するもので、熱伝導性が低く許容荷重
の大きな材料、たとえばＦＲＰなどでこれを構成する。
【０００８】こうした構成を有するヨーク付き伝導冷却
型超電導マグネット装置１において、ＧＭ冷凍機３によ
り超電導コイル７を極低温に冷却し、超電導状態になっ
たときに通電し、コイルヨーク６に磁路を形成し、コイ
ルヨーク６の間のビームダクト９内に所定強さの磁場を
発生する。超電導コイル７の芯となるコイルヨーク６に
よる磁場閉込め効果を増すためには、その厚さを大きく
する必要があるが、厚さの増強にともなってその重量が
増大し、ＧＭ冷凍機３の第二段冷却ステージ１１で冷却
する部分（コイルヨーク６）の重量が増大することにな
るという問題がある。二段式のＧＭ冷凍機３の特性とし
て、第二段冷却ステージ１１の冷却能力は第一段冷却ス
テージ１０の冷却能力に対して３０分の１以下と小さ
く、この第二段冷却ステージ１１に重量（容量）の大き
なコイルヨーク６が熱的に接触されていると、冷却に要
する時間が極端に長くなるという問題がある。
型超電導マグネット装置１において、ＧＭ冷凍機３によ
り超電導コイル７を極低温に冷却し、超電導状態になっ
たときに通電し、コイルヨーク６に磁路を形成し、コイ
ルヨーク６の間のビームダクト９内に所定強さの磁場を
発生する。超電導コイル７の芯となるコイルヨーク６に
よる磁場閉込め効果を増すためには、その厚さを大きく
する必要があるが、厚さの増強にともなってその重量が
増大し、ＧＭ冷凍機３の第二段冷却ステージ１１で冷却
する部分（コイルヨーク６）の重量が増大することにな
るという問題がある。二段式のＧＭ冷凍機３の特性とし
て、第二段冷却ステージ１１の冷却能力は第一段冷却ス
テージ１０の冷却能力に対して３０分の１以下と小さ
く、この第二段冷却ステージ１１に重量（容量）の大き
なコイルヨーク６が熱的に接触されていると、冷却に要
する時間が極端に長くなるという問題がある。
【０００９】また、輻射シールド板４に関しては、その
冷却を良好にするためには、その板厚を厚くする必要が
あるが、輻射シールド板４の板厚が厚くなると、全体の
重量増加につながり、荷重支持材８による荷重支持構造
も大掛かりとなって、ヨーク付き伝導冷却型超電導マグ
ネット装置１全体の寸法も大きくなるという問題があ
る。なお、超電導コイル７への通電時間の掃引速度を速
くすると、コイルヨーク６に渦電流が流れ、ジュール発
熱により温度上昇の原因となる。
冷却を良好にするためには、その板厚を厚くする必要が
あるが、輻射シールド板４の板厚が厚くなると、全体の
重量増加につながり、荷重支持材８による荷重支持構造
も大掛かりとなって、ヨーク付き伝導冷却型超電導マグ
ネット装置１全体の寸法も大きくなるという問題があ
る。なお、超電導コイル７への通電時間の掃引速度を速
くすると、コイルヨーク６に渦電流が流れ、ジュール発
熱により温度上昇の原因となる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
諸問題にかんがみなされたもので、重量のあるコイルヨ
ークの冷却時間を短縮可能なヨーク付き伝導冷却型超電
導マグネット装置を提供することを課題とする。
諸問題にかんがみなされたもので、重量のあるコイルヨ
ークの冷却時間を短縮可能なヨーク付き伝導冷却型超電
導マグネット装置を提供することを課題とする。
【００１１】また本発明は、従来に比較してコンパク
ト、軽量で、かつ熱侵入の少ないヨーク付き伝導冷却型
超電導マグネット装置を提供することを課題とする。
ト、軽量で、かつ熱侵入の少ないヨーク付き伝導冷却型
超電導マグネット装置を提供することを課題とする。
【００１２】また本発明は、従来の輻射シールド板とコ
イルヨークとを兼用し、輻射シールド板を廃止可能なヨ
ーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置を提供するこ
とを課題とする。
イルヨークとを兼用し、輻射シールド板を廃止可能なヨ
ーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置を提供するこ
とを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、コイ
ルヨークを冷凍機の第二段冷却ステージではなく、その
第一段冷却ステージに接続すること、さらにコイルヨー
クと輻射シールド板とを兼用するようにコイルヨークを
活用することに着目したもので、超電導コイルと、この
超電導コイルによる磁路を形成するためのコイルヨーク
と、この超電導コイルを冷却可能なＧＭ冷凍機などの冷
凍機と、を有するとともに、この冷凍機は、第一段冷却
ステージおよび第二段冷却ステージを有するヨーク付き
伝導冷却型超電導マグネット装置であって、上記冷凍機
の上記第一段冷却ステージに上記コイルヨークを接続す
るとともに、上記冷凍機の上記第二段冷却ステージに上
記超電導コイルを接続したことを特徴とするヨーク付き
伝導冷却型超電導マグネット装置である。
ルヨークを冷凍機の第二段冷却ステージではなく、その
第一段冷却ステージに接続すること、さらにコイルヨー
クと輻射シールド板とを兼用するようにコイルヨークを
活用することに着目したもので、超電導コイルと、この
超電導コイルによる磁路を形成するためのコイルヨーク
と、この超電導コイルを冷却可能なＧＭ冷凍機などの冷
凍機と、を有するとともに、この冷凍機は、第一段冷却
ステージおよび第二段冷却ステージを有するヨーク付き
伝導冷却型超電導マグネット装置であって、上記冷凍機
の上記第一段冷却ステージに上記コイルヨークを接続す
るとともに、上記冷凍機の上記第二段冷却ステージに上
記超電導コイルを接続したことを特徴とするヨーク付き
伝導冷却型超電導マグネット装置である。
【００１４】上記コイルヨークは、上記超電導コイルお
よび上記冷凍機の上記第二段冷却ステージの熱シールド
板としてもこれを用いることができる。
よび上記冷凍機の上記第二段冷却ステージの熱シールド
板としてもこれを用いることができる。
【００１５】上記コイルヨークの内面側に、上記超電導
コイルおよび上記冷凍機の上記第二段冷却ステージを位
置させることができる。
コイルおよび上記冷凍機の上記第二段冷却ステージを位
置させることができる。
【００１６】上記コイルヨークと上記超電導コイルとの
間に熱伝導率の小さな断熱材を設けることができる。
間に熱伝導率の小さな断熱材を設けることができる。
【００１７】上記コイルヨークの外面あるいは内面の少
なくともいずれか一方に熱伝導性の良好な材料による板
を貼り付けることができる。
なくともいずれか一方に熱伝導性の良好な材料による板
を貼り付けることができる。
【００１８】上記コイルヨークの内面側において、上記
冷凍機の上記第二段冷却ステージと上記超電導コイルと
の間に熱伝導性の良好な材料による伝熱板を介在させる
ことができる。
冷凍機の上記第二段冷却ステージと上記超電導コイルと
の間に熱伝導性の良好な材料による伝熱板を介在させる
ことができる。
【００１９】本発明によるヨーク付き伝導冷却型超電導
マグネット装置においては、コイルヨークをＧＭ冷凍機
など冷凍機の第二段冷却ステージではなく、冷凍機の第
一段冷却ステージに接続すること、さらに、従来の輻射
シールド板として兼用するようにコイルヨークを活用す
るようにしたので、重量があるコイルヨークを、冷却能
力がより高い第一段冷却ステージにより冷却可能で、そ
の冷却時間の短縮が可能である。したがって、輻射シー
ルド板を省略することが可能となって、全体の軽量化お
よびコンパクト化が可能である。
マグネット装置においては、コイルヨークをＧＭ冷凍機
など冷凍機の第二段冷却ステージではなく、冷凍機の第
一段冷却ステージに接続すること、さらに、従来の輻射
シールド板として兼用するようにコイルヨークを活用す
るようにしたので、重量があるコイルヨークを、冷却能
力がより高い第一段冷却ステージにより冷却可能で、そ
の冷却時間の短縮が可能である。したがって、輻射シー
ルド板を省略することが可能となって、全体の軽量化お
よびコンパクト化が可能である。
【００２０】
【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施の形態による
ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置２０を図１
にもとづき説明する。ただし、図２と同様の部分には同
一符号を付し、その詳述はこれを省略する。図１は、ヨ
ーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置２０の概略断
面図であって、ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット
装置２０においては、従来の輻射シールド板４を採用す
ることなく、代わりにコイルヨーク２１を設けている。
ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置２０を図１
にもとづき説明する。ただし、図２と同様の部分には同
一符号を付し、その詳述はこれを省略する。図１は、ヨ
ーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置２０の概略断
面図であって、ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット
装置２０においては、従来の輻射シールド板４を採用す
ることなく、代わりにコイルヨーク２１を設けている。
【００２１】すなわちコイルヨーク２１を、冷却能力が
より高い第一段冷却ステージ１０に接続し、コイルヨー
ク２１が第二段冷却ステージ１１とともに超電導コイル
７全体を覆うようにしてある。
より高い第一段冷却ステージ１０に接続し、コイルヨー
ク２１が第二段冷却ステージ１１とともに超電導コイル
７全体を覆うようにしてある。
【００２２】なお、コイルヨーク２１のポール１２と超
電導コイル７との間に断熱材２２を設け、第一段冷却ス
テージ１０に熱接触しているコイルヨーク２１（および
そのポール１２）と第二段冷却ステージ１１に熱接触し
ている超電導コイル７との間の断熱構造とする。断熱材
２２は、熱伝導率の小さなＦＲＰなどの材料を採用す
る。
電導コイル７との間に断熱材２２を設け、第一段冷却ス
テージ１０に熱接触しているコイルヨーク２１（および
そのポール１２）と第二段冷却ステージ１１に熱接触し
ている超電導コイル７との間の断熱構造とする。断熱材
２２は、熱伝導率の小さなＦＲＰなどの材料を採用す
る。
【００２３】ＧＭ冷凍機３の第二段冷却ステージ１１に
は、伝熱板５に相当する、無酸素銅あるいは高純度のア
ルミニウムなどの熱伝導率の高い材料による伝熱板２３
を介して超電導コイル７を接続してある。
は、伝熱板５に相当する、無酸素銅あるいは高純度のア
ルミニウムなどの熱伝導率の高い材料による伝熱板２３
を介して超電導コイル７を接続してある。
【００２４】さらに、図中仮想線で示すように、コイル
ヨーク２１の外面あるいは内面の少なくともいずれか一
方に熱伝導性の良好な材料による表面板２４を貼り付け
ることにより、輻射シールド板として機能するコイルヨ
ーク２１の伝熱特性を改善することができる。
ヨーク２１の外面あるいは内面の少なくともいずれか一
方に熱伝導性の良好な材料による表面板２４を貼り付け
ることにより、輻射シールド板として機能するコイルヨ
ーク２１の伝熱特性を改善することができる。
【００２５】こうした構成のヨーク付き伝導冷却型超電
導マグネット装置２０において、冷却能力がより大きな
第一段冷却ステージ１０を用いて、重量の大きなコイル
ヨーク２１を冷却することができ、超電導コイル７の冷
却時間の短縮および電流掃引時の温度上昇を小さく抑え
ることができる。さらに、コイルヨーク２１が超電導コ
イル７を覆う構成となっているので、従来の輻射シール
ド板４（図２）を廃止することが可能となり、ヨーク付
き伝導冷却型超電導マグネット装置２０全体の小型化お
よび軽量化が可能となる。
導マグネット装置２０において、冷却能力がより大きな
第一段冷却ステージ１０を用いて、重量の大きなコイル
ヨーク２１を冷却することができ、超電導コイル７の冷
却時間の短縮および電流掃引時の温度上昇を小さく抑え
ることができる。さらに、コイルヨーク２１が超電導コ
イル７を覆う構成となっているので、従来の輻射シール
ド板４（図２）を廃止することが可能となり、ヨーク付
き伝導冷却型超電導マグネット装置２０全体の小型化お
よび軽量化が可能となる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、コイルヨ
ークを輻射シールド板として兼用し、コイルヨークを冷
凍機の第一段冷却ステージに熱接触するようにしたの
で、超電導コイルの冷却時間を短縮可能であるととも
に、全体の小型化および軽量化が可能である。
ークを輻射シールド板として兼用し、コイルヨークを冷
凍機の第一段冷却ステージに熱接触するようにしたの
で、超電導コイルの冷却時間を短縮可能であるととも
に、全体の小型化および軽量化が可能である。
【図１】本発明の実施の形態によるヨーク付き伝導冷却
型超電導マグネット装置２０の概略断面図である。
型超電導マグネット装置２０の概略断面図である。
【図２】超電導ウィグラーなどに採用される、従来のヨ
ーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置１の概略断面
図である。
ーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置１の概略断面
図である。
１ ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置（図
２） ２ 真空容器 ３ ＧＭ冷凍機（冷凍機） ４ 輻射シールド板 ５ 伝熱板 ６ コイルヨーク ７ 超電導コイル ８ 荷重支持材 ９ 超電導ウィグラーにおけるビームダクト １０ ＧＭ冷凍機３の第一段冷却ステージ １１ ＧＭ冷凍機３の第二段冷却ステージ １２ コイルヨーク６のポール ２０ ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置（実
施の形態、図１） ２１ コイルヨーク ２２ 断熱材 ２３ 伝熱板 ２４ 表面板
２） ２ 真空容器 ３ ＧＭ冷凍機（冷凍機） ４ 輻射シールド板 ５ 伝熱板 ６ コイルヨーク ７ 超電導コイル ８ 荷重支持材 ９ 超電導ウィグラーにおけるビームダクト １０ ＧＭ冷凍機３の第一段冷却ステージ １１ ＧＭ冷凍機３の第二段冷却ステージ １２ コイルヨーク６のポール ２０ ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置（実
施の形態、図１） ２１ コイルヨーク ２２ 断熱材 ２３ 伝熱板 ２４ 表面板
Claims (6)
- 【請求項１】 超電導コイルと、 この超電導コイルによる磁路を形成するためのコイルヨ
ークと、 この超電導コイルを冷却可能な冷凍機と、を有するとと
もに、 この冷凍機は、第一段冷却ステージおよび第二段冷却ス
テージを有するヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット
装置であって、 前記冷凍機の前記第一段冷却ステージに前記コイルヨー
クを接続するとともに、 前記冷凍機の前記第二段冷却ステージに前記超電導コイ
ルを接続したことを特徴とするヨーク付き伝導冷却型超
電導マグネット装置。 - 【請求項２】 前記コイルヨークは、前記超電導コイ
ルおよび前記冷凍機の前記第二段冷却ステージの熱シー
ルド板としてもこれを用いることを特徴とする請求項１
記載のヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置。 - 【請求項３】 前記コイルヨークの内面側に、前記超
電導コイルおよび前記冷凍機の前記第二段冷却ステージ
を位置させたことを特徴とする請求項１記載のヨーク付
き伝導冷却型超電導マグネット装置。 - 【請求項４】 前記コイルヨークと前記超電導コイル
との間に熱伝導率の小さな断熱材を設けたことを特徴と
する請求項１記載のヨーク付き伝導冷却型超電導マグネ
ット装置。 - 【請求項５】 前記コイルヨークの外面あるいは内面
の少なくともいずれか一方に熱伝導性の良好な材料によ
る板を貼り付けたことを特徴とする請求項１記載のヨー
ク付き伝導冷却型超電導マグネット装置。 - 【請求項６】 前記コイルヨークの内面側において、
前記冷凍機の前記第二段冷却ステージと前記超電導コイ
ルとの間に熱伝導性の良好な材料による伝熱板を介在さ
せたことを特徴とする請求項１記載のヨーク付き伝導冷
却型超電導マグネット装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15335099A JP4117593B2 (ja) | 1999-06-01 | 1999-06-01 | ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15335099A JP4117593B2 (ja) | 1999-06-01 | 1999-06-01 | ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000340421A true JP2000340421A (ja) | 2000-12-08 |
| JP4117593B2 JP4117593B2 (ja) | 2008-07-16 |
Family
ID=15560556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15335099A Expired - Fee Related JP4117593B2 (ja) | 1999-06-01 | 1999-06-01 | ヨーク付き伝導冷却型超電導マグネット装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4117593B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009051608A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Canon Anelva Corp | 搬送装置 |
| CN102789865A (zh) * | 2012-07-19 | 2012-11-21 | 中国科学院电工研究所 | 一种超导磁体的导冷结构 |
| JP2013543248A (ja) * | 2010-11-22 | 2013-11-28 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | 小型低温弱収束超伝導サイクロトロン |
-
1999
- 1999-06-01 JP JP15335099A patent/JP4117593B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009051608A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Canon Anelva Corp | 搬送装置 |
| JP4505002B2 (ja) * | 2007-08-27 | 2010-07-14 | キヤノンアネルバ株式会社 | 搬送装置 |
| JP2013543248A (ja) * | 2010-11-22 | 2013-11-28 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | 小型低温弱収束超伝導サイクロトロン |
| CN102789865A (zh) * | 2012-07-19 | 2012-11-21 | 中国科学院电工研究所 | 一种超导磁体的导冷结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4117593B2 (ja) | 2008-07-16 |
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