JP2000284208A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JP2000284208A JP2000284208A JP11087870A JP8787099A JP2000284208A JP 2000284208 A JP2000284208 A JP 2000284208A JP 11087870 A JP11087870 A JP 11087870A JP 8787099 A JP8787099 A JP 8787099A JP 2000284208 A JP2000284208 A JP 2000284208A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- rotary polygon
- laser beam
- rotation unevenness
- mirror
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
- G02B26/122—Control of the scanning speed of the polygonal mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は被走査体上を光ビームで走査する光走
査装置に関し、回転多面鏡の回転に起因して発生する空
気の流れの乱れによる回転多面鏡の回転ムラを抑制す
る。 【解決手段】回転多面鏡１７を回転方向に取り巻く、回
転方向に凹凸した波形の内面を有するほぼ円筒形状の回
転ムラ抑制部材５０を備えた。
査装置に関し、回転多面鏡の回転に起因して発生する空
気の流れの乱れによる回転多面鏡の回転ムラを抑制す
る。 【解決手段】回転多面鏡１７を回転方向に取り巻く、回
転方向に凹凸した波形の内面を有するほぼ円筒形状の回
転ムラ抑制部材５０を備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被走査体上を光ビー
ムで走査する光走査装置に関する。
ムで走査する光走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ディジタル技術の発達、光源の発
達により、画像信号に応じて変調された光ビームで、例
えば写真シートやその他光に対して感度を持つ媒体上を
走査して画像を記録するプリンタ等が広く使用されてお
り、このプリンタ等には、光ビームで媒体（ここでは一
般的に被走査体と称する）上を走査する光走査装置が採
用されている。
達により、画像信号に応じて変調された光ビームで、例
えば写真シートやその他光に対して感度を持つ媒体上を
走査して画像を記録するプリンタ等が広く使用されてお
り、このプリンタ等には、光ビームで媒体（ここでは一
般的に被走査体と称する）上を走査する光走査装置が採
用されている。
【０００３】この光走査装置は、一般的な例として、レ
ーザダイオードから出射したレーザビームを回転多面鏡
（ポリゴンミラー）で繰り返し反射偏向し、その反射偏
向されたレーザビームを被走査体上に導いて被走査体上
を走査するように構成される。
ーザダイオードから出射したレーザビームを回転多面鏡
（ポリゴンミラー）で繰り返し反射偏向し、その反射偏
向されたレーザビームを被走査体上に導いて被走査体上
を走査するように構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ここで、回転多面鏡は
高速で回転するため、その周囲に風を発生させ、その風
が、その回転多面鏡がある程度区切られた部屋に設置さ
れた場合のその部屋の内壁や、特に部屋に区切られてい
ない場合であってもその回転多面鏡の近くに配置された
各種部材等にぶつかって乱れ、それが回転多面鏡の回転
に影響して回転ムラが生じ、ひいてはこれが被走査体上
での光ビームの走査ムラとなり、高精度な走査を行なう
ことができなくなってしまうおそれがある。その対策の
ために、回転多面鏡を、周囲に風を遮るもののない広々
とした場所に設置するとも考えられるが、それでは光走
査装置全体の小型化が図られないことになる。
高速で回転するため、その周囲に風を発生させ、その風
が、その回転多面鏡がある程度区切られた部屋に設置さ
れた場合のその部屋の内壁や、特に部屋に区切られてい
ない場合であってもその回転多面鏡の近くに配置された
各種部材等にぶつかって乱れ、それが回転多面鏡の回転
に影響して回転ムラが生じ、ひいてはこれが被走査体上
での光ビームの走査ムラとなり、高精度な走査を行なう
ことができなくなってしまうおそれがある。その対策の
ために、回転多面鏡を、周囲に風を遮るもののない広々
とした場所に設置するとも考えられるが、それでは光走
査装置全体の小型化が図られないことになる。
【０００５】本発明は、上記事情に鑑み、回転多面鏡の
回転に起因して発生する空気の流れの乱れによる回転多
面鏡の回転ムラが抑制された光走査装置を提供すること
を目的とするものである。
回転に起因して発生する空気の流れの乱れによる回転多
面鏡の回転ムラが抑制された光走査装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の光走査装置は、光ビームを出射する光源と、その光
源から出射した光ビームを反射偏向する回転多面鏡とを
備え、回転多面鏡で反射偏向された光ビームで被測定体
上を走査する光走査装置において、上記回転多面鏡を回
転方向に取り巻く、その回転方向に凹凸した波形の内面
を有するほぼ円筒形状の回転ムラ抑制部材を備えたこと
を特徴とする。
明の光走査装置は、光ビームを出射する光源と、その光
源から出射した光ビームを反射偏向する回転多面鏡とを
備え、回転多面鏡で反射偏向された光ビームで被測定体
上を走査する光走査装置において、上記回転多面鏡を回
転方向に取り巻く、その回転方向に凹凸した波形の内面
を有するほぼ円筒形状の回転ムラ抑制部材を備えたこと
を特徴とする。
【０００７】本発明者による、回転多面鏡の周囲の壁を
様々に工夫した実験によると、回転方向に凹凸した波形
の内面を有する回転ムラ抑制部材で回転多面鏡をほぼ円
筒形状に取り巻くことにより回転ムラを効果的に抑制す
ることができることが判明した。
様々に工夫した実験によると、回転方向に凹凸した波形
の内面を有する回転ムラ抑制部材で回転多面鏡をほぼ円
筒形状に取り巻くことにより回転ムラを効果的に抑制す
ることができることが判明した。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
説明する。
【０００９】図１、図２および図３は、本発明の光走査
装置の、それぞれ、カバーを取り外した状態の平面図、
同じくカバーを取り外した状態の正面図、および図１に
示す矢印Ｘ−Ｘ方向に見た断面図である。
装置の、それぞれ、カバーを取り外した状態の平面図、
同じくカバーを取り外した状態の正面図、および図１に
示す矢印Ｘ−Ｘ方向に見た断面図である。
【００１０】図１に示すように、この光走査装置１００
の本体部１０には、レーザダイオード１２が搭載された
基板１１が備えられており、この基板１１に搭載された
レーザダイオード１２からレーザビーム１２ａが水平方
向に出射される。このレーザダイオード１２から出射し
たレーザビーム１２ａは、コリメータレンズ１３、シリ
ンダレンズ１４を経由し、さらに２枚の反射ミラー１
５，１６でそれぞれ反射して回転多面鏡１７に入射す
る。この回転多面鏡１７は、本体部１０に固定された基
板１８上に作り込まれたモータ１９の回転軸に取り付け
られており、モータ１９の回転に伴って矢印Ａ方向に回
転し、入射したレーザビームを繰り返し反射偏向する。
この回転多面鏡１７は、基板１８およびモータ１９とと
もに、部屋２０に配置されている。
の本体部１０には、レーザダイオード１２が搭載された
基板１１が備えられており、この基板１１に搭載された
レーザダイオード１２からレーザビーム１２ａが水平方
向に出射される。このレーザダイオード１２から出射し
たレーザビーム１２ａは、コリメータレンズ１３、シリ
ンダレンズ１４を経由し、さらに２枚の反射ミラー１
５，１６でそれぞれ反射して回転多面鏡１７に入射す
る。この回転多面鏡１７は、本体部１０に固定された基
板１８上に作り込まれたモータ１９の回転軸に取り付け
られており、モータ１９の回転に伴って矢印Ａ方向に回
転し、入射したレーザビームを繰り返し反射偏向する。
この回転多面鏡１７は、基板１８およびモータ１９とと
もに、部屋２０に配置されている。
【００１１】この部屋２０の内部に配置された基板１８
には図示しない電子回路部品が多数搭載されており、さ
らにモータ１９も搭載されており、これらの発熱により
部屋２０の内部がかなり加熱されてしまう。そこでここ
では、部屋２０の外部に放熱フィン２１を備え、部屋２
０の内部と部屋外部の放熱フィン２１との間をヒートパ
イプ２２で接続している。部屋２０内部の熱はヒートパ
イプ２２を伝達して放熱フィン２１で放熱され、部屋２
０の内部が冷却される。
には図示しない電子回路部品が多数搭載されており、さ
らにモータ１９も搭載されており、これらの発熱により
部屋２０の内部がかなり加熱されてしまう。そこでここ
では、部屋２０の外部に放熱フィン２１を備え、部屋２
０の内部と部屋外部の放熱フィン２１との間をヒートパ
イプ２２で接続している。部屋２０内部の熱はヒートパ
イプ２２を伝達して放熱フィン２１で放熱され、部屋２
０の内部が冷却される。
【００１２】また、この部屋２０の内部には、回転多面
鏡１７へのレーザビームの入口の部分をおよび回転多面
鏡１７で反射偏向されたレーザビームの出口の部分を除
き、実質的にその全周がほぼ円筒形状の回転ムラ抑制部
材５０で取り巻かれている。この回転ムラ抑制部材５０
は、その内壁面が回転多面鏡の回転方向に凹凸したギザ
ギザの波形に形成されている。回転多面鏡１７をこのよ
うな回転ムラ抑制部材５０で取り巻くと、回転多面鏡１
７の回転ムラが効果的に抑制され、高精度の走査を行な
うことのできる光走査装置が実現する。尚、回転多面鏡
１７の回転ムラは、このレーザビームにより走査される
被走査体上の走査の始点と終点にそれぞれ光センサを配
置し、それらの光センサで得られる受光信号で知ること
ができる。ただし簡易的には、走査の開始タイミングを
検知する後述する光センサ３２（図２参照）で得られる
受光信号でも回転ムラを知ることができる。
鏡１７へのレーザビームの入口の部分をおよび回転多面
鏡１７で反射偏向されたレーザビームの出口の部分を除
き、実質的にその全周がほぼ円筒形状の回転ムラ抑制部
材５０で取り巻かれている。この回転ムラ抑制部材５０
は、その内壁面が回転多面鏡の回転方向に凹凸したギザ
ギザの波形に形成されている。回転多面鏡１７をこのよ
うな回転ムラ抑制部材５０で取り巻くと、回転多面鏡１
７の回転ムラが効果的に抑制され、高精度の走査を行な
うことのできる光走査装置が実現する。尚、回転多面鏡
１７の回転ムラは、このレーザビームにより走査される
被走査体上の走査の始点と終点にそれぞれ光センサを配
置し、それらの光センサで得られる受光信号で知ること
ができる。ただし簡易的には、走査の開始タイミングを
検知する後述する光センサ３２（図２参照）で得られる
受光信号でも回転ムラを知ることができる。
【００１３】回転多面鏡１７で反射偏向されたレーザビ
ームは、ｆθレンズを構成する２個のレンズ２３，２５
のうちの第１のレンズ２３を通過し、本体部１００の一
側面（図２に示す側面）に寄った位置に配置された反射
ミラー２４でその側面に沿って下方に進むように反射さ
れ、その側面に配置された、ｆθレンズを構成する２個
のレンズ２３，２５のうちの第２のレンズ２５を通過す
る。ここでは本体部１０の上面に配置された第１のレン
ズ２３と本体部１０の側面に配置された第２のレンズ２
４との間の、本体部１０の上面と側面との境界部分に反
射ミラー２４を配置して水平方向に進むレーザビームの
光路を下向きに折り返すようにしたため、本体部１０の
上面や側面をうまく使い、この光走査装置１００をコン
パクトに構成している。
ームは、ｆθレンズを構成する２個のレンズ２３，２５
のうちの第１のレンズ２３を通過し、本体部１００の一
側面（図２に示す側面）に寄った位置に配置された反射
ミラー２４でその側面に沿って下方に進むように反射さ
れ、その側面に配置された、ｆθレンズを構成する２個
のレンズ２３，２５のうちの第２のレンズ２５を通過す
る。ここでは本体部１０の上面に配置された第１のレン
ズ２３と本体部１０の側面に配置された第２のレンズ２
４との間の、本体部１０の上面と側面との境界部分に反
射ミラー２４を配置して水平方向に進むレーザビームの
光路を下向きに折り返すようにしたため、本体部１０の
上面や側面をうまく使い、この光走査装置１００をコン
パクトに構成している。
【００１４】反射ミラー２４で下向きに折り返され第２
のレンズ２５を通過したレーザビームは、さらに、その
側面の下部に配置された反射ミラー２６で折り返され、
さらに図３に示すシリンダミラー２７で再度下向きに折
り返され、カバーガラス２８を通過してこの光走査装置
１００の外部に出射され、被走査体（図示せず）を、直
線状に走査する。
のレンズ２５を通過したレーザビームは、さらに、その
側面の下部に配置された反射ミラー２６で折り返され、
さらに図３に示すシリンダミラー２７で再度下向きに折
り返され、カバーガラス２８を通過してこの光走査装置
１００の外部に出射され、被走査体（図示せず）を、直
線状に走査する。
【００１５】また、回転多面体１７で反射され走査の開
始点の方向に進むレーザビーム１２ｂ（図２参照）は、
反射ミラー２６で反射された後、本体部１０の下部隅に
配置された小さな反射ミラー２９で反射ミラー２６に向
けて反射される。
始点の方向に進むレーザビーム１２ｂ（図２参照）は、
反射ミラー２６で反射された後、本体部１０の下部隅に
配置された小さな反射ミラー２９で反射ミラー２６に向
けて反射される。
【００１６】尚、レーザビームの光路は反射ミラー２６
で折り曲げられるが、図２では解り易さのため、走査開
始点にあるレーザビーム１２ｂについて反射ミラー２６
での光路の折れ曲がりを無視し、図３に示すように実際
には本体部１０の下部隅に配置されている反射ミラー２
９を空中に浮いたように示してある。
で折り曲げられるが、図２では解り易さのため、走査開
始点にあるレーザビーム１２ｂについて反射ミラー２６
での光路の折れ曲がりを無視し、図３に示すように実際
には本体部１０の下部隅に配置されている反射ミラー２
９を空中に浮いたように示してある。
【００１７】反射ミラー２９で反射ミラー２６に向けて
反射された走査開始点にあるレーザビーム１２ｂは、反
射ミラー２６で再度反射され、光センサ用レンズ３０を
経由して、基板３１上に固定された光センサ３２によっ
て受光される。この光センサ３２での受光信号により各
走査の開始タイミングを知ることができる。尚、走査の
開始タイミング検知に代えて走査の終了タイミングの検
知を行なってもよい。
反射された走査開始点にあるレーザビーム１２ｂは、反
射ミラー２６で再度反射され、光センサ用レンズ３０を
経由して、基板３１上に固定された光センサ３２によっ
て受光される。この光センサ３２での受光信号により各
走査の開始タイミングを知ることができる。尚、走査の
開始タイミング検知に代えて走査の終了タイミングの検
知を行なってもよい。
【００１８】本実施形態は、上記のように、本体部１０
の下部隅に反射ミラー２９を配置し、反射ミラー２６で
反射された走査開始点にあるレーザビーム１２ｂを反射
して反射ミラー２６で再度反射させる構成であり、一枚
の反射ミラー２６が二回使用され、したがって部品点数
が削減され、この光走査装置１００のコストダウン、コ
ンパクト化に寄与している。
の下部隅に反射ミラー２９を配置し、反射ミラー２６で
反射された走査開始点にあるレーザビーム１２ｂを反射
して反射ミラー２６で再度反射させる構成であり、一枚
の反射ミラー２６が二回使用され、したがって部品点数
が削減され、この光走査装置１００のコストダウン、コ
ンパクト化に寄与している。
【００１９】この本体部１０の上面およびレーザビーム
が通過する側面は、図３に示すようにカバー４０で覆わ
れる。
が通過する側面は、図３に示すようにカバー４０で覆わ
れる。
【００２０】ここで、この本体部１０は、図１の上下方
向に狭く、左右方向に広い形状を有する。これは、走査
の方向（図１の左右方向）について走査のためのレーザ
ビームの広い通過領域が必要であるということと、この
光走査装置は、実際の取付状態においてはここには図示
しない他の装置に図１の上下方向から挟まれるという事
情があることから、図１に示すような横長の形状となっ
ている。
向に狭く、左右方向に広い形状を有する。これは、走査
の方向（図１の左右方向）について走査のためのレーザ
ビームの広い通過領域が必要であるということと、この
光走査装置は、実際の取付状態においてはここには図示
しない他の装置に図１の上下方向から挟まれるという事
情があることから、図１に示すような横長の形状となっ
ている。
【００２１】この本体部１０の図１の左右の両端には、
この光走査装置１００を全体装置（例えばスキャナやプ
リンタ等）に取り付けたり、メンテナンスのために取り
外したりするときのための把っ手３３，３４が配備され
ている。この把っ手３３，３４を配備したことにより、
この光走査装置１００を持ち上げて全体装置に取り付け
たり取り外したりする作業の便が大きく向上する。
この光走査装置１００を全体装置（例えばスキャナやプ
リンタ等）に取り付けたり、メンテナンスのために取り
外したりするときのための把っ手３３，３４が配備され
ている。この把っ手３３，３４を配備したことにより、
この光走査装置１００を持ち上げて全体装置に取り付け
たり取り外したりする作業の便が大きく向上する。
【００２２】
【実施例】次に、本発明の実施例を比較例と比較しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００２３】図４は、本発明の実施例を示す図であり、
図１を参照して説明した、部屋２０の内部に配置された
回転多面鏡１７を回転方向に取り巻く、回転方向に凹凸
に波形の内面を有するほぼ円筒形状の回転ムラ抑制部材
５０を配置した状態を示している。
図１を参照して説明した、部屋２０の内部に配置された
回転多面鏡１７を回転方向に取り巻く、回転方向に凹凸
に波形の内面を有するほぼ円筒形状の回転ムラ抑制部材
５０を配置した状態を示している。
【００２４】図５〜図１２は、本発明に対する各種の比
較例を示す図であり、図５は、回転ムラ対策を特に施さ
ない状態（比較例１）、図６は、部屋を実質的にほぼ密
封した状態（比較例２）、図７は、回転多面鏡を、内壁
面が平坦なほぼ円筒形の部材で囲った状態（比較例
３）、多数の孔を穿設したラバー５３を部屋２０の側壁
に貼った状態（比較例４）、多数の孔を穿設したラバー
５３を部屋２０の側壁に貼るとともに、図３に示すカバ
ー４０の、部屋２０の上面を成す部分の内面にも、多数
の孔を穿設したラバー５４を貼った状態（比較例５）、
図１０は、多数の孔を穿設したラバー５５で回転多面鏡
１７を回転方向にほぼ円筒状に取り巻いた状態（比較例
６）、図１１は、回転多面鏡の回転方向に凹凸した波形
の部材５６を、部屋２０の、外部と通じている部分にの
み配置した状態（比較例７）、および図１２は、回転多
面鏡の回転方向に凹凸した波形の部材５７で、回転多面
鏡１７のほぼ半周を覆った状態（比較例８）を示してい
る。
較例を示す図であり、図５は、回転ムラ対策を特に施さ
ない状態（比較例１）、図６は、部屋を実質的にほぼ密
封した状態（比較例２）、図７は、回転多面鏡を、内壁
面が平坦なほぼ円筒形の部材で囲った状態（比較例
３）、多数の孔を穿設したラバー５３を部屋２０の側壁
に貼った状態（比較例４）、多数の孔を穿設したラバー
５３を部屋２０の側壁に貼るとともに、図３に示すカバ
ー４０の、部屋２０の上面を成す部分の内面にも、多数
の孔を穿設したラバー５４を貼った状態（比較例５）、
図１０は、多数の孔を穿設したラバー５５で回転多面鏡
１７を回転方向にほぼ円筒状に取り巻いた状態（比較例
６）、図１１は、回転多面鏡の回転方向に凹凸した波形
の部材５６を、部屋２０の、外部と通じている部分にの
み配置した状態（比較例７）、および図１２は、回転多
面鏡の回転方向に凹凸した波形の部材５７で、回転多面
鏡１７のほぼ半周を覆った状態（比較例８）を示してい
る。
【００２５】図４〜図１２に示すような各種部材を配置
し、図３に示すカバー４０で部屋２０の上部を覆い、こ
こでは簡易的に、図２に示す光センサ３２による受光信
号をモニタして回転多面鏡１７の回転ムラを測定した。
し、図３に示すカバー４０で部屋２０の上部を覆い、こ
こでは簡易的に、図２に示す光センサ３２による受光信
号をモニタして回転多面鏡１７の回転ムラを測定した。
【００２６】表１に、回転ムラ測定結果を示す。
【００２７】
【表１】
【００２８】この表１からわかるように、実施例によれ
ば、回転多面鏡の回転ムラを大幅に抑えることができ
る。
ば、回転多面鏡の回転ムラを大幅に抑えることができ
る。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回転多面鏡の回転ムラの小さい、したがって高精度の走
査を行なうことのできる光走査装置が実現する。
回転多面鏡の回転ムラの小さい、したがって高精度の走
査を行なうことのできる光走査装置が実現する。
【図１】本発明の光走査装置のカバーを取り外した状態
の平面図である。
の平面図である。
【図２】本発明の光走査装置のカバーを取り外した状態
の正面図である。
の正面図である。
【図３】本発明の光走査装置の、図１に示す矢印Ｘ−Ｘ
方向に見た断面図である。
方向に見た断面図である。
【図４】本発明の実施例を示す図である。
【図５】本発明に対する比較例を示す図である。
【図６】本発明に対する比較例を示す図である。
【図７】本発明に対する比較例を示す図である。
【図８】本発明に対する比較例を示す図である。
【図９】本発明に対する比較例を示す図である。
【図１０】本発明に対する比較例を示す図である。
【図１１】本発明に対する比較例を示す図である。
【図１２】本発明に対する比較例を示す図である。
１０ 本体部 １１ 基板 １２ レーザダイオード １２ａ，１２ｂ レーザビーム １３ コリメータレンズ １４ シリンダレンズ １５，１６ 反射ミラー １７ 回転多面鏡 １８ 基板 １９ モータ ２０ 部屋 ２１ 放熱フィン ２２ ヒートパイプ ２３ 第１のｆθレンズ ２４ 反射ミラー ２５ 第２のｆθレンズ ２６ 反射ミラー ２７ シリンダミラー ２８ カバーガラス ２９ 反射ミラー ３０ 光センサ用レンズ ３１ 基板 ３２ 光センサ ３３，３４ 把っ手 ４０ カバー ５０ 回転ムラ抑制部材 １００ 光走査装置
Claims (1)
- 【請求項１】 光ビームを出射する光源と、該光源から
出射した光ビームを反射偏向する回転多面鏡とを備え、
該回転多面鏡で反射偏向された光ビームで被測定体上を
走査する光走査装置において、 前記回転多面鏡を回転方向に取り巻く、該回転方向に凹
凸した波形の内面を有するほぼ円筒形状の回転ムラ抑制
部材を備えたことを特徴とする光走査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08787099A JP3434727B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 光走査装置 |
| US09/536,699 US6424447B1 (en) | 1999-03-30 | 2000-03-28 | Optical scanning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08787099A JP3434727B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 光走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000284208A true JP2000284208A (ja) | 2000-10-13 |
| JP3434727B2 JP3434727B2 (ja) | 2003-08-11 |
Family
ID=13926915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08787099A Expired - Fee Related JP3434727B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 光走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6424447B1 (ja) |
| JP (1) | JP3434727B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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