JP2000306934A - マトリクス状基板のディゲート方法及びモールド金型 - Google Patents

マトリクス状基板のディゲート方法及びモールド金型

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 マトリクス状基板の成形品より不要樹脂を樹
脂残りすることなく分離でき、しかも不要樹脂を回収し
易くしたマトリクス状基板のディゲート方法を提供す
る。 【解決手段】 成形品カル22に連結して基板6を横断
するように成形品ランナ23が形成され、該成形品ラン
ナ23から枝分かれした成形品ゲート24がマトリクス
状に配置された各成形品12に連絡して樹脂封止された
マトリクス状基板より不要樹脂をディケートするマトリ
クス状基板のディゲート方法において、成形品カル22
に連結する各成形品ランナ23の中途部に成形品V溝2
6が形成されており、樹脂封止後の基板6をツイストし
て成形品V溝26より成形品カル22を分離し、次いで
ゲートブレイクして成形品ランナ23及び成形品ゲート
24を基板6より分離する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はマトリクス状に成形
品が形成されたマトリクス状基板のディゲート方法及び
該ディゲート方法に好適に用いられるモールド金型に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体チップを搭載して樹脂封止
する基板としては、樹脂基板或いはリードフレームが用
いられ、また半導体装置の小型化により、樹脂封止装置
においても一度の樹脂封止動作で多数個樹脂封止できる
ように基板上にマトリクス状に樹脂封止部を形成する装
置が用いられている。このマトリクス状基板を用いて樹
脂封止された成形品は、モールド金型のポットからみて
最も遠い位置にあるキャビティ凹部迄の金型ランナの距
離が長いため、最短距離でモールド樹脂をキャビティ凹
部に供給するため、ポットから基板を横切るよう該基板
上にランナを形成してキャビティ凹部にモールド樹脂を
供給して樹脂封止している。
【0003】この場合、樹脂封止後の成形品より不要樹
脂(成形品ゲート、成形品ランナ、成形品カル)を分離
する際に、基板をツイストさせて成形品と成形品ゲート
との間にクラックを入れてから成形品カルや成形品ラン
ナをエジェクタピン等で突いて除去するとしても、成形
品ランナが長いため、基板をツイストした程度では確実
にディケードできないおそれがある。これに対し、成形
品より不要樹脂を樹脂残りすることなく除去する方法と
しては、例えば本件出願人が提案した特許第26754
17号に開示されているように、基板のランナ部分に透
孔を形成して樹脂封止した後、樹脂封止面とは反対側よ
りピンにより透孔位置で成形品ランナを押圧することに
より該成形品ランナと成形品ゲート及び成形品カルを一
体として除去する方法を提案した。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、不要樹
脂は、成形品ランナ、成形品ゲート及び成形品カルを一
体として成形品より分離されるため、該不要樹脂のサイ
ズが大きいためシュートの途中に引っ掛かってスクラッ
プボックスに落下し難い。また、不要樹脂のサイズが大
きいためスクラップボックスが満杯になり易く、作業者
が随時スクラップボックスを空にするよう交換する必要
があり、作業が煩わしくなるという課題もあった。
【0005】本発明は、従来技術の課題を解消すべくな
されたものであり、マトリクス状基板の成形品より不要
樹脂を樹脂残りすることなく分離でき、しかも不要樹脂
を回収し易くしたマトリクス状基板のディゲート方法及
び該ディゲート方法を採用するのに好適なモールド金型
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、成形品カル
に連結して基板を横断するように成形品ランナが形成さ
れ、該成形品ランナから枝分かれした成形品ゲートがマ
トリクス状に配置された各成形品に連絡して樹脂封止さ
れたマトリクス状基板より不要樹脂をディケートするマ
トリクス状基板のディゲート方法において、成形品カル
に連結する各成形品ランナの中途部に成形品V溝が形成
されており、基板をツイストして成形品V溝より成形品
カルを分離し、次いでゲートブレイクして成形品ランナ
及び成形品ゲートを基板より分離することを特徴とす
る。また、複数の成形品カルどうしが成形品サブランナ
により連結され該成形品サブランナの中途部にも成形品
V溝が形成されており、各成形品カルは各成形品ランナ
及び成形品サブランナと成形品V溝より切断して個片に
分離することを特徴とする。また、成形品より成形品カ
ルを個片に分離した後、基板を横断するよう形成された
成形品ランナ及び成形品ゲートは、基板の裏面側より押
圧することによりゲートブレイクして個片に分離するこ
とを特徴とする。また、成形品を離型するディゲートピ
ンと成形品ランナを押圧する突き押しピンの中心どうし
を結ぶ線分は、成形品ゲートの切断線と略直交するよう
配置されており、成形品ランナ及び成形品ゲートは、該
成形品ゲートの切断線に沿って曲げ応力を集中して作用
させてゲートブレイクすることを特徴とする。
【0007】また、このディゲート方法を採用するのに
好適なモールド金型は、封止樹脂を装填可能な複数のポ
ットと該ポットより延出する金型ランナとポットどうし
を連絡する金型サブランナが形成されたポットインサー
トと、マトリクス状に形成されたキャビティ凹部と該キ
ャビティ凹部に連絡する金型ゲート及び金型ランナが形
成されたキャビティインサートとを備え、ポットインサ
ートのポットに連絡する金型ランナ及び金型サブランナ
に金型V溝が形成されていることを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて詳細に説明する。本実施例はマトリクス状に成形
品が形成されたマトリクス状基板のディゲート方法及び
該ディゲート方法に好適に用いられるモールド金型につ
いて説明するものとする。図1はモールド金型の平面
図、図2(a)(b)はポットインサートの平面部分拡
大図及びモールド金型のポット周辺の部分断面図、図3
(a)はディゲート装置の部分平面図、図3(b)は同
図(a)の矢印A−A断面図、図3(c)は同図(a)
の矢印B−B断面図、図4(a)〜(e)は成形品カル
の分離動作を示す説明図、図5(a)〜(c)は成形品
ランナの分離動作を示す説明図、図6(a)(b)は分
離された成形品カル及び成形品ランナの説明図である。
【0009】図1及び図2を参照してモールド金型の概
略構成について説明する。1はモールド金型のうち下型
を示すものである。2はポットインサートであり、固形
の樹脂タブレット、液体樹脂、顆粒樹脂などの封止樹脂
を装填可能な複数のポット3が形成されている。該ポッ
ト3からは金型ランナ4が両側に延出して形成されてい
る。
【0010】5はキャビティインサートであり、被成形
品である基板(樹脂基板、リードフレーム等)6を収容
すると共に該基板6に搭載された半導体チップ等に対応
してマトリクス状に形成されたキャビティ凹部7が形成
されている。また、キャビティインサート5にはキャビ
ティ凹部7に連絡する金型ゲート8及び金型ランナ9が
形成されている。金型ゲート8は金型ランナ9より枝分
かれするように形成されている。また、金型ランナ9は
基板6を横切ってポットインサート2側の金型ランナ4
と連通するようになっている。
【0011】また基板6の金型ランナ9に相当する部位
には透孔10が形成されており(図3(c)参照)、該
透孔10も樹脂封止されるようになっている。また、上
型11(図2(b)参照)には、成形品カルの周辺部の
成形品ランナを離型させる上型ランナ用エジェクタピン
12や基板6を離型させる上型基板用エジェクタピン1
3が突き出し可能に設けられている。また、図1におい
て、キャビティインサート5には、成形品ランナを離型
させる下型ランナ用エジェクタピン14や基板6を離型
させる下型基板用エジェクタピン15、キャビティ凹部
7の成形品を離型するためのキャビティ用エジェクタピ
ン16が突き出し可能に設けられている。
【0012】図2(a)(b)において、ポットインサ
ート2のポット3に連絡する金型ランナ4には全て金型
V溝17が形成されている。この金型V溝17により、
後述するように成形品ランナ26に成形品V溝29が形
成される。また、図1において、ポットインサート2に
形成された複数のポット3間は金型サブランナ18によ
り連結されている。この金型サブランナ18は、各ポッ
ト3に装填される封止樹脂量にばらつきがある場合、成
形時の樹脂圧が異なることから樹脂バリが生じたり、成
形品質が低下したりするのを防止すべく、封止樹脂の過
不足分を金型サブランナ17を通して修正して均一に樹
脂封止するため設けられている。この金型サブランナ1
8の中途部にも金型V溝17が形成されている。
【0013】このように、モールド金型には、ポットイ
ンサート2のポット3に連絡する金型ランナ4やポット
3どうしを連絡する金型サブランナ18に金型V溝17
が各々形成されているので、樹脂封止後に成形品ランナ
26に成形品V溝29を形成できる(図4(a)参
照)。これによって成形品20より不要樹脂を除去する
際に、不要樹脂を成形品カル25とこれに連結する成形
品ランナ26とに分離し易く成形できるので、基板6よ
り不要樹脂を個片に分けて樹脂残りなく確実に除去する
ことができる。
【0014】次に樹脂封止後にモールド金型より離型し
た成形品をディゲートするディゲート装置の構成につい
て、図3(a)〜(c)を参照して説明する。モールド
金型より成形品を離型した基板6は、図示しないアンロ
ーダ等の搬送手段によりディゲート装置に搬送される。
ディゲート装置の基板受台19には、基板6の成形品2
0を下向きにして凹部21に収容して載置する基板受部
22が形成されている。この凹部21には、ディゲート
ピン23が突き出し可能に設けられている。このディゲ
ートピン23は先端部を成形品20に突き当てて支持し
ている(図3(b)参照)。また、ディゲート装置の突
き当てプレート(図示せず)には、突き押しピン24が
立設されており、基板6のランナ部に形成された透孔1
0より突き押し可能になっている(図3(c)参照)。
また、図3(a)に示すように、成形品20を離型する
ディゲートピン23と成形品ランナ26を押圧する突き
押しピン24の中心どうしを結ぶ線分D−Dは、成形品
ゲート27の切断線C−Cと略直交するよう配置されて
いる。
【0015】ここで、樹脂封止後のマトリクス状に成形
品20が形成された基板6より不要樹脂を分離する分離
工程について図4〜図6を参照して説明する。図4
(a)〜(c)において、樹脂封止後の基板6は、成形
品19に不要樹脂(成形品カル25、成形品ランナ2
6、成形品ゲート27、成形品サブランナ28)が一体
となったまま両側を例えばハンド(図示せず)によりチ
ャックされてディゲート装置に搬入される。成形品ラン
ナ26及び成形品サブランナ28には金型V溝17に対
応して成形品V溝29が形成されている(図4(a)参
照)。上記ハンドにより、基板6をツイストして成形品
ランナ26及び成形品サブランナ28に形成された成形
品V溝29に応力を集中させて各成形品カル25及び成
形品サブランナ28を個片に分離する(図4(b)
(c)参照)。この個片に分離された成形品カル25及
び成形品サブランナ28を図6(a)に示す。この成形
品カル25及び成形品サブランナ28は、図示しないス
クラップボックスに落下して回収される。尚、図4
(d)(e)に示すように、不要樹脂より成形品カル2
5のみを分離する方法としては、複数形成された成形品
カル25の上下より上下カル押さえ30,31により各
々クランプして(図4(d)参照)、隣接する上下カル
押さえ30,31を上下逆方向に各々押動することによ
り、成形品25を個片に分離するようにしても良い(図
4(e)参照)。
【0016】次に成形品ランナ26及び成形品ゲート2
7の分離動作について図5(a)〜(c)を参照して説
明する。成形品カル25を分離した後、基板6はディゲ
ート装置の基板受台19の基板受部22に載置される。
このとき成形品20は基板受部22の凹部21に収容さ
れディゲートピン23に支持されている(図5(a)参
照)。次に基板受台19に図示しない突き当てプレート
を突き当てて、突き押し押しピン24が基板6に形成さ
れた透孔10を挿通して該基板6の裏面側より成形品ラ
ンナ26を押圧すると共に、ディケートピン23を凹部
21内へ成形品20に若干突き出し(或いは固定でも良
い)、成形品ゲート27を成形品20よりゲートブレイ
クする(図5(b)参照)。このとき、図3(a)に示
すように、成形品ランナ26及び成形品ゲート27は、
ディゲートピン23と突き押しピン24の中心どうしを
結ぶ線分D−Dと略直交する成形品ゲート27の切断線
C−Cに沿って曲げ応力を集中して作用させてゲートブ
レイクできるので、成形品20よりゲート残りなく分離
することができる。これによって、基板6を横断するよ
う形成され各成形品20に連絡する成形品ランナ26及
び成形品ゲート27が、個片に分離される(図5(c)
参照)。この個片に分離された成形品ランナ26及び成
形品ゲート27を図6(b)に示す。この成形品ランナ
26及び成形品ゲート27は、図示しないスクラップボ
ックスに落下して回収される。
【0017】このように、不要樹脂は、成形品19より
成形品カル25及び成形品サブランナ28と成形品ラン
ナ26及び成形品ゲート27とに分けて分離されるの
で、比較的長く撓みが生じ易く分離し難い成形品ランナ
26を成形品カル25と分離して個々にディゲートして
いるので、不要樹脂の樹脂片や樹脂かすなどが基板面に
残留することがなく、確実に成形品ランナ26及び成形
品ゲート27を分離回収することができる。また、先ず
成形品カル25及び成形品サブランナ28を個片に分離
し、また成形品ランナ26及び成形品ゲート27を個片
に分離してスクラップの大きさを小さくして回収するの
で、落下時にシュートの途中に引っ掛かったり、スクラ
ップボックスがすぐに満杯になるという事態は起こり難
く、スクラップボックスの収納効率を向上させることが
でき、作業者が随時スクラップボックスを空にする作業
頻度が激減するため、作業負担を軽減することができ
る。
【0018】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、基板としては、マトリクス状に成形品20が形成
される基板6としては、樹脂基板、テープ基板やリード
フレーム等の金属フレームなど様々なものに適用でき
る。また、ディゲート装置の構成も、成形品カル25及
び成形品サブランナ28を分離する際に基板6をツイス
トして成形品V溝29より分離していたが、単に成形品
カル25をピンなどにより突いて成形品V溝29より分
離しても良い等、様々な改変をなし得ることは言うまで
もない。
【0019】
【発明の効果】本発明は前述したように、基板に形成さ
れた成形品より先ず成形品カルを分離し、次いでゲート
ブレイクして成形品ランナを分離するようにしたので、
比較的長く撓みが生じ易く分離し難い成形品ランナを成
形品カルと分離して個々にディゲートしているので、不
要樹脂の樹脂片や樹脂かすなどが金型面や基板面に残留
することがなく、確実に成形品ランナ及び成形品ゲート
を分離回収することができる。また、先ず成形品カルを
個片に分離し、次いで成形品ランナ及び成形品ゲートを
個片に分離して各スクラップのサイズを小さくして回収
するので、落下時にシュートなどの途中に引っ掛かった
り、スクラップボックスがすぐに満杯になるという事態
は起こり難く、スクラップボックスの収納効率を向上さ
せることができ、作業者が随時スクラップボックスを空
にする作業頻度が激減するため、作業負担を軽減するこ
とができる。また、モールド金型においては、ポットイ
ンサートのポットに連絡する金型ランナやポットどうし
を連絡する金型サブランナに金型V溝が形成されている
ので、樹脂封止後に成形品ランナに成形品V溝を形成で
きる。これによって、不要樹脂を成形品カルとこれに連
結する成形品ランナとに分離し易く成形できるので、基
板より不要樹脂を個片に分けて樹脂残りなく確実に除去
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】モールド金型の平面図である。
【図2】ポットインサートの平面部分拡大図及びモール
ド金型のポット周辺の部分断面図である。
【図3】ディゲート装置の部分平面図、矢印A−A断面
図、矢印B−B断面図である。
【図4】成形品カルの分離動作を示す説明図である。
【図5】成形品ランナの分離動作を示す説明図である。
【図6】分離された成形品カル及び成形品ランナの説明
図である。
【符号の説明】
1 下型 2 ポットインサート 3 ポット 4,9 金型ランナ 5 キャビティインサート 6 基板 7 キャビティ凹部 8 金型ゲート 10 透孔 11 上型 12 上型ランナ用エジェクタピン 13 上型基板用エジェクタピン 14 下型ランナ用エジェクタピン 15 下型基板用エジェクタピン 16 キャビティ用エジェクタピン 17 金型V溝 18 金型サブランナ 19 基板受台 20 成形品 21 凹部 22 基板受部 23 ディゲートピン 24 突き押しピン 25 成形品カル 26 成形品ランナ 27 成形品ゲート 28 成形品サブランナ 29 成形品V溝 30 上カル押さえ 31 下カル押さえ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 成形品カルに連結して基板を横断するよ
    うに成形品ランナが形成され、該成形品ランナから枝分
    かれした成形品ゲートがマトリクス状に配置された各成
    形品に連絡して樹脂封止されたマトリクス状基板より不
    要樹脂をディケートするマトリクス状基板のディゲート
    方法において、 前記成形品カルに連結する各成形品ランナの中途部に成
    形品V溝が形成されており、前記基板をツイストして前
    記成形品V溝より成形品カルを分離し、次いでゲートブ
    レイクして成形品ランナ及び成形品ゲートを前記基板よ
    り分離することを特徴とするマトリクス状基板のディゲ
    ート方法。
  2. 【請求項2】 複数の成形品カルどうしが成形品サブラ
    ンナにより連結され該成形品サブランナの中途部にも成
    形品V溝が形成されており、各成形品カルは各成形品ラ
    ンナ及び成形品サブランナと成形品V溝より切断して個
    片に分離することを特徴とする請求項1記載のマトリク
    ス状基板のディゲート方法。
  3. 【請求項3】 前記成形品より成形品カルを個片に分離
    した後、前記基板を横断するよう形成された成形品ラン
    ナ及び成形品ゲートは、前記基板の裏面側より押圧する
    ことによりゲートブレイクして個片に分離することを特
    徴とする請求項2記載のマトリクス状基板のディゲート
    方法。
  4. 【請求項4】 前記成形品を離型するディゲートピンと
    前記成形品ランナを押圧する突き押しピンの中心どうし
    を結ぶ線分は、前記成形品ゲートの切断線に略直交する
    よう配置されており、前記成形品ランナ及び成形品ゲー
    トは、該成形品ゲートの切断線に沿って曲げ応力を集中
    して作用させてゲートブレイクすることを特徴とする請
    求項3記載のマトリクス状基板のディゲート方法。
  5. 【請求項5】 封止樹脂を装填可能な複数のポットと該
    ポットより延出する金型ランナとポットどうしを連絡す
    る金型サブランナが形成されたポットインサートと、 マトリクス状に形成されたキャビティ凹部と該キャビテ
    ィ凹部に連絡する金型ゲート及び金型ランナが形成され
    たキャビティインサートとを備え、 前記ポットインサートのポットに連絡する金型ランナ及
    び金型サブランナに金型V溝が形成されていることを特
    徴とするモールド金型。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2007083490A1 (ja) * 2006-01-23 2007-07-26 Towa Corporation 電子部品の樹脂封止成形方法、ならびに、それに用いられる型組品およびリードフレーム
CN113290631A (zh) * 2020-02-05 2021-08-24 Towa株式会社 除去机构、树脂成型装置和制造方法
WO2024047916A1 (ja) * 2022-08-30 2024-03-07 アピックヤマダ株式会社 樹脂封止装置及び樹脂封止方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007083490A1 (ja) * 2006-01-23 2007-07-26 Towa Corporation 電子部品の樹脂封止成形方法、ならびに、それに用いられる型組品およびリードフレーム
JP2007194558A (ja) * 2006-01-23 2007-08-02 Towa Corp 電子部品の樹脂封止成形方法と金型及びリードフレーム
CN113290631A (zh) * 2020-02-05 2021-08-24 Towa株式会社 除去机构、树脂成型装置和制造方法
CN113290631B (zh) * 2020-02-05 2023-09-19 Towa株式会社 除去机构、树脂成型装置和制造方法
WO2024047916A1 (ja) * 2022-08-30 2024-03-07 アピックヤマダ株式会社 樹脂封止装置及び樹脂封止方法

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