JP2001093137A

JP2001093137A - 磁気記録媒体及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001093137A
Application number: JP26737999A
Authority: JP
Inventors: Jota Ito; 条太伊藤; Yuichi Arizaka; 裕一蟻坂; Yukihiko Ichikawa; 行彦市川; Yuichi Masuzawa; 雄一増澤; Kazuharu Iwasaki; 和春岩崎
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-09-21
Filing date: 1999-09-21
Publication date: 2001-04-06

Abstract

(57)【要約】【課題】非磁性支持体として芳香族ポリアミドフィル
ムを使用した場合においても適正な負カッピングを実現
する。【解決手段】非磁性支持体の一主面上に、少なくとも
金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、上
記非磁性支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからな
り、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．０〜１．
５％であり、上記金属磁性膜が成膜された一主面側が凸
となる方向に内部応力を有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体の一
主面上に金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体及び
その製造方法に関し、特に大容量のテープストリーマー
として用いて好適な磁気記録媒体及びその製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ミニコンピュータ、パーソナルコ
ンピュータなどのオフィスコンピュータの普及に伴っ
て、外部記憶媒体としてコンピュータデータを記録する
ための磁気テープ（いわゆる、テープストリーマー）の
研究が盛んに行われている。このような用途の磁気テー
プの実用化に際しては、特にコンピュータの小型化、情
報処理能力の増大と相まって記録の大容量化、小型化を
達成するために記録容量の向上が強く要求される。

【０００３】一方、ビデオカセット用の磁気記録媒体と
しては、ビデオカセットの小型化に伴い、より一層のコ
ンパクト化と長時間記録化が望まれている。

【０００４】また、磁気テープの使用環境の広がりによ
る幅広い環境条件下（特に、変動の激しい温湿度条件下
など）での使用、データ保存に対する信頼性、更に高速
での繰り返し使用による多数回走行におけるデータの安
定した記録、読み出し等の性能に対する信頼性なども従
来にまして要求されている。

【０００５】一般に、磁気テープは、合成樹脂などの可
撓性材料からなる非磁性支持体上に磁性層が設けられた
構成である。そして、上述したような大きい記録容量
（体積記録容量）を達成するためには、磁性層を強磁性
金属薄膜にすることにより磁性層自体の記録密度を高め
るとともに、磁気テープの全厚を薄くすることが有効な
方法であるとされている。すなわち、磁気テープとして
は、非磁性支持体上に、金属磁性薄膜を成膜してなる、
いわゆる蒸着テープが有効である。

【０００６】この蒸着テープにおいて、非磁性支持体と
しては、ポリエステル、主としてポリエチレンテレフタ
レートフィルムが用いられている。特に、ホームビデオ
カセットテープ、例えば、８ｍｍテープに用いられる非
磁性支持体としては、厚みが７〜１０μｍ程度のポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが用いられ、
コンピュータのデータバックアップ用のテープストリー
マーには、厚みが５〜７μｍ程度のポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）フィルムが用いられている。

【０００７】また、ビデオテープに使用される磁気記録
媒体の記録時間を延長するための方法としては、例え
ば、特開平６−２１５３５０号公報に記載されるよう
に、非磁性支持体としてポリエステルを主成分とし、更
に具体的にはポリエチレンナフタレートを用いるのが望
ましいとされている。

【０００８】一方、上述したようなポリエチレンテレフ
タレートやポリエチレンナフタレートフィルムに比べ強
度が高い芳香族ポリアミドフィルムを用いる検討もなさ
れている。この芳香族ポリアミドフィルムを非磁性支持
体として用いた磁気記録媒体は、強度が高いため、厚さ
を薄くすることが可能であり、ビデオカセットテープの
長時間記録化、テープストリーマーの大容量化に対応し
た磁気記録媒体として注目されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで蒸着テープ
は、その蒸着工程において強磁性金属薄膜が凝固する際
に収縮を起こすことが原因となり、外力を加えない状態
において、テープ幅方向の形状が磁性膜側を凹とするよ
うな変形、いわゆる正カッピングを生じる。図９に、蒸
着テープ７１に強磁性金属薄膜形成面７２側を凹とする
ような変形、すなわち正カッピングが生じた状態を示
す。また、図１０に、蒸着テープ７１に強磁性金属薄膜
形成面７２側を凸とするような変形、すなわち負カッピ
ングが生じた状態を示す。

【００１０】そして、蒸着テープに正カッピングが生
じ、その量が所定の限度量を超えると、磁気記録媒体と
ヘッドとの接触状態、すなわちヘッド当たりが悪くな
る。また、ヘッド当たりが悪い場合には、磁気記録媒体
がドラムに巻き付く際に磁気記録媒体の幅方向のエッジ
にダメージが入りやすくなる。そのため、蒸着工程以後
に、蒸着テープに生じた正カッピングを適当な負カッピ
ングに矯正する必要がある。

【００１１】そこで、非磁性支持体としてポリエチレン
テレフタレートやポリエチレンナフタレートを使用した
場合には、正カッピングを矯正するために、所定の圧力
とともに１００℃〜１５０℃程度の熱を加える、いわゆ
るホットロール処理が施されている。非磁性支持体とし
てポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレ
ートを使用した場合には、これらの材料に大きな熱収縮
率を持たせることができるため、テープ全体に数十〜２
００℃の熱を加えることにより非磁性支持体がテープ幅
方向に１％〜２％程度収縮し、容易に正カッピングを負
カッピングに矯正することができる。

【００１２】しかしながら、非磁性支持体として芳香族
ポリアミドフィルムを使用した場合には、ポリエチレン
テレフタレートやポリエチレンナフタレートを使用した
場合と事情が異なる。すなわち、芳香族ポリアミドフィ
ルムは、１％〜２％収縮させるためには２００℃以上の
温度の熱を加えることが必要となる。ところが、この温
度領域では、芳香族ポリアミドフィルムのみならず、強
磁性金属薄膜も熱収縮を起こしてしまうため、正カッピ
ングを負カッピングに矯正することができないのが実情
である。

【００１３】この問題を解決するための手法として、芳
香族ポリアミドフィルムの熱収縮率を極端に大きくする
方法が考えられる。しかし、現在の技術では、熱収縮率
の大きな芳香族ポリアミドフィルムを製造しようとした
場合、芳香族ポリアミドフィルム面内における熱収縮率
の均一性が悪くなり、形状を更に悪化させることがあ
る。非磁性支持体として、芳香族ポリアミドフィルムを
使用する理由が、高い機械強度を有して薄膜化に有利な
ためであることを考慮すると、このような形状の更なる
悪化は、非磁性支持体としての使用上、許容されない。
このため、芳香族ポリアミドフィルムの熱収縮を大きく
するといった手法を用いることはできず、芳香族ポリア
ミドフィルムを非磁性支持体として用いる場合には、正
カッピングの矯正を有効に行うことができないといった
問題点があった。

【００１４】そこで、本発明は、このような技術的背景
に基づいて創案されたものであり、非磁性支持体として
芳香族ポリアミドフィルムを使用した場合においても適
正な負カッピングを実現できる磁気記録媒体及びその製
造方法を提供することを目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、非磁性支持体の一主面上に少なくとも金属磁性膜
が成膜されてなる磁気記録媒体において、上記非磁性支
持体は、芳香族ポリアミドフィルムからなり、幅方向に
おける２００℃の熱収縮率が１．０〜１．５％であり、
上記非磁性支持体は、上記金属磁性膜が成膜された一主
面側が凸となる方向に内部応力を有することを特徴とす
るものである。

【００１６】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体は、非磁性支持体の幅方向の２００℃の熱膨張
率を上述したように規定され、金属磁性膜側が凸となる
方向に内部応力を有することとなる。すなわち、磁気記
録媒体は、金属磁性膜が成膜された一主面側が凸となる
方向にカッピングを生じる。

【００１７】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、非磁性支持体の一主面上に少なくとも金属磁性膜
を成膜する磁気記録媒体の製造方法において、芳香族ポ
リアミドフィルムからなり、幅方向における２００℃の
熱収縮率が１．０〜１．５％である非磁性支持体の一主
面上に上記金属磁性膜を成膜し、ロール表面温度が１８
０℃〜２７０℃に保たれた第１のロールとロール表面温
度が４０℃〜１３０℃に保たれた第２のロールとの間
に、上記金属磁性膜が上記第２のロールと接するように
上記非磁性支持体を通過させることにより熱履歴を加え
ることを特徴とするものである。

【００１８】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法は、
非磁性支持体に幅方向における２００℃の熱収縮率が
１．０〜１．５％である芳香族ポリアミドフィルムを用
い、当該非磁性支持体の一主面上に金属磁性膜を成膜し
た後、ロール表面温度が１８０℃〜２７０℃に保たれた
第１のロールとロール表面温度が４０℃〜１３０℃に保
たれた第２のロールとの間を通過させることにより熱履
歴を加える。したがって、磁気記録媒体は、所定の方
向、すなわち、金属磁性膜が成膜された一主面側が凸と
なる方向に内部応力を有することとなり、金属磁性膜が
成膜された一主面側が凸となる方向にカッピングが生じ
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気記録媒体
及びその製造方法の好適な実施の形態を、図面を参照し
て詳細に説明する。

【００２０】本発明を適用した磁気記録媒体は、図１に
示すように、非磁性支持体１と、この非磁性支持体１の
一主面１ａ上に成膜された金属磁性膜２と、金属磁性膜
２上に成膜されたカーボン保護膜３と、非磁性支持体１
の他主面１ｂ上に形成されたバックコート層４とを備え
るものである。また、この磁気記録媒体において、非磁
性支持体１は、芳香族ポリアミドフィルムからなる。

【００２１】以下、非磁性支持体１、金属磁性膜２、カ
ーボン保護膜３及びバックコート層４、並びに、バック
コート層４に用いられる結合剤及び添加剤について順に
詳述する。

【００２２】非磁性支持体１まず、非磁性支持体１は、上述したように、幅方向にお
ける２００℃の熱収縮率が１．０〜１．５％である芳香
族ポリアミドフィルムから構成されている。この非磁性
支持体１は、芳香族ポリアミドフィルムを用いることに
より、引っ張り強度などの物性において優れており、全
体としての厚みが非常に薄い場合でもポリエチレンテレ
フタレートやポリエチレンナフタレート等の厚みが厚い
ものと同等以上の強度を有している。

【００２３】芳香族ポリアミドフィルムは、例えば、下
記式（Ｉ）及び／又は（ＩＩ）で表される芳香族ポリア
ミドを、５０％モル以上、好ましくは７０モル％以上含
有している。

【００２４】

【化１】

【００２５】なお、上記式において、Ｘ、Ｙは、−Ｏ
−，−ＣＨ₂−，−ＣＯ−，−ＳＯ₂−，−Ｓ−，−Ｃ
（ＣＨ₃）₂−等から選ばれるが、これに限定されるもの
ではない。更に、上記式において、芳香環上の水素原子
の一部が、ハロゲン基（特に、塩素）、ニトロ基、炭素
数１から３のアルキル基（特に、メチル基）、炭素数１
から３のアルコキシ基などの置換基で置換されているも
のであっても良く、また、重合体を構成するアミド結合
中の水素が他の置換基によって置換されていても良い。

【００２６】また、芳香族ポリアミドフィルムは、剛性
を高くする観点から、芳香環がパラ位で結合されたもの
が、全芳香環の６０％以上、より好ましくは８０％以上
を占める重合体であることが好ましい。また、吸湿性を
小さくする観点から芳香環上の水素原子の一部がハロゲ
ン基（特に、塩素原子）、ニトロ基、炭素数１から３の
アルキル基（特に、メチル基）、炭素数１から３のアル
コキシ基などで置換された芳香環が全体の３０％以上を
占める重合体であることが好ましい。

【００２７】更に、芳香族ポリアミドフィルムとして
は、上記式（Ｉ）及び／又は上記式（ＩＩ）で表される
繰り返し単位を５０モル％以上含むものであって、５０
モル％未満は他の繰り返し単位、例えば、芳香族ポリイ
ミド単位や他の芳香族ポリアミド単位などが共重合、又
はブレンドしてなる重合体を使用することができるが、
全芳香族ポリアミド（アラミド）を用いることが好まし
い。

【００２８】更にまた、この非磁性支持体１において
は、芳香族ポリアミドフィルムの構成は複合構造であっ
ても良い。すなわち、この非磁性支持体１は、複数の芳
香族ポリアミドフィルムが積層されてなるようなもので
あっても良い。

【００２９】この場合、各層を構成する芳香族ポリアミ
ドフィルムは、上記式で表される重合体を主体とするも
のであれば、各層が同一組成であっても、異なっていて
も差し支えない。しかしながら、生産性の観点から、各
層が同一組成である方が有利である。例えば図２に、非
磁性支持体１が、第１の芳香族ポリアミドフィルム５と
第２の芳香族ポリアミドフィルム６との２層構造からな
る構成例を示す。

【００３０】複数の芳香族ポリアミドフィルムを積層す
るには、各層を構成する複数の原液を公知の方法、例え
ば、特開昭５６ー１６２６１７号公報に記載されるよう
に、合流管で積層したり、口金内で積層して形成するこ
とができる。

【００３１】ところで、この芳香族ポリアミドフィルム
を作製する際には、まず、芳香族ポリアミドをＮ−メチ
ル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）に溶解させてなる溶液
を、温度１００℃〜２００℃のベルト上に流延し、１０
０℃〜２５０℃の熱風で加熱を行い溶媒を蒸発させるこ
とにより自己保持性を有するフィルムを得る。その後、
このフィルムを、長手方向、幅方向にそれぞれ１．０〜
２．０倍に延伸しながら乾燥と熱処理を行うことによっ
て、芳香族ポリアミドフィルムが作製される。

【００３２】このとき、芳香族ポリアミドフィルムで
は、長手方向及び幅方向に延伸される際の延伸倍率及び
熱処理条件等を調節することによって、長手方向及び幅
方向のヤング率を制御することができる。

【００３３】具体的に、非磁性支持体１は、厚さが２．
５μｍ〜５．０μｍであり、長さ方向のヤング率が１０
００ｋｇ／ｍｍ²以上であり、及び幅方向のヤング率が
１３００ｋｇ／ｍｍ²以上であることが好ましい。この
ように、非磁性支持体１の厚み及びヤング率を規定する
ことによって、所望の強度が得られるとともに、磁気記
録媒体としての厚みを薄型化することが可能となり、記
録時間の長時間化及び記録量の大容量化に対応させるこ
とができる。

【００３４】また、この非磁性支持体１には、磁気記録
媒体の製造工程でのハンドリング性あるいは磁性層表面
を適度な粗さにし、磁気記録媒体の高い走行耐久性を得
るため、不活性粒子を添加することが望ましい。

【００３５】この非磁性支持体１中に添加される不活性
粒子としては、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＣａＳＯ
₄、ＢａＳＯ₄、ＣａＣＯ₃、カ−ボンブラック、ゼオラ
イト、その他の金属微粉末などの無機粒子や、シリコン
粒子、ポリイミド粒子、架橋共重合体粒子、架橋ポリエ
ステル粒子、テフロン粒子などの有機高分子などを使用
することができる。なかでも、耐熱性の観点からは、上
述した無機粒子を使用することが好ましい。

【００３６】この不活性粒子の添加方法としては、粒子
を予め溶媒中に十分スラリー化した後、重合用溶媒又は
希釈用溶媒として使用する方法や、原液を調製した後に
直接添加する方法などがある。

【００３７】また、この非磁性支持体１が複数の芳香族
ポリアミドフィルムからなる場合、各層に対して異なる
平均粒径を有する不活性粒子を添加することが好まし
い。具体的に、金属磁性膜２が成膜される面を構成する
芳香族ポリアミドフィルムには、平均粒径が比較的小で
ある不活性粒子が添加され、金属磁性膜２が成膜される
面とは反対側の面を構成する芳香族ポリアミドフィルム
には、平均粒径が比較的大である不活性粒子が添加され
ることが好ましい。

【００３８】このように、金属磁性膜２が成膜される芳
香族ポリアミドフィルムに平均粒径が比較的小の不活性
粒子を添加することによって、この金属磁性膜２が成膜
される面の表面粗さを低く抑えることができる。これに
より、金属磁性膜２が所望の表面性を有することとなり
磁気記録媒体の優れた電磁変換特性を確保することがで
き、また、金属磁性膜２表面の粗大突起が形成されにく
いため、ドロップアウト等の発生を抑えることができ、
磁気記録媒体の走行安定性を確保することができる。

【００３９】また、これに対して、金属磁性膜２が成膜
される面とは反対側の芳香族ポリアミドフィルムに平均
粒径が比較的大の不活性粒子を添加することによって、
バックコート層４が形成される面の表面粗さを比較的に
大とすることができる。これにより、バックコート層４
の表面粗さを比較的に大とすることができ、製造工程に
おけるハンドリング特性を向上させることができる。

【００４０】より具体的には、バックコート層４が形成
される芳香族ポリアミドフィルムに含有される不活性粒
子の平均粒径は、０．０５〜１．５μｍであることが好
ましい。また、この芳香族ポリアミドフィルムに含有さ
れる不活性粒子の添加量は、０．０５〜２．０ｗｔ％で
あることが好ましく、更に、０．１〜１．０ｗｔ％であ
ることがより好ましい。

【００４１】また、金属磁性膜２が成膜される芳香族ポ
リアミドフィルムに含有される不活性粒子は、金属磁性
膜２表面の平滑性と易滑性を向上させるため、平均粒径
が、０．０３〜０．１５μｍ、添加量が、０．０１ｗｔ
％〜１ｗｔ％であることが好ましい。

【００４２】更に、この非磁性支持体１では、金属磁性
膜２を成膜する一主面表面の表面粗さ（ＳＲａ）が１．
５ｎｍ〜５．０ｎｍであることが好ましく、更に、２．
０〜３．５ｎｍであることがより好ましい。この表面粗
さ（ＳＲａ）は、芳香族ポリアミドフィルム中に添加さ
れる不活性粒子の大きさや添加量、あるいは非磁性支持
体１の層構成によって調節される。このように、金属磁
性膜２を成膜する一主面表面の表面粗さ（ＳＲａ）を
１．５ｎｍ〜５．０ｎｍとすることによって、磁気記録
媒体の良好な電磁変換特性と走行耐久性を確保すること
ができる。

【００４３】更に、この非磁性支持体１において、バッ
クコート層４形成面側の表面の表面粗さ（ＳＲａ）は、
芳香族ポリアミドフィルム中に添加される不活性粒子の
大きさ及び添加量によって調節され、製造工程における
ハンドリング性の観点から、できるだけ大きい方が望ま
しい。しかしながら、この表面粗さ（ＳＲａ）が大きす
ぎると、金属磁性層２を成膜した後、巻き取ってロール
状にした際の裏移りの影響が大きくなるため、４ｎｍ〜
１５ｎｍ、好ましくは５ｎｍ〜１０ｎｍとされる。

【００４４】更にまた、この非磁性支持体１は、長手方
向と直交する方向、すなわち幅方向における２００℃の
熱収縮率が１．０〜１．５％となっている。非磁性支持
体１は、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．０〜
１．５％とされることにより、所定の熱履歴を加えられ
た場合、金属磁性膜２が成膜された一主面側が凸となる
方向に内部応力を有することとなる。また、熱収縮率
は、芳香族ポリアミドフィルムを長手方向及び幅方向に
延伸する際の延伸倍率及び熱処理条件等を調節すること
によって制御される。

【００４５】更にまた、この非磁性支持体１は、厚さ
２．５μｍ〜５．０μｍとすることが好ましい。非磁性
支持体１の厚みを２．５〜５．０μｍとすることによ
り、所望の強度が得られるとともに、磁気記録媒体の厚
みを薄くして大容量化に対応させることができる。

【００４６】更にまた、この非磁性支持体１は、金属磁
性膜２が成膜される一主面側の表面に１０³〜１０⁵個／
ｍｍ²の密度で突起が形成されていることが好ましい。

【００４７】このように、一主面側の表面に１０³〜１
０⁵個／ｍｍ²の密度で突起が形成されることによって、
金属磁性膜２の表面性を所望な状態とすることができ
る。言い換えると、一主面側の表面に１０³〜１０⁵個／
ｍｍ²の密度で突起が形成されることによって、金属磁
性膜２の表面は、所望の表面粗さを有することになる。
これにより、磁気記録媒体は、走行耐久性及び電磁変換
特性に優れたものとなる。

【００４８】金属磁性膜２次に、金属磁性膜２は、上述した非磁性支持体１の一主
面１ａ上に成膜されるものである。

【００４９】このとき、金属磁性膜２は、例えば、図３
に示すような連続巻き取り式の真空蒸着装置等を用いて
形成される。

【００５０】この真空蒸着装置１１は、いわゆる斜方蒸
着用として構成され、内部が例えば約１０^-3（Ｐａ）程
度の真空状態とされた真空室１２内に、例えば−２０℃
程度に冷却され、図中の反時計回り方向（矢印Ａ方向）
に回転する冷却キャン１３と対向するように金属磁性膜
２用の蒸着源１４とが配置されている。

【００５１】蒸着源１４は坩堝等の容器にＣｏ等の強磁
性金属材料が収容されたものであり、この蒸着源１４
（強磁性金属材料）に対し、電子ビーム発生源１５から
電子ビーム１６を加速照射して強磁性金属材料を加熱、
蒸発させ、これを図中の反時計回り方向に回転する供給
ロール１８から図中の矢印Ｂ方向に繰り出され、冷却キ
ャン１３の周面に沿って走行する非磁性支持体１上に付
着（蒸着）させることによって金属磁性膜２を形成す
る。そして、金属磁性膜２が形成された非磁性支持体１
は、巻き取りロール１９に巻き取られる。

【００５２】このとき、蒸着源１４と冷却キャン１３と
の間には防着板２０を設け、この防着板２０にシャッタ
２１を位置調整可能に設けて、非磁性支持体１に対して
所定の角度で入射する蒸着粒子のみを通過させる。こう
して斜め蒸着法によって金属磁性膜２が形成されるよう
になされている。

【００５３】なお、供給ロール１８と冷却キャン１３と
の間、及び冷却キャン１３と巻き取りロール１９との間
にはそれぞれガイドローラー２２、２３が配置され、供
給ロール１８から冷却キャン１３、及びこの冷却キャン
１３から巻き取りロール１９に従って走行する非磁性支
持体１に所定のテンションをかけ、非磁性支持体１が円
滑に走行するようになされている。

【００５４】更に、このような金属磁性膜２の蒸着に際
し、図示しない酸素ガス導入口を介して非磁性支持体１
の表面に酸素ガスが供給され、これによって金属磁性膜
２の磁気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られてい
る。また、蒸着源１４を加熱するためには、上述のよう
な電子ビームによる加熱手段の他、例えば、抵抗加熱手
段、高周波加熱手段、レーザ加熱手段等の公知の手段を
使用できる。

【００５５】以上は、斜め蒸着法によりＣｏ等からなる
強磁性金属材料を用いて成膜する例について説明した
が、強磁性金属材料を用いて成膜する方法としては、こ
の例の他に垂直蒸着法やスパッタリング法等の公知の薄
膜形成法が適用でき、また、強磁性金属材料としては、
Ｃｏの他にＮｉ、Ｆｅ等やこれらの合金を使用すること
ができる。ただし、非磁性支持体１との付着強度改善、
あるいは金属磁性膜２自体の耐性、耐摩耗性改善等の目
的から、蒸着時の雰囲気を酸素ガスが支配的となる雰囲
気としたとき得られる酸素を含む金属磁性膜２を使用す
ることが望ましい。また、金属磁性膜２の厚さは、０．
０５〜０．２５μｍ程度、好ましくは、０．１〜０．２
μｍ程度である。

【００５６】カーボン保護膜３この磁気記録媒体は、金属磁性膜２の摩耗を防止するた
め、金属磁性膜２上に、図４に示すようなマグネトロン
スパッタ装置３０等を用いて、カーボン保護膜３を形成
することが望ましい。

【００５７】このマグネトロンスパッタ装置３０は、外
側がチャンバ３１にて覆われている。そして、チャンバ
３１内は、真空ポンプ３２にて約１０^-4（Ｐａ）まで減
圧された後、真空ポンプ３２側へ廃棄するバルブ３３の
角度を全開状態から１０度まで絞ることにより排気速度
を落とし、ガス導入管３４からＡｒガスを導入して、真
空度が約０．８Ｐａとされる。

【００５８】マグネトロンスパッタ装置３０は、このチ
ャンバ３１内に、例えば−４０℃程度に冷却され、図中
の反時計回り方向（矢印Ａ方向）に回転する冷却キャン
３５と、この冷却キャン３５と対向配置されるターゲッ
ト３６とがそれぞれ設けられている。

【００５９】ターゲット３６は、カーボン保護膜３の材
料となるものであり、カソード電極を構成するバッキン
グプレート３７に支持されている。そして、バッキング
プレート３７の裏側には、磁場を形成するマグネット３
８が配設されている。このマグネトロンスパッタ装置３
０によりカーボン保護膜３を形成する際は、ガス導入管
３４からＡｒガスを導入するとともに、冷却キャン３５
をアノード、バッキングプレート３７をカソードとして
約３０００（Ｖ）の電圧を印加し、１．４Ａの電流が流
れる状態を保つようにする。

【００６０】この電圧の印加により、Ａｒガスがプラズ
マ化し、電離されたイオンがターゲット３６に衝突する
ことにより、ターゲット３６の原子がはじき出される。
このとき、バッキングプレート３７の裏側にはマグネッ
ト３８が配設されており、ターゲット３６の近傍に磁場
が形成されるので、電離されたイオンはターゲット３６
の近傍に集中されることになる。

【００６１】ターゲット３６からはじき出された原子
は、図中の反時計回り方向に回転する供給ロール３９か
ら図中の矢印Ｂ方向に繰り出され、冷却キャン３５の周
面に沿って走行する金属磁性膜２が成膜された非磁性支
持体１上に付着し、カーボン保護膜３が形成される。そ
して、カーボン保護膜３が形成された非磁性支持体１
は、巻き取りロール４１に巻き取られる。

【００６２】このカーボン保護膜３は、スペーシングロ
スを小さくし、かつ、金属磁性膜２の摩耗防止の効果を
得ることができるように、その厚さを３〜１５ｎｍ程
度、特に５〜１０ｎｍ程度とすることが好ましい。

【００６３】以上は、マグネトロンスパッタによりカー
ボン保護膜３を形成する例について説明したが、カーボ
ン保護膜３を形成する方法としては、この例の他に、イ
オンビームスパッタやイオンビームプレーティング法、
ＣＶＤ法等の公知の薄膜形成方法を用いることができ
る。

【００６４】また、この磁気記録媒体は、カーボン保護
膜３の表面に潤滑剤を存在せしめることが望ましい。こ
れにより、磁気記録媒体は、微細突起の形状に基づく走
行性改善効果を更に高めることが可能である。

【００６５】バックコート層４バックコート層４は、非磁性支持体１の金属磁性膜２が
成膜される面とは反対側の面に配設されている。このバ
ックコート層４は、主として、結合剤、カーボンブラッ
ク及び無機質粉末から構成される。具体的に、無機質粉
末としては、炭酸カルシウム、及びモース硬度５〜９の
無機質粉末が挙げられる。

【００６６】バックコート層４では、カーボンブラック
は、平均粒子サイズの異なる二種類のものを使用するこ
とが好ましい。この場合、その平均粒子サイズは、１０
〜２０ｎｍの微粒子状カーボンブラックと平均粒子サイ
ズが２３０〜３００ｎｍの粗粒子状カーボンブラックと
を使用することが好ましい。

【００６７】一般に、上述したような微粒子状のカーボ
ンブラックの添加により、バックコート層４の表面電気
抵抗を低く設定でき、また光透過率も低く設定できる。
磁気記録の装置によっては、テープの光透過率を利用
し、動作の信号に使用しているものが多くあるため、こ
のような場合には特に、微粒子状のカーボンブラックの
添加は有効になる。

【００６８】また、微粒子状カーボンブラックは、一般
に、潤滑剤に対する保持力に優れるため、潤滑剤を併用
することができ、その結果、摩擦係数を低減することが
可能となる。

【００６９】一方、粒子サイズが２３０〜３００ｎｍの
粗粒子状カーボンブラックは、固体潤滑剤としての機能
を有しており、表面に微小突起を形成することとなるた
め、接触面積を低減化して、摩擦係数を低減することが
可能となる。しかし、粗粒子状のカーボンブラックは、
過酷な走行系では、テープ摺動により、バックコート層
４からの脱落が生じ易くなり、エラー比率の増大につな
がる虞がある。

【００７０】具体的に、微粒子状カーボンブラックとし
ては、以下のものを挙げることができる。ＲＡＶＥＮ２
０００Ｂ（１８ｎｍ）、ＲＡＶＥＮ１５００Ｂ（１７ｎ
ｍ）（以上、コロンビアカーボン社製）、ＢＰ８００
（１７ｎｍ）（キャボット社製）、ＰＲＩＮＴＥＸ９０
（１４ｎｍ）、ＰＲＩＮＴＥＸ９５（１５ｎｍ）、ＰＲ
ＩＮＴＥＸ８５（１６ｎｍ）、ＰＲＩＮＴＥＸ７５（１
７ｎｍ）（以上、デグサ社製）、＃３９５０（１６ｎ
ｍ）（三菱化成工業（株）製）。また、粗粒子カーボン
ブラックとしては、サーマルブラック（２７０ｎｍ）
（カーンカルブ社製）、ＲＡＶＥＮＭＴＰ（２７５ｎ
ｍ）（コロンビアカーボン社製）を挙げることができ
る。

【００７１】バックコート層４において、平均粒子サイ
ズの異なる二種類のものを使用する場合、１０〜２０ｎ
ｍの微粒子状カーボンブラックと２３０〜３００ｎｍの
粗粒子状カーボンブラックの含有比率（重量比）は、微
粒子状カーボンブラック：粗粒子状カーボンブラック＝
９８：２〜７５：２５の範囲が好ましく、更に好ましく
は、９５：５〜８５：１５である。また、バックコート
層４におけるカーボンブラック（微粒子状と粗粒子状を
加えた場合においては、その全量）の含有量は、後述す
る結合剤１００重量部に対して、通常３０〜８０重量部
の範囲であり、好ましくは、４５〜６５重量部の範囲で
ある。

【００７２】一方、無機質粉末は、特にモース硬度が５
〜９のものが用いられることにより磁気記録媒体に繰り
返し走行耐久性を付与し、バックコート層４を強化する
ことができる。これらの無機質粉末を前記のカーボンブ
ラックや炭酸カルシウムとともに使用すると、そのフィ
ラー効果により、バックコート層４が、繰り返し摺動に
対しても劣化が少なく、強いバックコート層４となる。

【００７３】また、バックコート層４で使用する無機質
粉末を、モース硬度が５〜９と比較的高いものとする
と、バックコート層４の表面に適度の研磨力が生じ、ガ
イドポール等への付着が低減する。磁気記録媒体として
は、特に、バックコート層４に炭酸カルシウムと無機質
粉末とを併用すると、表面の粗いガイドポール等に対し
ての摺動特性が向上し、バックコート層４の摩擦係数の
安定化も図ることができる。なお、無機質粉末は、その
平均粒子サイズが８０〜２５０ｎｍの範囲のものである
ことが好ましく、更に好ましくは、１００〜２１０ｎｍ
の範囲のものである。

【００７４】この無機質粉末としては、例えば、α−酸
化鉄、α−アルミナ、及び酸化クロム（Ｃｒ₂Ｏ₃）を挙
げることができる。これらの無機質粉末は、それぞれ単
独で用いても良いし、あるいは併用しても良い。これら
の中では、α−酸化鉄又はα−アルミナが好ましい。モ
ース硬度が５〜９の無機質粉末の含有量は、カーボンブ
ラック１００重量部に対して通常３〜３０重量部であ
り、好ましくは、３〜２０重量部である。特に、バック
コート層４には、平均粒子サイズの異なる二種類のカー
ボンブラックと前記粒子サイズの炭酸カルシウムと、そ
して前記特定のモース硬度を有する無機質粉末が含有さ
れていることが好ましい。

【００７５】バックコート層４には、潤滑剤を含有させ
ることができる。潤滑剤は、上述したように、例えば、
脂肪酸、あるいは脂肪酸エステルを挙げることができ
る。脂肪酸としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、オ
クタン酸、２−エチルヘキサン酸、ラウリン酸、ミリス
チン酸、ステアリン酸、パルミチン酸、ベヘン酸、アラ
キン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、エライ
ジン酸、及びパルミトレイン酸等の脂肪族カルボン酸又
はこれらの混合物を挙げることができる。

【００７６】また、脂肪酸エステルとしては、例えば、
ブチルステアレート、ｓｅｃ−ブチルステアレート、イ
ソプロピルステアレート、ブチルオレエート、アミルス
テアレート、３−メチルブチルステアレート、２−エチ
ルヘキシルステアレート、２−ヘキシルデシルステアレ
ート、ブチルパルミテート、２−エチルヘキシルミリス
テート、ブチルステアレートとブチルパルミテートの混
合物、オレイルオレエート、ブトキシエチルステアレー
ト、２−ブトキシ−１−プロピルステアレート、ジプロ
ピレングリコールモノブチルエーテルをステアリン酸で
アシル化したもの、ジエチレングリコールジパルミテー
ト、ヘキサメチレンジオールをミリスチン酸でアシル化
してジオールとしたもの、そしてグリセリンのオレエー
ト等の種々のエステル化合物を挙げることができる。こ
れらのものは、単独で、あるいは組み合わせて使用する
ことができる。

【００７７】バックコート層４において、潤滑剤は、結
合剤樹脂１００重量部に対して通常１〜５重量部の範囲
で添加されることが好ましい。

【００７８】また、バックコート層４に使用される結合
剤としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、反
応型樹脂やこれらの混合物を挙げることができる。

【００７９】熱可塑性樹脂の例としては、塩化ビニル、
酢酸ビニル、ビニルアルコ−ル、マレイン酸、アクリル
酸、アクリル酸エステル、塩化ビニリデン、アクリロニ
トリル、メタクリル酸、メタクリル酸エステル、スチレ
ン、ブタジエン、エチレン、ビニルブチラール、ビニル
アセタール、及びビニルエーテルを構成単位として含む
重合体、あるいは共重合体を挙げることができる。共重
合体としては、例えば、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル
−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−ア
クリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−塩化ビ
ニリデン共重合体、アクリル酸エステル−スチレン共重
合体、メタアクリル酸エステル−アクリロニトリル共重
合体、メタアクリル酸エステル−塩化ビニリデン共重合
体、メタアクリル酸エステル−スチレン共重合体、塩化
ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ブタジエン−
アクリロニトリル共重合体、スチレン−ブタジエン共重
合体、クロロビニルエーテル−アクリル酸エステル共重
合体を挙げることができる。上記の他に、ポリアミド樹
脂、繊維素系樹脂（セルロースアセテートブチレート、
セルロースダイアセテート、セルロースプロピオネー
ト、ニトロセルロースなど）、ポリ弗化ビニル、ポリエ
ステル樹脂、ポリウレタン樹脂、各種ゴム系樹脂等も例
示することができる。

【００８０】また、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂として
は、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレ
タン硬化型樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹
脂、アクリル系反応樹脂、ホルムアルデヒド樹脂、シリ
コン樹脂、エポキシ−ポリアミド樹脂、ポリエステル樹
脂とポリイソシアネートプレポリマーの混合物、ポリエ
ステルポリオールとポリイソシアネートの混合物、ポリ
ウレタンとポリイソシアネートの混合物を挙げることが
できる。

【００８１】一方、上述したような結合材には、より優
れた分散性と耐久性を向上させるために必要に応じて、
−ＣＯＯＭ、−ＳＯ₃Ｍ、−ＯＳＯ₃Ｍ、−Ｐ＝Ｏ（Ｏ
Ｍ）₂、−Ｏ−Ｐ＝Ｏ（ＯＭ）₂、（Ｍは、水素原子、又
はアルカリ金属塩基を表す。）−ＯＨ、−ＮＲ₂、−Ｎ⁺
Ｒ³（Ｒは、炭化水素を表す。）、エポキシ基、−Ｓ
Ｈ、−ＣＮ等から選ばれる少なくとも一つの極性基を共
重合又は付加反応で導入することが好ましい。このよう
な極性基は、１０^-1〜１０^-8モル／ｇ（更に好ましく
は、１０^-2〜１０^-6モル／ｇ）の量で導入されているこ
とが好ましい。

【００８２】また、結合剤中に含有されるポリイソシア
ネートとしては、例えば、トリレンジイソシアネート、
４−４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサ
メチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネー
ト、ナフチレン−１，５−ジイソシアネート、ｏ−トル
イジンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネー
ト、トリフェニルメタントリイソシアネートなどのイソ
シアネート類、これらのイソシアネート類とポリアルコ
ールとの生成物、及びイソシアネート類の縮合によって
生成したポリイソシアネ−トを挙げることができる。

【００８３】更にまた、結合剤は、非磁性粉末１００重
量部に対して、５〜１００重量部（好ましくは１０〜８
０重量部）の範囲で用いられることが好ましい。

【００８４】添加剤添加剤としては、バックコート層４を形成する塗布液
に、カーボンブラックや非磁性粉末等を結合剤中に良好
に分散させるために添加される分散剤を挙げることがで
きる。また、添加剤としては、必要に応じて添加され
る、可塑剤、カーボンブラック以外の導電性粒子（帯電
防止剤）、防黴剤等を挙げることができる。

【００８５】分散剤分散剤としては、例えば、カプリル酸、カプリン酸、ラ
ウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン
酸、ベヘン酸、オレイン酸、エライジン酸、リノール
酸、リノレン酸、ステアロール酸等の炭素数１２〜１８
個の脂肪酸（ＲＣＯＯＨ、Ｒは炭素数１１〜１７個のア
ルキル基、又はアルケニル基）、前記脂肪酸のアルカリ
金属又はアルカリ土類金属からなる金属石けん、前記の
脂肪酸エステルのフッ素を含有した化合物、前記脂肪酸
のアミド、ポリアルキレンオキサイドアルキルリン酸エ
ステル、レシチン、トリアルキルポリオレフィンオキシ
第四級アンモニウム塩（アルキルは炭素数１〜５個、オ
レフィンは、エチレン、プロピレンなど）、硫酸塩、及
び銅フタロシアニン等を使用することができる。これら
は、単独でも組み合わせて使用しても良い。特に、バッ
クコート層４には、オレイン酸銅、銅フタロシアニン、
及び硫酸バリウムを組み合わせて使用することが好まし
い。また、分散剤は、結合剤樹脂１００重量部に対して
０．５〜２０重量部の範囲で添加される。

【００８６】更に、この磁気記録媒体は、その表面、裏
面、又はそれらの近傍あるいはカーボン保護膜３、金属
磁性膜２内の空隙、カーボン保護膜３と金属磁性膜２と
の界面、金属磁性膜２と非磁性支持体１との界面、非磁
性支持体１内等に、必要に応じて公知の手段で防錆剤、
帯電防止剤、防黴剤等の各種添加剤を存在せしめること
ができる。

【００８７】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体は、例えば図５に示す工程にしたがって作製す
ることができる。

【００８８】すなわち、まず、ステップＳ１で芳香族ポ
リアミドフィルムにより非磁性支持体１を作製する。

【００８９】次に、ステップＳ２で非磁性支持体１の一
主面上に金属磁性膜２を形成する。

【００９０】次に、ステップＳ３で金属磁性膜２上にカ
ーボン保護膜３を形成する。

【００９１】次に、ステップＳ４で金属磁性膜２及びカ
ーボン保護膜３を形成した非磁性支持体１に対してホッ
トロール処理を施す。

【００９２】次に、ステップＳ５でホットロール処理を
施した非磁性支持体１の、金属磁性膜２を形成した側と
反対側の主面にバックコート層４を形成する。

【００９３】次に、ステップＳ６で金属磁性膜２上に潤
滑剤を塗布し、潤滑層を形成する。

【００９４】以上の工程を経ることにより、非磁性支持
体１上に金属磁性膜２、カーボン保護層３、バックコー
ト層４及び潤滑層が形成された磁気記録媒体を作製する
ことができる。

【００９５】ここで、この磁気記録媒体においては、ホ
ットロール処理を下記の手法により行う。

【００９６】磁気記録媒体を作製する際には、例えば図
６に示すようなホットロール装置５０を用いて、ホット
ロールを行う。

【００９７】ホットロール装置５０は、第１のロール５
１と、金属磁性膜２が成膜された非磁性支持体１を介し
て第１のロール５１と対向して配設された第２のロール
５２と、第２のロール５２と接続された冷却水循環機５
３と、第１のロール５１及び第２のロール５２表面に対
向してそれぞれ配された一対のロール表面温度測定器５
４とを備える。

【００９８】第１のロール５１は、非磁性支持体１に熱
を加えるためのロールであり、金属製で円筒状の形状を
呈する。第１のロール５１の直径は、特に限定されるこ
とはなく、例えば直径４００ｍｍのものを用いることが
できる。また、第１のロール５１の長さも特に限定され
ることはなく、磁気記録媒体の全幅に対してホットロー
ルを施せる長さを有していれば良い。

【００９９】第１のロール５１は、内部に図示しない加
熱用の加熱誘導コイルを有し、これにより、第１のロー
ル５１の表面温度を例えば１００℃から３００℃の範囲
で自在にコントロールすることができるようにされてい
る。すなわち、第１のロール５１は、１８０℃〜２７０
℃の範囲において使用する。第１のロール５１の表面温
度が１８０℃よりも低い場合、非磁性支持体１に与えら
れる熱量が少なすぎるため、非磁性支持体１の収縮量が
少なくなり、所望のカッピングを得ることができない。
また、第１のロール５１の表面温度が２７０℃よりも高
い場合、非磁性支持体１に与えられる熱量が多すぎるた
め、非磁性支持体１の収縮量が多くなり所望のカッピン
グを得ることができない。したがって、第１のロール５
１の表面温度を１８０℃〜２７０℃の範囲においてホッ
トロールを施すことにより、非磁性支持体１を所定量だ
け収縮させることができ、所望のカッピングを得ること
ができる。

【０１００】また、第１のロール５１の表面温度は、ロ
ール表面温度測定器５４で測定したロール表面温度デー
タを基にコントロールされる。

【０１０１】第２のロール５２は、非磁性支持体１に加
えられた熱を吸収し、非磁性支持体１の金属磁性膜２が
形成された側の一主面のみを冷却するためのロールであ
り、金属製で円筒状の形状を呈し、かつ内部に軸方向に
貫通する空洞を有している。空洞には、冷却水循環機５
３と接続されて冷却水が流されるパイプ５５が装着され
ている。

【０１０２】第２のロール５２の直径は、特に限定され
ることはないが、第１のロール５１の直径よりも小さい
ことが好ましく、例えば１００ｍｍのものを用いること
ができる。また、第１のロール５１の長さも特に限定さ
れることはなく、磁気記録媒体の全幅に対してホットロ
ールを施せる長さを有していれば良い。

【０１０３】第２のロール５２は、４０℃から１３０℃
の範囲において使用する。第２のロール５２の表面温度
が４０℃よりも低い場合、非磁性支持体１から吸収する
熱量が多くなりすぎるため、非磁性支持体１の収縮量が
少なくなり、所望のカッピングを得ることができない。
また、第２のロール５２の表面温度が１３０℃よりも高
い場合、非磁性支持体１から吸収する熱量が少なすぎる
ため非磁性支持体１の収縮量が多くなり所望のカッピン
グを得ることができない。したがって、第２のロール５
２の表面温度を４０℃〜１３０の範囲においてホットロ
ールを施すことにより、非磁性支持体１を所定量だけ収
縮させることができ、所望のカッピングを得ることがで
きる。

【０１０４】ホットロールを行う際は、冷却水の温度及
び流量を調整することにより、第２のロール５２の表面
温度をコントロールできるようにされている。すなわ
ち、第２のロール５２の表面温度は、冷却水循環機５３
により４０〜１３０℃に制御されている。また、第２の
ロール５２の表面温度は、ロール表面温度測定器５４で
測定したロール表面温度データを基にコントロールされ
る。ロール表面温度測定器５４は、ロール表面温度を測
定し、ロール表面温度をコントロールするためのデータ
としてフィードバックするためのものである。

【０１０５】また、第２のロール５２の表面は、例え
ば、図示しない厚さ２ｍｍのフッ素ゴムで覆われている
ことが好ましい。ここで、フッ素ゴムは、３００℃温度
まで耐えられる耐熱性を有している。第２のロール５２
の表面をフッ素ゴムで覆うことにより非磁性支持体１及
び第１のロール５１表面に傷を発生させることなくホッ
トロールを行うことができる。

【０１０６】第２のロール５２は、第１のロール５１と
反対方向に回転させられる。第１のロール５１と第２の
ロール５２とを反対方向に回転させることにより、非磁
性支持体１は、ホットロールを施される際、第１のロー
ル５１と第２のロール５２との回転力によりホットロー
ル装置５０に引き込まれ、また、排出される。

【０１０７】非磁性支持体１の走行速度は、５０〜２０
０ｍ／分が好ましく、例えば、１００ｍ／分とされる。
非磁性支持体１の走行速度が遅すぎる場合、非磁性支持
体１に与えられる熱量が多すぎるため非磁性支持体１の
収縮量が多くなり、所望のカッピングを得ることができ
ない虞がある。また、非磁性支持体１の走行速度が速す
ぎる場合、非磁性支持体１に与えられる熱量が少なすぎ
るため非磁性支持体１の収縮量が少なくなり、所望のカ
ッピングを得ることができない虞がある。

【０１０８】非磁性支持体１の第１のロール５１及び第
２のロール５２に対する抱き角度は、第１のロール５１
及び第２のロール５２の近接部を中心に非磁性支持体１
の投入側及び排出側ともに、第２のロール５２側に０〜
２０°傾けることが好ましく、例えば、５°とされる。
非磁性支持体１を第１のロール５１側に抱かせると非磁
性支持体１全体に熱が付加され、厚み方向での温度勾配
が生じないため、所望のカッピングを得ることができな
い虞がある。また、非磁性支持体１の第２のロール５２
に対する抱き角度が２０°よりも大きい場合、非磁性支
持体１と第２のロール５２との接触面積が大きく、非磁
性支持体１から吸収する熱量が多すぎるため、非磁性支
持体１の収縮量が少なくなり、所望のカッピングを得る
ことができない虞がある。

【０１０９】上記のように構成されたホットロール装置
５０は、図６に示すように非磁性支持体１を第１のロー
ル５１と第２のロール５２との間を通すことによりホッ
トロールを施す。この時、第１のロール５１と第２のロ
ール５２とは、互いに反対の方向に回転しているため、
非磁性支持体１は、その先端を２つのロールの間に投入
されることによりロールの回転力によりロール間に引き
込まれ、ホットロールが施された後、排出される。

【０１１０】ここで、非磁性支持体１をホットロール装
置５０に投入する際は、非磁性支持体１の金属磁性膜２
が形成された主面が第２のロール５２と接触するように
する。すなわち、非磁性支持体１の金属磁性膜２が形成
された側とは反対側の主面では、第１のロール５１と接
触することにより非磁性支持体１に熱が与えられる。そ
して、非磁性支持体１の金属磁性膜２が形成された側の
主面では、第２のロール５２と接触することにより非磁
性支持体１に与えられた熱が吸収され、冷却される。こ
うすることにより、非磁性支持体１の一主面を、具体的
には、非磁性支持体１の金属磁性膜２が形成された側と
は反対側の主面を集中的に加熱することができる。その
結果、非磁性支持体１の厚み方向に温度勾配が生じ、非
磁性支持体１の金属磁性膜２が形成されていない側の主
面が熱収縮し、その結果、非磁性支持体１の金属磁性膜
２が形成された側が凸となる、いわゆる負のカッピング
を得ることができる。

【０１１１】

【実施例】以下、上述した磁気記録媒体の具体的な実施
例及び比較例を記載し、本発明を更に具体的に説明す
る。なお、本実施例における種々の物性値及び特性は以
下に示す方法により測定したものである。

【０１１２】＜芳香族ポリアミドフィルムの熱収縮率の
測定＞芳香族ポリアミドフィルムの熱収縮率を測定する
際には、まず、測定対象サンプルを幅１０ｍｍ、長さ３
００ｍｍに裁断し、裁断されたサンプル表面に２００ｍ
ｍ間隔でマーキングする。次に、１５０℃あるいは２０
０℃に設定された熱風循環式炉にて、サンプルに対して
１ｋｇｆ／ｍｍ²の荷重下で１０分間熱収縮させる。そ
の後、サンプル表面のマーキングの間隔を測定し、熱収
縮率を算出した。

【０１１３】＜芳香族ポリアミドフィルムのヤング率の
測定＞芳香族ポリアミドフィルムのヤング率は、２５
℃、６５％ＲＨの条件下で、テンシロン型の引っ張り試
験機器を使用して測定した。

【０１１４】＜カッピングの測定＞カッピングの測定
は、図７に示すような光学顕微鏡６０を有するカッピン
グ測定装置を用いて行った。このカッピング測定装置で
は、まず、所定のテンションが負荷された磁気テープ６
１を一対のロール６２に掛け渡し、両端に重りを吊すこ
とによって磁気テープに１ｇ重の張力をかける。次に、
光学顕微鏡６０（倍率１００倍）を覗きながら駆動手段
６３を操作し、磁気テープ６１表面の幅方向における中
心部又は両端部に位置決めする。そして、このカッピン
グ測定装置では、光学顕微鏡６０が上下方向に駆動する
ことによって、磁気テープ６１の幅方向の中心部あるい
は両端部において、それぞれ焦点を合わせる。このと
き、カッピング測定装置では、光学顕微鏡６０の上下駆
動に連動するマイクロメータ６４にて、磁気テープ６１
の幅方向の中心部と両端部との高さ違いを測定し、この
高さの差分をカッピングとした。

【０１１５】このとき、磁気テープの金属磁性膜が形成
された一主面側を凹とする状態を正のカッピングとし、
逆に、磁気テープの金属磁性膜が形成された一主面側を
凸とする状態を負のカッピングとした。

【０１１６】＜テープ特性＞実施例及び比較例における
磁気テープの特性評価は、ソニー株式会社製のＡＩＴド
ライブＳＤＸ−Ｓ３００Ｃ（商品名）を改造したものを
用いて行った。記録は、相対速度１０．０４ｍ／ｓｅ
ｃ、最短記録波長０．３５μｍで行った。

【０１１７】走行耐久性走行耐久性を評価する際には、まず、長さが１７０ｍの
磁気テープを１０００パス走行させ、１パス走行後のエ
ラーレート及び１０００パス走行後のエラーレートを測
定した。そして、これら測定値を比較することによっ
て、走行耐久性を評価した。

【０１１８】ヘッドとの当たり特性ヘッドとの当たり特性を評価する際には、まず、磁気テ
ープ再生時の出力信号（当たり波形）を１トラック分で
見た場合の出力信号を測定した。そして、この出力信号
の最小値（ＭＩＮ）／最大値（ＭＡＸ）の値（％）を算
出することによって、ヘッドとの当たり特性を評価し
た。

【０１１９】エッジダメージ磁気テープのロード、アンロードを１００回繰り返した
後、磁気テープの幅方向の両端部に発生した傷を肉眼で
観察することによりエッジダメージを評価した。評価
は、エッジダメージがない場合を○、エッジダメージが
ある場合を×とした。

【０１２０】なお、上述した＜カッピングの測定＞及び
＜テープ特性＞については、磁気テープの状態が安定し
てから評価を行うために、原反テープを所定の幅にスリ
ットした後、６０℃、９０％ＲＨにおいて１００時間放
置した後に行った。

【０１２１】実施例１まず、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）中で平均
粒径０．１μｍの乾式シリカ粒子を分散させたスラリー
を用意した。

【０１２２】次に、重合槽にＮＭＰと上記スラリーを仕
込み、この中に芳香族ジアミン成分として８０モル％に
相当する２−クロルパラフェニレンジアミンと、２０モ
ル％に相当する４、４’−ジアミノジフェニルエ−テル
とを溶解させ、これに１００モル％に相当する２−クロ
ルテレフタル酸クロリドを添加し、２時間攪拌して重合
を完了した。これを水酸化リチウムで中和してポリマー
溶液を得た。なお、シリカ粒子の含有量は芳香族ポリア
ミドに対して０．１ｗｔ％であった。そして、このポリ
マー溶液をポリマー濃度が１０重量％、３０℃での溶液
粘度を３０００ポイズに調整して製膜原液とした。

【０１２３】次に、製膜原液を５μｍカットのフィルタ
−を通した後、１５０℃に保持された金属ベルト上に流
延し、１５０℃の熱風で加熱を行って溶媒を蒸発させ、
自己保持性を得た芳香族ポリアミドフィルムをベルトか
ら連続的に剥離した。

【０１２４】次に、ＮＭＰの濃度勾配をつけた水槽内へ
芳香族ポリアミドフィルムを導入して残存溶媒と中和で
生じた無機塩の水抽出を行い、テンターで水分の乾燥と
熱処理を行った。この間にフィルム長手方向と幅方向に
各々１．２倍、１．４倍延伸を行い、３１０℃で１．５
分間乾燥を行った後、２０℃／秒の速度で徐冷し、厚み
４μｍの非磁性支持体を得た。

【０１２５】次に、このようにして作製された非磁性支
持体を用いて、下記のような手法で磁気テープ原反を作
製した。

【０１２６】すなわち、図３に示したような連続巻き取
り式の蒸着装置１１を、その内部が１０^-3（Ｐａ）程度
の真空状態となるように排気し、上記の非磁性支持体
を、この蒸着装置にセッティングした。そして、連続真
空斜め蒸着法により、微量の酸素存在下において、非磁
性支持体の一主面１ａ上にＣｏからなる金属磁性膜を形
成した。蒸着の入射角は、非磁性支持体の法線方向が９
０〜４５度までであり、非磁性支持体の走行速度が５０
ｍ／分で、金属磁性膜の厚さが０．１８μｍとなるよう
に、電子ビームの強さを調節して作製した。

【０１２７】次に、図４に示したようなマグネトロンス
パッタリング装置を、その内部が１０^-4（Ｐａ）程度に
なるまで減圧した後、Ａｒガスを導入し、０．８Ｐａ程
度にした。そして、このマグネトロンスパッタリング装
置に金属磁性膜が形成された非磁性支持体をセッティン
グし、−４０℃に冷却した冷却キャン上を５ｍ／分の速
度で走行させて金属磁性膜上にカーボン保護膜を厚みが
８ｎｍとなるように形成した。

【０１２８】次に、図６に示すようなホットロール装置
を用いて、金属磁性膜及びカーボン保護膜が形成された
非磁性支持体に対して熱処理を施した。

【０１２９】第１のロールは、直径が４００ｍｍである
金属製の円筒であり、内部に加熱誘導コイルを有し、１
００℃〜３００℃の範囲でロールの表面温度を自由にコ
ントロールできるようにしてある。これに対して、第２
のロールは、直径が１００ｍｍで、内部に冷却水を循環
することができる空洞を有した金属ロールである。そし
て、第２のロールは、ロール表面が厚さ２ｍｍの３００
℃までの耐熱性を有するフッ素ゴムで覆われている。ま
た、第２のロールは、第２のロール内に循環させる冷却
水の温度及び流量を調整することにより、表面温度をコ
ントロールすることができる。

【０１３０】以上の２つのロールを回転させながら、金
属磁性膜及びカーボン保護膜が成膜された非磁性支持体
をホットロール装置に投入し、ホットロール処理を施し
た。この時、非磁性支持体は、金属磁性膜が形成された
一主面側が第２のロールに接するようにホットロール装
置に投入した。そして、ホットロール装置は、第１のロ
ールの表面温度を２００℃、第２のロールの表面温度を
５０℃に保つように制御した。

【０１３１】次に、下記の組成に準じてバック塗料を調
製した。

【０１３２】＜バック塗料組成＞カーボンブラック（旭社製，＃５０）１００重量部ポリエステルポリウレタン１００重量部（日本ポリウレタン（株）製、商品名Ｎ−２３０４）溶剤：メチルエチルケトン５００重量部トルエン５００重量部そして、調製されたバック塗料を、非磁性支持体の金属
磁性膜が成膜された一主面とは反対側の一主面に塗布、
乾燥することで厚さ０．５μｍのバックコート層を形成
した。

【０１３３】次に、バックコート層を形成した後、２０
０℃に加熱されたロールに金属磁性膜を接触させなが
ら、１００ｍ／ｍｉｎの速度で走行させた。

【０１３４】その後、カーボン保護膜上に、パーフルオ
ロポリエーテルよりなる潤滑剤のトップコート層を１０
ｎｍの厚みとなるように塗布した。

【０１３５】このようにして非磁性支持体上に金属磁性
膜、カーボン保護膜、バックコート層及びトップコート
層が形成されてなるテープ原反を、８ｍｍ幅にスリット
した後にカセット本体に収納してカセットテープを作製
した。

【０１３６】実施例２実施例２では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２００℃、第２のロールの表面温度を８０
℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセットテ
ープを作製した。

【０１３７】実施例３実施例３では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２００℃、第２のロールの表面温度を１１
０℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセット
テープを作製した。

【０１３８】実施例４実施例４では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２５０℃、第２のロールの表面温度を５０
℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセットテ
ープを作製した。

【０１３９】実施例５実施例５では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２５０℃、第２のロールの表面温度を８０
℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセットテ
ープを作製した。

【０１４０】実施例６実施例６では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２５０℃、第２のロールの表面温度を１１
０℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセット
テープを作製した。

【０１４１】実施例７実施例７では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の金属ベルトの加熱温度を３００℃としたこと以外は、
実施例３と同様にしてカセットテープを作製した。

【０１４２】実施例８実施例８では、芳香族ポリアミドフィルムの厚みを２．
５μｍとしたこと以外は実施例２と同様にしてカセット
テープを作製した。

【０１４３】実施例９実施例９では、芳香族ポリアミドフィルムの厚みを５．
０μｍとしたこと以外は、実施例２と同様にしてカセッ
トテープを作製した。

【０１４４】比較例１比較例１では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２００℃、第２のロールの表面温度を３０
℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセットテ
ープを作製した。

【０１４５】比較例２比較例２では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２００℃、第２のロールの表面温度を１４
０℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセット
テープを作製した。

【０１４６】比較例３比較例３では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２５０℃、第２のロールの表面温度を３０
℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセットテ
ープを作製した。

【０１４７】比較例４比較例４では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２５０℃、第２のロールの表面温度を１４
０℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセット
テープを作製した。

【０１４８】比較例５比較例５では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を１７０℃、第２のロールの表面温度を５０
℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセットテ
ープを作製した。

【０１４９】比較例６比較例６では、ホットロール処理における第１のロール
の表面温度を２８０℃、第２のロールの表面温度を５０
℃としたこと以外は、実施例１と同様にしてカセットテ
ープを作製した。

【０１５０】比較例７比較例７では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の金属ベルトの加熱温度を３１５℃としたこと以外は、
実施例５と同様にしてカセットテープを作製した。

【０１５１】特性評価実施例１乃至実施例９及び比較例１乃至比較例７におい
て作製したカセットテープに関して、上述したような物
性の評価及び特性の評価を行った。その結果を表１に示
す。なお、実施例１乃至実施例９及び比較例１乃至比較
例７において作製した磁気テープから金属磁性膜、カー
ボン保護膜及びバックコート層を除去した非磁性支持体
のカッピングも測定した。その結果を表１に併せて示
す。

【０１５２】

【表１】

【０１５３】表１の実施例１乃至実施例６及び比較例１
乃至比較例６の評価結果を比較することにより、２００
℃の幅方向の熱収縮率が１．０％である芳香族ポリアミ
ドフィルムを使用した実施例１乃至実施例６では、ホッ
トロール表面温度が２００℃〜２５０℃で、かつ第２の
ロールの表面温度が５０℃〜１１０度であるホットロー
ル処理条件において、極めて良好な負のカッピング状態
を呈しており、ヘッド当たりも良好なものとなってい
る。そして、１０００パス走行後のエラーレートも低く
抑えられており、また、エッジダメージも発生しないこ
とがわかった。

【０１５４】また、実施例１乃至実施例６を比較するこ
とにより、第１のロールの表面温度が高いほど、より負
に大きなカッピングが得られ、第２のロールの表面温度
に関しては、８０℃付近に設定することにより最も負に
大きなカッピングが得られることがわかった。

【０１５５】実施例４と比較例６との評価結果を比較す
ると、実施例４では、良好な負のカッピング状態を呈し
ているおり、ヘッド当たりも良好なものとなっている。
また、１０００パス走行後のエラーレートも低く抑えら
れている。一方、比較例６では、磁気テープにしわが入
ってしまい、評価することができなかった。これは、第
１のロールの表面温度が高すぎることに起因しており、
このことより、第１のロールの表面温度は、２８０℃よ
りも低く設定する必要のあることがわかった。

【０１５６】実施例１と比較例５との評価結果を比較す
ると、実施例１では、良好な負のカッピング状態を呈し
ており、ヘッド当たりも良好なものとなっている。ま
た、１０００パス走行後のエラーレートも低く抑えられ
ている。一方、比較例５では、正に大きなカッピング状
態を呈しており、ヘッド当たりも十分でなく、更に１０
００パス走行後のエラーレートも大きくなっている。こ
のことより、第１のロールの表面温度は、１７０℃より
も高く設定する必要のあることがわかった。

【０１５７】実施例３と実施例７との評価結果を比較す
ると、同条件でホットロール処理を行った場合、非磁性
支持体の２００℃での幅方向の熱収縮率が大きいほど、
負に大きなカッピングが得られることがわかった。

【０１５８】実施例１乃至実施例９及び比較例７の評価
結果を比較すると、実施例１乃至実施例９では、良好な
負のカッピング状態を呈しており、ヘッド当たりも良好
なものとなっている。また、１０００パス走行後のエラ
ーレートも低く抑えられている。一方、比較例７では、
正に大きなカッピング状態を呈しており、ヘッド当たり
も十分でなく、１０００パス走行後のエラーレートも大
きくなっている。このことより、最もカッピングが負に
大きくなるホットロール条件においても、非磁性支持体
の２００℃の幅方向の熱収縮率が１．０％未満である場
合は、十分なカッピング矯正効果が得られないことがわ
かった。そして、非磁性支持体の２００℃の幅方向の熱
収縮率を１．０％〜１．５％とすることにより、十分な
カッピング矯正効果を得ることができ、その結果とし
て、ヘッド当たりを良好なものとし、１０００パス走行
後のエラーレートも低く抑えることができることがわか
った。

【０１５９】実施例２、実施例８及び実施例９の評価結
果を比較することにより、非磁性支持体の厚みを２．５
μｍ〜５．０μｍとすることで、ホットロール処理によ
って、十分なカッピング矯正効果が得られることがわか
った。

【０１６０】また、実施例１乃至実施例７における磁気
テープのカッピングと、磁気テープから磁性膜及びバッ
クコート層を除去して非磁性支持体のみにして測定した
カッピングの値の関係を図８に示した。図８より、磁気
テープのカッピングは、非磁性支持体のカッピングより
も正側に大きく、非磁性支持体のカッピングが負に大き
いほど磁気テープのカッピングも負側に大きいことがわ
かる。

【０１６１】このことは、本発明の作用原理、すなわ
ち、非磁性支持体の一主面側に大きな熱を加えて非磁性
支持体の一主面側のみを大きく熱収縮させることにより
非磁性支持体に負のカッピングを生じさせ、これによ
り、磁気テープ全体としてのカッピングをコントロール
するということが、意図したとおりに効力を発揮してい
ることを表している。

【０１６２】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る磁気記録媒体は、非磁性支持体である芳香族ポリア
ミドフィルムの幅方向における２００℃の熱収縮率を所
定の値に規定し、所定の熱処理を施すことにより、非磁
性支持体において金属磁性膜が形成された主面側が凸と
なる方向にカッピングを生じ、形状安定性を有すること
となる。したがって、本発明に係る磁気記録媒体は、ヘ
ッドとの当たりが良好であって、高容量かつ優れた走行
安定性を有することとなる。

【０１６３】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．０〜
１．５％である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁
性支持体を用いており、かつ、非磁性支持体の厚み方向
に温度勾配を有するように熱処理を施すため、非磁性支
持体において金属磁性膜が形成された主面側が凸となる
方向にカッピングを生じさせることができ、形状安定性
を有する磁気記録媒体を作製することができる。したが
って、本発明に係る磁気記録媒体の製造方法は、ヘッド
との当たりが良好であって、高容量かつ優れた走行安定
性を有する磁気記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気記録媒体の一構成例の要部断
面図である。

【図２】本発明に係る磁気記録媒体の他の構成例の要部
断面図である。

【図３】金属磁性膜を成膜する際に用いられる連続巻き
取り式の真空蒸着装置の概略構成図である。

【図４】カーボン保護膜を形成する際に用いられるマグ
ネトロンスパッタ装置の概略構成図である。

【図５】本発明に係る磁気記録媒体の製造方法を示した
工程図である。

【図６】本発明に係る磁気記録媒体を作製する際に用い
るホットロール装置の一構成例を示した概略構成図であ
る。

【図７】カッピング測定装置の概略構成図である。

【図８】磁気テープのカッピングと、磁気テープから金
属磁性膜、カーボン保護膜及びバックコート層を除去し
て非磁性支持体のみにして測定したカッピングの値との
関係を示した図である。

【図９】テープに正カッピングが生じた状態を示す図で
ある。

【図１０】テープに負のカッピングが生じた状態を示す
図である。

【符号の説明】１非磁性支持体、２金属磁性膜、３カーボン保護
膜、４バックコート層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者市川行彦東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (72)発明者増澤雄一東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (72)発明者岩崎和春東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内Ｆターム(参考） 5D006 BB01 CB02 CB07 FA05 5D112 AA02 AA05 AA22 BA01 FA02 GB03 KK05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体の一主面上に、少なくとも
金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、上記非磁性支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからな
り、幅方向における２００℃の熱収縮率が１．０〜１．
５％であり、上記非磁性支持体は、上記金属磁性膜が成膜された一主
面側が凸となる方向に内部応力を有することを特徴とす
る磁気記録媒体。
【請求項２】上記非磁性支持体の厚みが、２．５〜
５．０μｍであることを特徴とする請求項１記載の磁気
記録媒体。
【請求項３】非磁性支持体の一主面上に、少なくとも
金属磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製造方法におい
て、芳香族ポリアミドフィルムからなり、幅方向における２
００℃の熱収縮率が１．０〜１．５％である非磁性支持
体の一主面上に上記金属磁性膜を成膜し、ロール表面温度が１８０℃〜２７０℃に保たれた第１の
ロールと、ロール表面温度が４０℃〜１３０℃に保たれ
た第２のロールとの間に、上記金属磁性膜が上記第２の
ロールと接するように上記非磁性支持体を通過させるこ
とにより熱履歴を加えることを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。