JP2000304052A - 流体軸受装置およびその製造方法 - Google Patents

流体軸受装置およびその製造方法

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JP2000304052A JP11113349A JP11334999A JP2000304052A JP 2000304052 A JP2000304052 A JP 2000304052A JP 11113349 A JP11113349 A JP 11113349A JP 11334999 A JP11334999 A JP 11334999A JP 2000304052 A JP2000304052 A JP 2000304052A
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lubricating fluid
shaft
capillary seal
centrifugal force
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Masato Gomyo
五明　　正人
Takehiko Yazawa
岳彦 矢沢
Tokio Tago
登喜雄 多胡
Kazuji Miura
和司 三浦
Ryuhei Matsuda
隆平 松田
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Seagate Technology LLC
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Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Seagate Technology International
Seagate Technology LLC
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 潤滑流体量を確実に安定させ、潤滑流体を保
持することができる流体軸受装置およびその製造方法を
得る。 【解決手段】 軸３と、軸３に対して相対回転する軸受
１０と、軸受クリアランス内の潤滑流体１５を保持する
毛細管シール部１３、１４とを有し、潤滑流体１５の動
圧によって軸３と軸受１０とを相対的に回転可能に支承
する動圧軸受装置において、軸受クリアランス内の余分
な潤滑流体１５は遠心力によって飛散され、毛細管シー
ル部１３、１４によって潤滑流体１５が一定量に保持さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、潤滑流体に動圧を
発生させ、その動圧により固定部材に対して回転部材を
支持するように構成された流体軸受装置およびその製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、モータ等の各種装置において、特
に高速回転に対応するように、流体の動圧力を利用した
流体軸受装置が種々提案されている。この流体軸受装置
においては、固定部材側の軸受面と回転部材側の軸受面
とが対向配置されていると共に、これら両対向軸受面の
うちの少なくとも一方側に動圧発生用の溝が形成されて
おり、回転部材と固定部材との両対向面間、すなわち軸
受クリアランス内に充填された所定のオイル等の潤滑流
体が、回転部材の回転時に動圧発生用の溝のポンピング
作用により昇圧され、潤滑流体の活性により発生する動
圧力によって回転部材の回転支持が行われるようになっ
ている。
【０００３】上記軸受クリアランス内に充填されている
潤滑流体は、傾斜テーパ面を有する毛細管シール部の毛
細管力によって軸受クリアランス内に保持されていると
共に、軸受クリアランスから外方に飛散するのを防止さ
れている。上記潤滑流体が蒸発して枯渇すると十分な軸
受性能を得ることができず、また信頼性等も悪くなるた
め、上記毛細管シール部は、蒸発量を見込んだ所定量の
潤滑流体を保持している。
【０００４】しかし、蒸発量を見込んだ潤滑流体の量が
多いと流体漏れが発生して周囲を汚染してしまうことに
なる。特に、ハードディスクドライブ装置（ＨＤＤ）等
では清浄度が要求されるため、致命的な欠陥となってし
まう。そこで、従来では、余剰潤滑流体を布などの毛細
管力を利用して吸い取ったり、エアバキュームなどで吸
引することによって、潤滑流体量を安定させ、潤滑流体
を保持している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法では、微細な量を調整することは難しく、潤滑流体量
を確実に安定させ、潤滑流体を保持することは困難であ
る。また、余剰潤滑流体を取り除くための装置等が必要
となり、コストが高くなってしまう。
【０００６】本発明は以上のような従来技術の問題点を
解消するためになされたものであり、潤滑流体量を確実
に安定させ、潤滑流体を保持することができる流体軸受
装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
軸と、上記軸に対して相対回転する軸受と、軸受クリア
ランス内の潤滑流体を保持する毛細管シール部とを有
し、潤滑流体の動圧によって上記軸と上記軸受とを相対
的に回転可能に支承する流体軸受装置において、上記軸
受クリアランス内の余分な潤滑流体は遠心力によって飛
散され、上記毛細管シール部によって潤滑流体が一定量
に保持されていることを特徴とする。
【０００８】請求項２記載の発明は、軸と、上記軸に対
して相対回転する軸受と、軸受クリアランス内の潤滑流
体を保持する毛細管シール部とを有し、潤滑流体の動圧
によって上記軸と上記軸受とを相対的に回転可能に支承
する流体軸受装置の製造方法であって、上記軸受クリア
ランス内の余分な潤滑流体を遠心力によって飛散させ、
上記毛細管シール部によって潤滑流体を一定量に保持す
ることを特徴とする。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明において、上記遠心力を発生させる回転数は、流体軸
受装置の最大使用回転数よりも大きいことを特徴とす
る。
【００１０】請求項４記載の発明は、請求項２または３
記載の発明において、上記潤滑流体を遠心力によって飛
散して一定量に安定させる際の温度は、流体軸受装置の
使用温度よりも高いことを特徴とする。
【００１１】請求項５記載の発明は、請求項２、３、ま
たは４記載の発明において、飛散された潤滑流体を吸収
する吸収手段を流体軸受装置の周囲に設けることを特徴
とする。
【００１２】請求項６記載の発明は、請求項２、３、
４、または５記載の発明において、上記遠心力は、上記
軸と上記軸受とを一体に回転させることにより発生する
ことを特徴とする。
【００１３】請求項７記載の発明は、請求項２、３、
４、または５記載の発明において、上記遠心力は、上記
軸受を回転させることにより発生することを特徴とす
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
にかかる流体軸受装置の実施の形態について説明する。
図１には、本発明にかかる流体動圧軸受装置が適用され
た軸回転型のモータの右半部正面断面を示している。図
１に示すように、このモータは、アルミ材等からなるフ
レーム１側に組み付けられた固定部材としてのステータ
組２と、このステータ組２に対し、回転軸３を中心にし
て図示の上側から組み付けられた回転部材としてのロー
タ組４とから主に構成されている。
【００１５】上記ロータ組４は、上記回転軸３の上端部
に一体に取り付けらた段付中空円筒状のハブ５を有して
いる。このハブ５は、ディスクを支持するためのもので
ある。ハブ５の外筒部５ａの下部内周面には、後述する
ステータコア６に対向するように駆動マグネット７が取
り付けられている。
【００１６】一方、上記ステータ組２は、ステータコア
６を有している。このステータコア６は、上記フレーム
１に一体的に形成された中空円筒状の支持ホルダ８の外
周に取り付けられていて、このステータコア６の各突極
部に巻線９がそれぞれ巻回されている。このステータコ
ア６は、上記駆動マグネット７と対向している。
【００１７】上記支持ホルダ８の内周には、回転軸３に
対して相対回転することができる円筒状の軸受１０が取
り付けられている。この軸受１０の内周面には、動圧発
生用の軸受面としてのラジアル動圧軸受部が形成されて
いて、このラジアル動圧軸受部を介することにより、回
転軸３および回転軸３に一体に取り付けられたハブ５が
軸受１０に対して相対的に回転することができるように
なっている。
【００１８】上記軸受１０の下端には、環状の突起部１
０ａが形成されていて、この突起部１０ａの内側には、
二つのスラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂを構成してい
るリング状のスラストプレート１１が回転軸３の下端部
に固着されている。図示のように、このスラストプレー
ト１１は、軸受１０の突起部１０ａの内側に位置する底
面と、フレーム１の中心孔１ａに嵌合されたカウンタプ
レート１２の上面とによって僅かな空間をおいて挟み込
まれ、これによって、それぞれの対向面の間に二つのス
ラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂがそれぞれ構成されて
いる。
【００１９】また、図１に示すように、軸受１０の上端
部および下端部の内周面には、傾斜テーパ面を有する毛
細管シール部１３、１４がそれぞれ形成されている。図
示のように、上側に位置する毛細管シール部１３の傾斜
テーパ面は、毛細管シール部１４の傾斜テーパ面よりも
軸方向に大きく形成されている。図２には、毛細管シー
ル部１３の周辺部を拡大して示している。
【００２０】上記毛細管シール部１３から毛細管シール
部１４までの間の軸受クリアランス内には連続して動圧
軸受用の潤滑流体１５が充填されていて、上記毛細管シ
ール部１３、１４によって潤滑流体１５が漏出しないよ
うに保持されている。すなわち、上記ラジアル動圧軸受
部の内周面は、回転軸３の外周面に対して上記潤滑流体
１５を介して非接触の摺動部を構成しており、ラジアル
動圧軸受部の内周面と回転軸３の外周面とによってラジ
アル方向の動圧面が構成されている。
【００２１】図７（ａ）に示すように、上記軸受クリア
ランス内には、蒸発量を見込んだ量よりも余分に潤滑流
体１５が充填されていて、後述する遠心力によって余分
な潤滑流体１５が飛散されて、上記毛細管シール部１
３、１４によって蒸発量を見込んだ一定量の潤滑流体１
５が安定に保持されている。上記遠心力は、回転軸３と
軸受１０とを一緒に回転させるか、あるいは、回転軸３
を固定した状態で軸受１０を回転させることにより発生
させる。
【００２２】回転軸３を固定して軸受１０を回転させる
ことにより上記遠心力を発生させる場合は、例えば、図
８に示すように、フレーム１を回転体１６にネジ１７等
で一体に取り付け、軸受１０を回転体１６と共に一体に
回転させる。一方、回転軸３と軸受１０とを一体に回転
させることにより遠心力を発生させる場合は、例えば、
図８に示すように、フレーム１を回転体１６にネジ１７
等で一体に取り付けると共に、回転軸３と回転体１６、
あるいは回転軸３と軸受１０とを図示しない適宜の手段
で一体に連結して、回転軸３と軸受１０とを回転体１６
と共に一体に回転させる。
【００２３】このようにして発生させた遠心力によっ
て、毛細管シール部１３から余分な潤滑流体１５が向心
力と反対方向、すなわち、図７（ａ）のα方向に示すよ
うに、回転の中心から遠ざかる方向に飛散される。前述
のように、毛細管シール部１４の傾斜テーパ面よりも毛
細管シール部１３の傾斜テーパ面の方が軸方向に大きく
形成されているため、余分な潤滑流体１５は、毛細管シ
ール部１３の傾斜テーパ面から上記方向に飛散される。
このように、遠心力によって余分な潤滑流体１５を飛散
させることによって、図７（ｂ）に示すように、上記軸
受クリアランス内には蒸発量を見込んだ一定量の潤滑流
体１５が毛細管シール部１３、１４によって安定に保持
される。
【００２４】上記遠心力を発生させる回転数は、流体軸
受装置の最大使用回転数よりも大きくする。これによっ
て、流体軸受装置が最大使用回転数で使用されても、潤
滑流体１５が飛散することがなく、軸受クリアランス内
には蒸発量を見込んだ一定量の潤滑流体１５が毛細管シ
ール部１３、１４によって安定に保持される。また、上
記遠心力を発生させる回転数を調節することにより、潤
滑流体１５の量をきめ細かく設定することができる。
【００２５】また、潤滑流体１５を遠心力によって飛散
して一定量に安定させる際の温度は、流体軸受装置の使
用温度よりも高くする。例えば、ヒータ等で使用温度よ
りも高い温度に設定する。このようにすることによっ
て、軸受クリアランス内の潤滑流体１５の粘度を下げ、
余分な潤滑流体を効果的に飛散させることができ、通常
の使用状態における流体軸受装置の信頼度を高めると共
に、軸受性能を向上させることができる。
【００２６】また、飛散された余分な潤滑流体１５を吸
収する吸収手段を設けることが好ましい。図８には、吸
収手段の一例として、孔１８ａが形成された中空の筺体
１８を示している。図８に示すように、この筺体１８の
記孔１８ａには、軸受１０の上部がわずかな隙間を介し
て挿入されている。従って、上記遠心力によって飛散さ
れた余分な潤滑流体１５は筺体１８内に収容され、この
飛散された余分な潤滑流体１５によって装置およびその
周囲が汚染されることはない。なお、吸収手段は、使用
後には破棄して新しいものと取り替えることもできる
し、清掃して繰り返し使用することもできる。
【００２７】以上のように、上記実施の形態によれば、
遠心力によって余分な潤滑流体１５を飛散させ、上記毛
細管シール部１３、１４によって潤滑流体１５が一定量
に保持されているため、軸受クリアランス内の潤滑流体
１５を安定に、かつ確実に保持することができる。
【００２８】次に、別の実施の形態について説明する。
図５に示すように、このモータは、軸固定型のモータで
あり、図示しないフレーム側に組み付けられた固定部材
としてのステータ組と、このステータ組に対し、固定軸
２０を中心にして図示の上側から組み付けられた回転部
材としてのロータ組４とから主に構成されている。
【００２９】上記ロータ組４は、上記固定軸２０に取り
付けられると共に、固定軸２０に対して相対回転するこ
とができる円筒状の軸受１０の外周面に一体に取り付け
らた段付中空円筒状のハブ５を有している。このハブ５
は、ディスクを支持するためのものである。ハブ５の外
筒部５ａの下部内周面には、図示しないステータ側の所
定の位置に設けられたステータコアに対向するように駆
動マグネット７が取り付けられている。
【００３０】上記軸受１０の内周面には、動圧発生用の
軸受面としてのラジアル動圧軸受部が形成されていて、
このラジアル動圧軸受部を介することにより、軸受１０
の外周面にに一体に取り付けられたハブ５が固定軸２０
に対して相対的に回転することができるようになってい
る。
【００３１】上記軸受１０の上端には、環状の突起部１
０ａが形成され、さらにこの突起部１０ａの外周に環状
の突起部１０ｂが形成されている。上記突起部１０ａの
内側には、二つのスラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂを
構成しているリング状のスラストプレート１１が固定軸
２０の上端部に固着されている。図示のように、このス
ラストプレート１１は、軸受１０の突起部１０ａの内側
に位置する上面と、上記突起部１０ｂの内側に設けられ
たカウンタプレート１２の底面とによって僅かな空間を
おいて挟み込まれ、これによって、それぞれの対向面の
間に二つのスラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂがそれぞ
れ構成されている。
【００３２】また、図５に示すように、軸受１０の上端
部および下端部の内周面には、傾斜テーパ面を有する毛
細管シール部２１、２２がそれぞれ形成されている。図
示のように、下側に位置する毛細管シール部２２の傾斜
テーパ面は、毛細管シール部２１の傾斜テーパ面よりも
軸方向に大きく形成されている。従って、後述するよう
に、毛細管シール部２２から余分な潤滑流体１５が向心
力と反対方向、すなわち、回転の中心から遠ざかる方向
に飛散される。また、毛細管シール部２２の上記潤滑流
体の飛散方向側に位置する軸受１０の底面１０ｃは、飛
散された余分な潤滑流体１５を吸収する吸収手段として
表面処理されている。
【００３３】上記毛細管シール部２１から毛細管シール
部２２までの間の軸受クリアランス内には連続して動圧
軸受用の潤滑流体１５が充填されていて、上記毛細管シ
ール部２１、２２によって潤滑流体１５が保持されてい
る。すなわち、上記ラジアル動圧軸受部の内周面は、固
定軸２０の外周面に対して上記潤滑流体１５を介して非
接触の摺動部を構成しており、ラジアル動圧軸受部の内
周面と固定軸２０の外周面とによってラジアル方向の動
圧面が構成されている。
【００３４】上記軸受クリアランス内には、蒸発量を見
込んだ量よりも余分に潤滑流体１５が充填されていて、
後述する遠心力によって余分な潤滑流体１５が飛散され
て、上記毛細管シール部２１、２２によって蒸発量を見
込んだ一定量の潤滑流体１５が安定に保持されている。
上記遠心力は、固定軸２０と軸受１０とを一体に回転さ
せることにより発生させるか、あるいは、固定軸２０を
固定した状態で軸受１０を回転させて発生させる。この
場合も、遠心力を発生させる際の回転数は、流体軸受装
置の最大使用回転数よりも大きいことが望ましく、ま
た、そのときの温度は流体軸受装置の使用温度よりも高
いことが望ましい。
【００３５】このようにして発生させた遠心力によっ
て、毛細管シール部２２から余分な潤滑流体１５が向心
力と反対方向、すなわち、回転の中心から遠ざかる方向
に飛散される。前述のように、毛細管シール部２１の傾
斜テーパ面よりも毛細管シール部２２の傾斜テーパ面の
方が軸方向に大きく形成されているため、余分な潤滑流
体１５は、下側に位置する毛細管シール部２２の傾斜テ
ーパ面から上記方向に、かつ軸受１０の底面１０ｃに沿
って飛散されるが、前述のように軸受１０の底面１０ｃ
は、飛散された余分な潤滑流体１５を吸収するように表
面処理されているため、飛散された余分な潤滑流体１５
は軸受１０の底面１０ｃによって吸収され、装置および
その周囲が汚染されることはない。なお、吸収手段は軸
受の性能に支障のないように設けられている。
【００３６】以上のように、遠心力によって余分な潤滑
流体１５を飛散させることによって、上記軸受クリアラ
ンス内には蒸発量を見込んだ一定量の潤滑流体１５が毛
細管シール部２１、２２によって安定に保持される。
【００３７】図５に示すものは、吸収手段として、軸受
１０の底面１０ｃを飛散された余分な潤滑流体１５を吸
収するように表面処理しているものであるが、図６に示
すように、上記潤滑流体の飛散方向側に位置する軸受１
０の底面１０ｃに、飛散された余分な潤滑流体１５を吸
収する吸収材２３を設けてもよい。
【００３８】いままで述べてきたものは、軸と軸受とを
相対回転させた際に軸受クリアランス内の潤滑流体が軸
方向に移動しない形式の流体軸受装置であったが、流体
軸受装置には、軸と軸受とを相対回転させた際に軸受ク
リアランス内の潤滑流体が軸方向に移動する形式のもの
もある。この後者の形式の流体軸受装置である場合は、
軸を固定し、軸受を回転させて遠心力を発生させること
により余分な潤滑流体を飛散させる。これは、軸と軸受
とを一体に回転させても潤滑流体が移動せず、本発明の
余分な潤滑流体を飛散させるという作用を奏することが
難しいからである。以下、軸受クリアランス内の潤滑流
体が軸方向に移動する流体軸受装置の実施の形態につい
て説明する。
【００３９】図３には、軸受クリアランス内の潤滑流体
が軸方向に移動する流体軸受装置が適用された軸固定型
のモータの右半部正面断面を示している。図３に示すよ
うに、このモータは、アルミ材等からなるフレーム１側
に組み付けられた固定部材としてのステータ組２と、こ
のステータ組２に対し、固定軸３０を中心にして図示の
上側から組み付けられた回転部材としてのロータ組４と
から主に構成されている。
【００４０】上記ロータ組４は、上記固定軸２０に取り
付けられると共に、固定軸３０に対して相対回転するこ
とができる円筒状の軸受１０の外周面に一体に取り付け
らた段付中空円筒状のハブ５を有している。このハブ５
は、ディスクを支持するためのものである。ハブ５の外
筒部５ａの下部内周面には、後述するステータコア６に
対向するように駆動マグネット７が取り付けられてい
る。
【００４１】一方、上記ステータ組２は、ステータコア
６を有している。このステータコア６は、上記フレーム
１に一体的に形成された中空円筒状の支持ホルダ８の外
周に取り付けられていて、このステータコア６の各突極
部に巻線９がそれぞれ巻回されている。このステータコ
ア６は、上記駆動マグネット７と対向している。
【００４２】上記軸受１０の内周面には、動圧発生用の
軸受面としてのラジアル動圧軸受部３１、３２が形成さ
れている。図示のように、上記ラジアル動圧軸受部３
１、３２は、軸受１０の内周面の略軸方向中心位置に形
成された環状凹部３３によって軸方向に区分されてい
る。このラジアル動圧軸受部３１、３２を介することに
より、軸受１０の外周面に一体に取り付けられたハブ５
が固定軸３０に対して回転することができるようになっ
ている。
【００４３】上記軸受１０の上端には、環状の突起部１
０ａが形成され、さらにこの突起部１０ａの外周に環状
の突起部１０ｂが形成されている。上記突起部１０ａの
内側には、二つのスラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂを
構成しているリング状のスラストプレート１１が固定軸
３０の上端部に固着されている。図示のように、このス
ラストプレート１１は、軸受１０の突起部１０ａの内側
に位置する上面と、上記突起部１０ｂの内側に設けられ
たカウンタプレート１２の底面とによって僅かな空間を
おいて挟み込まれ、これによって、それぞれの対向面の
間に二つのスラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂがそれぞ
れ構成されている。
【００４４】また、図３に示すように、軸受１０の内周
面には、ラジアル動圧軸受部３１、３２のそれぞれの上
下位置に傾斜テーパ面を有する毛細管シール部３４、３
５、３６、３７がそれぞれ形成されている。図示のよう
に、下側に位置する毛細管シール部３５、３７の傾斜テ
ーパ面は、毛細管シール部３４、３６の傾斜テーパ面よ
りも軸方向に大きく形成されていて、さらに毛細管シー
ル部３５の傾斜テーパ面よりも毛細管シール部３７の傾
斜テーパ面の方が軸方向に大きく形成されている。従っ
て、後述するように、最も下側に位置する毛細管シール
部３７から余分な潤滑流体１５が向心力と反対方向、す
なわち、回転の中心から遠ざかる方向に飛散される。ま
た、毛細管シール部３７の上記潤滑流体の飛散方向側に
位置する軸受１０の底面１０ｃには、飛散された余分な
潤滑流体１５を吸収する吸収手段として吸収材３８が設
けられている。
【００４５】軸受クリアランス内には、動圧軸受用の潤
滑流体１５が充填されるようになっている。軸受１０が
固定軸３０に対して相対回転することにより、固定軸３
０に形成され、かつ一端が上記環状凹部３３に連通され
た空気抜き通路４０から軸受クリアランス内の空気が外
方に放出され、これによって、潤滑流体１５は、上記毛
細管シール部３４から毛細管シール部３５までの間、お
よび上記毛細管シール部３６から毛細管シール部３７ま
での間に充填されるようになっている。すなわち、上記
ラジアル動圧軸受部３１、３２の内周面は、固定軸３０
の外周面に対して上記潤滑流体１５を介して非接触の摺
動部を構成しており、ラジアル動圧軸受部３１、３２の
内周面と固定軸３０の外周面とによってラジアル方向の
動圧面が構成されている。
【００４６】上記軸受クリアランス内には、蒸発量を見
込んだ量よりも余分に潤滑流体１５が充填されると共
に、遠心力によって余分な潤滑流体１５が飛散されて、
上記毛細管シール部３４、３５、３６、３７によって蒸
発量を見込んだ一定量の潤滑流体１５が安定に保持され
ている。上記遠心力は、固定軸３０を固定した状態で軸
受１０を回転させることにより発生させる。この場合
も、遠心力を発生させる際の回転数は、流体軸受装置の
最大使用回転数よりも大きいことが望ましく、また、そ
のときの温度は流体軸受装置の使用温度よりも高いこと
が望ましい。
【００４７】このようにして発生させた遠心力によっ
て、毛細管シール部３７から余分な潤滑流体１５が向心
力と反対方向、すなわち、回転の中心から遠ざかる方向
に飛散される。前述のように、毛細管シール部３４、３
５、３６の傾斜テーパ面よりも毛細管シール部３７の傾
斜テーパ面の方が軸方向に大きく形成されているため、
余分な潤滑流体１５は、最も下側に位置する毛細管シー
ル部３７の傾斜テーパ面から上記方向に、かつ軸受１０
の底面１０ｃに沿って飛散される。前述のように軸受１
０の底面１０ｃは、飛散された余分な潤滑流体１５を吸
収する吸収材３８が設けられているため、飛散された余
分な潤滑流体１５は吸収材３８によって吸収され、装置
およびその周囲が汚染されることはない。なお、吸収手
段は軸受の性能に支障のないように設けられている。
【００４８】以上のように、遠心力によって余分な潤滑
流体１５を飛散させることによって、上記軸受クリアラ
ンス内には蒸発量を見込んだ一定量の潤滑流体１５が毛
細管シール部２１、２２によって安定に保持される。
【００４９】次に、別の実施の形態について説明する。
図９には、軸受クリアランス内の潤滑流体が軸方向に移
動する流体軸受装置が適用された軸回転型のモータの右
半部正面断面を示している。図９に示すように、このモ
ータは、アルミ材等からなるフレーム１側に組み付けら
れた固定部材としてのステータ組２と、このステータ組
２に対し、回転軸５０を中心にして組み付けられた回転
部材としてのロータ組（図示せず）とから主に構成され
ている。上記ロータ組は、ディスクを支持するためのハ
ブを有し、このハブの内周面の所定の位置には、後述す
るステータコア６に対向するように駆動マグネットが取
り付けられている。
【００５０】一方、上記ステータ組２は、ステータコア
６を有している。このステータコア６は、上記フレーム
１に一体的に形成された中空円筒状の支持ホルダ８の外
周に取り付けられていて、このステータコア６の各突極
部に巻線９がそれぞれ巻回されている。このステータコ
ア６は、上記ハブの内周面の所定の位置に取り付けられ
た駆動マグネットと対向している。
【００５１】上記支持ホルダ８の内周には、回転軸５０
に対して相対回転することができる円筒状の軸受１０が
取り付けられている。この軸受１０の内周面には、動圧
発生用の軸受面としてのラジアル動圧軸受部３１、３２
が形成されている。図示のように、上記ラジアル動圧軸
受部３１、３２は、後述する傾斜テーパ面を有する毛細
管シール部５２、５３によって軸方向に区分されてい
る。このラジアル動圧軸受部３１、３２を介することに
より、軸受１０の外周面に一体に取り付けられたハブ
（図示せず）が回転軸５０に対して相対的に回転するこ
とができるようになっている。
【００５２】上記軸受１０の下端には、環状の突起部１
０ａが形成されていて、この突起部１０ａの内側には、
二つのスラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂを構成してい
るリング状のスラストプレート１１が回転軸５０の下端
部に固着されている。図示のように、このスラストプレ
ート１１は、軸受１０の突起部１０ａの内側に位置する
底面と、フレーム１の中心孔１ａに嵌合されたカウンタ
プレート１２の上面とによって僅かな空間をおいて挟み
込まれ、これによって、それぞれの対向面の間に二つの
スラスト動圧軸受部１１ａ、１１ｂがそれぞれ構成され
ている。
【００５３】また、図９に示すように、軸受１０の内周
面には、ラジアル動圧軸受部３１、３２のそれぞれの上
下位置に傾斜テーパ面を有する毛細管シール部５１、５
２、５３、５４がそれぞれ形成されている。図示のよう
に、最も上側に位置する毛細管シール部５１の傾斜テー
パ面は、最も下側に位置する毛細管シール部５４の傾斜
テーパ面よりも軸方向に大きく形成されている。従っ
て、後述するように、最も上側に位置する毛細管シール
部５１から余分な潤滑流体１５が向心力と反対方向、す
なわち、回転の中心から遠ざかる方向に飛散される。
【００５４】軸受クリアランス内には、動圧軸受用の潤
滑流体１５が充填されるようになっている。軸受１０が
回転軸５０に対して相対回転することにより、軸受１０
に形成され、かつ一端が上記毛細管シール部５２、５３
に連通された空気抜き通路６０から軸受クリアランス内
の空気が外方に放出され、これによって、潤滑流体１５
は、上記毛細管シール部５１から毛細管シール部５２ま
での間、および上記毛細管シール部５３から毛細管シー
ル部５４までの間に充填されるようになっている。すな
わち、上記ラジアル動圧軸受部３１、３２の内周面は、
回転軸５０の外周面に対して上記潤滑流体１５を介して
非接触の摺動部を構成しており、ラジアル動圧軸受部３
１、３２の内周面と回転軸５０の外周面とによってラジ
アル方向の動圧面が構成されている。
【００５５】上記軸受クリアランス内には、蒸発量を見
込んだ量よりも余分に潤滑流体１５が充填されていて、
遠心力によって余分な潤滑流体１５が飛散されて、上記
毛細管シール部５１、５２、５３、５４によって蒸発量
を見込んだ一定量の潤滑流体１５が安定に保持されてい
る。上記遠心力は、回転軸５０を固定した状態で軸受１
０を回転させることにより発生させる。
【００５６】このようにして発生させた遠心力によっ
て、図４に示すように毛細管シール部５１内の潤滑流体
１５が上昇し、毛細管シール部５１から余分な潤滑流体
１５が向心力と反対方向、すなわち、回転の中心から遠
ざかる方向に飛散される。前述のように、最も下側に位
置する毛細管シール部５４の傾斜テーパ面よりも最も上
側に位置する毛細管シール部５１の傾斜テーパ面の方が
軸方向に大きく形成されているため、余分な潤滑流体１
５は、毛細管シール部５１の傾斜テーパ面から上記方向
に飛散される。なお、飛散された余分な潤滑流体１５
は、図８に示すように、中空の筺体１８の孔１８ａに軸
受１０の上部をわずかな隙間を介して挿入することによ
り、筺体１８内に収容することができ、もって、飛散さ
れた余分な潤滑流体１５によって装置およびその周囲が
汚染されることはない。この場合も、遠心力を発生させ
る際の回転数は、流体軸受装置の最大使用回転数よりも
大きいことが望ましく、また、そのときの温度は流体軸
受装置の使用温度よりも高いことが望ましい。
【００５７】以上のように、遠心力によって余分な潤滑
流体１５を飛散させることによって、上記軸受クリアラ
ンス内には蒸発量を見込んだ一定量の潤滑流体１５が毛
細管シール部２１、２２によって安定に保持される。
【００５８】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、軸と、上
記軸に対して相対回転する軸受と、軸受クリアランス内
の潤滑流体を保持する毛細管シール部とを有し、潤滑流
体の動圧によって上記軸と上記軸受とを相対的に回転可
能に支承する流体軸受装置において、上記軸受クリアラ
ンス内の余分な潤滑流体は遠心力によって飛散され、上
記毛細管シール部によって潤滑流体が一定量に保持され
ているため、軸受クリアランス内の潤滑流体を安定に、
かつ確実に保持することができる。
【００５９】請求項２記載の発明によれば、軸と、上記
軸に対して相対回転する軸受と、軸受クリアランス内の
潤滑流体を保持する毛細管シール部とを有し、潤滑流体
の動圧によって上記軸と上記軸受とを相対的に回転可能
に支承する流体軸受装置の製造方法であって、上記軸受
クリアランス内の余分な潤滑流体を遠心力によって飛散
させ、上記毛細管シール部によって潤滑流体を一定量に
保持するようにしたため、軸受クリアランス内の潤滑流
体を安定に、かつ確実に保持することができる。
【００６０】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明において、上記遠心力を発生させる回転数は、
流体軸受装置の最大使用回転数よりも大きいため、流体
軸受装置が最大回転数で使用されても、潤滑流体が飛散
することがなく、軸受クリアランス内の潤滑流体を安定
に保持することができる。
【００６１】請求項４記載の発明によれば、請求項２ま
たは３記載の発明において、上記潤滑流体を遠心力によ
って飛散して一定量に安定させる際の温度は、流体軸受
装置の使用温度よりも高いため、軸受クリアランス内の
潤滑流体の粘度を下げて余分な潤滑流体を効果的に飛散
させることができ、通常の使用状態における流体軸受装
置の信頼度を高めると共に、軸受性能を向上させること
ができる。
【００６２】請求項５記載の発明によれば、請求項２、
３または４記載の発明において、飛散された潤滑流体を
吸収する吸収手段を流体軸受装置の周囲に設けたため、
飛散された余分な潤滑流体によって装置およびその周囲
が汚染されるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す右半部正面断面図で
ある。
【図２】上記実施の形態に適用された毛細管シール部１
３の周辺部を示す部分拡大断面図である。
【図３】別の実施の形態を示す右半部正面断面図であ
る。
【図４】本発明に適用可能な潤滑流体を示す作用図であ
る。
【図５】さらに別の実施の形態を示す右半部正面断面図
である。
【図６】さらに別の実施の形態を示す右半部正面断面図
である。
【図７】本発明に適用可能な潤滑流体を示す作用図であ
る。
【図８】本発明に適用可能な吸収手段を示す正面断面図
である。
【図９】さらに別の実施の形態を示す右半部正面断面図
である。
【符号の説明】
１ フレーム ２ ステータ組 ３、５０ 回転軸 ４ ロータ組 ８ 支持ホルダ １０ 軸受 １１ スラストプレート １１ａ、１１ｂ スラスト動圧軸受部 １２ カウンタプレート １３、１４ 毛細管シール部 １５ 潤滑流体 １６ 回転体 １８ 筺体 ２０、３０ 固定軸 ２１、２２ 毛細管シール部 ２３、３８ 吸収材 ３１、３２ ラジアル動圧軸受部 ３４、３５、３６、３７ 毛細管シール部 ４０、６０ 空気抜き通路 ５１、５２、５３、５４ 毛細管シール部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 五明 正人 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 株式会社 三協精機製作所内 (72)発明者 矢沢 岳彦 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 株式会社 三協精機製作所内 (72)発明者 多胡 登喜雄 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 株式会社 三協精機製作所内 (72)発明者 三浦 和司 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 株式会社 三協精機製作所内 (72)発明者 松田 隆平 長野県諏訪郡下諏訪町5329番地 株式会社 三協精機製作所内 Ｆターム(参考） 3J011 AA07 BA02 BA09 CA02 JA02 KA02 KA03 MA03 MA23 5D109 BB01 BB17 BB21 BB22 5H607 AA05 BB01 BB14 BB17 BB25 CC01 DD01 DD02 DD03 DD05 DD16 FF01 GG01 GG02 GG12 GG28

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 軸と、 上記軸に対して相対回転する軸受と、 軸受クリアランス内の潤滑流体を保持する毛細管シール
    部とを有し、 潤滑流体の動圧によって上記軸と上記軸受とを相対的に
    回転可能に支承する流体軸受装置において、 上記軸受クリアランス内の余分な潤滑流体は遠心力によ
    って飛散され、上記毛細管シール部によって潤滑流体が
    一定量に保持されていることを特徴とする流体軸受装
    置。
  2. 【請求項２】 軸と、 上記軸に対して相対回転する軸受と、 軸受クリアランス内の潤滑流体を保持する毛細管シール
    部とを有し、 潤滑流体の動圧によって上記軸と上記軸受とを相対的に
    回転可能に支承する流体軸受装置の製造方法であって、 上記軸受クリアランス内の余分な潤滑流体を遠心力によ
    って飛散させ、上記毛細管シール部によって潤滑流体を
    一定量に保持することを特徴とする流体軸受装置の製造
    方法。
  3. 【請求項３】 上記遠心力を発生させる回転数は、流体
    軸受装置の最大使用回転数よりも大きいことを特徴とす
    る請求項２記載の流体軸受装置の製造方法。
  4. 【請求項４】 上記潤滑流体を遠心力によって飛散して
    一定量に安定させる際の温度は、流体軸受装置の使用温
    度よりも高いことを特徴とする請求項２または３記載の
    流体軸受装置の製造方法。
  5. 【請求項５】 飛散された潤滑流体を吸収する吸収手段
    を流体軸受装置の周囲に設けることを特徴とする請求項
    ２、３、または４記載の流体軸受装置の製造方法。
  6. 【請求項６】 上記遠心力は、上記軸と上記軸受とを一
    体に回転させることにより発生することを特徴とする請
    求項２、３、４、または５記載の流体軸受装置の製造方
    法。
  7. 【請求項７】 上記遠心力は、上記軸受を回転させるこ
    とにより発生することを特徴とする請求項２、３、４、
    または５記載の流体軸受装置の製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7040019B2 (en) * 2002-04-03 2006-05-09 Ntn Corporation Method and apparatus for manufacturing hydro dynamic bearing device
US7600320B2 (en) 2003-03-28 2009-10-13 Ntn Corporation Method for manufacturing hydro dynamic bearing device
JP2010281349A (ja) * 2009-06-02 2010-12-16 Alphana Technology Co Ltd ディスク駆動装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6939046B2 (en) * 2002-07-15 2005-09-06 Minebea Co., Ltd. Hydrodynamic bearing, spindle motor and hard disk drive
US7445087B2 (en) * 2004-12-17 2008-11-04 Mt Hydraulics, Llc Seal-less head apparatus
US7362022B2 (en) * 2005-05-10 2008-04-22 Seagate Technology Llc Column capillary seal for FDB motors
US7416341B2 (en) * 2005-06-16 2008-08-26 Seagate Technology Llc Capillary reservoir for FDB motors
DE102007054272A1 (de) * 2007-11-14 2009-05-28 Minebea Co., Ltd. Fluiddynamisches Lagersystem
US9721608B2 (en) 2015-03-13 2017-08-01 Nidec Corporation Spindle motor and disk drive apparatus

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2939604A1 (de) * 1979-09-29 1981-04-16 Barmag Barmer Maschinenfabrik Ag, 5630 Remscheid Verfahren zur oelschmierung von lagern und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
JP2506836B2 (ja) * 1987-11-02 1996-06-12 松下電器産業株式会社 動圧型流体軸受装置
US5570908A (en) * 1994-03-24 1996-11-05 Texas Instruments Incorporated Low particulate rotary union
US5558443A (en) * 1994-07-22 1996-09-24 Quantum Corporation Shaft seal for hydrodynamic bearing unit
US5658080A (en) * 1994-12-16 1997-08-19 Nidec Corporation Motor with a hydro-dynamic bearing
US5791784A (en) * 1995-04-10 1998-08-11 Nidec Corporation Fluid dynamic pressure bearing and motor and magnetic disk apparatus using fluid dynamic pressure bearing
JP3558768B2 (ja) * 1995-12-26 2004-08-25 日本電産株式会社 動圧流体軸受を備えたモータ
NL1007921C2 (nl) * 1997-12-29 1999-06-30 Skf Ind Trading & Dev Lager met vetdosering.
US6181039B1 (en) * 1998-06-11 2001-01-30 Seagate Technology Llc Centrifugal capillary seal for use with fluid dynamic bearings
JP2000120691A (ja) * 1998-10-16 2000-04-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体軸受けスピンドルモータ装置
US6190049B1 (en) * 1998-10-19 2001-02-20 Vincent H. Rose Fluid thrust bearing for indicating instruments and the like

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7040019B2 (en) * 2002-04-03 2006-05-09 Ntn Corporation Method and apparatus for manufacturing hydro dynamic bearing device
US7600320B2 (en) 2003-03-28 2009-10-13 Ntn Corporation Method for manufacturing hydro dynamic bearing device
US8020301B2 (en) 2003-03-28 2011-09-20 Ntn Corporation Method for manufacturing hydro dynamic bearing device
JP2010281349A (ja) * 2009-06-02 2010-12-16 Alphana Technology Co Ltd ディスク駆動装置
US8315011B2 (en) 2009-06-02 2012-11-20 Alphana Technology Co., Ltd. Disk drive device improved in stiffness of fluid dynamic bearing

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US6378209B1 (en) 2002-04-30

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