JP2000283810A - 差圧式流量計 - Google Patents
差圧式流量計Info
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- JP2000283810A JP2000283810A JP11091848A JP9184899A JP2000283810A JP 2000283810 A JP2000283810 A JP 2000283810A JP 11091848 A JP11091848 A JP 11091848A JP 9184899 A JP9184899 A JP 9184899A JP 2000283810 A JP2000283810 A JP 2000283810A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 流量を高精度で測定できる差圧式流量計
を提供すること。 【解決手段】 ２つの圧力検出位置のそれぞれに圧力検
出手段５，６を接続し、前記各圧力検出手段５，６に加
わる流体の圧力を均等化する手段９を設けるとともに、
この均等化された圧力に基づいて前記各圧力検出手段
５，６からの検出値を調整する手段１１を設けた構成で
ある。
を提供すること。 【解決手段】 ２つの圧力検出位置のそれぞれに圧力検
出手段５，６を接続し、前記各圧力検出手段５，６に加
わる流体の圧力を均等化する手段９を設けるとともに、
この均等化された圧力に基づいて前記各圧力検出手段
５，６からの検出値を調整する手段１１を設けた構成で
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、蒸気や空気のよ
うな気体、水や油のような液体の流量を測定する差圧式
流量計に関し、特に高圧のものに適用して好適な差圧式
流量計に関するものである。
うな気体、水や油のような液体の流量を測定する差圧式
流量計に関し、特に高圧のものに適用して好適な差圧式
流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】差圧式流量計は、蒸気や空気のような気
体、水や油のような液体の流量を測定するために種々の
技術分野で用いられている。この差圧式流量計は、流量
を測定する配管の流れ方向の２個所における差圧を測定
し、この差圧の平方根が流量に比例することを利用し
て、流量を求めている。このような差圧式流量計には、
前述の差圧を大きくするためにオリフィス，ノズル，ベ
ンチュリー管などのような絞り部材を挿入し、この絞り
部材の前後で生じる圧力差（差圧）を測定するようにし
たものもある（この形式の差圧式流量計は、一般に、
「絞り式流量計」と呼ばれる）。
体、水や油のような液体の流量を測定するために種々の
技術分野で用いられている。この差圧式流量計は、流量
を測定する配管の流れ方向の２個所における差圧を測定
し、この差圧の平方根が流量に比例することを利用し
て、流量を求めている。このような差圧式流量計には、
前述の差圧を大きくするためにオリフィス，ノズル，ベ
ンチュリー管などのような絞り部材を挿入し、この絞り
部材の前後で生じる圧力差（差圧）を測定するようにし
たものもある（この形式の差圧式流量計は、一般に、
「絞り式流量計」と呼ばれる）。
【０００３】前述のような差圧式流量計において、絞り
部材の前後における差圧は、絞り部材の上流側と下流側
のそれぞれの圧力検出位置における圧力を検出した後、
これらの検出圧力の差を求めている。あるいは、絞り部
材の上流側と下流側のそれぞれの圧力検出位置間の差圧
を差圧計によって直接検出している。
部材の前後における差圧は、絞り部材の上流側と下流側
のそれぞれの圧力検出位置における圧力を検出した後、
これらの検出圧力の差を求めている。あるいは、絞り部
材の上流側と下流側のそれぞれの圧力検出位置間の差圧
を差圧計によって直接検出している。
【０００４】ところで、前述の各圧力検出位置にそれぞ
れ独立して圧力検出手段を設けると、各圧力検出手段の
固体差により、圧力変化に対する検出値の変化率が異な
ったり、同じ圧力であっても検出値が異なる場合があ
り、さらに温度による検出値の変動の影響があるため、
信頼できる流量の測定値を得ることができない。
れ独立して圧力検出手段を設けると、各圧力検出手段の
固体差により、圧力変化に対する検出値の変化率が異な
ったり、同じ圧力であっても検出値が異なる場合があ
り、さらに温度による検出値の変動の影響があるため、
信頼できる流量の測定値を得ることができない。
【０００５】また、前述の２つの圧力検出位置間に差圧
計を接続してこれらの間の差圧を直接測定するものにお
いては、この差圧計が高価であり、差圧計の操作を誤る
と破損する。また、このような差圧計においては、各圧
力検出位置からの導管のうちの一方に詰まりが生じて圧
力の伝達が阻害されると、他方の側からの圧力によって
破損する危険性もある。
計を接続してこれらの間の差圧を直接測定するものにお
いては、この差圧計が高価であり、差圧計の操作を誤る
と破損する。また、このような差圧計においては、各圧
力検出位置からの導管のうちの一方に詰まりが生じて圧
力の伝達が阻害されると、他方の側からの圧力によって
破損する危険性もある。
【０００６】また、前述の絞り部材によって配管内を大
きく絞り、前述の差圧を大きくすれば、この差圧の測定
は容易になるが、配管の種類によってはこの絞りを大き
くすることはできない。たとえば、ボイラの蒸気供給配
管のように、所定圧力の流体を供給することが目的の配
管の場合、前述の絞り部材によって配管を大きく絞ると
供給圧力が低下してしまう。このような蒸気供給配管に
おいて、たとえば、蒸気の供給圧力が１０．０kg／cm2
Ｇ必要なとき、差圧を０．１kg／cm2Ｇ以下に抑える必
要があり、この差圧は、前述の蒸気の供給圧力に比べて
わずかな圧力となっている。しかも、このような高圧の
条件下で、わずかの差圧を検出することのできる差圧計
は、差圧計自体に高い精度が要求され、概して高価であ
る。
きく絞り、前述の差圧を大きくすれば、この差圧の測定
は容易になるが、配管の種類によってはこの絞りを大き
くすることはできない。たとえば、ボイラの蒸気供給配
管のように、所定圧力の流体を供給することが目的の配
管の場合、前述の絞り部材によって配管を大きく絞ると
供給圧力が低下してしまう。このような蒸気供給配管に
おいて、たとえば、蒸気の供給圧力が１０．０kg／cm2
Ｇ必要なとき、差圧を０．１kg／cm2Ｇ以下に抑える必
要があり、この差圧は、前述の蒸気の供給圧力に比べて
わずかな圧力となっている。しかも、このような高圧の
条件下で、わずかの差圧を検出することのできる差圧計
は、差圧計自体に高い精度が要求され、概して高価であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、流量を高精度で測定できる差圧式流量計
を提供することである。
とする課題は、流量を高精度で測定できる差圧式流量計
を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、前述の課題
を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発
明は、２つの圧力検出位置のそれぞれに圧力検出手段を
接続し、前記各圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等
化する手段を設けるとともに、この均等化された圧力に
基づいて前記各圧力検出手段からの検出値を調整する手
段を設けたことを特徴としている。
を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発
明は、２つの圧力検出位置のそれぞれに圧力検出手段を
接続し、前記各圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等
化する手段を設けるとともに、この均等化された圧力に
基づいて前記各圧力検出手段からの検出値を調整する手
段を設けたことを特徴としている。
【０００９】請求項２に記載の発明は、２つの圧力検出
位置を１つの圧力検出手段に接続するとともに、この圧
力検出手段と前記各圧力検出位置との連通状態を切り替
える切替手段を設けたことを特徴としている。
位置を１つの圧力検出手段に接続するとともに、この圧
力検出手段と前記各圧力検出位置との連通状態を切り替
える切替手段を設けたことを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明は、差圧式流量計、とく
に流体が高圧であり、流体の圧力に対して絞り部材によ
る差圧が僅かしか形成できないような条件下において使
用される差圧式流量計において好適に実施される。
に流体が高圧であり、流体の圧力に対して絞り部材によ
る差圧が僅かしか形成できないような条件下において使
用される差圧式流量計において好適に実施される。
【００１１】この差圧式流量計は、流量を測定する配管
の流れ方向の２個所に設定した圧力検出位置における圧
力を検出し、両者の差圧から流量を求めるものである。
この差圧式流量計は、前述の差圧を拡大するために、オ
リフィス，ノズル，ベンチュリー管などのような絞り部
材を挿入し、この絞り部材の前後で生じる圧力差（差
圧）を測定するようにした所謂絞り式流量計を含むもの
である。この差圧式流量計は、各圧力検出位置のそれぞ
れには圧力導入管を介して圧力検出手段を接続してあ
る。この圧力検出手段は、機械式に圧力を検出する構成
のものも適用できるが、圧力検出手段からの検出値を自
動調整することができる点で、圧力を電気信号として出
力する所謂圧力センサが好ましい。
の流れ方向の２個所に設定した圧力検出位置における圧
力を検出し、両者の差圧から流量を求めるものである。
この差圧式流量計は、前述の差圧を拡大するために、オ
リフィス，ノズル，ベンチュリー管などのような絞り部
材を挿入し、この絞り部材の前後で生じる圧力差（差
圧）を測定するようにした所謂絞り式流量計を含むもの
である。この差圧式流量計は、各圧力検出位置のそれぞ
れには圧力導入管を介して圧力検出手段を接続してあ
る。この圧力検出手段は、機械式に圧力を検出する構成
のものも適用できるが、圧力検出手段からの検出値を自
動調整することができる点で、圧力を電気信号として出
力する所謂圧力センサが好ましい。
【００１２】この差圧式流量計には、各圧力検出手段に
加わる流体の圧力を均等化させる手段を設けてある。こ
の圧力を均等化させる手段は、たとえばそれぞれの圧力
導入管の途中に、各圧力検出手段に加わる流体の圧力を
適宜に同圧力とするように、各圧力導入管を連通する導
通路を設けることによって構成する。この導通路は、適
宜に連通と遮断を行えるように、たとえば導通路を開閉
する制御弁を設ける。さらに、この差圧式流量計には、
均等化された圧力に基づいて各圧力検出手段からの検出
値を調整する手段、すなわち各圧力検出手段からの出力
信号が同じ検出値を示すように調整する手段を設けてあ
る。
加わる流体の圧力を均等化させる手段を設けてある。こ
の圧力を均等化させる手段は、たとえばそれぞれの圧力
導入管の途中に、各圧力検出手段に加わる流体の圧力を
適宜に同圧力とするように、各圧力導入管を連通する導
通路を設けることによって構成する。この導通路は、適
宜に連通と遮断を行えるように、たとえば導通路を開閉
する制御弁を設ける。さらに、この差圧式流量計には、
均等化された圧力に基づいて各圧力検出手段からの検出
値を調整する手段、すなわち各圧力検出手段からの出力
信号が同じ検出値を示すように調整する手段を設けてあ
る。
【００１３】したがって、この差圧式流量計において
は、適宜に制御弁を開いて２つの圧力検出手段に加わる
流体の圧力を均等化することにより、２つの圧力検出手
段から得られる検出値を一致させるように調整する。そ
して、この検出値の調整後は、制御弁を閉じ、各圧力検
出手段からの検出値に基づいて差圧を求める。前述の検
出値の調整に際しては、たとえば、一方の圧力検出手段
からの検出値を基準とし、他方の圧力検出手段の検出値
を一致させるように調整することも、両方の圧力検出手
段からの検出値の平均値を基準値とし、両方の圧力検出
手段の検出値を一致させるように調整することもでき
る。
は、適宜に制御弁を開いて２つの圧力検出手段に加わる
流体の圧力を均等化することにより、２つの圧力検出手
段から得られる検出値を一致させるように調整する。そ
して、この検出値の調整後は、制御弁を閉じ、各圧力検
出手段からの検出値に基づいて差圧を求める。前述の検
出値の調整に際しては、たとえば、一方の圧力検出手段
からの検出値を基準とし、他方の圧力検出手段の検出値
を一致させるように調整することも、両方の圧力検出手
段からの検出値の平均値を基準値とし、両方の圧力検出
手段の検出値を一致させるように調整することもでき
る。
【００１４】以上のように、この差圧式流量計では、各
圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等化し、この均等
化された圧力に基づいて各圧力検出手段からの検出値を
調整した後、各圧力検出手段からの検出値に基づいて差
圧を求めることで、前述の各圧力検出手段の固体差や、
温度による検出値の変動の影響を排除し、流量の測定値
を高精度で得ることができる。しかも、この差圧式流量
計においては、高圧で流れる流体のわずかの差圧を、通
常の安価な圧力検出手段を用いても精度よく検出できる
ため、より精度の高い流量の測定値を得ることができ
る。
圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等化し、この均等
化された圧力に基づいて各圧力検出手段からの検出値を
調整した後、各圧力検出手段からの検出値に基づいて差
圧を求めることで、前述の各圧力検出手段の固体差や、
温度による検出値の変動の影響を排除し、流量の測定値
を高精度で得ることができる。しかも、この差圧式流量
計においては、高圧で流れる流体のわずかの差圧を、通
常の安価な圧力検出手段を用いても精度よく検出できる
ため、より精度の高い流量の測定値を得ることができ
る。
【００１５】さらに、この差圧式流量計においては、適
宜の時間間隔で導通路を開閉し、前述の検出値の調整を
自動的に行うように構成するのが好ましい。この場合、
この時間間隔は、各圧力検出手段を設置する雰囲気の温
度の変化に応じて設定する。すなわち、温度変化が激し
い場合には時間間隔を短く、温度変化が緩やかな場合に
は時間間隔を長くする。
宜の時間間隔で導通路を開閉し、前述の検出値の調整を
自動的に行うように構成するのが好ましい。この場合、
この時間間隔は、各圧力検出手段を設置する雰囲気の温
度の変化に応じて設定する。すなわち、温度変化が激し
い場合には時間間隔を短く、温度変化が緩やかな場合に
は時間間隔を長くする。
【００１６】さらに、この差圧式流量計においては、圧
力検出手段の雰囲気温度を検出し、この検出温度に基づ
いて、前述の検出値の調整を行うように構成することも
できる。すなわち、雰囲気温度の変化が所定値を超えた
場合に前述の検出値の調整を行うように構成する。さら
に、この差圧式流量計においては、前述の雰囲気温度の
検出値に基づいて、各圧力検出手段からの検出値の温度
による偏差を修正するように構成することもできる。
力検出手段の雰囲気温度を検出し、この検出温度に基づ
いて、前述の検出値の調整を行うように構成することも
できる。すなわち、雰囲気温度の変化が所定値を超えた
場合に前述の検出値の調整を行うように構成する。さら
に、この差圧式流量計においては、前述の雰囲気温度の
検出値に基づいて、各圧力検出手段からの検出値の温度
による偏差を修正するように構成することもできる。
【００１７】さらに、この発明においては、前述の２つ
の圧力検出位置を１つの圧力検出手段に接続し、この圧
力検出手段と各圧力検出位置との連通状態を適宜切り替
えることにより、１つの圧力検出手段によって差圧を求
めるように構成することもできる。この構成の場合に
は、各圧力検出位置のそれぞれに接続した圧力導入管と
圧力検出手段との間に制御弁などの切替手段を設ける。
この構成の場合には、１つの圧力検出手段によって２つ
の圧力検出位置間の差圧を検出することができるため、
従来のような２つの圧力検出手段自体の固体差や、温度
による検出値の変動の影響を排除し、流量の測定値を高
精度で得ることができる。また、前述のように、雰囲気
温度を検出するように構成し、この雰囲気温度の検出値
に基づいて、圧力検出手段からの検出値の温度による偏
差を修正するように構成することもできる。
の圧力検出位置を１つの圧力検出手段に接続し、この圧
力検出手段と各圧力検出位置との連通状態を適宜切り替
えることにより、１つの圧力検出手段によって差圧を求
めるように構成することもできる。この構成の場合に
は、各圧力検出位置のそれぞれに接続した圧力導入管と
圧力検出手段との間に制御弁などの切替手段を設ける。
この構成の場合には、１つの圧力検出手段によって２つ
の圧力検出位置間の差圧を検出することができるため、
従来のような２つの圧力検出手段自体の固体差や、温度
による検出値の変動の影響を排除し、流量の測定値を高
精度で得ることができる。また、前述のように、雰囲気
温度を検出するように構成し、この雰囲気温度の検出値
に基づいて、圧力検出手段からの検出値の温度による偏
差を修正するように構成することもできる。
【００１８】
【実施例】以下、この発明に係る差圧式流量計の具体的
実施例について、図面を参照しながら説明する。以下で
説明する各実施例は、ボイラの蒸気供給配管における蒸
気流量を測定する差圧式流量計に適用したものである。
実施例について、図面を参照しながら説明する。以下で
説明する各実施例は、ボイラの蒸気供給配管における蒸
気流量を測定する差圧式流量計に適用したものである。
【００１９】まず、図１は、この発明の第一実施例の説
明図である。図面において、流体としての蒸気が流れる
配管、すなわち蒸気供給配管１の途中には、絞り部材２
を設けてある。この絞り部材２としては、前述のように
オリフィス，ノズル，ベンチュリー管などを用いること
ができるが、第一実施例ではオリフィスとしてある。前
記蒸気供給配管１は、所定の圧力の蒸気を下流側の蒸気
使用機器に向けて供給するためのものであるから、前記
絞り部材２による圧力損失を大きくすることができな
い。すなわち、前記絞り部材２の内径を小さくできな
い。したがって、前記絞り部材２によって生じる差圧
は、小さいものとなる。
明図である。図面において、流体としての蒸気が流れる
配管、すなわち蒸気供給配管１の途中には、絞り部材２
を設けてある。この絞り部材２としては、前述のように
オリフィス，ノズル，ベンチュリー管などを用いること
ができるが、第一実施例ではオリフィスとしてある。前
記蒸気供給配管１は、所定の圧力の蒸気を下流側の蒸気
使用機器に向けて供給するためのものであるから、前記
絞り部材２による圧力損失を大きくすることができな
い。すなわち、前記絞り部材２の内径を小さくできな
い。したがって、前記絞り部材２によって生じる差圧
は、小さいものとなる。
【００２０】前記蒸気供給配管１内における前記絞り部
材２の上流側には第一圧力導入管３を接続し、前記絞り
部材２の下流側には第二圧力導入管４を接続してある。
そして、前記第一圧力導入管３の先端には、第一圧力検
出手段５を接続し、前記第二圧力導入管４の先端には、
第二圧力検出手段６を接続してある。前記第一圧力検出
手段５および前記第二圧力検出手段６としては、圧力を
電気信号として出力する歪みゲージやピエゾ素子のよう
な圧力―電気変換手段を備えた所謂圧力センサが好まし
い。
材２の上流側には第一圧力導入管３を接続し、前記絞り
部材２の下流側には第二圧力導入管４を接続してある。
そして、前記第一圧力導入管３の先端には、第一圧力検
出手段５を接続し、前記第二圧力導入管４の先端には、
第二圧力検出手段６を接続してある。前記第一圧力検出
手段５および前記第二圧力検出手段６としては、圧力を
電気信号として出力する歪みゲージやピエゾ素子のよう
な圧力―電気変換手段を備えた所謂圧力センサが好まし
い。
【００２１】また、前記第一圧力導入管３の前記蒸気供
給配管１寄りには、第一オリフィス７を設けてあり、前
記第二圧力導入管４の前記蒸気供給配管１寄りには、第
二オリフィス８を設けてある。前記第一オリフィス７お
よび前記第二オリフィス８は、後述する検出値の調整中
に、前記絞り部材２の上流側の蒸気が、前記第一圧力導
入管３から前記導通路９および前記第二圧力導入管４を
経由して前記絞り部材２の下流側に流れるのを抑制し、
前記第一圧力検出手段５および前記第二圧力検出手段６
に前記絞り部材２の上流側の蒸気の圧力を確実に作用さ
せるように機能する。したがって、前記第一オリフィス
７および前記第二オリフィス８は、必ずしも必要ではな
く、たとえば前記第一オリフィス７を省略することも、
両方を省略することもできる。
給配管１寄りには、第一オリフィス７を設けてあり、前
記第二圧力導入管４の前記蒸気供給配管１寄りには、第
二オリフィス８を設けてある。前記第一オリフィス７お
よび前記第二オリフィス８は、後述する検出値の調整中
に、前記絞り部材２の上流側の蒸気が、前記第一圧力導
入管３から前記導通路９および前記第二圧力導入管４を
経由して前記絞り部材２の下流側に流れるのを抑制し、
前記第一圧力検出手段５および前記第二圧力検出手段６
に前記絞り部材２の上流側の蒸気の圧力を確実に作用さ
せるように機能する。したがって、前記第一オリフィス
７および前記第二オリフィス８は、必ずしも必要ではな
く、たとえば前記第一オリフィス７を省略することも、
両方を省略することもできる。
【００２２】前記第一圧力導入管３と前記第二圧力導入
管４との間には、両者を互いに連通させ、前記第一圧力
検出手段５および前記第二圧力検出手段６に加わる蒸気
の圧力を均等化する手段としての導通路９を接続してあ
る。この導通路９は、その一端を、前記第一圧力導入管
３における前記第一圧力検出手段５と前記第一オリフィ
ス７との間に接続し、その他端を、前記第二圧力導入管
４における前記第二圧力検出手段６と前記第二オリフィ
ス８との間に接続してある。また、前記導通路９には、
前記第一圧力導入管３と前記第二圧力導入管４とを適宜
に連通させ、また遮断するための制御弁１０を設けてあ
る。
管４との間には、両者を互いに連通させ、前記第一圧力
検出手段５および前記第二圧力検出手段６に加わる蒸気
の圧力を均等化する手段としての導通路９を接続してあ
る。この導通路９は、その一端を、前記第一圧力導入管
３における前記第一圧力検出手段５と前記第一オリフィ
ス７との間に接続し、その他端を、前記第二圧力導入管
４における前記第二圧力検出手段６と前記第二オリフィ
ス８との間に接続してある。また、前記導通路９には、
前記第一圧力導入管３と前記第二圧力導入管４とを適宜
に連通させ、また遮断するための制御弁１０を設けてあ
る。
【００２３】前記第一圧力検出手段５，前記第二圧力検
出手段６および前記制御弁１０は、計測制御装置１１に
接続してある。この計測制御装置１１は、前記第一圧力
検出手段５および前記第二圧力検出手段６からの検出信
号に基づいて差圧を求め、さらにこの差圧から蒸気流量
を計測する。また、前記計測制御装置１１は、前記制御
弁１０の開閉の制御を行って適宜に前記第一圧力検出手
段５および前記第二圧力検出手段６に加わる蒸気の圧力
を均等化させるとともに、この均等化された蒸気の圧力
に基づいて前記各圧力検出手段５，６からの検出値を調
整する。以下では、前記計測制御装置１１の機能と制御
内容とについて詳細に説明する。
出手段６および前記制御弁１０は、計測制御装置１１に
接続してある。この計測制御装置１１は、前記第一圧力
検出手段５および前記第二圧力検出手段６からの検出信
号に基づいて差圧を求め、さらにこの差圧から蒸気流量
を計測する。また、前記計測制御装置１１は、前記制御
弁１０の開閉の制御を行って適宜に前記第一圧力検出手
段５および前記第二圧力検出手段６に加わる蒸気の圧力
を均等化させるとともに、この均等化された蒸気の圧力
に基づいて前記各圧力検出手段５，６からの検出値を調
整する。以下では、前記計測制御装置１１の機能と制御
内容とについて詳細に説明する。
【００２４】前記計測制御装置１１は、前記蒸気供給配
管１内の蒸気流量の計測を行うに先立って、前記第一圧
力検出手段５と前記第二圧力検出手段６とからの検出値
の調整作業を行う。すなわち、前記計測制御装置１１
は、前記制御弁１０を開いて前記第一圧力導入管３と前
記第二圧力導入管４とを連通させる。この状態では、前
記第一圧力導入管３の前記蒸気供給配管１側には、前記
絞り部材２の上流側の圧力が作用し、前記第二圧力導入
管４の前記蒸気供給配管１側には、前記絞り部材２の下
流側の圧力が作用するが、前記導通路９によって前記第
一圧力導入管３と前記第二圧力導入管４とが導通状態に
あるため、前記第一圧力検出手段５および前記第二圧力
検出手段６に作用する圧力は均等化される。
管１内の蒸気流量の計測を行うに先立って、前記第一圧
力検出手段５と前記第二圧力検出手段６とからの検出値
の調整作業を行う。すなわち、前記計測制御装置１１
は、前記制御弁１０を開いて前記第一圧力導入管３と前
記第二圧力導入管４とを連通させる。この状態では、前
記第一圧力導入管３の前記蒸気供給配管１側には、前記
絞り部材２の上流側の圧力が作用し、前記第二圧力導入
管４の前記蒸気供給配管１側には、前記絞り部材２の下
流側の圧力が作用するが、前記導通路９によって前記第
一圧力導入管３と前記第二圧力導入管４とが導通状態に
あるため、前記第一圧力検出手段５および前記第二圧力
検出手段６に作用する圧力は均等化される。
【００２５】この状態で、前記計測制御装置１１は、前
記第一圧力検出手段５および前記第二圧力検出手段６か
らの出力信号を比較し、異なっていれば、たとえば前記
第二圧力検出手段６からの検出値を前記第一圧力検出手
段５からの検出値に合わせるように調整する。この調整
作業のための時間は、前記制御弁１０を開いてから前記
第一圧力検出手段５および前記第二圧力検出手段６に作
用する圧力が、ほぼ同一になるまでの所要時間と同じ
か、若干長く設定する。たとえば、この検出値の調整作
業時間は、たとば、１０秒とする。
記第一圧力検出手段５および前記第二圧力検出手段６か
らの出力信号を比較し、異なっていれば、たとえば前記
第二圧力検出手段６からの検出値を前記第一圧力検出手
段５からの検出値に合わせるように調整する。この調整
作業のための時間は、前記制御弁１０を開いてから前記
第一圧力検出手段５および前記第二圧力検出手段６に作
用する圧力が、ほぼ同一になるまでの所要時間と同じ
か、若干長く設定する。たとえば、この検出値の調整作
業時間は、たとば、１０秒とする。
【００２６】前述の調整作業が終わると、前記計測制御
装置１１は、前記制御弁１０を閉じ、前記第一圧力検出
手段５および前記第二圧力検出手段６による圧力の検出
値から差圧を求め、蒸気流量を測定する。このときに検
出される差圧は、前述の調整作業によって、前記第一圧
力検出手段５および前記第二圧力検出手段６が前述の均
等化された圧力において同じ検出値を出力するように調
整された後の検出値に基づくものであるから、前記第一
圧力検出手段５と前記第二圧力検出手段６とで圧力と出
力値（たとえば電圧）との関係が、固体差や温度の影響
により異なる場合においても、これらによる測定誤差が
小さくなり蒸気流量を高精度で測定できる。以後は、差
圧を連続して測定し、この差圧に基づいて流量を求め
る。
装置１１は、前記制御弁１０を閉じ、前記第一圧力検出
手段５および前記第二圧力検出手段６による圧力の検出
値から差圧を求め、蒸気流量を測定する。このときに検
出される差圧は、前述の調整作業によって、前記第一圧
力検出手段５および前記第二圧力検出手段６が前述の均
等化された圧力において同じ検出値を出力するように調
整された後の検出値に基づくものであるから、前記第一
圧力検出手段５と前記第二圧力検出手段６とで圧力と出
力値（たとえば電圧）との関係が、固体差や温度の影響
により異なる場合においても、これらによる測定誤差が
小さくなり蒸気流量を高精度で測定できる。以後は、差
圧を連続して測定し、この差圧に基づいて流量を求め
る。
【００２７】そして、所定時間経過後、再度、前述要領
で検出値の調整作業を行う。この調整作業の間隔は、前
記第一圧力検出手段５や前記第二圧力検出手段６の雰囲
気温度の上昇度合いに応じて選定する。たとえば、ボイ
ラ室のように比較的短時間で温度の変化が生じるような
ところでは、５分程度とする。
で検出値の調整作業を行う。この調整作業の間隔は、前
記第一圧力検出手段５や前記第二圧力検出手段６の雰囲
気温度の上昇度合いに応じて選定する。たとえば、ボイ
ラ室のように比較的短時間で温度の変化が生じるような
ところでは、５分程度とする。
【００２８】以上説明したように、この差圧式流量計
は、２つの圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等化
し、この均等化された圧力に基づいて各圧力検出手段か
らの検出値を調整した後、前述の差圧を検出することで
高精度の流量測定を行えるものである。したがって、前
述のように、流体の圧力が高いにもかかわらず、差圧を
大きくできない配管中の流量の測定であっても、高精度
の流量測定を行うことができる。しかも、この差圧式流
量計は、前述のように各温度検出手段からの検出値の調
整作業が適宜行われるため、高精度の高価な圧力検出手
段を用いる必要がなく、通常の安価な圧力検出手段であ
っても高精度の流量測定を行うことができる。
は、２つの圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等化
し、この均等化された圧力に基づいて各圧力検出手段か
らの検出値を調整した後、前述の差圧を検出することで
高精度の流量測定を行えるものである。したがって、前
述のように、流体の圧力が高いにもかかわらず、差圧を
大きくできない配管中の流量の測定であっても、高精度
の流量測定を行うことができる。しかも、この差圧式流
量計は、前述のように各温度検出手段からの検出値の調
整作業が適宜行われるため、高精度の高価な圧力検出手
段を用いる必要がなく、通常の安価な圧力検出手段であ
っても高精度の流量測定を行うことができる。
【００２９】たとえば、前記第一圧力検出手段５や前記
第二圧力検出手段６として、歪みゲージやピエゾ素子の
ような圧力―電気変換手段を備えた圧力センサを用いる
場合、これらは特に温度によってその出力値が変動し易
く、そのため圧力の検出値が温度の変化とともに変動す
る。しかし、以上のように差圧式流量計を構成すると、
このような温度による影響を排除でき、より精度の高い
流量の測定値を得ることができる。
第二圧力検出手段６として、歪みゲージやピエゾ素子の
ような圧力―電気変換手段を備えた圧力センサを用いる
場合、これらは特に温度によってその出力値が変動し易
く、そのため圧力の検出値が温度の変化とともに変動す
る。しかし、以上のように差圧式流量計を構成すると、
このような温度による影響を排除でき、より精度の高い
流量の測定値を得ることができる。
【００３０】つぎに、この発明の第二実施例について、
図２を参照しながら説明する。第二実施例は、前記制御
弁１０として三方切替弁を用いたものである。前記制御
弁１０は、この第二実施例においては、前記導通路９と
前記第二圧力導入管４との接続部分に設けてある。前記
制御弁１０は、前記計測制御装置１１によって制御され
ることにより、前記第二圧力検出手段６への流路を切り
替える。
図２を参照しながら説明する。第二実施例は、前記制御
弁１０として三方切替弁を用いたものである。前記制御
弁１０は、この第二実施例においては、前記導通路９と
前記第二圧力導入管４との接続部分に設けてある。前記
制御弁１０は、前記計測制御装置１１によって制御され
ることにより、前記第二圧力検出手段６への流路を切り
替える。
【００３１】すなわち、前記計測制御装置１１が、前述
の検出値の調整作業を行うに際しては、前記第二圧力導
入管４における前記蒸気供給配管１と前記第二圧力検出
手段６との間を閉鎖するとともに、前記導通路９から前
記第二圧力検出手段６との間を連通させる。この状態で
は、前記蒸気供給配管１における前記絞り部材２の上流
側の圧力が、前記第一圧力導入管３を介して前記第一圧
力検出手段５に伝達されるとともに、前記第一圧力導入
管３から前記導通路９，前記制御弁１０および前記第二
圧力導入管４を介して前記第二圧力検出手段６に伝達さ
れる。したがって、前記第一圧力検出手段５と前記第二
圧力検出手段６とは、前記蒸気供給配管１における前記
絞り部材２の上流側の圧力を基準として、その検出値が
調整されることになる。
の検出値の調整作業を行うに際しては、前記第二圧力導
入管４における前記蒸気供給配管１と前記第二圧力検出
手段６との間を閉鎖するとともに、前記導通路９から前
記第二圧力検出手段６との間を連通させる。この状態で
は、前記蒸気供給配管１における前記絞り部材２の上流
側の圧力が、前記第一圧力導入管３を介して前記第一圧
力検出手段５に伝達されるとともに、前記第一圧力導入
管３から前記導通路９，前記制御弁１０および前記第二
圧力導入管４を介して前記第二圧力検出手段６に伝達さ
れる。したがって、前記第一圧力検出手段５と前記第二
圧力検出手段６とは、前記蒸気供給配管１における前記
絞り部材２の上流側の圧力を基準として、その検出値が
調整されることになる。
【００３２】この第二実施例において、差圧を測定する
には、前記制御弁１０を切り替え、前記導通路９による
前記第一圧力導入管３と前記第二圧力導入管４との連通
状態を解除し、前記蒸気供給配管１における前記絞り部
材２の下流側の圧力を前記第二圧力導入管４を介して前
記第二圧力検出手段６に伝達することによって行う。
には、前記制御弁１０を切り替え、前記導通路９による
前記第一圧力導入管３と前記第二圧力導入管４との連通
状態を解除し、前記蒸気供給配管１における前記絞り部
材２の下流側の圧力を前記第二圧力導入管４を介して前
記第二圧力検出手段６に伝達することによって行う。
【００３３】つぎに、この発明の第三実施例について、
図３を参照しながら説明する。この第三実施例は、１つ
の圧力検出手段１２を用いる構成としたものである。こ
の第三実施例においては、前述の第一実施例および第二
実施例のように、第一圧力導入管３および第二圧力導入
管４を備えている。そして、前記第一圧力導入管３，前
記第二圧力導入管４，前記圧力検出手段１２への接続管
１３の合流部分に三方切替式の制御弁１０を接続してあ
る。そして、前記圧力検出手段１２と前記制御弁１０を
前記計測制御装置１１に接続してある。
図３を参照しながら説明する。この第三実施例は、１つ
の圧力検出手段１２を用いる構成としたものである。こ
の第三実施例においては、前述の第一実施例および第二
実施例のように、第一圧力導入管３および第二圧力導入
管４を備えている。そして、前記第一圧力導入管３，前
記第二圧力導入管４，前記圧力検出手段１２への接続管
１３の合流部分に三方切替式の制御弁１０を接続してあ
る。そして、前記圧力検出手段１２と前記制御弁１０を
前記計測制御装置１１に接続してある。
【００３４】この第三実施例においては、前記計測制御
装置１１によって前記制御弁１０を制御し、前記接続管
１３と前記第一圧力導入管３とが連通した状態と、前記
接続管１３と前記第二圧力導入管４とが連通した状態と
を交互に切り替えることにより、前記絞り部材２の上流
側と下流側における圧力を１つの圧力検出手段１２によ
って検出し、差圧を測定している。そのため、この第三
実施例の場合は、従来のような２つの圧力検出手段自体
の固体差や、温度による検出値の変動の影響を排除し、
高精度で流量の測定値を得ることができる。しかも、２
つの圧力検出位置間における差圧を１つの圧力検出手段
１２のみによって検出することができるため、構造が簡
単である。ここで、この第三実施例の構成の差圧式流量
計は、２つの圧力検出位置間における差圧を、１つの圧
力検出手段１２のみによって検出する構成であるため、
前記絞り部材２の上流側と下流側における圧力を同時に
は検出できず、前記蒸気供給配管１内の流量の変動に対
して誤差が生じる可能性がある。しかし、流量の変動が
少ない場合には、このような誤差の発生が少なくなるた
め、このような用途に適用する差圧式流量計としては、
より構造が簡単になるという利点を有する。
装置１１によって前記制御弁１０を制御し、前記接続管
１３と前記第一圧力導入管３とが連通した状態と、前記
接続管１３と前記第二圧力導入管４とが連通した状態と
を交互に切り替えることにより、前記絞り部材２の上流
側と下流側における圧力を１つの圧力検出手段１２によ
って検出し、差圧を測定している。そのため、この第三
実施例の場合は、従来のような２つの圧力検出手段自体
の固体差や、温度による検出値の変動の影響を排除し、
高精度で流量の測定値を得ることができる。しかも、２
つの圧力検出位置間における差圧を１つの圧力検出手段
１２のみによって検出することができるため、構造が簡
単である。ここで、この第三実施例の構成の差圧式流量
計は、２つの圧力検出位置間における差圧を、１つの圧
力検出手段１２のみによって検出する構成であるため、
前記絞り部材２の上流側と下流側における圧力を同時に
は検出できず、前記蒸気供給配管１内の流量の変動に対
して誤差が生じる可能性がある。しかし、流量の変動が
少ない場合には、このような誤差の発生が少なくなるた
め、このような用途に適用する差圧式流量計としては、
より構造が簡単になるという利点を有する。
【００３５】つぎに、この発明の第四実施例について、
図４を参照しながら説明する。この第四実施例は、第三
実施例と同様に１つの圧力検出手段１２を用いる構成と
したものである。この第四実施例においては、前述の第
一実施例および第二実施例のように、第一圧力導入管３
および第二圧力導入管４を備えている。そして、前記第
一圧力導入管３の他端に前記圧力検出手段１２を接続し
てある。また、前記第一圧力導入管３の途中には、開閉
式の制御弁１０を接続してある。前記第二圧力導入管４
は、前記第一圧力導入管３における前記圧力検出手段１
２と前記制御弁１０との間に接続してある。また、前記
第二圧力導入管４の途中には、オリフィス１４を設けて
ある。
図４を参照しながら説明する。この第四実施例は、第三
実施例と同様に１つの圧力検出手段１２を用いる構成と
したものである。この第四実施例においては、前述の第
一実施例および第二実施例のように、第一圧力導入管３
および第二圧力導入管４を備えている。そして、前記第
一圧力導入管３の他端に前記圧力検出手段１２を接続し
てある。また、前記第一圧力導入管３の途中には、開閉
式の制御弁１０を接続してある。前記第二圧力導入管４
は、前記第一圧力導入管３における前記圧力検出手段１
２と前記制御弁１０との間に接続してある。また、前記
第二圧力導入管４の途中には、オリフィス１４を設けて
ある。
【００３６】この第四実施例においては、まず前記計測
制御装置１１により、前記制御弁１０を閉じると、前記
蒸気供給管１における前記絞り部材２の下流側の圧力
は、前記第二圧力導入管４を介して前記圧力検出手段１
２に伝達される。前記計測制御装置１１により、前記制
御弁１０を開くと、前記蒸気供給管１における前記絞り
部材２の上流側の圧力は、前記第一圧力導入管３を介し
て前記圧力検出手段１２に伝達される。ここで、前記第
一圧力導入管３内の蒸気は、前記制御弁１０よりも下流
側においては、前記第二圧力導入管４へ向けても流れよ
うとするが、前記オリフィス１４によりこの流れが抑制
される。そのため、この第四実施例においては、前記制
御弁１０の開閉操作によって前記絞り部材２の上流側と
下流側の圧力を１つの圧力検出手段１２によって検出
し、これらの圧力に基づいて差圧を検出し、蒸気の流量
を測定することができる。さらに、この第四実施例で
は、１つの圧力検出手段１２と、単に開閉するのみの単
純な構成の制御弁１０とで、流量を精度よく測定できる
差圧式流量計を構成するができるという利点もある。
制御装置１１により、前記制御弁１０を閉じると、前記
蒸気供給管１における前記絞り部材２の下流側の圧力
は、前記第二圧力導入管４を介して前記圧力検出手段１
２に伝達される。前記計測制御装置１１により、前記制
御弁１０を開くと、前記蒸気供給管１における前記絞り
部材２の上流側の圧力は、前記第一圧力導入管３を介し
て前記圧力検出手段１２に伝達される。ここで、前記第
一圧力導入管３内の蒸気は、前記制御弁１０よりも下流
側においては、前記第二圧力導入管４へ向けても流れよ
うとするが、前記オリフィス１４によりこの流れが抑制
される。そのため、この第四実施例においては、前記制
御弁１０の開閉操作によって前記絞り部材２の上流側と
下流側の圧力を１つの圧力検出手段１２によって検出
し、これらの圧力に基づいて差圧を検出し、蒸気の流量
を測定することができる。さらに、この第四実施例で
は、１つの圧力検出手段１２と、単に開閉するのみの単
純な構成の制御弁１０とで、流量を精度よく測定できる
差圧式流量計を構成するができるという利点もある。
【００３７】さらに、以上の第三実施例や第四実施例の
場合には、前述のように、前記圧力検出手段１２の雰囲
気温度を検出する温度検出手段を設けておき、この温度
検出手段による検出温度に基づいて前記圧力検出手段の
温度による検出値の変動を修正するようにするのが好ま
しい。
場合には、前述のように、前記圧力検出手段１２の雰囲
気温度を検出する温度検出手段を設けておき、この温度
検出手段による検出温度に基づいて前記圧力検出手段の
温度による検出値の変動を修正するようにするのが好ま
しい。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、各圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等化し、こ
の均等化された圧力に基づいて各圧力検出手段からの検
出値を調整した後、各圧力検出手段からの検出値に基づ
いて差圧を求めることで、前述の各圧力検出手段の固体
差や、温度による検出値の変動の影響を排除し、高精度
の流量の測定値を得ることができる。
ば、各圧力検出手段に加わる流体の圧力を均等化し、こ
の均等化された圧力に基づいて各圧力検出手段からの検
出値を調整した後、各圧力検出手段からの検出値に基づ
いて差圧を求めることで、前述の各圧力検出手段の固体
差や、温度による検出値の変動の影響を排除し、高精度
の流量の測定値を得ることができる。
【００３９】また、この発明によれば、１つの圧力検出
手段のみによって２つの圧力検出位置間における差圧を
検出することができるため、従来のような２つの圧力検
出手段自体の固体差や、温度による検出値の変動の影響
を排除し、高精度の流量の測定値を得ることができる。
手段のみによって２つの圧力検出位置間における差圧を
検出することができるため、従来のような２つの圧力検
出手段自体の固体差や、温度による検出値の変動の影響
を排除し、高精度の流量の測定値を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第一実施例の説明図である。
【図２】この発明の第二実施例の説明図である。
【図３】この発明の第三実施例の説明図である。
【図４】この発明の第四実施例の説明図である。
【符号の説明】 １ 蒸気供給配管 ５ 第一圧力検出手段 ６ 第二圧力検出手段 ９ 導通路 １１ 計測制御装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ２つの圧力検出位置のそれぞれに圧力検
出手段５，６を接続し、前記各圧力検出手段５，６に加
わる流体の圧力を均等化する手段９を設けるとともに、
この均等化された圧力に基づいて前記各圧力検出手段
５，６からの検出値を調整する手段１１を設けたことを
特徴とする差圧式流量計。 - 【請求項２】 ２つの圧力検出位置を１つの圧力検出手
段１２に接続するとともに、この圧力検出手段１２と前
記各圧力検出位置との連通状態を切り替える切替手段１
０を設けたことを特徴とする差圧式流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11091848A JP2000283810A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 差圧式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11091848A JP2000283810A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 差圧式流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000283810A true JP2000283810A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=14038003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11091848A Abandoned JP2000283810A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 差圧式流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000283810A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003287545A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Olympus Optical Co Ltd | 分注装置 |
| KR100620224B1 (ko) | 2004-04-06 | 2006-09-11 | 한국원자력연구소 | 평균 양방향 유동 튜브 |
| WO2006116998A1 (de) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Danfoss A/S | Verfahren zum messen eines differenzdrucks in strömenden fluiden und messanordnung |
| CN1332183C (zh) * | 2005-08-10 | 2007-08-15 | 陈宇 | 流体的流量检测装置 |
| US7337677B2 (en) | 2004-11-30 | 2008-03-04 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Differential pressure flowmeter, flow controller, and apparatus for processing substrate |
| JP2010511513A (ja) * | 2006-12-05 | 2010-04-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数入口の除害装置 |
| KR101128301B1 (ko) | 2009-06-02 | 2012-03-23 | 케이에프이 주식회사 | 스트레이너 상태 표시 장치 |
| JP2013064514A (ja) * | 2011-09-15 | 2013-04-11 | Miura Co Ltd | ボイラシステム |
| JP2013072602A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Miura Co Ltd | ボイラの蒸気量計測方法，ボイラの負荷分析方法，ボイラの蒸気量計測装置およびボイラの負荷分析装置 |
| JP2015034762A (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-19 | 株式会社菊池製作所 | 差圧式流量計 |
| JP2016012529A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | アイシン精機株式会社 | 燃料電池システム |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP11091848A patent/JP2000283810A/ja not_active Abandoned
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003287545A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Olympus Optical Co Ltd | 分注装置 |
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| KR101128301B1 (ko) | 2009-06-02 | 2012-03-23 | 케이에프이 주식회사 | 스트레이너 상태 표시 장치 |
| JP2013064514A (ja) * | 2011-09-15 | 2013-04-11 | Miura Co Ltd | ボイラシステム |
| JP2013072602A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Miura Co Ltd | ボイラの蒸気量計測方法，ボイラの負荷分析方法，ボイラの蒸気量計測装置およびボイラの負荷分析装置 |
| JP2015034762A (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-19 | 株式会社菊池製作所 | 差圧式流量計 |
| JP2016012529A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | アイシン精機株式会社 | 燃料電池システム |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20041116 |