JP2000283905A - マルチチャンネルｑｃｍセンサデバイス - Google Patents
マルチチャンネルｑｃｍセンサデバイスInfo
- Publication number
- JP2000283905A JP2000283905A JP11089410A JP8941099A JP2000283905A JP 2000283905 A JP2000283905 A JP 2000283905A JP 11089410 A JP11089410 A JP 11089410A JP 8941099 A JP8941099 A JP 8941099A JP 2000283905 A JP2000283905 A JP 2000283905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- sample
- sensor device
- exposed
- quartz substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水晶基板の表面に複数の電極を隣接させかつ
各電極の裏面に対向電極を形成したマルチチャンネルＱ
ＣＭセンサデバイスでは、試料に晒される電極形成部に
凹凸部が多くなり、その面を次回の計測のために完全に
洗浄するのが難しい。 【解決手段】 水晶基板２０は、試料に晒される電極２
１Ａ〜２１Ｄが形成される面を平坦構造とし、この面の
洗浄を確実、容易にする。電極２１Ａ〜２１Ｄまたはそ
の裏面電極の一方を１つの共通電極にしたこと、試料に
晒される面を縁部を残して掘り下げた平坦面にし、この
掘り下げ部を試料溜めとすることも含む。
各電極の裏面に対向電極を形成したマルチチャンネルＱ
ＣＭセンサデバイスでは、試料に晒される電極形成部に
凹凸部が多くなり、その面を次回の計測のために完全に
洗浄するのが難しい。 【解決手段】 水晶基板２０は、試料に晒される電極２
１Ａ〜２１Ｄが形成される面を平坦構造とし、この面の
洗浄を確実、容易にする。電極２１Ａ〜２１Ｄまたはそ
の裏面電極の一方を１つの共通電極にしたこと、試料に
晒される面を縁部を残して掘り下げた平坦面にし、この
掘り下げ部を試料溜めとすることも含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子の電極
表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの水晶振動子の
発振周波数やインピーダンス等の電気的特性の変化から
電極表面での試料の成分を検知・定量するＱＣＭ（Ｑｕ
ａｒｔｚ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃ
ｅ）センサデバイスに係り、特に同じ試料から複数の成
分を同時に検知・定量するのに適したマルチチャンネル
ＱＣＭセンサデバイスに関する。
表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの水晶振動子の
発振周波数やインピーダンス等の電気的特性の変化から
電極表面での試料の成分を検知・定量するＱＣＭ（Ｑｕ
ａｒｔｚ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃ
ｅ）センサデバイスに係り、特に同じ試料から複数の成
分を同時に検知・定量するのに適したマルチチャンネル
ＱＣＭセンサデバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】化学・生化学の分野において、反応量や
生成物質量を定量することは重要なことであるが、極め
て微量の反応量に対して十分な検出感度を得ることは難
しかった。
生成物質量を定量することは重要なことであるが、極め
て微量の反応量に対して十分な検出感度を得ることは難
しかった。
【０００３】近年、ＡＴカット水晶振動子を用いてマイ
クロバランス原理を応用したケミカル及びバイオセンサ
が注目を集めている。ＡＴカット水晶振動子は、その主
共振周波数が振動子の板厚と反比例する。この場合、水
晶振動子の電極面に試料成分が成膜したり、あるいは物
質の吸着が起きると表面に存在する物質の単位平面積当
たりの重量に対応した周波数のシフトが起きる。
クロバランス原理を応用したケミカル及びバイオセンサ
が注目を集めている。ＡＴカット水晶振動子は、その主
共振周波数が振動子の板厚と反比例する。この場合、水
晶振動子の電極面に試料成分が成膜したり、あるいは物
質の吸着が起きると表面に存在する物質の単位平面積当
たりの重量に対応した周波数のシフトが起きる。
【０００４】ＱＣＭセンサは、上記の周波数シフト現象
を応用したもので、ＡＴカット水晶振動子は広い温度範
囲において周波数が安定しているため、安定した検出感
度が期待でき、条件が揃えば１〜１０ｎｇの吸着物質の
検出がリアルタイムで可能である。以下に吸着物質量と
周波数のシフト量の関係を示す。
を応用したもので、ＡＴカット水晶振動子は広い温度範
囲において周波数が安定しているため、安定した検出感
度が期待でき、条件が揃えば１〜１０ｎｇの吸着物質の
検出がリアルタイムで可能である。以下に吸着物質量と
周波数のシフト量の関係を示す。
【０００５】まず、ＡＴカット水晶振動子の共振周波数
は、下記の（１）、（２）式で表わされる。
は、下記の（１）、（２）式で表わされる。
【０００６】
【数１】
【０００７】ここで、ｆ0：水晶振動子の主共振周波
数、ν：水晶中での音速、ｔq：水晶の厚さ、μq：せん
断弾性定数、ρq：水晶の密度である。
数、ν：水晶中での音速、ｔq：水晶の厚さ、μq：せん
断弾性定数、ρq：水晶の密度である。
【０００８】この主共振周波数ｆ0を持つ水晶振動子の
表面に生じる質量変化Δｍは、主共振周波数と水晶の厚
さの関係式を展開してＳａｕｅｒｂｒｅｙの（３）式の
ようになる。
表面に生じる質量変化Δｍは、主共振周波数と水晶の厚
さの関係式を展開してＳａｕｅｒｂｒｅｙの（３）式の
ようになる。
【０００９】上記の（３）式において、Δｆは質量付加
による周波数変化、Ａpiezoは電気的有効面積、Ｃfは全
体感度である。これを液中で使用する際に、Δｆは液の
粘度と密度にも影響されるため、（４）式のように書き
直される。
による周波数変化、Ａpiezoは電気的有効面積、Ｃfは全
体感度である。これを液中で使用する際に、Δｆは液の
粘度と密度にも影響されるため、（４）式のように書き
直される。
【００１０】ここで、ηLは溶液の粘性率、ρLは溶液の
密度、ω0＝２πｆ0である。また、全体感度Ｃfは
（５）式で表わされる。
密度、ω0＝２πｆ0である。また、全体感度Ｃfは
（５）式で表わされる。
【００１１】上記の（５）式から分るように、全体感度
Ｃfを上げるには主共振周波数ｆ0を上げることが重要と
なる。また、全体感度Ｃf自身も周波数の関数であるか
ら、実際に周波数のずれ量Δｆは主共振周波数ｆ0の３
／２乗に依存することになる。
Ｃfを上げるには主共振周波数ｆ0を上げることが重要と
なる。また、全体感度Ｃf自身も周波数の関数であるか
ら、実際に周波数のずれ量Δｆは主共振周波数ｆ0の３
／２乗に依存することになる。
【００１２】従って、センサとして用いる水晶振動子の
主共振周波数を高くするほど、高感度のセンサとするこ
とができる。例えば、図５は、１５ｗｔ％（重量パーセ
ント）のグルコース溶液に浸した水晶振動子の周波数シ
フト量Δｆを主共振周波数ｆ 0の変化に対してプロット
したものである。主共振周波数ｆ0が高ければ同じ電極
表面の吸着量に対して共振周波数のずれが大きく取れる
ことが分る。
主共振周波数を高くするほど、高感度のセンサとするこ
とができる。例えば、図５は、１５ｗｔ％（重量パーセ
ント）のグルコース溶液に浸した水晶振動子の周波数シ
フト量Δｆを主共振周波数ｆ 0の変化に対してプロット
したものである。主共振周波数ｆ0が高ければ同じ電極
表面の吸着量に対して共振周波数のずれが大きく取れる
ことが分る。
【００１３】上記のように、ＡＴカット水晶振動子は、
厚みすべりのモードを使用しているため、主共振周波数
ｆ0はその厚みｔqと反比例する。また、水晶振動子は、
十分なγ値（水晶振動子の等価回路では並列容量と直列
容量の比、通常はＡＴカットで２５０ぐらいで少ない程
よい）を得るためには電極有効面積も周波数に比例して
小さくする必要がある。以上の理由で高周波用の水晶振
動子は電極面積が小さく、しかも水晶厚の薄いものが必
要となる。
厚みすべりのモードを使用しているため、主共振周波数
ｆ0はその厚みｔqと反比例する。また、水晶振動子は、
十分なγ値（水晶振動子の等価回路では並列容量と直列
容量の比、通常はＡＴカットで２５０ぐらいで少ない程
よい）を得るためには電極有効面積も周波数に比例して
小さくする必要がある。以上の理由で高周波用の水晶振
動子は電極面積が小さく、しかも水晶厚の薄いものが必
要となる。
【００１４】一方、ＱＣＭセンサを実現するには、共振
周波数を正確に測り、なおかつ振動子表面は試料ガスあ
るいは試料溶液に晒すという条件を満たすため、図６に
示すように、水晶振動子１を容器２内に保持させ、試料
に晒す振動子表面のみを露出させてその周辺をＯリング
３等でシールし、水晶振動子の電極１Ａ，１Ｂからリー
ド線を使って発振回路またはインピーダンス測定回路４
に接続する装置構成になる。
周波数を正確に測り、なおかつ振動子表面は試料ガスあ
るいは試料溶液に晒すという条件を満たすため、図６に
示すように、水晶振動子１を容器２内に保持させ、試料
に晒す振動子表面のみを露出させてその周辺をＯリング
３等でシールし、水晶振動子の電極１Ａ，１Ｂからリー
ド線を使って発振回路またはインピーダンス測定回路４
に接続する装置構成になる。
【００１５】上記のような構成になるＱＣＭセンサは、
その水晶振動子を高周波に対応した薄い水晶基板とする
場合、シール部にかかる応力により基板が歪んだり割れ
たりするため、高周波のセンサデバイスは実用化が難し
かった。しかし、Ｚｕｘｕａｎ Ｌｉｎ等により単一セ
ルでエッチングにより基板の中央部のみを薄くする方法
でＱＣＭセンサデバイスを作製する方法が提案されてい
る。この場合、水晶振動子の枠にあたる部分は従来用い
られていた５〜６ＭＨｚ相当（０.３ｍｍ程度）の厚み
を持っており、シールによって大きな歪みを発生するこ
ともない。また、薄板化された部分は電極面積を十分に
小さく取ってエネルギートラップが起こっているため、
枠の影響を受けにくくすることができる。
その水晶振動子を高周波に対応した薄い水晶基板とする
場合、シール部にかかる応力により基板が歪んだり割れ
たりするため、高周波のセンサデバイスは実用化が難し
かった。しかし、Ｚｕｘｕａｎ Ｌｉｎ等により単一セ
ルでエッチングにより基板の中央部のみを薄くする方法
でＱＣＭセンサデバイスを作製する方法が提案されてい
る。この場合、水晶振動子の枠にあたる部分は従来用い
られていた５〜６ＭＨｚ相当（０.３ｍｍ程度）の厚み
を持っており、シールによって大きな歪みを発生するこ
ともない。また、薄板化された部分は電極面積を十分に
小さく取ってエネルギートラップが起こっているため、
枠の影響を受けにくくすることができる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】以上のような方法でセ
ンサ感度を上げるＱＣＭセンサが実現されるが、従来の
ＱＣＭセンサデバイスは何れも１セル内に１つのセンサ
しか配置されていない。したがって、従来のＱＣＭセン
サは、１サンプルから一度に１つの成分の測定しか行な
えない。
ンサ感度を上げるＱＣＭセンサが実現されるが、従来の
ＱＣＭセンサデバイスは何れも１セル内に１つのセンサ
しか配置されていない。したがって、従来のＱＣＭセン
サは、１サンプルから一度に１つの成分の測定しか行な
えない。
【００１７】このことは、例えば、複数の成分を含む試
料溶液から各成分を検知・定量するには、成分毎にそれ
を検知・定量できるセルを用意し、１セル１サンプルと
いう制約された測定になり、複数の成分測定にはそれだ
け測定時間が長くかかるし、測定コストも高くなるとい
う問題がある。
料溶液から各成分を検知・定量するには、成分毎にそれ
を検知・定量できるセルを用意し、１セル１サンプルと
いう制約された測定になり、複数の成分測定にはそれだ
け測定時間が長くかかるし、測定コストも高くなるとい
う問題がある。
【００１８】測定時間を短縮しようとするものとして、
マルチチャンネルタイプのＱＣＭセンサがある。このセ
ンサは、基板ホルダーに複数の水晶振動子を取り付け、
各水晶振動子上にプローブを移動操作し、各水晶振動子
での試料成分のデータを得る装置構成になる。
マルチチャンネルタイプのＱＣＭセンサがある。このセ
ンサは、基板ホルダーに複数の水晶振動子を取り付け、
各水晶振動子上にプローブを移動操作し、各水晶振動子
での試料成分のデータを得る装置構成になる。
【００１９】しかし、このマルチチャンネルタイプのＱ
ＣＭセンサは、プローブの移動操作による電界印加にな
り、プローブと各水晶振動子の相対位置のずれが発振周
波数やインピーダンスを変化させてしまう。このため、
従来のマルチチャンネルタイプＱＣＭセンサは、水晶振
動子の共振周波数等の測定条件を正確に維持するための
装置構成が難しく、結果的に安定した測定が望めないと
いう問題がある。
ＣＭセンサは、プローブの移動操作による電界印加にな
り、プローブと各水晶振動子の相対位置のずれが発振周
波数やインピーダンスを変化させてしまう。このため、
従来のマルチチャンネルタイプＱＣＭセンサは、水晶振
動子の共振周波数等の測定条件を正確に維持するための
装置構成が難しく、結果的に安定した測定が望めないと
いう問題がある。
【００２０】したがって、本発明は、センサ部をマルチ
チャンネル化しながら安定した測定を可能にし、しかも
センサ部の主共振周波数を高周波化することにより高精
度測定を可能にしたマルチチャンネルＱＣＭセンサデバ
イスを提供することを目的とする。
チャンネル化しながら安定した測定を可能にし、しかも
センサ部の主共振周波数を高周波化することにより高精
度測定を可能にしたマルチチャンネルＱＣＭセンサデバ
イスを提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】従来の技術で述べたよう
に、高感度なセンサを得るためには、基板厚を薄くした
高周波振動子を用いる必要があるが、機械的強度から薄
板化が制約される。例えば、５ＭＨｚ位の主共振周波数
を持つものでは、図６のように、試料雰囲気を測定回路
部分から分離を行なうためにシールドを施す場合、水晶
基板の割れや歪みを少なくするためには、少なくとも
０.２５ｍｍ以上の基板厚が必要となる。
に、高感度なセンサを得るためには、基板厚を薄くした
高周波振動子を用いる必要があるが、機械的強度から薄
板化が制約される。例えば、５ＭＨｚ位の主共振周波数
を持つものでは、図６のように、試料雰囲気を測定回路
部分から分離を行なうためにシールドを施す場合、水晶
基板の割れや歪みを少なくするためには、少なくとも
０.２５ｍｍ以上の基板厚が必要となる。
【００２２】また、従来のＱＣＭセンサデバイスは１サ
ンプルから一度に１つの成分の測定しか行なえない。
ンプルから一度に１つの成分の測定しか行なえない。
【００２３】このような課題を解決するＱＣＭセンサデ
バイスとして、本願出願人等はマルチチャンネル化した
ＱＣＭセンサデバイスを既に提案している。
バイスとして、本願出願人等はマルチチャンネル化した
ＱＣＭセンサデバイスを既に提案している。
【００２４】このマルチチャンネルＱＣＭセンサデバイ
スは、図７に平面図（ａ）と断面図（ｂ）で示すよう
に、水晶基板１０の周辺部は厚くしてその機械強度を確
保し、４チャンネル分の電極１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，
１１Ｄとそれらの裏面電極１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１
２Ｄが形成される振動子部分を水晶基板１０の両面から
エッチング処理で薄くした構造とすることで高周波化を
図る。
スは、図７に平面図（ａ）と断面図（ｂ）で示すよう
に、水晶基板１０の周辺部は厚くしてその機械強度を確
保し、４チャンネル分の電極１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，
１１Ｄとそれらの裏面電極１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１
２Ｄが形成される振動子部分を水晶基板１０の両面から
エッチング処理で薄くした構造とすることで高周波化を
図る。
【００２５】例えば、５ＭＨZ位の主共振周波数をもつ
厚みにした１インチ角の基板の両面に、各電極膜の形成
部分を主共振周波数が１０ＭＨZ以上になる厚みにまで
エッチングした構造とする。
厚みにした１インチ角の基板の両面に、各電極膜の形成
部分を主共振周波数が１０ＭＨZ以上になる厚みにまで
エッチングした構造とする。
【００２６】また、上記のマルチチャンネル構造の各電
極１１Ａ〜１１Ｄには、検知・定量しようとするサンプ
ルの成分毎に異なるレセプターを固定化することによ
り、１サンプルで電極別に異なる成分を一度に検知・定
量することを可能にし、しかも、従来のプローブの移動
操作機構を不要にする。
極１１Ａ〜１１Ｄには、検知・定量しようとするサンプ
ルの成分毎に異なるレセプターを固定化することによ
り、１サンプルで電極別に異なる成分を一度に検知・定
量することを可能にし、しかも、従来のプローブの移動
操作機構を不要にする。
【００２７】例えば、試料に晒される側の電極１１Ａ〜
１１Ｄの表面には、試料から検知・定量しようとする成
分に応じた互いに異なるレセプターが形成される。例え
ば、電極１１Ａには「はしか」のウイルスを検知・定量
するための「抗はしかウイルス抗体」が固定化され、電
極１１Ｂにはインフルエンザの抗体を検知・定量するた
めのインフルエンザ抗原が固定化されることで、異なる
ウイルスの検知・定量を一度に行うことができる。
１１Ｄの表面には、試料から検知・定量しようとする成
分に応じた互いに異なるレセプターが形成される。例え
ば、電極１１Ａには「はしか」のウイルスを検知・定量
するための「抗はしかウイルス抗体」が固定化され、電
極１１Ｂにはインフルエンザの抗体を検知・定量するた
めのインフルエンザ抗原が固定化されることで、異なる
ウイルスの検知・定量を一度に行うことができる。
【００２８】ここで、ＱＣＭセンサデバイスは、電極面
を試料溶液に晒して検知・定量測定を行った後、次回の
測定に備えて試料に晒された電極をもつ基板面の洗浄を
必要とする。この洗浄は、例えば、電解液から銀等を電
極面に析出させた場合、析出したときと逆方向に電流を
流し、析出した物質等を電極面から離脱させる。その
後、酸性溶液（例えばフッ酸）により水晶基板面を洗浄
する。
を試料溶液に晒して検知・定量測定を行った後、次回の
測定に備えて試料に晒された電極をもつ基板面の洗浄を
必要とする。この洗浄は、例えば、電解液から銀等を電
極面に析出させた場合、析出したときと逆方向に電流を
流し、析出した物質等を電極面から離脱させる。その
後、酸性溶液（例えばフッ酸）により水晶基板面を洗浄
する。
【００２９】この洗浄において、上記のマルチチャンネ
ルＱＣＭセンサデバイスは、電極１１Ａ〜１１Ｄ部が掘
り下げられた構造のため、前回の測定に使用された試料
溶液や試料ガス及び析出された試料成分を完全に除去す
るのが難しくなる。特に、マルチチャンネルＱＣＭセン
サデバイスでは、多チャンネル化を図るほど、基板面に
多数箇所で凹凸部が形成され、完全な洗浄が一層難しく
なる。これら電極面等への成分の残留は次回の測定精度
に影響を及ぼす恐れがある。
ルＱＣＭセンサデバイスは、電極１１Ａ〜１１Ｄ部が掘
り下げられた構造のため、前回の測定に使用された試料
溶液や試料ガス及び析出された試料成分を完全に除去す
るのが難しくなる。特に、マルチチャンネルＱＣＭセン
サデバイスでは、多チャンネル化を図るほど、基板面に
多数箇所で凹凸部が形成され、完全な洗浄が一層難しく
なる。これら電極面等への成分の残留は次回の測定精度
に影響を及ぼす恐れがある。
【００３０】そこで、本発明は、マルチチャンネルＱＣ
Ｍセンサデバイスにおいて、試料に晒される基板面を平
坦構造とすることでその面の洗浄を確実、容易にしたも
ので、以下の構成を特徴とする。
Ｍセンサデバイスにおいて、試料に晒される基板面を平
坦構造とすることでその面の洗浄を確実、容易にしたも
ので、以下の構成を特徴とする。
【００３１】（第１の発明）水晶基板の表面に複数の電
極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成
し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶
液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化または
インピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知
・定量するマルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにお
いて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面
を平坦構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を
掘り下げた凹部をもつ構造としたことを特徴とする。
極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成
し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶
液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化または
インピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知
・定量するマルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにお
いて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面
を平坦構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を
掘り下げた凹部をもつ構造としたことを特徴とする。
【００３２】（第２の発明）水晶基板の表面に複数の電
極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成
し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶
液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化または
インピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知
・定量するマルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにお
いて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面
を平坦構造とし、一方の面に形成する電極を１つの共通
電極としたことを特徴とする。
極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成
し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶
液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化または
インピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知
・定量するマルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにお
いて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面
を平坦構造とし、一方の面に形成する電極を１つの共通
電極としたことを特徴とする。
【００３３】（第３の発明）水晶基板の表面に複数の電
極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成
し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶
液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化または
インピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知
・定量するマルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにお
いて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面
を平坦構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を
掘り下げた凹部をもつ構造とし、一方の面に形成する電
極を１つの共通電極としたことを特徴とする。
極を隣接させて形成し、各電極の裏面に対向電極を形成
し、水晶基板の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶
液に晒したときの各電極別の主共振周波数の変化または
インピーダンスの変化から試料の成分を各電極別に検知
・定量するマルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにお
いて、前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面
を平坦構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を
掘り下げた凹部をもつ構造とし、一方の面に形成する電
極を１つの共通電極としたことを特徴とする。
【００３４】（第４の発明）前記水晶基板は、試料に晒
される面を縁部を残して掘り下げた平坦面を有し、この
平坦面に電極を形成し、この掘り下げた平坦面を試料溜
めとしたことを特徴とする。
される面を縁部を残して掘り下げた平坦面を有し、この
平坦面に電極を形成し、この掘り下げた平坦面を試料溜
めとしたことを特徴とする。
【００３５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態を示す
マルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスの平面図（ａ）
と断面図（ｂ）であり、４チャンネル構成の場合であ
る。
マルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスの平面図（ａ）
と断面図（ｂ）であり、４チャンネル構成の場合であ
る。
【００３６】水晶基板２０は、４角形で一様な厚みを持
つＡＴカット水晶で構成される。水晶基板２０の表裏面
には、その四方に対向して円形の電極（金や白金など）
２１Ａ〜２１Ｄと、その裏面電極２２Ａ〜２２Ｄが形成
され、各電極２１Ａ〜２１Ｄ、２２Ａ〜２２Ｄはそれぞ
れリード線２３Ａ〜２３Ｄ等で基板周辺の端子に引き出
される。
つＡＴカット水晶で構成される。水晶基板２０の表裏面
には、その四方に対向して円形の電極（金や白金など）
２１Ａ〜２１Ｄと、その裏面電極２２Ａ〜２２Ｄが形成
され、各電極２１Ａ〜２１Ｄ、２２Ａ〜２２Ｄはそれぞ
れリード線２３Ａ〜２３Ｄ等で基板周辺の端子に引き出
される。
【００３７】なお、水晶基板２０の電極形成面の厚み
は、前記の式（１）（２）に従った主共振周波数ｆ
0（５ＭＨZや１０ＭＨZ）に応じて決定される。また、
電極の面積は前記の式（３）〜（５）での感度を決める
要素として決定される。
は、前記の式（１）（２）に従った主共振周波数ｆ
0（５ＭＨZや１０ＭＨZ）に応じて決定される。また、
電極の面積は前記の式（３）〜（５）での感度を決める
要素として決定される。
【００３８】このような構造のセンサデバイスを使った
マルチチャンネルＱＣＭセンサを構成するには、前記の
図６と同様に、一方の面を試料に晒す構造にされる。こ
の試料に晒される側の電極２１Ａ〜２１Ｄの表面には、
試料から検知・定量しようとする成分に応じた互いに異
なるレセプターが形成される。
マルチチャンネルＱＣＭセンサを構成するには、前記の
図６と同様に、一方の面を試料に晒す構造にされる。こ
の試料に晒される側の電極２１Ａ〜２１Ｄの表面には、
試料から検知・定量しようとする成分に応じた互いに異
なるレセプターが形成される。
【００３９】また、各電極２１Ａ〜２１Ｄ、２２Ａ〜２
２Ｄから引き出された端子は、個別の発振回路またはイ
ンピーダンス測定回路に接続または１つの発振回路また
はインピーダンス測定回路に時分割で切り替え接続さ
れ、電極２１Ａ〜２１Ｄ側が試料に晒された場合の発振
周波数変化またはインピーダンス変化が個々に計測され
る。
２Ｄから引き出された端子は、個別の発振回路またはイ
ンピーダンス測定回路に接続または１つの発振回路また
はインピーダンス測定回路に時分割で切り替え接続さ
れ、電極２１Ａ〜２１Ｄ側が試料に晒された場合の発振
周波数変化またはインピーダンス変化が個々に計測され
る。
【００４０】ここで、本実施形態のマルチチャンネルＱ
ＣＭセンサデバイスが図７と異なる部分は、試料に晒さ
れる電極２１Ａ〜２１Ｄを形成する水晶基板面は平坦に
され、裏面に形成する電極２２Ａ〜２２Ｄ側の水晶基板
面は主振動周波数の関係から掘り下げた凹部をもつ構造
にされる。
ＣＭセンサデバイスが図７と異なる部分は、試料に晒さ
れる電極２１Ａ〜２１Ｄを形成する水晶基板面は平坦に
され、裏面に形成する電極２２Ａ〜２２Ｄ側の水晶基板
面は主振動周波数の関係から掘り下げた凹部をもつ構造
にされる。
【００４１】この構造により、マルチチャンネルＱＣＭ
センサデバイスを使った測定では、水晶基板２０は電極
２１Ａ〜２１Ｄの形成面が試料に晒される。そして、測
定後の水晶基板２０の洗浄は、電極２１Ａ〜２１Ｄの形
成面に対して行う。この洗浄に際して、電極２１Ａ〜２
１Ｄの形成面は、凹凸部のない平坦構造になるため、試
料成分等の残留物を完全に取り除くのが容易になる。
センサデバイスを使った測定では、水晶基板２０は電極
２１Ａ〜２１Ｄの形成面が試料に晒される。そして、測
定後の水晶基板２０の洗浄は、電極２１Ａ〜２１Ｄの形
成面に対して行う。この洗浄に際して、電極２１Ａ〜２
１Ｄの形成面は、凹凸部のない平坦構造になるため、試
料成分等の残留物を完全に取り除くのが容易になる。
【００４２】図２は、本発明の他の実施形態を示すマル
チチャンネルＱＣＭセンサデバイスの平面図（ａ）と断
面図（ｂ）であり、４チャンネル構成の場合である。
チチャンネルＱＣＭセンサデバイスの平面図（ａ）と断
面図（ｂ）であり、４チャンネル構成の場合である。
【００４３】同図が図１と異なる部分は、試料に晒され
る水晶基板面に形成する電極を１つの共通電極２１とし
た点にある。
る水晶基板面に形成する電極を１つの共通電極２１とし
た点にある。
【００４４】この共通電極２１は、一か所のリード線２
３で基板周辺の端子に引き出される。また、共通電極２
１は、その裏面電極２２Ａ〜２２Ｄに対向する部分に、
試料から検知・定量しようとする成分に応じた互いに異
なるレセプターが境界を有して形成される。
３で基板周辺の端子に引き出される。また、共通電極２
１は、その裏面電極２２Ａ〜２２Ｄに対向する部分に、
試料から検知・定量しようとする成分に応じた互いに異
なるレセプターが境界を有して形成される。
【００４５】本実施形態においても、前記の図１のもの
と同様に、洗浄に際して、共通電極２１の形成面は、凹
凸部のない平坦構造になるため、試料成分等の残留物を
完全に取り除くのが容易になる。
と同様に、洗浄に際して、共通電極２１の形成面は、凹
凸部のない平坦構造になるため、試料成分等の残留物を
完全に取り除くのが容易になる。
【００４６】これに加えて、本実施形態では、水晶基板
面に電極を形成するのに、一方の面には１つの共通電極
２１の形成で済み、製造が容易になる。すなわち、電極
の形成は、水晶基板の一面に金を蒸着した後、フォトリ
ソグラフィー法や化学エッチング法などにより各チャン
ネルのパターニングを行うが、共通電極の形成にはパタ
ーニングが不要となり、裏面電極のみパターニングする
ことで済む。
面に電極を形成するのに、一方の面には１つの共通電極
２１の形成で済み、製造が容易になる。すなわち、電極
の形成は、水晶基板の一面に金を蒸着した後、フォトリ
ソグラフィー法や化学エッチング法などにより各チャン
ネルのパターニングを行うが、共通電極の形成にはパタ
ーニングが不要となり、裏面電極のみパターニングする
ことで済む。
【００４７】また、本実施形態では、測定に際して、電
極から引き出された端子を、個別の発振回路またはイン
ピーダンス測定回路に接続または１つの発振回路または
インピーダンス測定回路に時分割で切り替え接続するの
に、共通電極２１から引き出された端子は１カ所にな
り、これら接続又は切り替え接続が容易になる。
極から引き出された端子を、個別の発振回路またはイン
ピーダンス測定回路に接続または１つの発振回路または
インピーダンス測定回路に時分割で切り替え接続するの
に、共通電極２１から引き出された端子は１カ所にな
り、これら接続又は切り替え接続が容易になる。
【００４８】さらにまた、本実施形態では、試料に晒さ
れる水晶基板面のほぼ全面が共通電極（金電極）２１で
覆われているため、試料と水晶基板が直接に接触するこ
とがなく、水晶基板をその汚染や腐食から保護すること
が可能である。
れる水晶基板面のほぼ全面が共通電極（金電極）２１で
覆われているため、試料と水晶基板が直接に接触するこ
とがなく、水晶基板をその汚染や腐食から保護すること
が可能である。
【００４９】以上のような構造（図１、図２）としたマ
ルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスは、試料に晒され
る面が平坦構造になるため、図７の構造に比べてその洗
浄が容易であるが、平坦構造であるがために振動が基板
面全体に伝搬し、チャンネル間の干渉の有無やチャンネ
ル毎の定量性が低下することが予想されるが、これら干
渉の発生や定量性の低下は起きないことを実験で確認し
た。
ルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスは、試料に晒され
る面が平坦構造になるため、図７の構造に比べてその洗
浄が容易であるが、平坦構造であるがために振動が基板
面全体に伝搬し、チャンネル間の干渉の有無やチャンネ
ル毎の定量性が低下することが予想されるが、これら干
渉の発生や定量性の低下は起きないことを実験で確認し
た。
【００５０】この実験に使用したマルチチャンネルＱＣ
Ｍセンサデバイスは、図７及び図１、図２の４チャンネ
ル構造で、水晶基板２０の厚さは２２７μｍ、電極形成
部（凹部）の厚さが１６７μｍで直径が８ｍｍ、電極の
直径が４.５ｍｍ（共通電極は全面）とし、各チャンネ
ルの共振周波数が１０ＭＨZのものとした。
Ｍセンサデバイスは、図７及び図１、図２の４チャンネ
ル構造で、水晶基板２０の厚さは２２７μｍ、電極形成
部（凹部）の厚さが１６７μｍで直径が８ｍｍ、電極の
直径が４.５ｍｍ（共通電極は全面）とし、各チャンネ
ルの共振周波数が１０ＭＨZのものとした。
【００５１】そして、各チャンネルに水を滴下したり、
あるいは電解液中で銀を電気化学的に析出させるなどし
てチャンネル間の干渉の有無や定量性について調べた。
このためのインピーダンス測定はネットワークアナライ
ザを用い、発振周波数については発振器と周波数カウン
タを用いた。以下、チャンネル間の干渉等について個別
に説明する。
あるいは電解液中で銀を電気化学的に析出させるなどし
てチャンネル間の干渉の有無や定量性について調べた。
このためのインピーダンス測定はネットワークアナライ
ザを用い、発振周波数については発振器と周波数カウン
タを用いた。以下、チャンネル間の干渉等について個別
に説明する。
【００５２】（１）チャンネル間の干渉 図７及び図１、図２の構造で、上記の形状のセンサデバ
イスについて、チャンネルＡ〜Ｄのいずれかに水を滴下
したときの、チャンネルＡのインピーダンス特性の変化
を観測した。その結果、下記の表に示すように、チャン
ネルＡに水を滴下したときのみ、共振周波数の変化ΔＦ
及び等価回路の抵抗値の変化ΔＲ1などにノイズレベル
を越える変化がみられ、他のチャンネルに水を滴下した
場合にはチャンネルＡには変化が見られなかった。ま
た、図１および図２のセンサデバイスは、図７のものと
では差異が少なく、振動が他のチャンネルに伝搬せず、
チャンネル間の干渉がないことが確認された。
イスについて、チャンネルＡ〜Ｄのいずれかに水を滴下
したときの、チャンネルＡのインピーダンス特性の変化
を観測した。その結果、下記の表に示すように、チャン
ネルＡに水を滴下したときのみ、共振周波数の変化ΔＦ
及び等価回路の抵抗値の変化ΔＲ1などにノイズレベル
を越える変化がみられ、他のチャンネルに水を滴下した
場合にはチャンネルＡには変化が見られなかった。ま
た、図１および図２のセンサデバイスは、図７のものと
では差異が少なく、振動が他のチャンネルに伝搬せず、
チャンネル間の干渉がないことが確認された。
【００５３】
【表１】
【００５４】（２）チャンネル毎の定量性 ０.２Ｍ過塩素酸を含む１ｍＭ硝酸銀水溶液中で、チャ
ンネルＡ〜Ｄのいずれかに銀を析出させ（定電流：１μ
Ａ）、チャンネルＡにおけるインピーダンス特性、ある
いは発振周波数の変化を測定した。
ンネルＡ〜Ｄのいずれかに銀を析出させ（定電流：１μ
Ａ）、チャンネルＡにおけるインピーダンス特性、ある
いは発振周波数の変化を測定した。
【００５５】その結果、図３に示すように、チャンネル
Ａに電解析出させたときのみ、周波数等の変化を観測す
ることができた。また、このときの周波数変化は、Ｓａ
ｕｅｒｂｒｅｙの式から予測される値（理論値）とほぼ
一致した。
Ａに電解析出させたときのみ、周波数等の変化を観測す
ることができた。また、このときの周波数変化は、Ｓａ
ｕｅｒｂｒｅｙの式から予測される値（理論値）とほぼ
一致した。
【００５６】これらのことから、図１、図２の構造のセ
ンサデバイスは、図７のものと同様に、各チャンネルは
独立した振動子として質量変化の定量的評価に使用でき
ることが確認された。
ンサデバイスは、図７のものと同様に、各チャンネルは
独立した振動子として質量変化の定量的評価に使用でき
ることが確認された。
【００５７】図４は、本発明の他の実施形態を示すマル
チチャンネルＱＣＭセンサデバイスの平面図（ａ）と断
面図（ｂ）であり、４チャンネル構成の場合である。
チチャンネルＱＣＭセンサデバイスの平面図（ａ）と断
面図（ｂ）であり、４チャンネル構成の場合である。
【００５８】同図が図１と異なる部分は、試料に晒され
る側の水晶基板面を縁部を残して掘り下げた平坦面に電
極２１Ａ〜２１Ｄを形成した点にある。
る側の水晶基板面を縁部を残して掘り下げた平坦面に電
極２１Ａ〜２１Ｄを形成した点にある。
【００５９】本実施形態は、水晶基板の表裏面に対向さ
せて形成する電極のうち、試料に晒される電極の形成部
分を掘り下げた構造とし、この掘り下げ部分を試料溜め
にするものである。
せて形成する電極のうち、試料に晒される電極の形成部
分を掘り下げた構造とし、この掘り下げ部分を試料溜め
にするものである。
【００６０】本実施形態は、測定対象試料が溶液になる
場合に適用できるものであり、電極２１Ａ〜２１Ｄの形
成部に試料溜めができるよう基板面を縁部を残して掘り
下げ、その外周部が電極形成部よりも高くなる構造とし
ている。
場合に適用できるものであり、電極２１Ａ〜２１Ｄの形
成部に試料溜めができるよう基板面を縁部を残して掘り
下げ、その外周部が電極形成部よりも高くなる構造とし
ている。
【００６１】以上の構造になるマルチチャンネルＱＣＭ
センサデバイスにおいては、前記の実施形態の構造に比
べて、試料に晒される面には基板周辺部で凹部が形成さ
れるが、電極間には凹凸部がなく、図７のものに比べて
その洗浄が容易になる。
センサデバイスにおいては、前記の実施形態の構造に比
べて、試料に晒される面には基板周辺部で凹部が形成さ
れるが、電極間には凹凸部がなく、図７のものに比べて
その洗浄が容易になる。
【００６２】しかも、縁部の作用により、基板上の試料
溶液が基板周辺に流れ出すことを防止できる。また、基
板周辺に付着する電極接着剤等が試料溶液に混入したり
反応するのを防止できる。
溶液が基板周辺に流れ出すことを防止できる。また、基
板周辺に付着する電極接着剤等が試料溶液に混入したり
反応するのを防止できる。
【００６３】なお、試料溜めをもつ構造は、図２の構造
のものにも適用できる。つまり、共通電極２１を形成す
る面を試料溜めができる深さまで掘り下げた構造とする
ことができる。
のものにも適用できる。つまり、共通電極２１を形成す
る面を試料溜めができる深さまで掘り下げた構造とする
ことができる。
【００６４】以上までの各実施形態において、試料に晒
されない電極側を１つの共通電極にして同等の作用効果
を得ることができる。例えば、図１の構造において裏面
電極２２Ａ〜２２Ｄを１つの共通電極とすること、図２
の構造において試料に晒される面にチャンネル毎の電極
を設け、裏面電極を１つの共通電極とすること、図４の
構造において裏面電極２２Ａ〜２２Ｄを１つの共通電極
とすることができる。
されない電極側を１つの共通電極にして同等の作用効果
を得ることができる。例えば、図１の構造において裏面
電極２２Ａ〜２２Ｄを１つの共通電極とすること、図２
の構造において試料に晒される面にチャンネル毎の電極
を設け、裏面電極を１つの共通電極とすること、図４の
構造において裏面電極２２Ａ〜２２Ｄを１つの共通電極
とすることができる。
【００６５】また、実施形態では、４チャンネルの場合
を示すが、９チャンネルなど多チャンネルＱＣＭセンサ
デバイスとすることができる。
を示すが、９チャンネルなど多チャンネルＱＣＭセンサ
デバイスとすることができる。
【００６６】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、試料に
晒される電極形成部の面を平坦構造にしたため、試料に
晒された電極形成部の洗浄が確実、容易になり、しか
も、平坦構造にしてチャンネル間の干渉が発生すること
なく、定量性にも影響なく、各チャンネルを独立した振
動子とすることができ、高精度の繰り返し測定が可能と
なる。
晒される電極形成部の面を平坦構造にしたため、試料に
晒された電極形成部の洗浄が確実、容易になり、しか
も、平坦構造にしてチャンネル間の干渉が発生すること
なく、定量性にも影響なく、各チャンネルを独立した振
動子とすることができ、高精度の繰り返し測定が可能と
なる。
【図１】本発明の実施形態を示すマルチチャンネルＱＣ
Ｍセンサデバイス。
Ｍセンサデバイス。
【図２】本発明の他の実施形態を示すマルチチャンネル
ＱＣＭセンサデバイス。
ＱＣＭセンサデバイス。
【図３】実施形態における周波数変化の測定結果。
【図４】本発明の他の実施形態を示すマルチチャンネル
ＱＣＭセンサデバイス。
ＱＣＭセンサデバイス。
【図５】ＱＣＭセンサによる周波数シフト特性の例。
【図６】ＱＣＭセンサデバイスの収納装置の例。
【図７】本発明に係るマルチチャンネルＱＣＭセンサデ
バイス。
バイス。
１０、２０…水晶基板 １１Ａ〜１１Ｄ、２１Ａ〜２１Ｄ…試料に晒される電極 １２Ａ〜１２Ｄ、２２Ａ〜２２Ｄ…裏面電極 ２１…共通電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 能仁 東京都武蔵野市中町１−34−３武蔵野パー クマンション301 (72)発明者 波戸崎 修 東京都小金井市本町１−２−12アーバンハ イム202 (72)発明者 北寄崎 薫 東京都品川区大崎２丁目１番17号 株式会 社明電舎内 (72)発明者 羽場 方紀 東京都品川区大崎２丁目１番17号 株式会 社明電舎内 (72)発明者 野口 卓孝 東京都品川区大崎２丁目１番17号 株式会 社明電舎内
Claims (4)
- 【請求項１】 水晶基板の表面に複数の電極を隣接させ
て形成し、各電極の裏面に対向電極を形成し、水晶基板
の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したと
きの各電極別の主共振周波数の変化またはインピーダン
スの変化から試料の成分を各電極別に検知・定量するマ
ルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにおいて、 前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面を平坦
構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を掘り下
げた凹部をもつ構造としたことを特徴とするマルチチャ
ンネルＱＣＭセンサデバイス。 - 【請求項２】 水晶基板の表面に複数の電極を隣接させ
て形成し、各電極の裏面に対向電極を形成し、水晶基板
の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したと
きの各電極別の主共振周波数の変化またはインピーダン
スの変化から試料の成分を各電極別に検知・定量するマ
ルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにおいて、 前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面を平坦
構造とし、一方の面に形成する電極を１つの共通電極と
したことを特徴とするマルチチャンネルＱＣＭセンサデ
バイス。 - 【請求項３】 水晶基板の表面に複数の電極を隣接させ
て形成し、各電極の裏面に対向電極を形成し、水晶基板
の一方の面の電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したと
きの各電極別の主共振周波数の変化またはインピーダン
スの変化から試料の成分を各電極別に検知・定量するマ
ルチチャンネルＱＣＭセンサデバイスにおいて、 前記水晶基板は、試料に晒される側の電極形成面を平坦
構造とし、この裏面の対向電極が形成される面を掘り下
げた凹部をもつ構造とし、一方の面に形成する電極を１
つの共通電極としたことを特徴とするマルチチャンネル
ＱＣＭセンサデバイス。 - 【請求項４】 前記水晶基板は、試料に晒される面を縁
部を残して掘り下げた平坦面を有し、この平坦面に電極
を形成し、この掘り下げた平坦面を試料溜めとしたこと
を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のマル
チチャンネルＱＣＭセンサデバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08941099A JP3933340B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | マルチチャンネルｑｃｍセンサデバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08941099A JP3933340B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | マルチチャンネルｑｃｍセンサデバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000283905A true JP2000283905A (ja) | 2000-10-13 |
| JP3933340B2 JP3933340B2 (ja) | 2007-06-20 |
Family
ID=13969888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08941099A Expired - Fee Related JP3933340B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | マルチチャンネルｑｃｍセンサデバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3933340B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004205392A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Japan Science & Technology Agency | Ｑｃｍ装置及び試料測定方法 |
| WO2005001440A1 (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-06 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | 水晶センサ |
| WO2005031316A1 (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-07 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 自動分析方法及び装置 |
| JP2006234685A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kyocera Kinseki Corp | 微少質量検出チップ |
| JP2006234687A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kyocera Kinseki Corp | 微少質量検出チップ |
| JP2006234686A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kyocera Kinseki Corp | 微少質量検出チップ |
| WO2007018187A1 (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Kyowa Medex Co., Ltd. | 測定器具及びこれを用いた測定用キット、測定方法、測定装置並びに圧電振動子の再生方法 |
| JP2008032617A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Kyocera Kinseki Corp | Ｑｃｍセンサ |
| JP2010002413A (ja) * | 2008-05-20 | 2010-01-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電センサ及び感知装置 |
| JP2012008029A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
| CN104048893A (zh) * | 2014-06-19 | 2014-09-17 | 中国科学院理化技术研究所 | 用于检测hcn气体的石英晶体微天平传感器及其制法和应用 |
| US9086338B2 (en) | 2010-06-25 | 2015-07-21 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
| US9791412B2 (en) | 2013-06-12 | 2017-10-17 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5892908A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-02 | Seikosha Co Ltd | 圧電振動子を用いた検出装置 |
| US4596697A (en) * | 1984-09-04 | 1986-06-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Chemical sensor matrix |
| JPH02118434A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Meidensha Corp | 液体の汚染度測定器 |
| JPH04289438A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-14 | Meidensha Corp | 微量測定用センサー |
| JPH06194290A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-15 | Hitachi Ltd | 水質評価方法および装置 |
| JPH06245754A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-06 | Terumo Corp | 塩基配列読み取り装置 |
| JPH07190916A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Tokyo Denpa Kk | 匂いセンサと匂い測定装置 |
| JPH0875628A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-22 | Nippon Steel Corp | 流体中吸着物量連続測定用フローセル |
| JPH08193854A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-07-30 | Terumo Corp | マトリックス電極振動子およびそのセンサ |
| JPH09126979A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-16 | Yazaki Corp | 水滴検出装置 |
| JPH09145583A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-06-06 | Dev Center For Biotechnol | カートリッジ状の圧電センサチップ |
| WO2000026636A1 (fr) * | 1998-11-02 | 2000-05-11 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Capteur qcm |
| JP2000258324A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-22 | Hokuto Denko Kk | Ｑｃｍセンサデバイス |
| JP2002532717A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | サイミックス テクノロジーズ、インク | 迅速な物質特性評価のためのセンサ配列に基づくシステム及びその方法 |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP08941099A patent/JP3933340B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5892908A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-02 | Seikosha Co Ltd | 圧電振動子を用いた検出装置 |
| US4596697A (en) * | 1984-09-04 | 1986-06-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Chemical sensor matrix |
| JPH02118434A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Meidensha Corp | 液体の汚染度測定器 |
| JPH04289438A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-14 | Meidensha Corp | 微量測定用センサー |
| JPH06194290A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-15 | Hitachi Ltd | 水質評価方法および装置 |
| JPH06245754A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-06 | Terumo Corp | 塩基配列読み取り装置 |
| JPH07190916A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Tokyo Denpa Kk | 匂いセンサと匂い測定装置 |
| JPH0875628A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-22 | Nippon Steel Corp | 流体中吸着物量連続測定用フローセル |
| JPH08193854A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-07-30 | Terumo Corp | マトリックス電極振動子およびそのセンサ |
| JPH09126979A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-16 | Yazaki Corp | 水滴検出装置 |
| JPH09145583A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-06-06 | Dev Center For Biotechnol | カートリッジ状の圧電センサチップ |
| WO2000026636A1 (fr) * | 1998-11-02 | 2000-05-11 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Capteur qcm |
| JP2002532717A (ja) * | 1998-12-11 | 2002-10-02 | サイミックス テクノロジーズ、インク | 迅速な物質特性評価のためのセンサ配列に基づくシステム及びその方法 |
| JP2000258324A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-22 | Hokuto Denko Kk | Ｑｃｍセンサデバイス |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 立間徹、渡邉能仁、小山昇、北寄崎薫、羽場方紀: "マルチチャンネルＱＣＭの開発（１）", 電気化学会大会講演要旨集, vol. 66, JPN4006023354, 24 March 1999 (1999-03-24), pages 261, ISSN: 0000796658 * |
| 立間徹、渡邉能仁、小山昇、北寄崎薫、羽場方紀: "マルチチャンネルＱＣＭの開発（１）", 電気化学会大会講演要旨集, vol. 66, JPNX007011858, 24 March 1999 (1999-03-24), pages 261, ISSN: 0000826193 * |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004205392A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Japan Science & Technology Agency | Ｑｃｍ装置及び試料測定方法 |
| WO2005001440A1 (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-06 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | 水晶センサ |
| WO2005031316A1 (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-07 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 自動分析方法及び装置 |
| JPWO2005031316A1 (ja) * | 2003-09-29 | 2006-12-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 自動分析方法及び装置 |
| JP4597711B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2010-12-15 | 京セラキンセキ株式会社 | 微少質量検出チップ |
| JP2006234685A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kyocera Kinseki Corp | 微少質量検出チップ |
| JP2006234687A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kyocera Kinseki Corp | 微少質量検出チップ |
| JP2006234686A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kyocera Kinseki Corp | 微少質量検出チップ |
| JP4597710B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2010-12-15 | 京セラキンセキ株式会社 | 微少質量検出チップ |
| WO2007018187A1 (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Kyowa Medex Co., Ltd. | 測定器具及びこれを用いた測定用キット、測定方法、測定装置並びに圧電振動子の再生方法 |
| JP2008032617A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Kyocera Kinseki Corp | Ｑｃｍセンサ |
| JP2010002413A (ja) * | 2008-05-20 | 2010-01-07 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電センサ及び感知装置 |
| JP2012008029A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 感知装置 |
| US9086338B2 (en) | 2010-06-25 | 2015-07-21 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
| US9791412B2 (en) | 2013-06-12 | 2017-10-17 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Sensing device |
| CN104048893A (zh) * | 2014-06-19 | 2014-09-17 | 中国科学院理化技术研究所 | 用于检测hcn气体的石英晶体微天平传感器及其制法和应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3933340B2 (ja) | 2007-06-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6544478B1 (en) | QCM sensor | |
| CN1894583B (zh) | 利用具有功能化表面的谐振器的生物传感器 | |
| JP3717696B2 (ja) | Ｑｃｍセンサデバイス | |
| US8349611B2 (en) | Resonant sensors and methods of use thereof for the determination of analytes | |
| JP3933340B2 (ja) | マルチチャンネルｑｃｍセンサデバイス | |
| JP5140724B2 (ja) | 水晶振動子及びこれを使用した測定方法 | |
| US7788979B2 (en) | Monolithic antenna excited acoustic transduction device | |
| KR20090093486A (ko) | 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한물리/생화학 센서 및 그 제작방법 | |
| US10466194B2 (en) | Piezoelectric biochips having fluidic channels | |
| CN102937607B (zh) | 一种串联柔性振动压电隔膜式生物传感器及其制备方法 | |
| JP2004340766A (ja) | 化学物質検出装置 | |
| KR100698439B1 (ko) | 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서 | |
| US20110177584A1 (en) | Acoustic wave sensor and detection method using acoustic wave sensor | |
| US9140668B2 (en) | Device and method for detecting at least one substance | |
| JP3699737B2 (ja) | マトリックス電極振動子およびそのセンサ | |
| US20210265974A1 (en) | Film bulk acoustic sensors using thin ln-lt layer | |
| US7193352B1 (en) | Thin film bulk acoustic wave sensor suite | |
| US9140671B2 (en) | Quantitative sensor and manufacturing method thereof | |
| KR100336084B1 (ko) | 큐씨엠 센서 | |
| JP2003315235A (ja) | 分析方法 | |
| JP2003240694A (ja) | マルチチャネル微量質量センサ | |
| JP2004264255A (ja) | 質量測定チップ、質量測定装置および質量測定チップの製造方法 | |
| JP2011517249A (ja) | 流体環境で元素を検出するためのデバイス及び方法 | |
| JP6950890B2 (ja) | 検出素子およびその製造方法 | |
| JP2005214989A (ja) | Ｑｃｍセンサデバイス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041126 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060420 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060626 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070213 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070306 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070313 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100330 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110330 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110330 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120330 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130330 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |