JP2000339667A

JP2000339667A - 磁気記録媒体及びその製造方法

Info

Publication number: JP2000339667A
Application number: JP11150749A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Kanekawa; 一朗金川; Jota Ito; 条太伊藤; Shinichi Matsumura; 伸一松村; Hiroshi Yatagai; 洋谷田貝
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-05-28
Filing date: 1999-05-28
Publication date: 2000-12-08

Abstract

(57)【要約】【課題】ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体を
用いた場合であっても、高精度に平坦化する。【解決手段】非磁性支持体１の一主面上に、少なくと
も金属磁性膜４が成膜されてなる磁気記録媒体におい
て、上記非磁性支持体４は、幅方向における２００℃の
熱収縮率が１．５〜２．５％である芳香族ポリアミドフ
ィルムからなり、上記金属磁性膜４は、当該金属磁性膜
４表面に形成された表面酸化層をエッチングされてな
り、上記非磁性支持体１の上記金属磁性膜４が成膜され
る側と反対側の他主面に針状非磁性顔料含有バックコー
ト層５が成膜されることを特徴とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体の一
主面上に金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体に関
し、特に大容量のテープストリーマーとして用いて好適
な磁気記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ミニコンピュータ、パーソナルコ
ンピュータなどのオフィスコンピュータの普及に伴っ
て、外部記憶媒体としてコンピュータデータを記録する
ための磁気テープ（いわゆる、テープストリーマー）の
研究が盛んに行われている。このような用途の磁気テー
プの実用化に際しては、特にコンピュータの小型化、情
報処理能力の増大と相まって記録の大容量化、小型化を
達成するために記録容量の向上が強く要求される。

【０００３】一方、ビデオカセット用の磁気記録媒体と
しては、ビデオカセットの小型化に伴い、より一層のコ
ンパクト化と長時間記録化が望まれている。

【０００４】また、磁気テープの使用環境の広がりによ
る幅広い環境条件下（特に、変動の激しい温湿度条件下
など）での使用、データ保存に対する信頼性、更に高速
での繰り返し使用による多数回走行におけるデータの安
定した記録、読み出し等の性能に対する信頼性なども従
来にまして要求されている。

【０００５】一般に、磁気テープは、合成樹脂などの可
撓性材料の非磁性支持体上に磁性層が設けられた構成で
ある。そして、上述したような大きい記録容量（体積記
録容量）を達成するためには、磁性層を強磁性金属薄膜
にすることにより磁性層自体の記録密度を高めるととも
に、磁気テープの全厚を薄くすることが有効な方法であ
るとされている。すなわち、磁気テープとしては、非磁
性支持体上に、金属磁性薄膜を成膜してなる、いわゆる
蒸着テープが有効である。

【０００６】この蒸着テープにおいて、非磁性支持体と
しては、ポリエステル、主としてポリエチレンテレフタ
レートフィルムが用いられている。特に、ホームビデオ
カセットテープ、例えば、８ｍｍテープに用いられる非
磁性支持体としては、７〜１０μｍ程度のポリエチレン
テレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが用いられ、コンピ
ュータのデータバックアップ用のテープストリーマーに
は５〜７μｍ程度のポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）フィルムが用いられている。

【０００７】また、ビデオテープに使用される磁気記録
媒体の記録時間を延長するための方法としては、例え
ば、特開平６−２１５３５０号公報に記載されるよう
に、非磁性支持体としてポリエステルを主成分とし、更
に具体的にはポリエチレンナフタレートを用いるのが望
ましいとされている。

【０００８】一方、上述したようなポリエチレンテレフ
タレートやポリエチレンナフタレートフィルムに比べ強
度が高い芳香族ポリアミドフィルムを用いる検討もなさ
れている。このポリアミドフィルムを非磁性支持体とし
て用いた磁気記録媒体は、強度が高いため、厚さを薄く
することが可能であり、ビデオカセットテープの長時間
記録化、テープストリーマーの大容量化に対応した磁気
記録媒体として注目されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ポリア
ミドフィルムは、通常、非磁性支持体として用いられる
ポリエステルと熱収縮率が異なるため、蒸着テープの製
造工程で発生する熱履歴に対して反応が異なりいわゆる
カッピングやカーリングが発生する。このようにカッピ
ングやカーリングが発生し、その量が所定の限度を越え
ると、磁気記録媒体とヘッドとの接触状態、いわゆるヘ
ッド当たりが悪くなるといった問題点がある。

【００１０】更に、近年、磁気記録媒体は、ビデオカセ
ット等に用いられる場合、ビデオカセット等の小型化に
伴い、より一層のコンパクト化と長時間記録が要求され
ている。また、昨今の情報量の増大化に伴い、テープス
トリーマーにおいても、大容量化が要求されており、非
磁性支持体の薄膜化が強く要求されている。しかしなが
ら、磁気記録媒体では、非磁性支持体として薄型のもの
を用いると、高度な平坦性を達成することが困難である
といった不都合が生じる。

【００１１】特に、磁気記録媒体を製造するに際して、
カッピングやカーリングを矯正するために、所定の圧力
とともに意図的に数１０℃〜２００℃程度の熱を加え
る、いわゆるホットロール処理が施されている。しかし
ながら、このホットロール処理を施したとしても、所望
の平坦性を得るのは困難であり、特に、薄型の非磁性支
持体を用いる場合には殆ど効果がなかった。

【００１２】そこで、本発明は、このような技術的背景
に基づいて創案されたものであり、ポリアミドフィルム
からなる非磁性支持体を用いた場合であっても、高精度
に平坦化された磁気記録媒体を提供することを目的と
し、また、ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体を
用いた場合であっても、高精度に平坦化することができ
る磁気記録媒体の製造方法の提供を目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、非磁性支持体の一主面上に、少なくとも金属磁性
膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、上記非磁性
支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからなるとともに
幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％
であり、上記金属磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成
された表面酸化層をエッチングされてなり、上記非磁性
支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反対側の他主
面に針状非磁性顔料含有バックコート層が成膜されるこ
とを特徴とする。

【００１４】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体は、非磁性支持体の幅方向における２００℃の
熱膨張率を上述したように規定されるため、所定の熱履
歴が加えられた場合においても、幅方向のカーリングや
カッピングが防止される。

【００１５】また、本発明に係る磁気記録媒体は、金属
磁性膜の表面に形成された表面酸化層がエッチングされ
るため、優れた電磁変換特性を有することとなる。

【００１６】そして、本発明に係る磁気記録媒体は、非
磁性支持体の金属磁性膜が成膜される側と反対側の他主
面に針状非磁性顔料含有バックコート層が成膜されるた
め、幅方向のカーリングやカッピングが確実に防止され
る。

【００１７】したがって、本発明に係る磁気記録媒体は
優れた電磁変換特性と形状安定性を有する。

【００１８】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、非磁性支持体の一主面上に、少なくとも金属磁性
膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法において、
幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、上記金属磁性膜を成膜した後に当該
金属磁性膜表面に形成された表面酸化層をエッチングす
る工程と、上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜さ
れる側と反対側の他主面に針状非磁性顔料含有バックコ
ート層を成膜する工程と、上記針状非磁性顔料含有バッ
クコート層を成膜した後に熱履歴を加える工程とを有す
ることを特徴とする以上のような本発明に係る磁気記録
媒体の製造方法によれば、幅方向における２００℃の熱
収縮率を上述したように規定するため、所定の熱履歴が
加えられた場合においても、磁気記録媒体は、幅方向の
カーリングやカッピングが防止される。

【００１９】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法によれば、金属磁性膜の表面に形成された表面酸化層
をエッチングするため、磁気記録媒体は、優れた電磁変
換特性を有する。

【００２０】そして、本発明に係る磁気記録媒体の製造
方法によれば、非磁性支持体の金属磁性膜が成膜される
側と反対側の他主面に針状非磁性顔料含有バックコート
層を成膜するため、磁気記録媒体は、幅方向のカーリン
グやカッピングが確実に防止される。

【００２１】本発明に係る磁気記録媒体は、非磁性支持
体の一主面上に、少なくとも金属磁性膜が成膜されてな
る磁気記録媒体において、上記非磁性支持体は、芳香族
ポリアミドフィルムからなるとともに幅方向における２
００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％であり、上記金属
磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成された表面酸化層
をエッチングされてなり、上記非磁性支持体の上記金属
磁性膜が成膜される側と反対側の他主面に電子線感応性
樹脂含有バックコート層が成膜されることを特徴とす
る。

【００２２】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体は、非磁性支持体の幅方向における２００℃の
熱膨張率を上述したように規定されるため、所定の熱履
歴が加えられた場合においても、幅方向のカーリングや
カッピングが防止される。

【００２３】また、本発明に係る磁気記録媒体は、金属
磁性膜の表面に形成された表面酸化層がエッチングされ
るため、優れた電磁変換特性を有することとなる。

【００２４】そして、本発明に係る磁気記録媒体は、非
磁性支持体の金属磁性膜が成膜される側と反対側の他主
面に電子線感応性樹脂含有バックコート層が成膜される
ため、幅方向のカーリングやカッピングが確実に防止さ
れる。

【００２５】したがって、本発明に係る磁気記録媒体は
優れた電磁変換特性と形状安定性を有する。

【００２６】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、非磁性支持体の一主面上に、少なくとも金属磁性
膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法において、
幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、上記金属磁性膜を成膜した後、当該
金属磁性膜表面に形成された表面酸化層をエッチングす
る工程と、上記非磁性支持体の金属磁性膜が成膜される
側と反対側の他主面に電子線感応性樹脂含有バックコー
ト層を成膜する工程と、上記電子線感応性樹脂含有バッ
クコート層に電子線照射を施す工程と、上記電子線照射
を施した後に熱履歴を加える工程とを有することを特徴
とする。

【００２７】以上のような本発明に係る磁気記録媒体の
製造方法によれば、幅方向における２００℃の熱収縮率
を上述したように規定するため、所定の熱履歴が加えら
れた場合においても、磁気記録媒体は、幅方向のカーリ
ングやカッピングが防止される。

【００２８】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法によれば、金属磁性膜の表面に形成された表面酸化層
をエッチングするため、磁気記録媒体は、優れた電磁変
換特性を有する。

【００２９】そして、本発明に係る磁気記録媒体の製造
方法によれば、非磁性支持体の金属磁性膜が成膜される
側と反対側の他主面に電子線感応性樹脂含有バックコー
ト層を成膜するため、磁気記録媒体は、幅方向のカーリ
ングやカッピングが確実に防止される。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気記録媒体
の好適な実施の形態を、図面を参照して詳細に説明す
る。

【００３１】第１の実施の形態本実施の形態として示す磁気記録媒体は、図１に示すよ
うに、非磁性支持体１と、この非磁性支持体１の一主面
１ａ上に成膜された金属磁性膜４と、非磁性支持体１の
他主面１ｂ上に形成された針状非磁性顔料含有バックコ
ート層５とを備えるものである。また、この磁気記録媒
体において、非磁性支持体１は、芳香族ポリアミドフィ
ルムからなる。

【００３２】そして、この芳香族ポリアミドフィルム
は、長手方向と直交する方向、すなわち幅方向における
２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％となっている。

【００３３】以下、非磁性支持体１、金属磁性膜４及び
針状非磁性顔料含有バックコート層５、並びにこれら各
層に用いられる結合剤及び添加剤について順に詳述す
る。

【００３４】非磁性支持体１先ず、非磁性支持体１は、上述したように、芳香族ポリ
アミドフィルムから構成されている。この非磁性支持体
１は、芳香族ポリアミドフィルムを用いることにより、
引っ張り強度などの物性において優れており、全体とし
ての厚みが非常に薄い場合でも十分耐え得る強度を有し
ている。

【００３５】芳香族ポリアミドフィルムは、例えば、下
記式（Ｉ）及び／又は（ＩＩ）で表される芳香族ポリア
ミドを、５０％モル以上、好ましくは７０モル％以上含
有している。

【００３６】

【化１】

【００３７】なお、上記式において、Ｘ、Ｙは、−Ｏ
−，−ＣＨ₂−，−ＣＯ−，−ＳＯ₂−，−Ｓ−，−Ｃ
（ＣＨ₃）₂−等から選ばれるが、これに限定されるもの
ではない。更に、上記式において、芳香環上の水素原子
の一部が、ハロゲン基（特に、塩素）、ニトロ基、炭素
数１から３のアルキル基（特に、メチル基）、炭素数１
から３のアルコキシ基などの置換基で置換されているも
のであっても良く、また、重合体を構成するアミド結合
中の水素が他の置換基によって置換されていても良い。

【００３８】また、芳香族ポリアミドフィルムは、剛性
を高くする観点から、芳香環がパラ位で結合されたもの
が、全芳香環の６０％以上、より好ましくは８０％以上
を占める重合体であることが好ましい。また、吸湿性を
小さくする観点から芳香環上の水素原子の一部がハロゲ
ン基（特に、塩素原子）、ニトロ基、炭素数１から３の
アルキル基（特に、メチル基）、炭素数１から３のアル
コキシ基などで置換された芳香環が全体の３０％以上を
占める重合体であることが好ましい。

【００３９】更に、芳香族ポリアミドフィルムとして
は、上記式（Ｉ）及び／又は上記式（ＩＩ）で表される
繰り返し単位を５０モル％以上含むものであって、５０
モル％未満は他の繰り返し単位、例えば、芳香族ポリイ
ミド単位や他の芳香族ポリアミド単位などが共重合、又
はブレンドしてなる重合体を使用することができるが、
全芳香族ポリアミド（アラミド）を用いることが好まし
い。

【００４０】更にまた、この非磁性支持体１において
は、芳香族ポリアミドフィルムの構成は複合構造であっ
ても良い。すなわち、この非磁性支持体１は、複数の芳
香族ポリアミドフィルムが積層されてなるようなもので
あっても良い。

【００４１】この場合、各層を構成する芳香族ポリアミ
ドフィルムは、上記式で表される重合体を主体とするも
のであれば、各層が同一組成であっても、異なっていて
も差し支えない。しかしながら、生産性の観点から、各
層が同一組成である方が有利である。例えば図２に、非
磁性支持体１が、第１の芳香族ポリアミドフィルム２と
第２の芳香族ポリアミドフィルム３との２層構造からな
る構成例を示す。

【００４２】複数の芳香族ポリアミドフィルムを積層す
るには、各層を構成する複数の原液を公知の方法、例え
ば、特開昭５６ー１６２６１７号公報に記載されるよう
に、合流管で積層したり、口金内で積層して形成するこ
とができる。

【００４３】ところで、この芳香族ポリアミドフィルム
を作製する際には、先ず、芳香族ポリアミドをＮ−メチ
ル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）に溶解させてなる溶液
を、温度１００℃〜２００℃のベルト上に流延し、１０
０℃〜２５０℃の熱風で加熱を行い溶媒を蒸発させるこ
とにより自己保持性を有するフィルムを得る。その後、
このフィルムを、長手方向、幅方向にそれぞれ１．０〜
２．０倍に延伸しながら乾燥と熱処理を行うことによっ
て、芳香族ポリアミドフィルムが作製される。

【００４４】このとき、芳香族ポリアミドフィルムで
は、長手方向及び幅方向に延伸される際の延伸倍率及び
熱処理条件等を調節することによって、長手方向及び幅
方向のヤング率及び熱収縮率を制御することができる。

【００４５】具体的に、非磁性支持体１は、厚さが２．
５μｍ〜５．０μｍであり、長さ方向のヤング率が１０
００ｋｇ／ｍｍ²以上であり、及び幅方向のヤング率が
１３００ｋｇ／ｍｍ²以上であることが好ましい。この
ように、非磁性支持体１の厚み及びヤング率を規定する
ことによって、所望の強度が得られるとともに、磁気記
録媒体としての厚みを薄型化することが可能となり、記
録時間の長時間化及び記録量の大容量化に対応させるこ
とができる。

【００４６】また、この非磁性支持体１には、磁気記録
媒体の製造工程でのハンドリング性あるいは磁性層表面
を適度な粗さにし、磁気記録媒体の高い走行耐久性を得
るため、不活性粒子を添加することが望ましい。

【００４７】この非磁性支持体１中に添加される不活性
粒子としては、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＣａＳＯ
₄、ＢａＳＯ₄、ＣａＣＯ₃、カ−ボンブラック、ゼオラ
イト、その他の金属微粉末などの無機粒子や、シリコン
粒子、ポリイミド粒子、架橋共重合体粒子、架橋ポリエ
ステル粒子、テフロン粒子などの有機高分子などを使用
することができる。なかでも、耐熱性の観点からは、上
述した無機粒子を使用することが好ましい。

【００４８】この不活性粒子の添加方法としては、粒子
を予め溶媒中に十分スラリ化した後、重合用溶媒又は希
釈用溶媒として使用する方法や、原液を調製した後に直
接添加する方法などがある。

【００４９】また、この非磁性支持体１が複数の芳香族
ポリアミドフィルムからなる場合、各層に対して異なる
平均粒径を有する不活性粒子を添加することが好まし
い。具体的に、金属磁性膜４が成膜される面を構成する
芳香族ポリアミドフィルムには、平均粒径が比較的小で
ある不活性粒子が添加され、金属磁性膜４が成膜される
面とは反対側の面を構成する芳香族ポリアミドフィルム
には、平均粒径が比較的大である不活性粒子が添加され
ることが好ましい。

【００５０】このように、金属磁性膜４が成膜される芳
香族ポリアミドフィルムに平均粒径が比較的小の不活性
粒子を添加することによって、この金属磁性膜４が成膜
される面の表面粗さを低く抑えることができる。これに
より、金属磁性膜４が所望の表面性を有することとなり
磁気記録媒体の優れた電磁変換特性を確保することがで
き、また、金属磁性膜４表面の粗大突起が形成されにく
いため、ドロップアウト等の発生を抑えることができ、
磁気記録媒体の走行安定性を確保することができる。

【００５１】また、これに対して、金属磁性膜４が成膜
される面とは反対側の芳香族ポリアミドフィルムに平均
粒径が比較的大の不活性粒子を添加することによって、
針状非磁性顔料含有バックコート層５が形成される面の
表面粗さを比較的に大とすることができる。これによ
り、針状非磁性顔料含有バックコート層５の表面粗さを
比較的に大とすることができ、製造工程におけるハンド
リング特性を向上させることができる。

【００５２】より具体的には、針状非磁性顔料含有バッ
クコート層５が形成される芳香族ポリアミドフィルムに
含有される不活性粒子の平均粒径は、０．０５〜１．５
μｍであることが好ましい。また、この芳香族ポリアミ
ドフィルムに含有される不活性粒子の添加量は、０．０
５〜２．０ｗｔ％であることが好ましく、更に、０．１
〜１．０ｗｔ％であることがより好ましい。

【００５３】また、金属磁性膜４が成膜される芳香族ポ
リアミドフィルムに含有される不活性粒子は、金属磁性
膜４表面の平滑性と易滑性を向上させるため、平均粒径
が、０．０３〜０．１５μｍ、添加量が、０．０１ｗｔ
％〜１ｗｔ％であることが好ましい。

【００５４】更に、この非磁性支持体１では、金属磁性
膜４を成膜する一主面表面の表面粗さ（ＳＲａ）が１．
５ｎｍ〜５．０ｎｍであることが好ましく、更に、２．
０〜３．５ｎｍであることがより好ましい。この表面粗
さ（ＳＲａ）は、芳香族ポリアミドフィルム中に添加さ
れる不活性粒子の大きさや添加量、あるいは非磁性支持
体１の層構成によって調節される。このように、金属磁
性膜４を成膜する一主面表面の表面粗さ（ＳＲａ）を
１．５ｎｍ〜５．０ｎｍとすることによって、磁気記録
媒体の良好な電磁変換特性と走行耐久性を確保すること
ができる。

【００５５】更に、この非磁性支持体１において、針状
非磁性顔料含有バックコート層５形成面側の表面の表面
粗さ（ＳＲａ）は、芳香族ポリアミドフィルム中に添加
される不活性粒子の大きさ及び添加量によって調節さ
れ、製造工程におけるハンドリング性の観点から、でき
るだけ大きい方が望ましい。しかしながら、この表面粗
さ（ＳＲａ）が大きすぎると、金属磁性層４を成膜した
後、巻き取ってロール状にした際の裏移りの影響が大き
くなるため、４ｎｍ〜１５ｎｍ、好ましくは５ｎｍ〜１
０ｎｍとされる。

【００５６】更にまた、この非磁性支持体１は、厚さ
２．５μｍ〜５．０μｍとすることにより、必要な強度
が得られるとともに、磁気記録媒体の厚みを薄くして大
容量化に対応させることができる。

【００５７】更にまた、この非磁性支持体１は、金属磁
性膜４が成膜される一主面側の表面に１０³〜１０⁵個／
ｍｍ²の密度で突起が形成されていることが好ましい。

【００５８】このように、一主面側の表面に１０³〜１
０⁵個／ｍｍ²の密度で突起が形成されることによって、
金属磁性膜４の表面性を所望な状態とすることができ
る。言い換えると、一主面側の表面に１０³〜１０⁵個／
ｍｍ²の密度で突起が形成されることによって、金属磁
性膜４の表面は、所望の表面粗さを有することになる。
これにより、磁気記録媒体は、走行耐久性及び電磁変換
特性に優れたものとなる。

【００５９】金属磁性膜４次に、金属磁性膜４は、上述した非磁性支持体１におけ
る第２の芳香族ポリアミドフィルム３上に成膜されるも
のである。

【００６０】このとき、金属磁性膜４は、例えば、図３
に示すような連続巻き取り式の真空蒸着装置等を用いて
形成される。

【００６１】この真空蒸着装置１１は、いわゆる斜方蒸
着用として構成され、内部が例えば約１０^-3Ｐａ程度の
真空状態とされた真空室１２内に、例えば−２０℃程度
に冷却され、図中の反時計回り方向（矢印Ａ方向）に回
転する冷却キャン１３と対向するように金属磁性膜４用
の蒸着源１４とが配置されている。

【００６２】蒸着源１４は坩堝等の容器にＣｏ等の強磁
性金属材料が収容されたものであり、この蒸着源１４
（強磁性金属材料）に対し、電子ビーム発生源１５から
電子ビーム１６を加速照射して強磁性金属材料を加熱、
蒸発させ、これを図中の反時計回り方向に回転する供給
ロール１８から図中の矢印Ｂ方向に繰り出され、冷却キ
ャン１３の周面に沿って走行する非磁性支持体１上に付
着（蒸着）させることによって金属磁性膜４を形成す
る。そして、金属磁性膜４が形成された非磁性支持体１
は、巻き取りロール１９に巻き取られる。

【００６３】このとき、蒸着源１４と冷却キャン１３と
の間には防着板２０を設け、この防着板２０にシャッタ
２１を位置調整可能に設けて、非磁性支持体１に対して
所定の角度で入射する蒸着粒子のみを通過させる。こう
して斜め蒸着法によって金属磁性膜４が形成されるよう
になされている。

【００６４】なお、供給ロール１８と冷却キャン１３と
の間、及び冷却キャン１３と巻き取りロール１９との間
にはそれぞれガイドローラー２２、２３が配置され、供
給ロール１８から冷却キャン１３、及びこの冷却キャン
１３から巻き取りロール１９に従って走行する非磁性支
持体１に所定のテンションをかけ、非磁性支持体１が円
滑に走行するようになされている。

【００６５】更に、このような金属磁性膜４の蒸着に際
し、図示しない酸素ガス導入口を介して非磁性支持体１
の表面に酸素ガスが供給され、これによって金属磁性膜
４の磁気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られてい
る。また、蒸着源１４を加熱するためには、上述のよう
な電子ビームによる加熱手段の他、例えば、抵抗加熱手
段、高周波加熱手段、レーザ加熱手段等の公知の手段を
使用できる。

【００６６】以上は、斜め蒸着法によりＣｏ等からなる
強磁性金属材料を用いて成膜する例について説明した
が、強磁性金属材料を用いて成膜する方法としては、こ
の例の他に垂直蒸着法やスパッタリング法等の公知の薄
膜形成法が適用でき、また、強磁性金属材料としては、
Ｃｏの他にＮｉ、Ｆｅ等やこれらの合金を使用すること
ができる。ただし、非磁性支持体１との付着強度改善、
あるいは金属磁性膜自体の耐性、耐摩耗性改善等の目的
から、蒸着時の雰囲気を酸素ガスが支配的となる雰囲気
としたとき得られる酸素を含む金属磁性膜４を使用する
ことが望ましい。また、金属磁性膜４の厚さは、０．０
５〜０．２５μｍ程度、好ましくは、０．１〜０．２μ
ｍ程度である。

【００６７】また、この金属磁性膜４では、電磁変換特
性を向上させるために、表面に形成された表面酸化膜を
エッチングすることが好ましい。この表面酸化膜は、上
述したように成膜された金属磁性膜４の表面に形成され
る非磁性の膜であり、スペーシングロスの原因となる。
すなわち、この表面酸化膜は、非磁性であるが故に電磁
変換特性を劣化させる原因となる。したがって、この表
面酸化膜をエッチングにより除去することによって、磁
気記録媒体では、金属磁性膜４の電磁変換特性を大幅に
向上させることができる。

【００６８】このエッチングに際しては、いかなる方法
を適用しても良いが、例えば、逆スパッタ法、イオンエ
ッチング法、ＥＣＲプラズマエッチング法等を使用する
ことが好ましい。また、このエッチングに際しては、Ａ
ｒガス雰囲気下にて圧力０．４Ｐａ程度とすることが好
ましい。

【００６９】更に、この磁気記録媒体は、金属磁性膜４
の摩耗を防止するため、金属磁性膜４上に、図４に示す
ようなマグネトロンスパッタ装置３０等を用いて、カー
ボン保護膜を形成することが望ましい。

【００７０】このマグネトロンスパッタ装置３０は、外
側がチャンバ３１にて覆われている。そして、チャンバ
３１内は、真空ポンプ３２にて約１０^-4Ｐａまで減圧さ
れた後、真空ポンプ３２側へ廃棄するバルブ３３の角度
を全開状態から１０度まで絞ることにより排気速度を落
とし、ガス導入管３４からＡｒガスを導入して、真空度
が約０．８Ｐａとされる。

【００７１】マグネトロンスパッタ装置３０は、このチ
ャンバ３１内に、例えば−４０℃程度に冷却され、図中
の反時計回り方向（矢印Ａ方向）に回転する冷却キャン
３５と、この冷却キャン３５と対向配置されるターゲッ
ト３６とがそれぞれ設けられている。

【００７２】ターゲット３６は、カーボン保護膜の材料
となるものであり、カソード電極を構成するバッキング
プレート３７に支持されている。そして、バッキングプ
レート３７の裏側には、磁場を形成するマグネット３８
が配設されている。このマグネトロンスパッタ装置３０
によりカーボン保護膜を形成する際は、ガス導入管３４
からＡｒガスを導入するとともに、冷却キャン３５をア
ノード、バッキングプレート３７をカソードとして約３
０００（Ｖ）の電圧を印加し、１．４Ａの電流が流れる
状態を保つようにする。

【００７３】この電圧の印加により、Ａｒガスがプラズ
マ化し、電離されたイオンがターゲット３６に衝突する
ことにより、ターゲット３６の原子がはじき出される。
このとき、バッキングプレート３７の裏側にはマグネッ
ト３８が配設されており、ターゲット３６の近傍に磁場
が形成されるので、電離されたイオンはターゲット３６
の近傍に集中されることになる。

【００７４】ターゲット３６からはじき出された原子
は、図中の反時計回り方向に回転する供給ロール３９か
ら図中の矢印Ｂ方向に繰り出され、冷却キャン３５の周
面に沿って走行する金属磁性膜４が成膜された非磁性支
持体１上に付着し、カーボン保護膜が形成される。そし
て、カーボン保護膜が形成された非磁性支持体１は、巻
き取りロール４１に巻き取られる。

【００７５】このカーボン保護膜は、スペーシングロス
を小さくし、かつ、金属磁性膜４の摩耗防止の効果を得
ることができるように、その厚さを３〜１５ｎｍ程度、
特に５〜１０ｎｍ程度とすることが好ましい。

【００７６】以上は、マグネトロンスパッタによりカー
ボン保護膜を形成する例について説明したが、カーボン
保護膜を形成する方法としては、この例の他に、イオン
ビームスパッタやイオンビームプレーティング法、ＣＶ
Ｄ法等の公知の薄膜形成方法を用いることができる。

【００７７】また、この磁気記録媒体は、カーボン保護
膜の表面に滑剤を存在せしめることが望ましい。これに
より、磁気記録媒体は、微細突起の形状に基づく走行性
改善効果を更に高めることが可能である。

【００７８】更に、この磁気記録媒体は、その表面、裏
面、又はそれらの近傍あるいはカーボン保護膜、金属磁
性膜４内の空隙、カーボン保護膜と金属磁性膜４との界
面、金属磁性膜４と非磁性支持体１との界面、非磁性支
持体１内等に、必要に応じて公知の手段で防錆剤、帯電
防止剤、防かび剤等の各種添加剤を存在せしめることが
できる。

【００７９】針状非磁性顔料含有バックコート層５針状非磁性顔料含有バックコート層５は、非磁性支持体
１の金属磁性膜４が成膜される面とは反対側の面に配設
されている。この針状非磁性顔料含有バックコート層５
は、主として、結合剤、針状非磁性顔料及びカーボンブ
ラックから構成される。

【００８０】ここで針状非磁性顔料としては、アスペク
ト比が１０以上の針状非磁性顔料を使用することが好ま
しい。これにより、磁気記録媒体の厚さ方向だけでな
く、平面方向の引っ張り強度や曲げ強度等の機械的強度
を大きく向上させることができる。針状非磁性顔料の材
質としては、特に制限されるものではなく、ヘマタイ
ト、ゲータイト、酸化チタンや酸化アルミニウムを使用
することができる。

【００８１】更に、針状非磁性顔料含有バックコート層
５では、カーボンブラックは、平均粒子サイズの異なる
二種類のものを使用することが好ましい。この場合、そ
の平均粒子サイズは、１０〜２０ｎｍの微粒子状カーボ
ンブラックと平均粒子サイズが２３０〜３００ｎｍの粗
粒子状カーボンブラックとを使用することが好ましい。

【００８２】一般に、上述したような微粒子状のカーボ
ンブラックの添加により、針状非磁性顔料含有バックコ
ート層５の表面電気抵抗を低く設定でき、また光透過率
も低く設定できる。磁気記録の装置によっては、テープ
の光透過率を利用し、動作の信号に使用しているものが
多くあるため、このような場合には特に、微粒子状のカ
ーボンブラックの添加は有効になる。

【００８３】また、微粒子状カーボンブラックは、一般
に、潤滑剤に対する保持力に優れるため、潤滑剤を併用
することができ、その結果、摩擦係数を低減することが
可能となる。

【００８４】一方、粒子サイズが２３０〜３００ｎｍの
粗粒子状カーボンブラックは、固体潤滑剤としての機能
を有しており、表面に微小突起を形成することとなるた
め、接触面積を低減化して、摩擦係数を低減することが
可能となる。しかし、粗粒子状のカーボンブラックは、
過酷な走行系では、テープ摺動により、針状非磁性顔料
含有バックコート層５からの脱落が生じ易くなり、エラ
ー比率の増大につながる虞がある。

【００８５】具体的に、微粒子状カーボンブラックとし
ては、以下のものを挙げることができる。ＲＡＶＥＮ２
０００Ｂ（１８ｎｍ）、ＲＡＶＥＮ１５００Ｂ（１７ｎ
ｍ）（以上、コロンビアカーボン社製）、ＢＰ８００
（１７ｎｍ）（キャボット社製）、ＰＲＩＮＴＥＸ９０
（１４ｎｍ）、ＰＲＩＮＴＥＸ９５（１５ｎｍ）、ＰＲ
ＩＮＴＥＸ８５（１６ｎｍ）、ＰＲＩＮＴＥＸ７５（１
７ｎｍ）（以上、デグサ社製）、＃３９５０（１６ｎ
ｍ）（三菱化成工業（株）製）。また、粗粒子カーボン
ブラックとしては、サーマルブラック（２７０ｎｍ）
（カーンカルブ社製）、ＲＡＶＥＮＭＴＰ（２７５ｎ
ｍ）（コロンビアカーボン社製）を挙げることができ
る。

【００８６】針状非磁性顔料含有バックコート層５にお
いて、平均粒子サイズの異なる二種類のものを使用する
場合、１０〜２０ｎｍの微粒子状カーボンブラックと２
３０〜３００ｎｍの粗粒子状カーボンブラックの含有比
率（重量比）は、微粒子状カーボンブラック：粗粒子状
カーボンブラック＝９８：２〜７５：２５の範囲が好ま
しく、更に好ましくは、９５：５〜８５：１５である。
また、針状非磁性顔料含有バックコート層５におけるカ
ーボンブラック（微粒子状と粗粒子状を加えた場合にお
いては、その全量）の含有量は、後述する結合剤１００
重量部に対して、通常３０〜８０重量部の範囲であり、
好ましくは、４５〜６５重量部の範囲である。

【００８７】また、結合材（Ｂ）と針状非磁性顔料
（Ｐ）の比率、結合材／針状非磁性顔料は０．５〜５で
あるのが好ましい。結合材／針状非磁性顔料が０．５よ
り小さいと顔料の充填量が少なく、機械的強度の補強効
果が発揮されず、また、結合材／針状非磁性顔料が５を
超えると結合材が少なすぎるために、針状非磁性顔料含
有バックコート層自体が結合が弱く、粉落ち等塗布層の
耐久性が悪くなる。

【００８８】更に、針状非磁性顔料含有バックコート層
５には、潤滑剤を含有させることができる。潤滑剤は、
上述したように、例えば、脂肪酸、あるいは脂肪酸エス
テルを挙げることができる。脂肪酸としては、例えば、
酢酸、プロピオン酸、オクタン酸、２−エチルヘキサン
酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、ステアリン酸、パルミ
チン酸、ベヘン酸、アラキン酸、オレイン酸、リノール
酸、リノレン酸、エライジン酸、及びパルミトレイン酸
等の脂肪族カルボン酸又はこれらの混合物を挙げること
ができる。

【００８９】また、脂肪酸エステルとしては、例えば、
ブチルステアレート、ｓｅｃ−ブチルステアレート、イ
ソプロピルステアレート、ブチルオレエート、アミルス
テアレート、３−メチルブチルステアレート、２−エチ
ルヘキシルステアレート、２−ヘキシルデシルステアレ
ート、ブチルパルミテート、２−エチルヘキシルミリス
テート、ブチルステアレートとブチルパルミテートの混
合物、オレイルオレエート、ブトキシエチルステアレー
ト、２−ブトキシ−１−プロピルステアレート、ジプロ
ピレングリコールモノブチルエーテルをステアリン酸で
アシル化したもの、ジエチレングリコールジパルミテー
ト、ヘキサメチレンジオールをミリスチン酸でアシル化
してジオールとしたもの、そしてグリセリンのオレエー
ト等の種々のエステル化合物を挙げることができる。こ
れらのものは、単独で、あるいは組み合わせて使用する
ことができる。

【００９０】針状非磁性顔料含有バックコート層５にお
いて、潤滑剤は、結合剤樹脂１００重量部に対して通常
１〜５重量部の範囲で添加されることが好ましい。

【００９１】また、針状非磁性顔料含有バックコート層
５に使用される結合剤としては、例えば、熱可塑性樹
脂、熱硬化性樹脂、反応型樹脂やこれらの混合物を挙げ
ることができる。

【００９２】熱可塑性樹脂の例としては、塩化ビニル、
酢酸ビニル、ビニルアルコ−ル、マレイン酸、アクリル
酸、アクリル酸エステル、塩化ビニリデン、アクリロニ
トリル、メタクリル酸、メタクリル酸エステル、スチレ
ン、ブタジエン、エチレン、ビニルブチラール、ビニル
アセタール、及びビニルエーテルを構成単位として含む
重合体、あるいは共重合体を挙げることができる。共重
合体としては、例えば、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル
−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−ア
クリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−塩化ビ
ニリデン共重合体、アクリル酸エステル−スチレン共重
合体、メタアクリル酸エステル−アクリロニトリル共重
合体、メタアクリル酸エステル−塩化ビニリデン共重合
体、メタアクリル酸エステル−スチレン共重合体、塩化
ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ブタジエン−
アクリロニトリル共重合体、スチレン−ブタジエン共重
合体、クロロビニルエーテル−アクリル酸エステル共重
合体を挙げることができる。上記の他に、ポリアミド樹
脂、繊維素系樹脂（セルロースアセテートブチレート、
セルロースダイアセテート、セルロースプロピオネー
ト、ニトロセルロースなど）、ポリ弗化ビニル、ポリエ
ステル樹脂、ポリウレタン樹脂、各種ゴム系樹脂等も例
示することができる。

【００９３】また、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂として
は、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレ
タン硬化型樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹
脂、アクリル系反応樹脂、ホルムアルデヒド樹脂、シリ
コン樹脂、エポキシ−ポリアミド樹脂、ポリエステル樹
脂とポリイソシアネートプレポリマーの混合物、ポリエ
ステルポリオールとポリイソシアネートの混合物、ポリ
ウレタンとポリイソシアネートの混合物を挙げることが
できる。

【００９４】更に、針状非磁性顔料含有バックコート層
５の厚さとしては、０．１〜０．６μｍであることが好
ましい。針状非磁性顔料含有バックコート層５の厚さが
薄すぎる場合、機械的強度の補強効果が発揮されず、ま
た、厚すぎる場合、針状非磁性顔料含有バックコート層
５自体ににクラックが生じ易くなる。

【００９５】添加剤添加剤としては、針状非磁性顔料含有バックコート層５
を形成する塗布液に、カーボンブラックや非磁性粉末等
を結合剤中に良好に分散させるために添加される分散剤
を挙げることができる。また、添加剤としては、必要に
応じて添加される、可塑剤、カーボンブラック以外の導
電性粒子（帯電防止剤）、防黴剤等を挙げることができ
る。

【００９６】分散剤としては、例えば、カプリル酸、カ
プリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、
ステアリン酸、ベヘン酸、オレイン酸、エライジン酸、
リノール酸、リノレン酸、ステアロール酸等の炭素数１
２〜１８個の脂肪酸（ＲＣＯＯＨ、Ｒは炭素数１１〜１
７個のアルキル基、又はアルケニル基）、前記脂肪酸の
アルカリ金属又はアルカリ土類金属からなる金属石け
ん、前記の脂肪酸エステルのフッ素を含有した化合物、
前記脂肪酸のアミド、ポリアルキレンオキサイドアルキ
ルリン酸エステル、レシチン、トリアルキルポリオレフ
ィンオキシ第四級アンモニウム塩（アルキルは炭素数１
〜５個、オレフィンは、エチレン、プロピレンなど）、
硫酸塩、及び銅フタロシアニン等を使用することができ
る。これらは、単独でも組み合わせて使用しても良い。
特に、針状非磁性顔料含有バックコート層５には、オレ
イン酸銅、銅フタロシアニン、及び硫酸バリウムを組み
合わせて使用することが好ましい。また、分散剤は、結
合剤樹脂１００重量部に対して０．５〜２０重量部の範
囲で添加される。

【００９７】第２の実施の形態本実施の形態として示す磁気記録媒体は、図５に示すよ
うに、非磁性支持体１と、この非磁性支持体１の一主面
１ａ上に成膜された金属磁性膜４及び非磁性支持体１の
他主面１ｂ上に形成された電子線感応性樹脂含有バック
コート層６を備えるものである。また、この磁気記録媒
体において、非磁性支持体１は、芳香族ポリアミドフィ
ルムからなる。また、図６に本発明を適用した磁気記録
媒体の他の構成例を示す。図６に示した磁気記録媒体で
は、非磁性支持体１を２層構造により構成している。

【００９８】そして、この芳香族ポリアミドフィルム
は、長手方向と直交する方向、すなわち幅方向における
２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％となっている。

【００９９】以下、第２の実施の形態について説明する
が、非磁性支持体１及び金属磁性膜４、並びにこれら各
層に用いられる結合材及び添加剤に関しては、第１の実
施の形態と同じため説明を省略し、電子線感応性樹脂含
有バックコート層６に関して詳述する。

【０１００】電子線感応性樹脂含有バックコート層６本発明に係る電子線感応性樹脂含有バックコート層６
は、電子線により重合可能な化合物を含有する層を電子
線照射することによって得られる層である。

【０１０１】電子線による重合が可能な化合物とは、電
子線による重合が可能な不飽和結合を有する化合物で、
例えば、ビニルないしビニリデン炭素−炭素二重結合を
好ましくは複数個有する化合物であり、アクリロイル
基、アクリルアミド基、アリル基、ビニルエーテル基、
ビニルチオエーテル基等を含む化合物及び不飽和ポリエ
ステル等の化合物である。

【０１０２】特に好ましくは、上記の不飽和結合を有す
る化合物としてアクリロイル基、メタクロイル基を直鎖
の両末端に有し、骨格がポリエステル、ポリウレタン、
エポキシ樹脂、ポリエーテル、ポリカーボネートである
化合物が挙げられる。また、これらの化合物の分子量
は、約５００〜２０，０００であることが好ましい。

【０１０３】更に、これらの化合物には不飽和の炭素−
炭素結合を分子内に有するモノマを添加することができ
る。かかるモノマとしては、例えば、アクリル酸、メタ
クリル酸、イタコン酸、アクリル酸メチル及びその同族
体であるアクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸メ
チル及びその同族体であるメタクリル酸アルキルエステ
ル、スチレン及びその同族体であるα−メチルスチレ
ン、β−クロルスチレン等、アクリロニトリル、メタク
リロニトリル、アクリロアミド、メタクリルアミド、酢
酸ビニル、プロピオン酸ビニル等が挙げられる。また、
分子内に不飽和結合が２個以上有していても良い。特
に、ポリオールの不飽和エステル類、例えばエチレンジ
アクリレート、ジエチレングリコールジアリレート、グ
リセロールトリメタクリレート、エチレンジメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート等、
及びエポキシ環を有するグリシジルメタクリレート等が
好ましい。また、分子内に不飽和結合が１個有する化合
物と分子内に不飽和結合を２個以上有する化合物とを混
合しても良い。

【０１０４】モノマを添加する場合、ポリマとモノマと
の混合比率は、ポリマ／モノマ＝２／８以上であること
が好ましい。ポリマ／モノマ＝２／８未満であると電子
線感応性樹脂含有バックコート層６を硬化させる際に多
大なエネルギーが必要となる。

【０１０５】電子線加速器としては、バンデグラーフ型
のスキャニング方式、ダブルスキャニング方式あるいは
カーテンビーム方式を採用することができる。その中で
も、カーテンビーム方式は、比較的安価で大出力が得ら
れるため好ましい。電子線特性としては、加速電圧が１
００〜１０００ＫＶ、好ましくは１５０〜３００ＫＶで
あり、吸収線量として０．５〜２０メガラッド好ましく
は２〜１０メガラッドである。加速電圧が１００ＫＶよ
り小さい場合は、エネルギーの透過量が不足し、１００
０ＫＶを超えると重合に使われるエネルギー効率が低下
し経済的ではない。また、吸収線量として、０．５メガ
ラッド未満では硬化反応が不十分で、所望の塗膜強度が
得られず、また、２０メガラッドを超えると電子線感応
性樹脂含有バックコート層の硬化に使用されるエネルギ
ー効率が低下したり、被照射体が発熱し、特に非磁性支
持体が変形するので好ましくない。

【０１０６】本発明の電子線感応性樹脂含有バックコー
ト層６には、通常の結合材を単独あるいは混合して加え
ても良い。ここで、結合材としては、例えば塩化ビニル
−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−ビニ
ルアルコール共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル−マレ
イン酸共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合
体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合体、アクリル
酸エステル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エ
ステル−塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エステ
ル−スチレン共重合体、熱可塑性ポリウレタン樹脂、フ
ェノキシ樹脂、ポリフッ化ビニル、塩化ビニリデン−ア
クリロニトリル共重合体、ブタジエン−アクリロニトリ
ル−メタクリル酸共重合体、ポリビニルブチラール、セ
ルロース誘導体、スチレン−ブタジエン共重合体、ポリ
エステル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリカ
ーボネート樹脂、熱硬化性ポリウレタン樹脂、尿素樹
脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、尿素−ホルムアル
デヒド樹脂等が挙げられる。

【０１０７】また、本発明の電子線感応性樹脂含有バッ
クコート層６は、無機顔料粉末を必要に応じて添加する
ことができる。無機顔料粉末としては、カーボンブラッ
ク、グラファイト、酸化亜鉛、酸化チタン、硫酸バリウ
ム、タルク、カオリン、酸化クロム、硫化カドミウム、
ゲータイト、シリカアエロジル、無水アルミナ微粉末、
炭酸カルシウム、二硫化モリブデン等を用いることがで
きる。

【０１０８】また、電子線感応性樹脂含有バックコート
層６内には必要に応じて帯電防止剤、潤滑剤等を含有さ
せることも可能である。

【０１０９】更に、電子線感応性樹脂含有バックコート
層６の厚さとしては、０．１〜０．６μｍであることが
好ましい。

【０１１０】

【実施例】以下、上述した磁気記録媒体の具体的な実施
例及び比較例を記載し、本発明を更に具体的に説明す
る。実施例１乃至実施例５及び比較例１乃至比較例５
は、第１の実施の形態に対応するものであり、実施例６
乃至実施例１０及び比較例６乃至比較例１０は、第２の
実施の形態に対応するものである。なお、本実施例にお
ける種々の物性値及び特性は以下に示す方法により測定
したものである。

【０１１１】＜芳香族ポリアミドフィルムの熱収縮率の
測定＞芳香族ポリアミドフィルムの熱収縮率を測定する
際には、先ず、測定対象サンプルを幅１０ｍｍ、長さ３
００ｍｍに裁断し、裁断されたサンプル表面に２００ｍ
ｍ間隔でマーキングする。次に、１５０℃あるいは２０
０℃に設定された熱風循環式炉にて、サンプルに対して
１ｋｇｆ／ｍｍ²の荷重下で１０分間熱収縮させる。そ
して、熱収縮後、サンプル表面のマーキングの間隔を測
定し、熱収縮率を算出した。

【０１１２】＜芳香族ポリアミドフィルムのヤング率の
測定＞芳香族ポリアミドフィルムのヤング率は、２５
℃、６５％ＲＨの条件下で、テンシロン型の引っ張り試
験機器を使用して測定した。

【０１１３】＜カッピングの測定＞カッピングの測定
は、図７に示すような光学顕微鏡４０を有するカッピン
グ測定装置を用いて行った。このカッピング測定装置で
は、先ず、所定のテンションが負荷された磁気テープ４
１を一対のロール４２に掛け渡す。次に、光学顕微鏡４
０（倍率１００倍）を駆動手段４３にて、磁気テープ４
１の幅方向の中心部又は両端部に位置決めする。そし
て、このカッピング測定装置では、光学顕微鏡４０が上
下方向に駆動することによって、磁気テープ４１の幅方
向の中心部あるいは両端部において、それぞれ焦点を合
わせる。このとき、カッピング測定装置では、光学顕微
鏡４０の上下駆動に連動するマイクロメータ４４にて、
磁気テープ４１の幅方向の中心部と両端部との高さ違い
を測定する。

【０１１４】このとき、金属磁性膜を凸とする状態を負
のカッピングとし、逆に、金属磁性膜を凹とする状態を
正のカッピングとする。

【０１１５】＜テープ特性＞実施例及び比較例における
磁気記録媒体の特性評価は、ソニー株式会社製のＡＩＴ
ドライブＳＤＸ−Ｓ３００Ｃ（商品名）を改造したもの
を用いて行った。記録は、相対速度１０．０４ｍ／ｓｅ
ｃ、最短記録波長０．３５μｍで行った。

【０１１６】走行耐久性走行耐久性を評価する際には、先ず、長さが１７０ｍの
磁気テープを１０００パス走行させ、１パス走行後のエ
ラーレート及び１０００パス走行後のエラーレートを測
定した。そして、これら測定値を比較することによっ
て、走行耐久性を評価した。

【０１１７】ヘッドとの当たり特性ヘッドとの当たり特性を評価する際には、先ず、磁気テ
ープ再生時の出力信号（当たり波形）を１トラック分で
見た場合の出力信号を測定した。そして、この出力信号
の最小値（ＭＩＮ）／最大値（ＭＡＸ）の値（％）を算
出することによって、ヘッドとの当たり特性を評価し
た。なお、ヘッドとの当たり特性は、１パス走行後及び
１０００パス走行後について測定した。

【０１１８】以下まず、実施例１乃至実施例５及び比較
例１乃至比較例５について説明する。

【０１１９】実施例１先ず、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）中で平均
粒径０．１μｍの乾式シリカ粒子を分散させたスラリを
用意した。

【０１２０】次に、重合槽にＮＭＰと上記スラリを仕込
み、この中に芳香族ジアミン成分として８０モル％に相
当する２−クロルパラフェニレンジアミンと、２０モル
％に相当する４、４’−ジアミノジフェニルエ−テルと
を溶解させ、これに１００モル％に相当する２−クロル
テレフタル酸クロリドを添加し、２時間攪拌して重合を
完了した。これを水酸化リチウムで中和してポリマ溶液
を得た。なお、粒子の含有量は芳香族ポリアミドに対し
て０．１ｗｔ％であった。

【０１２１】このポリマ溶液は、ポリマ濃度が１０重量
％、３０℃での溶液粘度を３０００ポイズに調整して製
膜原液とした。

【０１２２】そして、これら製膜原液を５μｍカットの
フィルタ−を通した後、１５０℃とされた金属ベルト上
に流延し、１５０℃の熱風で加熱を行って溶媒を蒸発さ
せ、自己保持性を得たフィルムをベルトから連続的に剥
離した。

【０１２３】次に、ＮＭＰの濃度勾配をつけた水槽内へ
フィルムを導入して残存溶媒と中和で生じた無機塩の水
抽出を行い、テンターで水分の乾燥と熱処理を行った。
この間にフィルム長手方向と幅方向に各々１．２倍、
１．４倍延伸を行い、３００℃で１．５分間乾燥と熱処
理を行った後、２０℃／秒の速度で徐冷し、厚み３．５
μｍの非磁性支持体を得た。

【０１２４】次に、このようにして作製された非磁性支
持体を用いて、下記のような手法にて、磁気テープ原反
を作製した。

【０１２５】すなわち、図３に示したような連続巻き取
り式の蒸着装置１１を、その内部が１０^-3Ｐａ程度の真
空状態となるように排気し、上記の非磁性支持体を、こ
の蒸着装置にセッティングした。そして、連続真空斜め
蒸着法により、微量の酸素存在下において、非磁性支持
体の一主面１ａ上にＣｏからなる金属磁性膜４を形成し
た。蒸着の入射角は、非磁性支持体の法線方向が９０〜
４５度までであり、非磁性支持体の走行速度が５０ｍ／
分で、金属磁性膜の厚さが０．１８μｍとなるように、
電子ビームの強さを調節して作製した。

【０１２６】次に、ＥＣＲプラズマエッチング装置の内
部をＡｒガスにより０．４Ｐａ程度にした。そして、Ｅ
ＣＲプラズマエッチング装置に金属磁性膜を形成した非
磁性支持体をセッティングし、ＥＣＲプラズマエッチン
グを施すことにより強磁性金属薄膜上に形成された表面
酸化層を約５ｎｍまで薄膜化させた。また、この時、Ｅ
ＣＲプラズマエッチング装置の投入パワーは、３００Ｋ
ｗとした。

【０１２７】次に、図４に示したようなマグネトロンス
パッタリング装置を、その内部が１０^-4Ｐａ程度になる
まで減圧した後、Ａｒガスを導入し、０．８Ｐａ程度に
した。そして、このマグネトロンスパッタリング装置に
金属磁性膜が形成された非磁性支持体をセッティング
し、−４０℃に冷却した冷却キャン上を５ｍ／分の速度
で走行させて金属磁性膜上にカーボン保護膜を形成し
た。

【０１２８】次に、下記の組成に準じて針状非磁性顔料
を含有するバックコート塗料を調製した。

【０１２９】＜バックコート塗料組成＞ゲータイト（長軸０．２μｍ、アスペクト比３０）１００重量部カーボンブラック（旭社製，＃５０）５０重量部ポリエステルポリウレタン１００重量部（日本ポリウレタン（株）製商品名Ｎ−２３０４）溶剤：メチルエチルケトン５００重量部トルエン５００重量部そして、調製されたバックコート塗料を、非磁性支持体
の金属磁性膜４が成膜された面とは反対側の面に塗布、
乾燥することで厚さ０．４μｍの針状非磁性顔料含有バ
ックコート層５を形成した。

【０１３０】次に、針状非磁性顔料含有バックコート層
５を形成した後、２００℃に加熱されたロールに金属磁
性膜４を接触させながら、１００ｍ／ｍｉｎの速度で走
行させた。

【０１３１】その後、カーボン保護膜上に、パーフルオ
ロポリエーテルよりなる潤滑剤のトップコート層を１０
ｍｇ／ｍ²となるように塗布した。

【０１３２】このようにして非磁性支持体１上に金属磁
性膜４及び針状非磁性顔料含有バックコート層５が形成
されてなるテープ原反を、８ｍｍ幅にスリットした後に
カセット本体に収納してカセットテープを作製した。

【０１３３】実施例２実施例２では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を２９０℃としたこと以外は、実施例１と
同様にしてカセットテープを作製した。

【０１３４】実施例３実施例３では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を２８０℃としたこと以外は、実施例１と
同様にしてカセットテープを作製した。

【０１３５】実施例４実施例４では、針状非磁性顔料含有バックコート層５形
成後の熱処理温度を２５０℃としたこと以外は、実施例
２と同様にしてカセットテープを作製した。

【０１３６】実施例５実施例５では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の幅方向の延伸倍率を１．６倍とし、熱処理温度を３２
０℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセット
テープを作製した。

【０１３７】比較例１比較例１では、実施例１において、針状非磁性顔料含有
バックコート層５の代わりに、下記に示す通常のバック
コート塗料を調製し、乾燥厚で０．４μｍとなるバック
コート層を形成こと以外は、実施例１と同様にして磁気
テープを作製した。

【０１３８】＜バック塗料組成＞カーボンブラック（旭社製、＃５０）１００重量部ポリエステルポリウレタン１００重量部（日本ポリウレタン（株）製商品名Ｎ−２３０４）溶剤：メチルエチルケトン５００重量部トルエン５００重量部比較例２比較例２では、針状非磁性顔料含有バックコート層５の
代わりに、比較例１で用いた通常の塗料を調製し、乾燥
厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成したこと以
外は、実施例２と同様にして磁気テープを作製した。

【０１３９】比較例３比較例３では、針状非磁性顔料含有バックコート層５の
代わりに、比較例１で用いた通常の塗料を調製し、乾燥
厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成したこと以
外は、実施例３と同様にして磁気テープを作製した。

【０１４０】比較例４比較例４では、針状非磁性顔料含有バックコート層５の
代わりに、比較例１で用いた通常の塗料を調製し、乾燥
厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成したこと以
外は、実施例４と同様にして磁気テープを作製した。

【０１４１】比較例５比較例５では、針状非磁性顔料含有バックコート層５の
代わりに、比較例１で用いた通常の塗料を調製し、乾燥
厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成したこと以
外は、実施例５と同様にして磁気テープを作製した。

【０１４２】特性評価上述したような実施例１乃至実施例５と比較例１乃至比
較例５に関して、上述したような物性の評価及び特性の
評価を行った。その結果を表１に示す。

【０１４３】

【表１】

【０１４４】表１に示したとおり、２００℃の幅方向の
熱収縮率が１．５％〜２．５％である芳香族ポリアミド
フィルムを用い、針状非磁性顔料含有バックコート層５
を形成した実施例１乃至実施例５のサンプルに関しては
カッピングが極力低く抑えられており、また、ヘッド当
たりも良好なものとなっている。また、これらの実施例
１乃至実施例５では、１０００パス走行後のエラーレー
トも低く抑えられている。

【０１４５】このことから、実施例１乃至実施例５に示
したように、２００℃の幅方向の熱収縮率が１．５〜
２．５％である芳香族ポリアミドフィルムを用い、かつ
針状非磁性顔料含有バックコート層５を形成することに
よって、主面を高精度に平坦化することができ、ヘッド
との接触状態の良好な、高い走行耐久性を備えた磁気記
録媒体を得ることが可能となった。

【０１４６】また、実施例１乃至実施例４と実施例５と
を比較すると、実施例５と比較して、実施例１乃至実施
例４の方が良好な結果となっている。このことより、芳
香族ポリアミドフィルムにおいて、１５０℃の幅方向の
熱収縮率を０．５％以上の範囲に規定することによっ
て、更に、主面が平坦であって、ヘッドとの接触状態の
良好な、高い走行耐久性を備えた磁気記録媒体となるこ
とが分かった。

【０１４７】次に、実施例６乃至実施例１０及び比較例
６乃至比較例１０について説明する。

【０１４８】実施例６先ず、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）中で平均
粒径０．１μｍの乾式シリカ粒子を分散させたスラリを
用意した。

【０１４９】次に、重合槽にＮＭＰと上記スラリを仕込
み、この中に芳香族ジアミン成分として８０モル％に相
当する２−クロルパラフェニレンジアミンと、２０モル
％に相当する４、４’−ジアミノジフェニルエ−テルと
を溶解させ、これに１００モル％に相当する２−クロル
テレフタル酸クロリドを添加し、２時間攪拌して重合を
完了した。これを水酸化リチウムで中和してポリマ溶液
を得た。なお、粒子の含有量は芳香族ポリアミドに対し
て０．１ｗｔ％であった。

【０１５０】このポリマ溶液は、ポリマ濃度が１０重量
％、３０℃での溶液粘度を３０００ポイズに調整して製
膜原液とした。

【０１５１】そして、これら製膜原液を５μｍカットの
フィルタ−を通した後、１５０℃とされた金属ベルト上
に流延し、１５０℃の熱風で加熱を行って溶媒を蒸発さ
せ、自己保持性を得たフィルムをベルトから連続的に剥
離した。

【０１５２】次に、ＮＭＰの濃度勾配をつけた水槽内へ
フィルムを導入して残存溶媒と中和で生じた無機塩の水
抽出を行い、テンターで水分の乾燥と熱処理を行った。
この間にフィルム長手方向と幅方向に各々１．２倍、
１．４倍延伸を行い、３００℃で１．５分間乾燥と熱処
理を行った後、２０℃／秒の速度で徐冷し、厚み３．５
μｍの非磁性支持体１を得た。

【０１５３】次に、このようにして作製された非磁性支
持体１を用いて、下記のような手法にて、磁気テープ原
反を作製した。

【０１５４】すなわち、図３に示したような連続巻き取
り式の蒸着装置１１を、その内部が１０^-3Ｐａ程度の真
空状態となるように排気し、上記の非磁性支持体１を、
この蒸着装置にセッティングした。そして、連続真空斜
め蒸着法により、微量の酸素存在下において、非磁性支
持体の一主面１ａ上にＣｏからなる金属磁性膜４を形成
した。蒸着の入射角は、非磁性支持体１の法線方向が９
０〜４５度までであり、非磁性支持体１の走行速度が５
０ｍ／分で、金属磁性膜４の厚さが０．１８μｍとなる
ように、電子ビームの強さを調節して作製した。

【０１５５】次に、ＥＣＲプラズマエッチング装置の内
部をＡｒガスにより０．４Ｐａ程度にした。そして、Ｅ
ＣＲプラズマエッチング装置に金属磁性膜４を形成した
非磁性支持体１をセッティングし、ＥＣＲプラズマエッ
チングを施すことにより強磁性金属薄膜上に形成された
表面酸化層を約５ｎｍまで薄膜化させた。また、この
時、ＥＣＲプラズマエッチング装置の投入パワーは、３
００Ｋｗとした。

【０１５６】次に、図４に示したようなマグネトロンス
パッタリング装置を、その内部が１０^-4Ｐａ程度になる
まで減圧した後、Ａｒガスを導入し、０．８Ｐａ程度に
した。そして、このマグネトロンスパッタリング装置に
金属磁性膜４が形成された非磁性支持体１をセッティン
グし、−４０℃に冷却した冷却キャン上を５ｍ／分の速
度で走行させて金属磁性膜４上にカーボン保護膜を形成
した。

【０１５７】次に、下記の組成に準じて電子線感応性樹
脂を含有するバックコート塗料を調製した。

【０１５８】＜バックコート塗料組成＞カーボンブラック（旭社製，＃５０）１００重量部ポリウレタン樹脂５０重量部エステルアクリレートオリゴマー２０重量部ジエチレングリコールジアクリレート２０重量部ブトシキエチルアクリレート２０重量部メチルエチルケトン８０％、トルエン２０％３００重量部そして、調製されたバックコート塗料を、非磁性支持体
の金属磁性膜４が成膜された面とは反対側の面に塗布
し、吸収線量が５メガラドになるように電子線を照射
し、厚さ０．４μｍの電子線感応性樹脂含有バックコー
ト層６を形成した。

【０１５９】次に、電子線感応性樹脂含有バックコート
層６を形成した後、２００℃に加熱されたロールに金属
磁性膜４を接触させながら、１００ｍ／ｍｉｎの速度で
走行させた。

【０１６０】その後、カーボン保護膜上に、パーフルオ
ロポリエーテルよりなる潤滑剤のトップコート層を１０
ｍｇ／ｍ²となるように塗布した。

【０１６１】このようにして非磁性支持体１上に金属磁
性膜４及び針状非磁性顔料含有バックコート層５が形成
されてなるテープ原反を、８ｍｍ幅にスリットした後に
カセット本体に収納してカセットテープを作製した。

【０１６２】実施例７実施例７では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を２９０℃としたこと以外は、実施例６と
同様にしてカセットテープを作製した。

【０１６３】実施例８実施例８では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を２８０℃としたこと以外は、実施例６と
同様にしてカセットテープを作製した。

【０１６４】実施例９実施例９では、電子線感応性樹脂含有バックコート層６
形成後の熱処理温度を２５０℃としたこと以外は、実施
例７と同様にしてカセットテープを作製した。

【０１６５】実施例１０実施例１０では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する
際の幅方向の延伸倍率を１．６倍とし、熱処理温度を３
２０℃としたこと以外は、実施例６と同様にしてカセッ
トテープを作製した。

【０１６６】比較例６比較例６では、電子線感応性樹脂含有バックコート層６
の代わりに、下記に示す通常のバックコート塗料を調製
し、乾燥厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成し
たこと以外は、実施例６と同様にしてカセットテープを
作製した。

【０１６７】＜バックコート塗料組成＞カーボンブラック（旭社製，＃５０）１００重量部ポリエステルポリウレタン１００重量部（日本ポリウレタン（株）製商品名Ｎ−２３０４）溶剤：メチルエチルケトン５００重量部トルエン５００重量部比較例７比較例７では、電子線感応性樹脂含有バックコート層６
の代わりに、比較例６で用いたバックコート塗料を調製
し、乾燥厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成し
たこと以外は、実施例７と同様にしてカセットテープを
作製した。

【０１６８】比較例８比較例８では、電子線感応性樹脂含有バックコート層６
の代わりに、比較例６で用いたバックコート塗料を調製
し、乾燥厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成し
たこと以外は、実施例８と同様にしてカセットテープを
作製した。

【０１６９】比較例９比較例９では、電子線感応性樹脂含有バックコート層６
の代わりに、比較例６で用いたバックコート塗料を調製
し、乾燥厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成し
たこと以外は、実施例９と同様にしてカセットテープを
作製した。

【０１７０】比較例１０比較例１０では、電子線感応性樹脂含有バックコート層
６の代わりに、比較例６で用いたバックコート塗料を調
製し、乾燥厚で０．４μｍとなるバックコート層を形成
したこと以外は、実施例１０と同様にしてカセットテー
プを作製した。

【０１７１】特性評価上述したような実施例６乃至実施例１０と比較例６乃至
比較例１０に関して、上述したような物性の評価及び特
性の評価を行った。その結果を表２に示す。

【０１７２】

【表２】

【０１７３】表２に示したとおり、２００℃の幅方向の
熱収縮率が１．５％〜２．５％である芳香族ポリアミド
フィルムを用い、電子線感応性樹脂を含有し、電子線照
射により硬化された電子線感応性樹脂含有バックコート
層６を形成した実施例６乃至実施例１０のサンプルに関
しては、カッピングが極力低く抑えられており、また、
ヘッド当たりも良好なものとなっている。また、これら
の実施例６乃至実施例１０では、１０００パス走行後の
エラーレートも低く抑えられている。

【０１７４】このことから、実施例６乃至実施例１０に
示したように、２００℃の幅方向の熱収縮率が１．５％
〜２．５％である芳香族ポリアミドフィルムを用い、か
つ電子線感応性樹脂含有バックコート層６を形成するこ
とによって、主面を高精度に平坦化することができ、ヘ
ッドとの接触状態の良好な、高い走行耐久性を備えた磁
気記録媒体を得ることが可能となった。

【０１７５】また、実施例６乃至実施例９と実施例１０
とを比較すると、実施例１０と比較して、実施例６乃至
実施例９の方が良好な結果となっている。このことよ
り、芳香族ポリアミドフィルムにおいて、１５０℃の幅
方向の熱収縮率を０．５％以上の範囲に規定することに
よって、更に、主面が平坦であって、ヘッドとの接触状
態の良好な、高い走行耐久性を備えた磁気記録媒体とな
ることが分かった。

【０１７６】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る磁気記録媒体では、芳香族ポリアミドフィルムの幅
方向における２００℃の熱膨張率を所定の値に規定する
ことによって、熱処理等を施した場合であっても、カー
リングやカッピング等を発生させるようなことがなく優
れた形状安定性を有することとなる。したがって、この
磁気記録媒体は、ヘッドとの当たりが良好であって、優
れた走行安定性を有することとなる。

【０１７７】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜
２．５％であるような非磁性支持体を用いているため、
熱履歴を加えた場合であっても、カーリングやカッピン
グ等を発生させることなく、磁気記録媒体の表面を高精
度に平坦に形成することができる。

【０１７８】更に針状非磁性顔料含有バックコート層を
形成することにより、薄物磁気記録媒体の強度が向上
し、繰り返し走行後においてもエラーレートの劣化や当
たり特性の劣化等が生じることなく、耐久性、信頼性に
優れた薄物磁気記録媒体が得られる。

【０１７９】また、本発明に係る磁気記録媒体では、針
状非磁性顔料含有バックコート層の代わりに電子線感応
性樹脂含有バックコート層を形成しても良く、電子線感
応性樹脂含有バックコート層を形成した場合においても
針状非磁性顔料含有バックコート層を形成した場合と同
様に耐久性、信頼性に優れた薄物磁気記録媒体が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】針状非磁性顔料含有バックコート層を用いた本
発明に係る磁気記録媒体の一構成例の要部断面図であ
る。

【図２】針状非磁性顔料含有バックコート層を用いた本
発明に係る磁気記録媒体の他の構成例の要部断面図であ
る。

【図３】金属磁性膜を成膜する際に用いられる連続巻き
取り式の真空蒸着装置の概略構成図である。

【図４】カーボン保護膜を形成する際に用いられるマグ
ネトロンスパッタ装置の概略構成図である。

【図５】電子線感応性樹脂含有バックコート層を用いた
本発明に係る磁気記録媒体の一構成例の要部断面図であ
る。

【図６】電子線感応性樹脂含有バックコート層を用いた
本発明に係る磁気記録媒体の他の構成例の要部断面図で
ある。

【図７】カッピング測定装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１非磁性支持体、４金属磁性層、５針状非磁性顔
料含有バックコート層、６電子線感応性樹脂含有バッ
クコート層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ３２Ｂ 33/00 ６０６Ｂ３２Ｂ 33/00 ６０６ＺＣ２３Ｃ 14/58 Ｃ２３Ｃ 14/58 ＤＧ１１Ｂ 5/64 Ｇ１１Ｂ 5/64 5/735 5/735 5/84 5/84 Ｚ (72)発明者松村伸一東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (72)発明者谷田貝洋東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内Ｆターム(参考） 4D075 AE03 AE24 BB21Z BB47Z BB66Y BB93Z CA24 DA04 DB53 DC28 EA02 EA21 EC22 4F100 AA17C AA20H AA37 AA37H AB01B AB15 AC10H AK01D AK17 AK47A AK51 AK54 BA04 BA05 BA07 BA10C BA10D CA13D CA23 CC00D DE10D DE10H EH462 EH661 EJ151 EJ381 EJ423 EJ501 EJ533 EJ591 EJ601 EJ611 GB41 JA03A JB14D JG06B JG06D JG06H JK07A JK15 JL00 JL04 YY00A YY00B YY00D YY00H 4K029 AA11 AA25 BA06 BA34 BB02 BC06 BD11 CA01 DC39 FA05 GA02 JA10 KA03 5D006 BB01 BB07 CB03 CB06 CB07 CB08 CC01 CC02 CC03 EA03 FA05 5D112 AA02 AA05 AA08 AA11 AA22 BA01 BB01 BD01 BD08 FA02 GA20 GB01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体の一主面上に、少なくとも
金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、上記非磁性支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからな
り、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．
５％であり、上記金属磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成された表
面酸化層をエッチングされてなり、上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反
対側の他主面に、針状非磁性顔料含有バックコート層が
成膜されることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】上記非磁性支持体は、幅方向における１
５０℃の熱収縮率が０．５％以上であることを特徴とす
る請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】上記非磁性支持体は、多層構造からなる
ことを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項４】上記金属磁性膜の厚みが、０．０５〜
０．２５μｍであることを特徴とする請求項１記載の磁
気記録媒体。
【請求項５】上記非磁性支持体の厚みが、２．５〜
５．０μｍであることを特徴とする請求項１記載の磁気
記録媒体。
【請求項６】上記非磁性支持体は、長さ方向のヤング
率が１０００ｋｇ／ｍｍ²以上であり、幅方向のヤング
率が１３００ｋｇ／ｍｍ²以上であることを特徴とする
請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項７】上記針状非磁性顔料含有バックコート層
の厚みが、０．１〜０．６μｍであることを特徴とする
請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項８】上記針状非磁性顔料含有バックコート層
に含有される針状非磁性顔料のアスペクト比が１０以上
であることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項９】非磁性支持体の一主面上に、少なくとも
金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法に
おいて、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、上記金属磁性膜を成膜した後、当該金属磁性膜表面に形
成された表面酸化層をエッチングする工程と、上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反
対側の他主面に針状非磁性顔料含有バックコート層を成
膜する工程と上記針状非磁性顔料含有バックコート層を
成膜した後、熱履歴を加える工程とを有することを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１０】上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が
成膜される側と反対側の他主面に上記針状非磁性顔料含
有バックコート層を成膜した後、１００℃〜２５０℃の
熱処理を施すことを特徴とする請求項９記載の磁気記録
媒体の製造方法。
【請求項１１】非磁性支持体の一主面上に、少なくと
も金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、上記非磁性支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからな
り、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．
５％であり、上記金属磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成された表
面酸化層をエッチングされてなり、上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反
対側の他主面に電子線感応性樹脂含有バックコート層が
成膜されることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１２】上記非磁性支持体は、幅方向における
１５０℃の熱収縮率が０．５％以上であることを特徴と
する請求項１１記載の磁気記録媒体。
【請求項１３】上記非磁性支持体は、多層構造からな
ることを特徴とする請求項１１記載の磁気記録媒体。
【請求項１４】上記金属磁性膜の厚みが、０．０５〜
０．２５μｍであることを特徴とする請求項１１記載の
磁気記録媒体。
【請求項１５】上記非磁性支持体の厚みが、２．５〜
５．０μｍであることを特徴とする請求項１１記載の磁
気記録媒体。
【請求項１６】上記非磁性支持体は、長さ方向のヤン
グ率が１０００ｋｇ／ｍｍ²以上であり、幅方向のヤン
グ率が１３００ｋｇ／ｍｍ²以上であることを特徴とす
る請求項１１記載の磁気記録媒体。
【請求項１７】上記電子線感応性樹脂含有バックコー
ト層の厚みが、０．１〜０．６μｍであることを特徴と
する請求項１１記載の磁気記録媒体。
【請求項１８】非磁性支持体の一主面上に、少なくと
も金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法
において、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．５〜２．５％
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、上記金属磁性膜を成膜した後、当該金属磁性膜表面に形
成された表面酸化層をエッチングする工程と、上記非磁性支持体の金属磁性膜が成膜される側と反対側
の他主面に電子線感応性樹脂含有バックコート層を成膜
する工程と上記電子線感応性樹脂含有バックコート層に
電子線照射を施す工程と上記電子線照射を施した後、熱
履歴を加える工程とを有することを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法。
【請求項１９】上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が
成膜される側と反対側の他主面に上記電子線感応性樹脂
含有バックコート層を成膜した後、１００℃〜２５０℃
の熱処理を施すことを特徴とする請求項１８記載の磁気
記録媒体の製造方法。