JP2010511513A - 複数入口の除害装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図2
Description
[0020]図1は、本発明の改良された熱除害装置100の概略図である。処理ツール102a及び102bは、各々、3つの処理チャンバ104aから104fを有している。各々の処理チャンバ104aから104fは、導管106aから106fを通して、処理ガスを熱除害リアクタ110の入口108aから108fへと排出することができ、その熱除害リアクタ110において、その処理ガスは、例えば、酸化されることによるが如くして、熱的に除害される。このような除害に続いて、その除害された処理ガスは、出口112から導管114を通して排出される。その導管114において、その除害ガスは、更に処理されて、ハウス排出システムへ通されるか、又は別の仕方で大気中へと放出される。これより少ない又は多い数の処理ツール、処理ツール当たりの処理チャンバ、排出導管、入口及び/又は出口を使用することもできる。
[0023]図2は、図1の入口閉塞検出システム116の少なくとも1つの実施形態の概略図である。この実施形態では、入口108aから108fは、圧力ポート122aから122fを含み、出口112は、圧力ポート124を含む。圧力ポート122aから122f及び124は、それぞれ、導管128aから128f及び130により弁126aから126gに接続される。これら弁126aから126gは、導管134aから134gにより任意的なプレナム132に接続される。プレナム132は、導管138を通して圧力センサ136と流体連通することができる。プレナムの代わりに、単純なパイプ(図示せず)により、導管134aから134gを導管138に接続してもよい。以下により詳細に説明するように、これらのポート、導管及び弁により、圧力センサ136を、入口108aから108f及び出口112から離れたところに置き、しかも、それら入口108aから108f及び出口112と選択的に流体連通させるようにすることができる。セントラ低圧センサ又は類似のセンサのような任意の適当な圧力センサを使用することができる。ある幾つかの実施形態では、圧力センサの動作を励起するため、アナログ又は他の動作電圧が圧力センサ136へ供給される。
[0027]図1を参照するに、処理チャンバ104aから104fからの処理流出物は、導管106aから106fを通して、熱除害リアクタ入口108aから108fへと向けられる。この処理流出物は、熱除害リアクタ110において熱的に除害され、それから、出口112を通して導管114へと排出される。導管114は、この流出物を、更なる除害処理へと、又は、ハウススクラバ又は排出システム等へともたらすことができる。入口閉塞検出システム116は、いずれかの入口108aから108fの閉塞を検出するため、各々の入口108aから108f及び出口112での圧力を、連続的又は定期的に測定する。この入口閉塞検出システム116は、その測定した圧力をコントローラ118へと通知する。ある幾つかの実施形態では、コントローラ118は、非閉塞入口が動作する通常の圧力範囲でプログラムされている。従って、例えば、もし、熱除害装置100の動作中に、入口108aの圧力がその通常の圧力範囲より上に上昇する場合には、コントローラ118は、入口108aが閉塞となりつつあるか又は閉塞していると、決定する。このような決定に応答して、入口108aへ流出物を供給している処理チャンバ104aが停止させられるか、又は、処理チャンバ104aからの流出物が、導管システム(図示せず)を通して、入口108a以外の入口又は異なる熱除害リアクタ(図示せず)へとそらされる。熱除害装置100は、例えば、所定数の付加的入口が閉塞しつつあるか又は閉塞していると決定され、オフラインとされる時までは、動作し続けることができる。そのようになる時、入口108aから108fをクリーニングするため、その装置100に対して保守管理がなされる。
[0029]図2を参照するに、入口閉塞検出システム116は、個々の入口108aから108f及び出口112の圧力が個々に且つ希望の順序において測定されるように、動作できる。ある幾つかの実施形態では、各々の入口圧力が次々と測定され、それから、出口圧力が測定される。他の実施形態では、各々の入口圧力の測定間に、出口圧力が測定される。任意の希望の測定パターンを使用することができる。
[0036]ある幾つかの実施形態では、図3の入口閉塞検出システム116aは、単一圧力センサ136の代わりに、冗長圧力センサ136a及び136bが設けられている以外、図2の入口閉塞検出システム116と同様である。この入口閉塞検出システム116aは、図2に関して前述した入口閉塞検出システム116の機能の全てを含むことができる。更に又、コントローラ118は、通信手段120a及び120bを介して圧力センサ136a及び136bから通知圧力測定値を受け取ることができる。コントローラ118は、2つの圧力センサ136a及び136bから受け取った通知圧力測定値のあるもの又は全てを比較するように構成される。時間経過につれて、もし、圧力センサ136a及び136bのどちらも故障しないならば、特定の入口又は出口について圧力センサ136a及び圧力センサ136bにより通知される圧力に差があったとしても、その差は、実質的には変化しない。しかしながら、もし、それら圧力センサのうちの一方が故障するならば、それら2つの圧力センサは、特定の入口又は出口について異なる圧力を通知し始める。コントローラ118は、このような場合において警報を与えるように構成され、及び/又はその熱除害装置100を停止させるように構成される。
Claims (19)
- 熱除害リアクタ入口及び出口圧力測定システムにおいて、
各々が圧力ポートを有する1つ以上のガス入口と、
各々が圧力ポートを有する1つ以上のガス出口と、
上記圧力ポートのうちの2つ以上のものに選択的に接続される圧力センサと、
を備える熱除害リアクタ入口及び出口圧力測定システム。 - 各々の圧力ポートは、上記圧力ポートと上記圧力センサとを選択的に連係又は分離させるように適応された弁を備える、請求項1に記載の圧力測定システム。
- 上記圧力センサから圧力測定値を受け取るように適応されたコントローラを更に備える、請求項2に記載の圧力測定システム。
- 上記コントローラは、上記圧力センサから受け取られた上記圧力測定値を予期圧力と比較するように更に適応される、請求項3に記載の圧力測定システム。
- 上記コントローラは、上記圧力センサから圧力測定値を受け取り且つガス入口とガス出口との間の圧力差を計算するように更に適応される、請求項3に記載の圧力測定システム。
- 上記コントローラは、上記圧力センサから圧力測定値を受け取り且つ上記入口の各々についてのベースライン圧力を生成するように更に適応される、請求項3に記載の圧力測定システム。
- 1つ以上の圧力ポートと上記圧力センサとを連係又は分離させるように上記弁の1つ以上のものを独立して動作させるように適応されたコントローラを更に備える、請求項2に記載の圧力測定システム。
- 電子装置製造ガス状流出物除害装置において、
1つ以上の処理チャンバと、
1つ以上の流出物入口及び1つ以上の出口を有する熱除害リアクタであって、上記1つ以上の入口は、上記1つ以上の処理チャンバに結合され且つ上記1つ以上の処理チャンバから流出物を受け入れるように適応されており、各々の入口及び各々の出口は、圧力ポートを備えているような熱除害リアクタと、
2つ以上の圧力ポートに選択的に接続される圧力センサと、
を備える電子装置製造ガス状流出物除害装置。 - 各々の圧力ポートと上記圧力センサとの間に配設された弁を更に備えており、各々の弁は、個々の圧力ポートと上記圧力センサとを選択的に連係又は分離させるように適応される、請求項8に記載の除害装置。
- 上記弁のうちの1つ以上のものが、上記個々の圧力ポートと上記圧力センサとを独立して連係又は分離させるように適応されたコントローラを更に備える、請求項9に記載の除害装置。
- 各々の入口について上記圧力センサから入口の入口圧力測定値を受け取るように適応されたコントローラを更に備える、請求項9に記載の除害装置。
- 上記コントローラは、上記受け取った入口圧力測定値を各々の入口について予期圧力値と比較するように更に適応されており、且つ上記受け取った入口圧力測定値が上記予期圧力値を越えると決定されるとき、流出物の流れを上記入口からそらすように更に適応される、請求項11に記載の除害装置。
- 電子装置製造熱除害装置を動作させるための方法において、
熱除害反応チャンバ内へ入口を通してガス状流出物を流入させるステップと、
上記流出物を除害するステップと、
上記熱除害反応チャンバから出口を通して上記除害された流出物を流出させるステップと、
上記入口の入口圧力を測定するため圧力センサを使用するステップと、
上記出口の出口圧力を測定するため上記同じ圧力センサを使用するステップであって、上記圧力センサが上記入口圧力及び上記出口圧力を順次測定するようにするステップと、
上記入口圧力と上記出口圧力との差を決定するステップと、
もし、上記入口圧力と上記出口圧力との間の上記差が所定の圧力を越えるならば、上記流出物の流れを上記入口からそらすステップと、
を含む方法。 - 上記入口からそらされる上記流出物は、上記同じ熱除害反応チャンバの異なる入口又は異なる熱除害反応チャンバの入口へと向けられる、請求項13に記載の方法。
- 上記入口圧力と上記出口圧力との間の差を決定するのに、コントローラが使用される、請求項14に記載の方法。
- コントローラが、上記圧力センサと上記入口の圧力ポートとを選択的に連係又は分離させるように第1の弁を動作させ、且つ上記圧力センサと上記出口の圧力ポートとを選択的に連係又は分離させるように第2の弁を動作させる、請求項13に記載の方法。
- 上記ガス状流出物は、2つ以上の処理チャンバから上記熱除害反応チャンバの2つ以上の入口へと流入する、請求項13に記載の方法。
- 各々の入口は、弁に接続されており、上記弁は、上記圧力センサとその個々の入口弁とを選択的に連係又は分離させるようにコントローラにより動作させられる、請求項17に記載の方法。
- 上記コントローラは、一度に1つの入口のみで、流出物の圧力が測定されるように、上記弁を動作させる、請求項18に記載の方法。
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