JPH08193854A - マトリックス電極振動子およびそのセンサ - Google Patents
マトリックス電極振動子およびそのセンサInfo
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- JPH08193854A JPH08193854A JP579195A JP579195A JPH08193854A JP H08193854 A JPH08193854 A JP H08193854A JP 579195 A JP579195 A JP 579195A JP 579195 A JP579195 A JP 579195A JP H08193854 A JPH08193854 A JP H08193854A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小で、高感度で、マルチチャンネル化が可
能なマトリックス水晶振動子センサを提供する。 【構成】 水晶振動子板２と、該水晶振動子板２の一方
面に形成された少なくとも１本の帯状電極３と、該水晶
振動子板２の他方面に該帯状電極３と略直交方向となる
ように形成された複数の帯状電極３とから構成されてな
る。
能なマトリックス水晶振動子センサを提供する。 【構成】 水晶振動子板２と、該水晶振動子板２の一方
面に形成された少なくとも１本の帯状電極３と、該水晶
振動子板２の他方面に該帯状電極３と略直交方向となる
ように形成された複数の帯状電極３とから構成されてな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査・診断に用いるセ
ンサに関する。詳しくは、マルチチャンネル測定が可能
なマトリックス電極振動子およびそのセンサに関する。
ンサに関する。詳しくは、マルチチャンネル測定が可能
なマトリックス電極振動子およびそのセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、微小の質量の変化を測定する方法
として、水晶振動子マイクロバランス（Quartz Crystal
Microbalance, ＱＣＭ）原理を利用したガスセンサ、
湿度センサ、メッキ膜厚センサなどが知られている。
として、水晶振動子マイクロバランス（Quartz Crystal
Microbalance, ＱＣＭ）原理を利用したガスセンサ、
湿度センサ、メッキ膜厚センサなどが知られている。
【０００３】水晶振動子素子の基本構造は、水晶振動子
板とその両表面に形成した電極とから構成され、それら
２つの電極には、水晶板の持つ固有周波数で共振できる
ような外部発振回路が接続されてなる。
板とその両表面に形成した電極とから構成され、それら
２つの電極には、水晶板の持つ固有周波数で共振できる
ような外部発振回路が接続されてなる。
【０００４】このような構造からなる水晶振動子素子を
有する水晶振動子センサは、水晶振動子の共振周波数の
変化は水晶と接触している質量の変化と関係付けられる
という性質を利用して被検物質のセンシングは行なわれ
ている。
有する水晶振動子センサは、水晶振動子の共振周波数の
変化は水晶と接触している質量の変化と関係付けられる
という性質を利用して被検物質のセンシングは行なわれ
ている。
【０００５】また、多項目の検査を行うものとして、複
数個のセンサを並べて、マルチチャンネルのセンサシス
テムとすると、水晶振動子を複数個配置して測定するた
め装置が大型化となり、また、特性の揃った水晶振動子
センサを多量に用意する必要があるなどの問題があり、
多項目検査に使用するのは実際上は困難である。
数個のセンサを並べて、マルチチャンネルのセンサシス
テムとすると、水晶振動子を複数個配置して測定するた
め装置が大型化となり、また、特性の揃った水晶振動子
センサを多量に用意する必要があるなどの問題があり、
多項目検査に使用するのは実際上は困難である。
【０００６】また、１枚の水晶振動子板の上に複数個の
センサを構築すれば、小型化、高感度化が可能になりバ
イオセンサに好ましいものになるが、センサが微小化す
ることにより、電極リード線の取り方やその存在が問題
になるため、マルチチャンネルの水晶振動子センサの提
供が困難であった。
センサを構築すれば、小型化、高感度化が可能になりバ
イオセンサに好ましいものになるが、センサが微小化す
ることにより、電極リード線の取り方やその存在が問題
になるため、マルチチャンネルの水晶振動子センサの提
供が困難であった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
の問題点に鑑みてなされたものであって、水晶振動子板
の一方面に形成された少なくとも１本の帯状電極と、水
晶振動子板の他面に該帯状電極と略直交方向となるよう
に形成された複数の帯状電極とからなるため、一方面お
よび他方面に形成された帯状電極が交差する部分が水晶
振動子素子となるため、マルチチャンネル計測が可能
で、高感度で、微小のセンシングポイントを持つマトリ
ックス電極振動子およびそのセンサを提供する。
の問題点に鑑みてなされたものであって、水晶振動子板
の一方面に形成された少なくとも１本の帯状電極と、水
晶振動子板の他面に該帯状電極と略直交方向となるよう
に形成された複数の帯状電極とからなるため、一方面お
よび他方面に形成された帯状電極が交差する部分が水晶
振動子素子となるため、マルチチャンネル計測が可能
で、高感度で、微小のセンシングポイントを持つマトリ
ックス電極振動子およびそのセンサを提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るものは、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に
形成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶振動子
板の他面に該帯状電極と略直交方向となるように形成さ
れた複数の帯状電極とからなるマトリックス電極振動子
である。
るものは、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に
形成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶振動子
板の他面に該帯状電極と略直交方向となるように形成さ
れた複数の帯状電極とからなるマトリックス電極振動子
である。
【０００９】さらに、水晶振動子板は水晶発振子、表面
弾性波素子、バルク弾性波素子等が用いられ、大きさ
は、例えば、ＩｇＧ抗体を測定するときの代表的な長さ
は、０．５〜１００ｍｍ程度の方形あるいは円形である
のが好ましく、より好ましくは１〜５０ｍｍ程度であ
り、１００ｍｍ以上の大きさであると水晶振動子板の製
作が困難であり、０．５ｍｍ以下であると、帯状電極の
製作および電極リード線の接続が困難である。
弾性波素子、バルク弾性波素子等が用いられ、大きさ
は、例えば、ＩｇＧ抗体を測定するときの代表的な長さ
は、０．５〜１００ｍｍ程度の方形あるいは円形である
のが好ましく、より好ましくは１〜５０ｍｍ程度であ
り、１００ｍｍ以上の大きさであると水晶振動子板の製
作が困難であり、０．５ｍｍ以下であると、帯状電極の
製作および電極リード線の接続が困難である。
【００１０】さらに、帯状電極の幅は、１μｍ〜１０ｍ
ｍ程度が好ましく、より好ましくは３〜６ｍｍ程度であ
り、１０ｍｍ以上であるとセンシングポイントが多くと
れなくなり、１μｍ以下であると水晶振動子を駆動する
ことが困難であり、各帯状電極の間隔は、帯状電極幅の
１／１０〜２倍程度が好ましく、より好ましくは１／２
〜１倍程度であり、構成材料としては、金、クロム、白
金、銅、チタニウム、銀等が挙げられる。
ｍ程度が好ましく、より好ましくは３〜６ｍｍ程度であ
り、１０ｍｍ以上であるとセンシングポイントが多くと
れなくなり、１μｍ以下であると水晶振動子を駆動する
ことが困難であり、各帯状電極の間隔は、帯状電極幅の
１／１０〜２倍程度が好ましく、より好ましくは１／２
〜１倍程度であり、構成材料としては、金、クロム、白
金、銅、チタニウム、銀等が挙げられる。
【００１１】また、本発明のマトリックス電極振動子セ
ンサは、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に形
成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶振動子板
の他方面に該帯状電極と略直交方向となるように形成さ
れた複数の帯状電極と、該一方面に形成された帯状電極
と該他方面に形成された帯状電極が交差する部分に被検
査物質層が形成されているマトリックス電極振動子セン
サである。
ンサは、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に形
成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶振動子板
の他方面に該帯状電極と略直交方向となるように形成さ
れた複数の帯状電極と、該一方面に形成された帯状電極
と該他方面に形成された帯状電極が交差する部分に被検
査物質層が形成されているマトリックス電極振動子セン
サである。
【００１２】さらに、マルチチャンネルのセンサとする
ために、帯状電極が交差する複数の部分それぞれに、各
々、違う被検査物質層を形成することが好ましく、被検
査物質層を構成する好適な物質は、被測定物質により異
なるが、例えば、ＩｇＧ抗体を測定するときは、ポリク
ローナル抗体、モノクローナル抗体、モノクローナル抗
原、酵素、抗原物質、補体、ヌクレオチド、ＤＮＡプロ
ーブ、プライマー、リンホカイン、サイトカイン、腫瘍
マーカー等のマーカーが挙げられる。
ために、帯状電極が交差する複数の部分それぞれに、各
々、違う被検査物質層を形成することが好ましく、被検
査物質層を構成する好適な物質は、被測定物質により異
なるが、例えば、ＩｇＧ抗体を測定するときは、ポリク
ローナル抗体、モノクローナル抗体、モノクローナル抗
原、酵素、抗原物質、補体、ヌクレオチド、ＤＮＡプロ
ーブ、プライマー、リンホカイン、サイトカイン、腫瘍
マーカー等のマーカーが挙げられる。
【００１３】さらに、水晶振動子板の一方面および他方
面それぞれに、帯状電極と電極リード線を接続する部分
として、コンタクトパッド部を形成することが好まし
い。
面それぞれに、帯状電極と電極リード線を接続する部分
として、コンタクトパッド部を形成することが好まし
い。
【００１４】さらに、帯状電極が交差する部分と、コン
タクトパッド部以外の所に、電気絶縁性膜を形成するこ
とが好ましく、電気絶縁性膜の厚さは、２０００Å〜１
ｍｍ程度が好ましく、より好ましくは、１０００Å〜５
０μｍ程度であり、構成する材料としては、ポリイミ
ド、テフロン、ホトレジスト、シリコン樹脂等の高分子
あるいはＳｉ3Ｎ4、ＳｉＯ2等の無機物が挙げられる。
タクトパッド部以外の所に、電気絶縁性膜を形成するこ
とが好ましく、電気絶縁性膜の厚さは、２０００Å〜１
ｍｍ程度が好ましく、より好ましくは、１０００Å〜５
０μｍ程度であり、構成する材料としては、ポリイミ
ド、テフロン、ホトレジスト、シリコン樹脂等の高分子
あるいはＳｉ3Ｎ4、ＳｉＯ2等の無機物が挙げられる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明のマトリックス電極振動子およ
びそのセンサの実施例を図面に沿って説明するが、本発
明は、これらに何ら限定されるものではない。
びそのセンサの実施例を図面に沿って説明するが、本発
明は、これらに何ら限定されるものではない。
【００１６】図１は、本発明のマトリックス電極振動子
の実施例を示す斜視図である。図２は、本発明のマトリ
ックス電極振動子センサの実施例を示す断面図である。
図３は、本発明のマトリックス電極振動子の表面Ａのマ
トリックス電極のパターンを示す平面図である。図４
は、本発明のマトリックス電極振動子の表面Ｂのマトリ
ックス電極のパターンを示す平面図である。図５は、本
発明のマトリックス電極振動子センサの表面Ａに形成さ
れる電気絶縁性膜のパターンの平面図である。
の実施例を示す斜視図である。図２は、本発明のマトリ
ックス電極振動子センサの実施例を示す断面図である。
図３は、本発明のマトリックス電極振動子の表面Ａのマ
トリックス電極のパターンを示す平面図である。図４
は、本発明のマトリックス電極振動子の表面Ｂのマトリ
ックス電極のパターンを示す平面図である。図５は、本
発明のマトリックス電極振動子センサの表面Ａに形成さ
れる電気絶縁性膜のパターンの平面図である。
【００１７】図１、図３および図４に示すように、本発
明のマトリックス電極振動子１は、水晶振動子板２の一
方面および他方面に、図３および図４に示すようなパタ
ーンを基に作製した厚さ５０μｍのＭｏ板製メタルマス
クを用いて、クロム（１００Å厚）、金（２０００Å
厚）の順番にＲＦスパッタリングすることで作製され
る。
明のマトリックス電極振動子１は、水晶振動子板２の一
方面および他方面に、図３および図４に示すようなパタ
ーンを基に作製した厚さ５０μｍのＭｏ板製メタルマス
クを用いて、クロム（１００Å厚）、金（２０００Å
厚）の順番にＲＦスパッタリングすることで作製され
る。
【００１８】このとき、水晶振動子板２の一方面および
他方面のそれぞれに、帯状電極３をライン幅を０．８ｍ
ｍ、間隔幅を０．８ｍｍとして４本ずつ形成し、４×４
の振動子素子９を製作した。各帯状電極３の端部には、
電極リード線５を接続するためのコンタクトパッド４を
設け、直径５０μｍの電極リード線５を銀ペーストで接
着し、一方面（表面Ａ電極３０）からの４本の電極リー
ド線５は、スイッチボックスＡ６に、他方面（表面Ｂ電
極３１）からの４本の電極リード線５はスイッチボック
スＢ６０に接続し、各スイッチボックスＡ６、Ｂ６０
は、ロータリースイッチを用いて作製し、スイッチボッ
クスＡ６、Ｂ６０からの各電極リード線５は、インピー
ダンス・アナライザー７と接続する。ロータリースイッ
チを回して表面電極Ａ３０、Ｂ３１の各々１本ずつのラ
インを選択し、インピーダンス・アナライザー７を用い
て１６個の振動子素子９の特性を測定した。
他方面のそれぞれに、帯状電極３をライン幅を０．８ｍ
ｍ、間隔幅を０．８ｍｍとして４本ずつ形成し、４×４
の振動子素子９を製作した。各帯状電極３の端部には、
電極リード線５を接続するためのコンタクトパッド４を
設け、直径５０μｍの電極リード線５を銀ペーストで接
着し、一方面（表面Ａ電極３０）からの４本の電極リー
ド線５は、スイッチボックスＡ６に、他方面（表面Ｂ電
極３１）からの４本の電極リード線５はスイッチボック
スＢ６０に接続し、各スイッチボックスＡ６、Ｂ６０
は、ロータリースイッチを用いて作製し、スイッチボッ
クスＡ６、Ｂ６０からの各電極リード線５は、インピー
ダンス・アナライザー７と接続する。ロータリースイッ
チを回して表面電極Ａ３０、Ｂ３１の各々１本ずつのラ
インを選択し、インピーダンス・アナライザー７を用い
て１６個の振動子素子９の特性を測定した。
【００１９】測定したアドミッタンス・スペクトルを解
析した結果、表１に示すように、すべての振動子素子９
が微小の水晶振動子としての機能していることが分か
り、被測定物質の質量変化あるいは動粘度などの変化を
検出するのに利用される。
析した結果、表１に示すように、すべての振動子素子９
が微小の水晶振動子としての機能していることが分か
り、被測定物質の質量変化あるいは動粘度などの変化を
検出するのに利用される。
【００２０】
【表１】
【００２１】また、表面Ａ電極３０と表面Ｂ電極３１の
帯状電極３をそれぞれ１本ずつ選択すると、帯状電極３
が立体交差する部分でのみ振動子素子９が形成されるた
め、例えば、Ｂ入力はＢ１に固定し、Ａ入力をＡ１→Ａ
２→Ａ３→Ａ４のように帯状電極３を順番に切り替えて
いくと、表面Ａ電極３０の本数だけ振動子素子９ができ
ることがわかり、さらに、Ｂ入力を同様に切り替えてい
くと、表面Ａ電極３０と表面Ｂ電極３１の本数の積だけ
振動子素子９が水晶振動子板２の中に形成されることが
わかる。
帯状電極３をそれぞれ１本ずつ選択すると、帯状電極３
が立体交差する部分でのみ振動子素子９が形成されるた
め、例えば、Ｂ入力はＢ１に固定し、Ａ入力をＡ１→Ａ
２→Ａ３→Ａ４のように帯状電極３を順番に切り替えて
いくと、表面Ａ電極３０の本数だけ振動子素子９ができ
ることがわかり、さらに、Ｂ入力を同様に切り替えてい
くと、表面Ａ電極３０と表面Ｂ電極３１の本数の積だけ
振動子素子９が水晶振動子板２の中に形成されることが
わかる。
【００２２】実際の測定では、まず被検査物質のみを固
定した状態で共振周波数を測定し、次に被検査物質に被
測定物質を作用させたのち、水晶振動子板２の共振周波
数を測定し、それらの共振周波数の差を算出すると、Sa
uerbrey の（１）式から被測定物質の質量を求めること
ができる。より一般的には、基準濃度あるいは基準質量
の試料を用いて検定することによって測定精度を向上す
ることができる。
定した状態で共振周波数を測定し、次に被検査物質に被
測定物質を作用させたのち、水晶振動子板２の共振周波
数を測定し、それらの共振周波数の差を算出すると、Sa
uerbrey の（１）式から被測定物質の質量を求めること
ができる。より一般的には、基準濃度あるいは基準質量
の試料を用いて検定することによって測定精度を向上す
ることができる。
【００２３】一般に、水晶振動子の共振周波数の変化は
水晶と接触している質量の変化と関係付けられており、
接触している層および／または物質が剛体としてふるま
うと仮定すると、質量変化は、G.Z.Sauerbrey, Z.Phy
s.,155(1959)206 に記載されているSauerbrey の式によ
り求めることができる。
水晶と接触している質量の変化と関係付けられており、
接触している層および／または物質が剛体としてふるま
うと仮定すると、質量変化は、G.Z.Sauerbrey, Z.Phy
s.,155(1959)206 に記載されているSauerbrey の式によ
り求めることができる。
【００２４】 Δｆ＝−２ｆ0 2Δｍ／Ａ（ρqμq）1/2 ・・・（１） ここに、Δｆは周波数のシフト、ｆ0はその水晶の基本
周波数、Δｍは質量変化、Ａは電極の有効面積、ρqは
水晶の密度（2.648 g cm-3)、μqはずれ振動定数（ＡＴ
カット水晶では2.947x1011dyne cm-2）である。
周波数、Δｍは質量変化、Ａは電極の有効面積、ρqは
水晶の密度（2.648 g cm-3)、μqはずれ振動定数（ＡＴ
カット水晶では2.947x1011dyne cm-2）である。
【００２５】また、図１および図２に示すように、本発
明のマトリックス電極振動子センサ１０は、上述したマ
トリックス電極振動子１の表面Ａ電極３０と表面Ｂ電極
３１が立体交差してなる振動子素子９部分とコンタクト
パッド４部を除いた部分を、電気絶縁性膜３２のフォト
レジスト膜を膜厚２μｍで被覆した。
明のマトリックス電極振動子センサ１０は、上述したマ
トリックス電極振動子１の表面Ａ電極３０と表面Ｂ電極
３１が立体交差してなる振動子素子９部分とコンタクト
パッド４部を除いた部分を、電気絶縁性膜３２のフォト
レジスト膜を膜厚２μｍで被覆した。
【００２６】振動子素子９部分には、被検査物質８とし
てＩｇＧ抗体であるヤギ由来のポリクロナール抗体が、
予め帯状電極３の表面に固定しておいたシランカップリ
ング試薬と結合させることによってＩｇＧセンサを作製
した。
てＩｇＧ抗体であるヤギ由来のポリクロナール抗体が、
予め帯状電極３の表面に固定しておいたシランカップリ
ング試薬と結合させることによってＩｇＧセンサを作製
した。
【００２７】そして、ＩｇＧを含む種々の濃度の試料溶
液に作用させて共振周波数の変化の測定を行い、１００
ｎｇ／ｍＬを含む溶液を５０μＬを本発明のマトリック
ス電極振動子センサ１０の表面に滴下し３０分間反応さ
せた後、水洗浄して乾燥空気中で乾燥した。１６個のチ
ャンネルについて共振周波数を測定すると、どのチャン
ネルも−１２０〜−１５０Ｈｚの共振周波数の変化が観
測されたことから、すべてのチャンネルがサンプルＩｇ
Ｇをほぼ定量的に検出していることが分かる。
液に作用させて共振周波数の変化の測定を行い、１００
ｎｇ／ｍＬを含む溶液を５０μＬを本発明のマトリック
ス電極振動子センサ１０の表面に滴下し３０分間反応さ
せた後、水洗浄して乾燥空気中で乾燥した。１６個のチ
ャンネルについて共振周波数を測定すると、どのチャン
ネルも−１２０〜−１５０Ｈｚの共振周波数の変化が観
測されたことから、すべてのチャンネルがサンプルＩｇ
Ｇをほぼ定量的に検出していることが分かる。
【００２８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のマトリック
ス電極振動子は、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一
方面に形成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶
振動子板の他方面に該帯状電極と略直交方向となるよう
に形成された複数の帯状電極とからなることから、電極
が帯状であり構造が単純であるので、大量に作製するこ
とが容易である。
ス電極振動子は、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一
方面に形成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶
振動子板の他方面に該帯状電極と略直交方向となるよう
に形成された複数の帯状電極とからなることから、電極
が帯状であり構造が単純であるので、大量に作製するこ
とが容易である。
【００２９】また、本発明のマトリックス電極振動子セ
ンサは、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に形
成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶振動子板
の他方面に該帯状電極と略直交方向となるように形成さ
れた複数の帯状電極と、該一方面に形成された帯状電極
と該他方面に形成された帯状電極が交差する部分に被検
査物質層が形成されていることから、電極を微小化でき
るので高感度化が容易に達成でき、微量の遺伝子ＤＮＡ
を検出することも可能である。
ンサは、水晶振動子板と、該水晶振動子板の一方面に形
成された少なくとも１本の帯状電極と、該水晶振動子板
の他方面に該帯状電極と略直交方向となるように形成さ
れた複数の帯状電極と、該一方面に形成された帯状電極
と該他方面に形成された帯状電極が交差する部分に被検
査物質層が形成されていることから、電極を微小化でき
るので高感度化が容易に達成でき、微量の遺伝子ＤＮＡ
を検出することも可能である。
【００３０】また、振動子素子部に複数の被検査物質を
固定することにより、マルチチャンネルのマトリックス
振動子センサとなり、短時間に多種類検査あるいは系統
的な多項目検査ができる。
固定することにより、マルチチャンネルのマトリックス
振動子センサとなり、短時間に多種類検査あるいは系統
的な多項目検査ができる。
【００３１】また、振動子素子部と、コンパクトパッド
部以外のところに電気絶縁性膜を形成したことにより、
振動子素子部とそれ以外のところの区別が容易にでき、
被測定物質を振動子素子部に配置することが容易とな
る。
部以外のところに電気絶縁性膜を形成したことにより、
振動子素子部とそれ以外のところの区別が容易にでき、
被測定物質を振動子素子部に配置することが容易とな
る。
【図１】本発明のマトリックス電極振動子の実施例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】本発明のマトリックス電極振動子センサの実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図３】本発明のマトリックス電極振動子の表面Ａのマ
トリックス電極のパターンを示す平面図である。
トリックス電極のパターンを示す平面図である。
【図４】本発明のマトリックス電極振動子の表面Ｂのマ
トリックス電極のパターンを示す平面図である。
トリックス電極のパターンを示す平面図である。
【図５】本発明のマトリックス電極振動子センサの表面
Ａに形成される電気絶縁性膜のパターンの平面図であ
る。
Ａに形成される電気絶縁性膜のパターンの平面図であ
る。
１ マトリックス電極振動子 １０ マトリックス電極振動子センサ ２ 水晶振動子板 ３ 帯状電極 ３０ 表面Ａ電極 ３１ 表面Ｂ電極 ３２ 電気絶縁性膜 ４ コンタクトパッド ５ 電極リード線 ６ スイッチボックスＡ ６０ スイッチボックスＢ ７ インピーダンスアナライザー ８ 被検査物質 ９ 振動子素子
Claims (2)
- 【請求項１】 水晶振動子板と、 該水晶振動子板の一方面に形成された少なくとも１本の
帯状電極と、 該水晶振動子板の他方面に該帯状電極と略直交方向とな
るように形成された複数の帯状電極とからなることを特
徴とするマトリックス電極振動子。 - 【請求項２】 水晶振動子板と、 該水晶振動子板の一方面に形成された少なくとも１本の
帯状電極と、 該水晶振動子板の他方面に該帯状電極と略直交方向とな
るように形成された複数の帯状電極と、 該一方面に形成された帯状電極と該他方面に形成された
帯状電極が交差する部分に被検査物質層が形成されてい
ることを特徴とするマトリックス電極振動子センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00579195A JP3699737B2 (ja) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | マトリックス電極振動子およびそのセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00579195A JP3699737B2 (ja) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | マトリックス電極振動子およびそのセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08193854A true JPH08193854A (ja) | 1996-07-30 |
| JP3699737B2 JP3699737B2 (ja) | 2005-09-28 |
Family
ID=11620919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00579195A Expired - Fee Related JP3699737B2 (ja) | 1995-01-18 | 1995-01-18 | マトリックス電極振動子およびそのセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3699737B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000283905A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Noboru Koyama | マルチチャンネルｑｃｍセンサデバイス |
| WO2006062127A1 (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Sysmex Corporation | 免疫システム異常疾患の診断支援方法及び診断支援情報出力装置 |
| JP2007538236A (ja) * | 2004-05-21 | 2007-12-27 | アトノミックス アクティーゼルスカブ | ヒドロゲルを含む表面弾性波センサ |
| JP2008512673A (ja) * | 2004-09-16 | 2008-04-24 | コリア インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー | 生体成分を検出するための方法およびシステム |
| JP2011505621A (ja) * | 2007-11-30 | 2011-02-24 | パラマタ リミテッド | センシングシステム及び方法 |
| CN102809597A (zh) * | 2012-08-22 | 2012-12-05 | 重庆理工大学 | 液体谐振传感方法及系统 |
| CN104062366A (zh) * | 2013-03-19 | 2014-09-24 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种多参数一体化色谱流通池 |
| GB2519110A (en) * | 2013-10-09 | 2015-04-15 | Nokia Technologies Oy | An apparatus and associated methods for analyte detection |
-
1995
- 1995-01-18 JP JP00579195A patent/JP3699737B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2011505621A (ja) * | 2007-11-30 | 2011-02-24 | パラマタ リミテッド | センシングシステム及び方法 |
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| CN104062366A (zh) * | 2013-03-19 | 2014-09-24 | 中国科学院过程工程研究所 | 一种多参数一体化色谱流通池 |
| GB2519110A (en) * | 2013-10-09 | 2015-04-15 | Nokia Technologies Oy | An apparatus and associated methods for analyte detection |
| GB2519110B (en) * | 2013-10-09 | 2018-04-18 | Nokia Technologies Oy | An apparatus and associated methods for analyte detection |
| US10203303B2 (en) | 2013-10-09 | 2019-02-12 | Nokia Technologies Oy | Apparatus and associated methods for analyte detection |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3699737B2 (ja) | 2005-09-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20031222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |