JPH10223663A - 不要樹脂の分離方法及びその装置 - Google Patents

不要樹脂の分離方法及びその装置

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JPH10223663A
JPH10223663A JP2628397A JP2628397A JPH10223663A JP H10223663 A JPH10223663 A JP H10223663A JP 2628397 A JP2628397 A JP 2628397A JP 2628397 A JP2628397 A JP 2628397A JP H10223663 A JPH10223663 A JP H10223663A
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JP
Japan
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lead frame
cull
resin
unnecessary resin
separating
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Application number
JP2628397A
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English (en)
Inventor
Tsutomu Akazawa
勉 赤沢
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リードフレームが変形することなく、確実に
モールド成形後の不要樹脂の分離を行うことができる不
要樹脂の分離方法及びその装置を提供する。 【解決手段】 モールド装置によって樹脂封止された半
導体リードフレームと不要樹脂部である中央カル部との
分離方法において、中央カル部13を固定し、リードフ
レーム11をリードフレームの受け台14と、このリー
ドフレームの受け台14と同様な形状を有するリードフ
レーム押さえ板22とでクランプし、両端のリードフレ
ーム11の中央カル直近部に支点23,28を形成し
て、前記リードフレームの受け台14とリードフレーム
押さえ板22とを各々上方に回動して、不要樹脂を切り
離す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体組立工程に
おけるモールド成形後の不要樹脂(カル)とリードフレ
ームとの分離方法及びその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体組立工程における自動モー
ルド成形工程を説明すると、まずローディング治具にリ
ードフレームをセットし、金型内に移動し、下型の所定
位置にセットされた後、上型が下降し、次にタブレット
(樹脂)が金型内に注入されることによってモールド成
形が開始される。
【0003】次に、樹脂封止されたリードフレームが金
型内より取り出され、不要樹脂であるカル、ランナー、
ゲート部が分離されて、次のリード加工装置に送られ
る。図6はモールド成形が終了したリードフレームを表
す平面図である。この図に示すように、中央カル部3よ
りランナー4及びゲート5を介して樹脂が注入され、リ
ードフレーム1にモールド成形されたICパッケージ2
が形成される。
【0004】この不要樹脂とリードフレーム1との分離
は一般に中央カル部3及びリードフレーム1を上下より
クランプした状態で、いずれかを作動させることによっ
て各々を分離させるようにしている。その不要樹脂の分
離方法について図7を参照しながら説明する。まず、図
7(a)に示すように、モールド装置内から取り出され
た樹脂封止されたリードフレーム1を搬送ベルト8上に
載置するもので、中央カル部3を搬送ベルト8上に、両
端のリードフレーム1を同軸の搬送ベルト10、10′
上に載せ、カル分離の所定位置にて停止した後、上部よ
り中央カル部3を押さえ治具9を下降させることによっ
て押圧支持し、図7(b)に示すように、両端リードフ
レーム側を挟持爪6及び7によって挟み込んだ後、上昇
することによって、リードフレーム1と中央カル部3と
を分離するように構成している。なお、図7において、
2はICパッケージである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来構成の不要樹脂の分離方法では、挟持爪によって
両端に位置するリードフレームの端部を持ち上げるた
め、リードフレームが変形してしまう。また、持ち上げ
る際に中央カル部とリードフレームとの接合部が支点と
なり、上記同様にリードフレームが変形してしまった
り、密着した下部ゲート部が残ってしまうという問題点
があった。
【0006】本発明は、上記問題点を除去し、リードフ
レームが変形することなく、確実にモールド成形後の不
要樹脂の分離を行うことができる不要樹脂の分離方法及
びその装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕モールド装置によって樹脂封止された半導体リー
ドフレームと不要樹脂部である中央カル部との分離方法
において、中央カル部を固定し、リードフレームをこの
リードフレームの受け台と、このリードフレームの受け
台と同様な形状を有するリードフレーム押さえ板とでク
ランプし、両端のリードフレームの中央カル直近部に支
点を形成して、前記リードフレームの受け台と前記リー
ドフレーム押さえ板とを各々上方に回動して、不要樹脂
を切り離すようにしたものである。
【0008】〔2〕上記〔1〕記載の不要樹脂の分離方
法において、前記中央カル直近部に支点を持って回動す
ることによって、不要樹脂とリードフレームとの分離
は、前記リードフレーム長手方向の上面端部である樹脂
と前記リードフレームとの界面を支点として折り曲げる
ように回動してなる。 〔3〕モールド装置によって樹脂封止された半導体リー
ドフレームと不要樹脂部である中央カル部との分離装置
において、中央カル部が載置される受け台と、前記中央
カル部の押さえ部と、両端のリードフレームのパッケー
ジ部及びゲート部を逃がした前記リードフレームの受け
台と、このリードフレームの受け台と同様な形状を有す
るリードフレーム押さえ板とを備え、前記リードフレー
ムの受け台と前記リードフレーム押さえ板とによってク
ランプした後、両端のリードフレームの中央カル部側面
部に支点を持って、前記リードフレームの受け台とリー
ドフレーム押さえ板とを各々上方に回動することによっ
て、不要樹脂を切り離すようにしたものである。
【0009】〔4〕モールド装置によって樹脂封止され
た半導体リードフレームと不要樹脂部である中央カル部
との分離方法において、中央カル部を固定し、リードフ
レームをこのリードフレームの受け台と、このリードフ
レームの受け台と同様な形状を有するリードフレーム押
さえ板とでクランプするとともに、リードフレームに形
成されるランナー及びゲートに対応した小孔と、該小孔
に対応する突き当てピンを配置し、両端のリードフレー
ムの中央カル部側面部に支点を形成して、前記リードフ
レームの受け台と前記リードフレーム押さえ板とを各々
上方に回動して、不要樹脂を切り離すとともに、前記ラ
ンナー及びゲートを分離するようにしたものである。
【0010】〔5〕上記〔4〕記載の不要樹脂の分離方
法において、複数の半導体パッケージが1つのリードフ
レーム内に連接してなる場合のランナー及びゲートの不
要樹脂の分離は、カル部及び前記リードフレームを上下
の押さえ板でクランプした状態で両端のリードフレーム
側を上方に回転させることによって折り曲げる際に、前
記回転機構に同期して前記ランナー及びゲートを突き当
てピンにて前記リードフレームより分離するようにした
ものである。
【0011】〔6〕モールド装置によって樹脂封止され
た半導体リードフレームと不要樹脂部である中央カル部
との分離装置において、中央カル部が載置される受け台
と、前記中央カル部の押さえ部と、両端のリードフレー
ムのパッケージ部及びゲート部を逃がした前記リードフ
レームの受け台と、このリードフレームの受け台と同様
な形状を有するリードフレーム押さえ板と、前記リード
フレームに形成されるランナー及びゲートに対応した小
孔と、前記リードフレーム押さえ板を貫通して配置され
る前記小孔に対応する突き当てピンとを備え、前記リー
ドフレームの受け台と前記リードフレーム押さえ板とに
よってクランプした後、両端のリードフレームの中央カ
ル部側面部に支点を持って、前記リードフレームの受け
台と前記リードフレーム押さえ板とを各々上方に回動す
ることによって、不要樹脂を切り離すとともに、前記ラ
ンナー及びゲートを分離するようにしたものである。
【0012】〔7〕上記〔6〕記載の不要樹脂の分離装
置において、前記クランプした前記リードフレームに固
着したランナー及びゲート樹脂を押圧するバネ力を持っ
て上下動自在に取り付けられた複数の突き当てピンを一
体に具備したブロックを連接してなり、回動時、前記ブ
ロック上部に設けた回転ローラに当接することによって
不要樹脂であるカル、ランナー及びゲートを前記リード
フレームより分離するようにしたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の第1
実施例を示す不要樹脂の分離装置の主要構成図、図2は
その不要樹脂の分離装置の平面図、図3はその不要樹脂
の分離装置の側面図、図4はその不要樹脂の分離装置の
リードフレームの支点部の拡大図、図5はそのリードフ
レームの動きを示す図である。
【0014】これらの図において、11はリードフレー
ム、12はICパッケージ、13は中央カル部、14は
リードフレームの受け台、15はリードフレームの受け
台14を上下動するシリンダ、16は中央カル部の受け
台、17はリードフレームの受け台の支持部、18はベ
ース板、19は上部支持板、20はリードフレーム押さ
え板の支持板、21は中央カル部13の押さえ部、22
はリードフレーム11を押さえ込むリードフレーム押さ
え板、23はリードフレームの受け台14の支点、24
はランナー、25はゲート、26はコマ、28はリード
フレーム押さえ板22の支点、29はリードフレーム押
さえ板22の上下動を行うシリンダである。
【0015】これらの図に示すように、ベース板18上
に樹脂封止されたリードフレーム11の両端が載置され
る受け台14と、中央カル部13が置かれる受け台16
と、前記リードフレームの受け台14を支点23をもっ
て支持部17に懸架し、通常は上下動するシリンダ15
によって受け台14を水平状態に保つ下部機構部と、中
央カル部の受け台16に支持された上部支持板19に中
央カル部13を上から押さえる押さえ部21と、リード
フレーム押さえ板の支持板20に支点28をもって取り
付けるようにしたリードフレーム押さえ板22によって
構成される。
【0016】このように、樹脂封止の終了したリードフ
レーム11の中央カル部13が置かれる受け台16と、
リードフレーム11を載せる両側の受け台14と、この
両側の受け台14の各々を上部より押圧するリードフレ
ーム押さえ板22と、上記リードフレームの受け台14
及びリードフレーム押さえ板22の中央カル部13側端
部に支点23,28を設け、リードフレームの受け台1
4を上方に押し上げる突き上げ機構、つまり、上下動す
るシリンダ15によって構成される。
【0017】そこで、まず、図1(a)に示すように、
樹脂封止されたリードフレーム11の中央カル部13を
受け台16に、両端リードフレーム11をリードフレー
ムの受け台14に載置して、上方より各々の形状に合致
したリードフレーム押さえ板22を下降させることによ
ってクランプした後、図1(b)に示すように、リード
フレームの受け台14の下部に設けた突き上げ機構、つ
まり、上動するシリンダ15によって、リードフレーム
の受け台14を上方に押し上げることにより、リードフ
レームの受け台14の中央カル部13側端部に設けられ
た支点23,28を基に上方に回動することによって、
樹脂とリードフレーム11が切り離される。
【0018】したがって、中央カル部13を、受け台1
6に上方より押圧クランプし、両端リードフレーム11
も同様にリードフレームの受け台14とリードフレーム
押さえ板22とでクランプした状態で中央カル部13側
に支点23,28を設けて上方に回転するようにしたの
で、リードフレーム11を変形させることなく、不要樹
脂を切り離すことができる。
【0019】この第1実施例の不要樹脂の分離装置の動
作について説明する。まず、樹脂封止されたカルの付い
たリードフレーム11を上記で述べた所定の位置に載置
する。この際、リードフレーム11の受け台14は、図
2に示すように、複数の位置決めコマ26によってリー
ドフレーム11の外形を位置決めするようになってお
り、かつ、ICパッケージ12の形状にその厚み分及び
ゲート25に対してリードフレームの受け台14が開孔
している。
【0020】次に、図示しない上下動スイッチを動作さ
せることによって、シリンダ29が駆動されて、リード
フレーム押さえ板22が下降してくる。これを、図1〜
図5を参照しながら説明すると、前記下部機構のリード
フレームの受け台14と同様な突起部分を逃がした形状
のリードフレーム押さえ板22によってリードフレーム
11を、また、同時に中央カル部13を中央カル部の押
さえ部21によって挟むようになっている。次に、図示
しないカル分離のためのスイッチを作動させることによ
って、リードフレーム11を水平に保持しているシリン
ダ15が作動することによって、受け台14及びリード
フレーム押さえ板22が各々の支点23,28をもって
回動することにより、リードフレーム11とカルとが分
離される。
【0021】以上のように、第1実施例によれば、リー
ドフレーム11の形状に合致した逃げ部を受け台14と
リードフレーム押さえ板22によってリードフレーム1
1をクランプし、リードフレーム11を確実に位置決め
した状態で中央カル部直近部支点23,28を基に回動
することによって、リードフレーム11を変形させるこ
となく、且つ確実に樹脂と分離することができる。
【0022】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。図8は本発明の第2実施例を示す中央カル部を有す
るリードフレームを示す平面図、図9は本発明の第2実
施例を示す不要樹脂の分離装置の動作を示す図である。
ここで、2列にICパッケージが配置されているものを
マトリックスリードフレームと呼ぶ。
【0023】図8に示すように、このリードフレーム5
6は中央カル部50、ランナー51、ゲート52を通過
してICパッケージ53、54を形成している。また、
ランナー51、ゲート52の流路のリードフレーム面に
小孔55、58、59が形成されている。実際の動作は
カル分離と同様であるので、本動作を図9の概略図を用
いて説明すると、リードフレームの受け台60とリード
フレーム押さえ板61によって、リードフレーム56は
クランプされており、その押さえ板61に小孔55、5
8、59に嵌り込む3本の突き当てピン70がバネ71
を介してブロック72を滑動自在に形成して取り付けて
あり、リードフレーム56を載置した際は、図9(a)
に示すように、ブロック72が上部支持板74に取り付
けられた回転ローラー73に接している。
【0024】この状態から分離動作に入ると、図9
(b)に示すように、受け台60と押さえ板61が回動
することによって回転ローラー73にブロック72が押
圧される。更に、図9(c)に示すように、受け台60
と押さえ板61が回動することによって、ランナー51
(図8参照)、ゲート52(図8参照)を押し下げるこ
とになり、不要樹脂を分離するものである。
【0025】この実施例では、1列目から2列目への樹
脂の供給のためのランナー、ゲート部分がリードフレー
ム裏面に固着しており、カルが残るが、そのカル分離と
同時にこれを取り去るようにしたものである。以上のよ
うに、第2実施例によれば、2列以上に形成されたマト
リックスリードフレームの場合において、カル分離と同
時にランナー及びゲートを分離するようにしたので、リ
ードフレームからランナー及びゲート樹脂を確実に切り
離すことができ、途中で折れるという問題をなくすこと
ができる。
【0026】したがって、カル分離と同時にランナー、
ゲートも分離するようにしたことにより、効率良く、し
かも樹脂残りのない分離ができるようになった。なお、
本発明は上記実施例に更に以下のような利用形態を有す
る。不要樹脂の分離方法について述べたが、同様にリー
ドフレーム上に複数のICパッケージが形成されている
場合においても、突き当てピンを必要な箇所に設けるこ
とによって分離するように構成すると良い。また、IC
ウエハ等にUVフィルムを貼るダイシング工程において
も所定のカットを終了した後、不要フィルムの除去に上
記と同様な手段を用いることもできる。
【0027】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【0028】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。 (1)請求項1乃至3記載の発明によれば、中央カル部
を、受け台に上方より押圧クランプし、両端リードフレ
ームも同様にリードフレームの受け台とリードフレーム
押さえ板とでクランプした状態で中央カル直近部に支点
を設けて上方に回動するようにしたので、リードフレー
ムを変形させることなく、不要樹脂を切り離すことがで
きる。
【0029】(2)請求項4乃至7記載の発明によれ
ば、2列以上に形成されたマトリックスリードフレーム
の場合において、カル分離と同時にランナー及びゲート
を分離するようにしたので、ランナー及びゲートを確実
に切り離すことができ、途中で折れるという問題をなく
すことができ、効率良く、しかも樹脂残りのない分離を
行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す不要樹脂の分離装置
の主要構成図である。
【図2】本発明の第1実施例を示す不要樹脂の分離装置
の平面図である。
【図3】本発明の第1実施例を示す不要樹脂の分離装置
の側面図である。
【図4】本発明の第1実施例を示す不要樹脂の分離装置
のリードフレームの支点部の拡大図である。
【図5】本発明の第1実施例を示す不要樹脂の分離装置
のリードフレームの動きを示す図である。
【図6】モールド成形が終了したリードフレームを表す
平面図である。
【図7】従来の不要樹脂の分離方法の説明図である。
【図8】本発明の第2実施例を示す中央カル部を有する
リードフレームを示す平面図である。
【図9】本発明の第2実施例を示す不要樹脂の分離装置
の動作を示す図である。
【符号の説明】
11,56 リードフレーム 12,53,54 ICパッケージ 13,50 中央カル部 14,60 リードフレームの受け台 15,29 シリンダ 16 中央カル部の受け台 17 リードフレームの受け台の支持部 18 ベース板 19,74 上部支持板 20 リードフレーム押さえ板の支持板 21 中央カル部の押さえ部 22,61 リードフレーム押さえ板 23 リードフレームの受け台の支点 24,51 ランナー 25,52 ゲート 26 コマ 28 リードフレーム押さえ板の支点 55,58,59 小孔 70 突き当てピン 71 バネ 72 ブロック 73 回転ローラー

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 モールド装置によって樹脂封止された半
    導体リードフレームと不要樹脂部である中央カル部との
    分離方法において、(a)中央カル部を固定し、(b)
    リードフレームを該リードフレームの受け台と、該リー
    ドフレームの受け台と同様な形状を有するリードフレー
    ム押さえ板とでクランプし、(c)両端のリードフレー
    ムの中央カル直近部に支点を形成して、前記リードフレ
    ームの受け台と前記リードフレーム押さえ板とを各々上
    方に回動して、不要樹脂を切り離すことを特徴とする不
    要樹脂の分離方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の不要樹脂の分離方法にお
    いて、前記中央カル直近部に支点を持って回動すること
    によって、不要樹脂とリードフレームとの分離は、前記
    リードフレーム長手方向の上面端部である樹脂と前記リ
    ードフレームとの界面を支点として折り曲げるように回
    動してなることを特徴とする不要樹脂の分離方法。
  3. 【請求項3】 モールド装置によって樹脂封止された半
    導体リードフレームと不要樹脂部である中央カル部との
    分離装置において、(a)中央カル部が載置される受け
    台と、(b)前記中央カル部の押さえ部と、(c)両端
    のリードフレームのパッケージ部及びゲート部を逃がし
    た前記リードフレームの受け台と、(d)該リードフレ
    ームの受け台と同様な形状を有するリードフレーム押さ
    え板とを備え、(d)前記リードフレームの受け台と前
    記リードフレーム押さえ板とによってクランプした後、
    両端のリードフレームの中央カル部側面部に支点を持っ
    て、前記リードフレームの受け台と前記リードフレーム
    押さえ板とを各々上方に回動することによって、不要樹
    脂を切り離すようにしたことを特徴とする不要樹脂の分
    離装置。
  4. 【請求項4】 モールド装置によって樹脂封止された半
    導体リードフレームと不要樹脂部である中央カル部との
    分離方法において、(a)中央カル部を固定し、(b)
    リードフレームを該リードフレームの受け台と、該リー
    ドフレームの受け台と同様な形状を有するリードフレー
    ム押さえ板とでクランプするとともに、リードフレーム
    に形成されるランナー及びゲートに対応した小孔と、該
    小孔に対応する突き当てピンを配置し、(c)両端のリ
    ードフレームの中央カル部側面部に支点を形成して、前
    記リードフレームの受け台と前記リードフレーム押さえ
    板とを各々上方に回動して、不要樹脂を切り離すととも
    に、前記ランナー及びゲートを分離することを特徴とす
    る不要樹脂の分離方法。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の不要樹脂の分離方法にお
    いて、複数の半導体パッケージが1つのリードフレーム
    内に連接してなる場合のランナー及びゲートの不要樹脂
    の分離は、カル部及び前記リードフレームを上下の押さ
    え板でクランプした状態で両端のリードフレーム側を上
    方に回転させることによって折り曲げる際に、前記回転
    機構に同期して前記ランナー及びゲートを突き当てピン
    にて前記リードフレームより分離するようにしたことを
    特徴とする不要樹脂の分離方法。
  6. 【請求項6】 モールド装置によって樹脂封止された半
    導体リードフレームと不要樹脂部である中央カル部との
    分離装置において、(a)中央カル部が載置される受け
    台と、(b)前記中央カル部の押さえ部と、(c)両端
    のリードフレームのパッケージ部及びゲート部を逃がし
    た前記リードフレームの受け台と、(d)該リードフレ
    ームの受け台と同様な形状を有するリードフレーム押さ
    え板と、(e)前記リードフレームに形成されるランナ
    ー及びゲートに対応した小孔と、前記リードフレーム押
    さえ板を貫通して配置される前記小孔に対応する突き当
    てピンとを備え、(f)前記リードフレームの受け台と
    前記リードフレーム押さえ板とによってクランプした
    後、両端のリードフレームの中央カル部側面部に支点を
    持って、前記リードフレームの受け台と前記リードフレ
    ーム押さえ板とを各々上方に回動することによって、不
    要樹脂を切り離すとともに、前記ランナー及びゲートを
    分離するようにしたことを特徴とする不要樹脂の分離装
    置。
  7. 【請求項7】 請求項6記載の不要樹脂の分離装置にお
    いて、前記クランプした前記リードフレームに固着した
    ランナー及びゲート樹脂を押圧するバネ力を持って上下
    動自在に取り付けられた複数の突き当てピンを一体に具
    備したブロックを連接してなり、回動時、前記ブロック
    上部に設けた回転ローラに押圧されることによって不要
    樹脂であるカル、ランナー及びゲートを前記リードフレ
    ームより分離するようにしたことを特徴とする不要樹脂
    の分離装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100999023B1 (ko) 2008-06-25 2010-12-09 세크론 주식회사 성형물 분리 장치 및 이를 포함하는 전자 부품의 몰딩시스템
CN113021786A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 爱沛股份有限公司 多余树脂去除装置及多余树脂去除方法
KR20210100023A (ko) 2020-02-05 2021-08-13 토와 가부시기가이샤 제거 기구, 수지 성형 장치 및 제조 방법

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