TW200836819A - Multiple inlet abatement system - Google Patents

Description

200836819 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於一種電子元件製造系統，特別是有關於 具有多個入口且具有入口堵塞偵測能力的有害化合物減量 系統。 【先前技術】

來自電子材料與裝置製程的氣流中可能包含在製造過 私中所使用或產生的各種化學化合物。在例如物理氣相沉 積、擴散、蝕刻全氟化合物製程、磊晶製程等製程中，某 些製程可能產生不受歡迎的副產物，例如全氣化合物（PFCs) 或可能會分解成全氟化合物的副產物。全氟化合物已被認 定是全球暖化的主要成因。這些化合物對於人體及/或環境 可能有害，以下將這些化合物稱為有害化合物。這些有害 化合物必須從氣體排放物中移除後，方可將氣體排放物排 放至大氣中。 者無害的化合物（即，減量 透過減量製程可將排放物中的有害化合物移除或轉化 成無害的化合物。在減量製程中可能銷毁製造電子元件所 產生或使用的有害化合物，或者將其轉換成傷害性較小或 而這些傷害性較小或無害的 化合物可做進一步處理或是排放至大氣中。 已知可利用熱減量反應室來減少排放物，在熱能反映 室中會加熱並且燃燒或氧化該些排放物，而將該些有害化 合物種換化成傷害性較小或無害的化合物。瓿 ^ 撕及應氣可包 5 200836819 含一引導裝置（pilot device)、一燃料供應器、一氧化劑供 應器、多個燃燒氣喷嘴、多個排放物入口以及多個減量後 排放物的入口。

熱減量單元典型具有減少來自數個處理室之排出物的 能力。例如，某些熱減量單元具有多個入口，並且每個入 口連接至不同的處理室。在熱減量單元的運作過程中，可 能產生固體，例如減量反應產物，其可能堆積在入口中， 而阻礙來自處理室的排出物從入口饋入熱減量單元中，造 成入口處的排出物壓力升高，而可能會對製造製程設備產 生不良影響。 傳統用來監控壓力升高的方法與設備很昂貴且構造複 雜。因此，目前需要一種能夠監控減量系統隻入口鴨例的 設備及方法。 【發明内容】 在某些實施例中，提供一種操作用於電子元件製造之 熱減量系統的方法，該方法包括：使一氣體排放物通過一 入口進入一熱減量反應室；減量該排放物；使已減量後的 排放物通過一出口離開該熱減量反應室；此用一壓力感測 器測量該入口的入口壓力；使用相同的壓力感測器測量該 出口的出口壓力；其中該壓力感測器相繼地測量該入口壓 力與出口壓力；判斷該入口壓力與出口壓力之間的壓力 差；以及，若該入口壓力與出口壓力之間的壓力差超過一 預定壓力，則使該排出物轉向而離開該入口。 6 200836819 在其他實施例中，提供一種熱減量反應室的入口與出 口壓力測量系統，該測量系統包括：一或多個氣體入口， 每個氣體入口具有一壓力埠；一或多個氣體出口，每個氣 體出口具有一壓力埠；以及，一壓力感測器連接至一個以 上的壓力埠。 在又一些實施例中，提供一種用於電子元件製造的氣 體排出物減量系統，該減量系統包括··一或多個處理室；

一熱減量反應室，其具有一或多個排出物入口以及一或多 個排出物出口 ，並且該一或多個入口連接至該一或多個處 理室，以接收來自該一或多個處理室的排出物，其中每個 入口與每個出口包含一壓力埠；以及，一壓力感測器，其 可與一個以上的壓力埠做選擇性連接；其中每個處理室經 由一反應室入口使氣體排出物流入熱減量反應室中。本發 明來提供多種其他態樣。 參閱以下詳細說明、附圖與申請專利範圍將可更進一 步了解本發明的其他特徵與態樣。 【實施方式】 如上所述，熱減量單元（thermal abatement units)典型 具有減少來自數個處理室之排放物的能力。例如，某些熱 減量單元具有高達6個入口，並且每個入口可連接至不同 的處理室。在熱減量單元的操作過程中，諸如減量反應產 物等固體可能堆積在入口中，而阻礙處理室的排放物從入 口饋入熱減量單元，造成入口處的排出物壓力升高，而可 7 200836819 能對處理設備造成不良影響。當此狀況發生時，入口需要 關閉該入口，並且停止來自處理室的排出物，或者使該排 出物轉向而流至其他的減量入口。

可藉著比較該熱減量單元每個入口的入口壓力與該出 口壓力來監控入口的堵塞情形。當該熱減量單元的一入口 與該出口之間的壓力差超過一預定壓力時，操作者或系統 可判斷出入口被堵住了，並且採取適當措施。典型地，可 以在該熱減量單元的每個入口與該出口處安裝壓力感測 器。因此，在具有六個入口的熱減量單元中，將設置有七 個壓力感測器。然而，壓力感測器很昂貴，因此需要提供 一種能夠與該多壓力感測器設備具有相同功能但費用較低 廉的方法與設備。 本發明提供一種改良的熱減量系統，其可以減少來自 一或多個處理設備的製程氣體。更明確而言，本發明減少 了熱減量反應器的設備成本，同時提供入口堵塞減熱系 統。此外，本發明還提供一種用來判斷偵測系統是否故障 的方法與設備。 如上所述，先進的熱減量反應器具有六個入口。與該 六入口之熱減量反應器並用的傳統堵塞偵測系統可能包含 七個壓力感測器，即在每個反應器入口與每個反應器出口 都具有一個壓力感測器。每個壓力感測器增加了熱減量系 統的價格與複雜度，並且是可能發生故障的零件。在某些 實施例中，本發明減少此類熱減量系統所需的壓力感測器 數量，可能減少到最少只需要一個壓力感測器。例如，可 8 200836819

透過位在每個入口 /出口上的壓力埠以及將每個壓力埠連 接至該壓力感測器的多個導管，來選擇將該熱減量單元的 每個入口與該出口中的何者連接至該單一個壓力感測器。 可藉著在每個入口 /出口與該壓力感測器之間設置閥來控 制使流體聯通的選擇。為了測量一特定入口 /出口的壓力， 可開啟位在該壓力感測器與該入口 /出口之間的闊，同時使 所有其他的閥保持關閉。並且可依序地對每個入口 /出口執 行此步驟，因而能利用單一個壓力感測器來測出每個入口 / 出口的壓力測量值。可至少如同傳統多壓力感測器入口堵 塞偵測器所測得之壓力測量值的使用方式般來應用利用上 述方法所得到的壓力測量值。 在上述這些與其他實施例中，可利用一第二壓力感測 器來輔助該單一或第一壓力感測器，該第二壓力感測器與 該第一壓力感測器流體連通，使得當選擇將一入口 /出口連 接至一壓力感測器時，其亦可連接到該第二壓力感測器。 此等連接方式，該等壓力感測器應出示相同的測量值。如 果其中一個壓力感測器故障，該等壓力壓力感測器將出示 不同的測量值。在此種方案中，可在該熱減量單元無需停 機的情況下，更換其中一個壓力感測器或更換該兩個壓力 感測器，並且繼續執行入口堵塞偵測系統的運作。 熱減量系統 第1圖是根據本發明之改良式熱減量系統1 00的示意 圖。製程設備102a與102b各自具有三個處理室104a-f。 9 200836819

每個處理室104 a_f可透過導管106 a-f排放製程氣體至熱減 量反應器110的多個入口 10 8a-f，而以諸如氧化等熱方式 來減少該等製程氣體。待減量反應完成之後，已減量的製 程氣體經由出口 112與導管114排出，該等已減量的氣體 可流經一薇房廢氣系統（house exhaust system)做進一步處 理，或直接釋放到大氣中。亦可使用更少或更多個製程設 備、每個製程設備亦可具有更多或更少個處理室、更少或 更多個排放導管、入口及/或出口。 熱減量系統1 0 0亦可包含一入口堵塞偵測系統11 6， 該偵測系統116與該等入口 108a-f及出口 112流體連通。 該入口堵塞偵測系統11 6可測量每個入口 1 0 8 a- f的入口壓 力以及出口 112的出口壓力，並且藉由資訊通訊裝置120 將壓力測量值傳給控制器1 1 8。控制器11 8可以是一微處 理器、微控制器、專用的硬體電路、軟體或上述物品的組 合或類似物。在一實施例中，控制器Π 8可以是一可程式 化的邏輯控制器。通訊裝置120可以是電纜、無線通訊器、 光纖或其他適當的連接裝置。雖然在第1圖中為了方便說 明而將控制器1 1 8繪示成與該入口堵塞偵測系統11 6分開 來，但是該控制器1 1 8也可以設計成該入口堵塞偵測系統 11 6的一部分及/或做為部份的該入口偵測系統 11 6的零 件，儘管該控制器可能除了偵測堵塞還可執行多種功能。 控制器11 8可進一步連接到未繪示於圖中的系統，該 系統是用來驅動排出物離開任一特定入口 ，以進入同一個 熱減量反應器的任一其他入口，或是進入第二個熱減量反 10 200836819 應器的一入口。 入口堵塞偵測系統

第2圖是第1圖中之入口堵塞偵測系統至少其中一種 實施例的示意圖。在此實施例中，入口 1 〇 8 a- f可能包含壓 力埠122a-f，並且出口 112可能包含壓力埠124。壓力埠 122a-f與 124可藉由導管 128a-f與 130分別連接至閥 126a-g。閥126a-g可藉由導管134&1連接至一選用性的 氣室13 2。氣室132可透過導管138而與一壓力感測器136 流體連通。也可使用一簡單的管子（未顯示）來取代氣室， 該管將該等導管134a-g連接到導管138。這些壓力埠、導 管與闕可讓感測器136遠離該等入口 108a-f與出口 112， 並且讓該壓力感測器136選擇要與該等入口 108 a-f與出口 11 2中的何者進行流體連通，以下將做更詳細的描述。任 何適當的壓力感測器均可使用，例如先創（Sentra)低壓感測 器或類似的感測器。在一些實施例中，可提供類比電壓或 其他操作電壓給壓力感測器1 3 6，以啟動該壓力感測器的 運作。 在某些實施例中，可操作閥1 26a-g以選擇性地啟動壓 力感測器 1 3 6於一時間點上測量任意一個入口 /出口的壓 力。例如，當闊126a開啟時，則關閉閥126b-g，以使入 口 1 0 8 a與遠端的壓力感測器1 3 6流體連通，而讓感測器 1 3 6測量到入口 1 0 8 a内的流體壓力。待壓力感測器1 3 6測 量到入口 108a内的流體壓力後，關閉閥126a，使入口 108a 11 200836819 不再與壓力感測器1 3 6流體連通。&後可打開另一個閥， 並且重覆上述步驟，直到測量過每個入口 /出口的壓力為 止。此步驟可連續或周期性地重複執行。 控制器U8可透過通訊裝置12〇連接至壓力感測器 136,藉著通訊裝置ία可將壓力感測器I36所測得的壓力 傳送至控制器118。控制器118可利用通訊管道14〇連接 至闕u6a_g，並且控制器118透過該通訊管道以〇對間 i26a-g個別下達開啟或關閉的命令。在另一實施例中’可 使用一獨立的控制器來命令該閥l26a-g開啟或關閉。通訊 管道M0可包括電缦、無線通訊器、光纖或其他通訊管道。 第3圖是入口堵塞楨測系統1163的示意性代表圖，其 類似於第2圖中的入口堵塞偵測糸統116 '、疋^々加了 第二壓力感測器136b ,該第二壓力感測器13讣藉由導官 138b連接至氣室132立藉由通訊裝置12〇b連接至控制窃 118。可藉由控制器丨18配合第一塵力感測器136a來使用 第二壓力感測器136b，以偵測該等壓力感測器136a、b任 -者是否發生故障。除了用來偵測故障以夕卜，雙重的壓力 感測器136a、b還可作為備用系統，以在有一個壓力感測 器故障時，該熱減量系統1 〇〇仍玎繼續運作。在又一實施 例中，當更換一個故障的壓力感測器時，熱減量系統1〇0 可利用能正常運作的壓力感測器來繼續運作。 熱減量系統的操作 參閱第1圖，來自處理室i〇4a-f的製程排出物可透過 12 200836819

導管106a-f引導至熱減量反應器入口 l〇8a-f中。在熱減量 反應器11 0中可以加熱方式來減少製程排出物，隨後透過 出口 112將排出物排放至導管114中，導管114可引導該 排放物做進一步的減量處理，或是進入一廠房洗務器或排 放系統等。入口堵塞偵測系統11 6可持續或周期性地測量 每個入口 1 08a-f與出口 11 2的壓力，以偵測任一個入口 1 0 8a-f的堵塞情形。入口堵塞偵測系統1 1 6可將所測得的 壓力傳送給控制器1 1 8。在某些實施例中，可在控制器1 1 8 中設定沒有堵塞之入口運作時的正常壓力範圍。因此，例 如當熱減量系統100在運作過程中，入口 108a的壓力升高 超過其正常壓力範圍時，控制器11 8可判斷該入口108& 正在堵塞或已經被堵住。而根據這個判斷結果可做出多種 回應，例如使供應排出物之處理室1 04a停機，或使來自處 理室 1 04a的排出物經由導管系統（未示出）流向除了入口 1 0 8 a以外的其他入口，或是使排出物流向不同熱減量反應 器（未示出）等。熱減量系統1 〇〇可持續運作，直到例如偵 測出一預定數量的額外入口也開始堵住或是已經堵住的時 候，方始該熱減量系統1 〇〇停機。在這種情況時，可對系 統100進行維修，以清洗該等入口 108a-f。 在另一實施例中，控制器11 8可比較入口壓力與出口 壓力。可先為每個入口 l〇8a-f建立出基準壓力差’並且當 任一入口的壓力差比該基準壓力差高出一預定量時，控制 器1 1 8可判斷該入口已被堵住或逐漸堵塞中，並且可採取 如上所述的多項措施。 13 200836819 入口堵塞偵測系統的操作 參閱第2圖，可操作該入口堵塞 意順序個別地測量每個入口 l〇8a-f的 中，可一個接一個地測量每個入口的 口的壓力。在另一實施例中，可在每 間測量該出口壓力。可採用任何想要

在某些實施例中，可透過一系列 124、導管 128a-f、134a-g 與 130' Μ 的氣室使每個入口 l〇8a-f與出口 112 壓力感測器136。閥126a-g可例如是 使從該入口 1 08a-f與出口 1 1 2到壓力 體連通路徑能夠選擇性地開啟（連接J (與入口或出口斷開）。當連接上一入 測器可偵測到入口或出口的壓力。 Φ 為了測量一特定入口或出口的 1 26a-g中，可僅開啟位在該壓力感測 之入口或出口之間的該闊，其他閥皆 器1 3 6偵測該特定入口或出口的壓力 1 3 6取得壓力測量值，該入口堵塞偵 、 配置閥1 2 6 a · g，以測量不同入口或出 配置步驟可包括關閉該已開啟的閥， 閉的閥。該入口堵塞偵測系統11 6可 偵測系統11 6，以任 壓力。在某些實施例 壓力，接著再測量出 個入口壓力測量的中 的測量模式來進行壓 的壓力埠 122a-f與 3 1 2 6 a - g以及選用性 選擇性地流體連通該 閘閥，並且設置用來 感測器1 3 6之間的流 l入口或出口）或關閉 口或出口時，壓力感 壓力，在所有的閥 器1 3 6與欲進行測量 關閉。隨後壓力感測 。一但該歷力感測器 測系統1 1 6隨即重新 口的壓力值。此重新 並且打開其中一個關 使用控制器11 8透過 14

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通訊管道140來操控閥126a-g。諸如微處理器、 專用硬體電路、軟體、上述軟硬體之組合、可 控制器等等的控制器都可以如下所示的方3 12 6a-g，但是也可以利用手動方式來操作該些P 當控制器11 8配置該等闊1 26a-g以测量第 口壓力，隨後重新配置闊126a-g以測量第二入 力時，控制器1 1 8可在開啟第二閥之前，先完 闊。或者，控制器1 1 8開始打開第二閥時，同 一闊。此替代方法可縮小該壓力感測器1 3 6的 度與震動。 壓力感應器136可透過資訊通訊裝置120 與出口壓力測量值至控制器1 1 8。控制器118 將所接收到的各入口壓力值與各入口的預期 較，而該預期壓力值可例如先將預期壓力值 11 8中，或是控制器1 1 8可從一資料庫中取得 過其他適當裝置而取得。控制器118可更設置 到的壓力超過該入口的預期壓力範圍時能做 如，若第一入口的測得壓力大於該第一入口的 圍時，控制器118可判斷該第一入口是否已被 堵塞中。當做出已堵塞的判斷時，控制器11 8 向第一入口的排出物轉向，改流入一第二入口 同的熱減量反應器。或者，控制器118可命令 至該第一入口的處理室停機。在第一入口測量 第一入口之預期壓力範圍的情況中，控制器1 微控制器、 程式化邏輯 心來控制閥 ξ 1 2 6 a - g ° 一入口或出 口或出口壓 全關閉第一 時關閉該第 壓力變化幅 傳送該入口 可設置用來 廢力值做比 寫入控制器 ，又或者透 成當所接收 出反應。例 預期壓力範 堵塞或逐漸 可命令使流 或是流入不 饋送排出物 壓力低於該 1 8可再該壓 15

200836819 力低於一第一壓力階段時發出警報，並且/或當壓 第二壓力階段時，命令該系統停止運作。 在又一實施例中，控制器11 8可計算每個入 的壓力差。此壓力差可能是入口 1 〇8a-f的入口壓 112之出口壓力之間的壓力差。控制器118更可 出來各入口 108a-f的壓力差與該入口的預期壓力 較，該入口的預期壓力差可例如是寫入控制器1 : 期壓力差，或是控制器11 8從一資料庫中所取得 力差，或是利用其他適當方法取得的預期壓力差 計成當一入口的計算入口 /出口壓力差落在該入 壓力差範圍之外時，控制器Π 8能做出回應。例 入口的計算壓力差高出該入口的預期壓力差範圍 11 8可判斷該入口已被堵塞或逐漸堵塞。控制器 設計成能回應此判斷結果而做出如上所述的多種 該壓力差低於預期範圍，控制器11 8在該壓力低 壓力階段時可發出一警報，及/或當壓力低於一第 可命令該系統停止運作。 在又一實施例中，控制器11 8紀錄每個入口 部分或所有的先前壓力測量值。當該熱減量系統 次啟動時，例如在每次維修過後，便可開始進行务 並且在那時候建立每個入口 10 8a_f的基準壓力。 實施例的入口堵塞偵測系統11 6可以類似上述實 的方式來操作，除了改利用控制器11 8所建立的 與所測得壓力進行比較，來取代掉以寫入控制器 力低於一 口 1 0 8 a - f 力與出口 將所計算 差進行比 [8中的預 的預期壓 。更可設 口的預期 如，當一 ，控制器 118更可 措施。若 於一第一 二階段時 108a-f — 100 第一 L錄保留， 之後，此 施例所述 基準壓力 118中或 16

200836819 提供給控制器1 1 8之資料庫中的預期壓力與測得壓力 比較而已。控制器11 8回應該些不論是大於或小於預 力之非預期壓力的方式，可類似於上述其他實施例在 情況下所做出的回應措施。 故障偵測與備用入口堵塞偵測系統的操作 在額外的某些實施例中，第3圖的入口堵塞偵測 1 1 6a類似於第2圖的入口堵塞偵測系統1 1 6，除了以 感測器136a與136b來取代單一個壓力感測器136。 堵塞偵測系統11 6a可能包含上述第2圖之入口堵塞偵 統1 1 6所有的功能。除此之外，控制器1 1 8可經由通 置120a與120b接收來自壓力感測器136a與136b的 測量值。控制器11 8可比較一部分或所有來自兩壓力 器136a、136b的壓力測量值。隨著時間，若壓力感 13 6a、136b沒有任一者故障，該壓力感測器136a與 感測器1 3 6b針對一特定入口或出口所測得壓力的差. 有的話）是實質不變的。然而，如果該等壓力感測器其 個故障，則該兩壓力感測器針對一特定入口或出口將 不同的壓力。控制器1 1 8可設計承當遇到此種情況時 警報，並且/或是使該熱減量系統1 00停止運作。 在某些上述或其他實施例中，控制器11 8可設計 判斷壓力感測器是否故障。在此種情況下，可在該熱 系統1 00停機或不停機的條件下，更換該故障的感測 例如，若壓力感測器1 3 6a與1 3 6b開始提供分流的壓 進行 期壓 相似 系統 壓力 入口 測系 訊裝 壓力 感應 測器 壓力 .(如 中一 測出 提供 用來 減量 器。 力測 17 200836819 量值 測量 時另 入口 望壓 都升 斷該

該領 情況 減量 處的 解到 涵蓋

圖， 【主 ，來自該等壓力感測器136a與136b其中一者的壓力 值可能表面上繼續顯示所有入口 l〇8a-f正在運作，同 一個壓力感測器所提供的壓力測量值可能顯示在該等 108a-f中有一或多個入口的壓力係低於或高於入口期 力。控制器11 8更可當一壓力感測器測得的所有壓力 高或降低且該另一壓力感測器顯示出穩定壓力時，判 壓力感測器已經故障。 上述敘述内容所揭示的僅僅是本發明的示範實施例。 域中具有通常技術者可了解到在不偏離本發明範圍的 下還可做出上述設備的各種修飾變化。例如，可使用 反應器之出口處的壓力、洗滌器處的壓力或其他位置 壓力與入口壓力進行比較。 雖然已藉由上述示範性實施例來揭示本發明，但應了 在後附申請專利範圍所界定的本發明精神與範圍可能 其他實施例。 式簡單說明】 第1圖是包含一入口堵塞偵測系統的熱減量系統示意 第2圖是該入口堵塞偵測系統的示意圖； 第3圖是堵塞偵測系統另一個實施例的示意圖。 要元件符號說明】 熱減量系統 102a、102b 製程設備 18 100 200836819

104a-f處理室 106a-f導管 108a-f 入口 11 〇熱減量2 112 出口 114導管 11 6、11 6a入口堵塞偵測系統 11 8控制器 120、120a、120b 通訊裝置 122a-f壓力 124壓力埠 1 2 6 a - g 閥 128a-f導管 130導管 1 3 2氣室 1 34a-g導管 136、13 6a、13 6b 感測器 138 、 138a 、 140通訊管道 應器 埠 138b導管

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Claims (1)

1. 200836819 十、申請專利範圍： 1. 一種熱減量反應器之出口與入口壓力測量系統，其包 含： 一或多個氣體入口，每個氣體入口具有一壓力埠； 一或多個氣體出口 ，每個氣體出口具有一壓力埠；以 及 一氣體感測器，可選擇與該等壓力埠中一個以上的壓

   2. 如申請專利範圍第1項所述之壓力測量系統，其中每個 壓力埠包含一閥，該閥係用以選擇連接或斷開該壓力埠與 該壓力感測器。 3. 如申請專利範圍第2項所述之壓力測量系統，更包括一 控制器，該控制器接收來自該壓力感測器的壓力測量值。

   4.如申請專利範圍第3項所述之壓力測量系統，其中該控 制器還用來將從該壓力感測器所接收到壓力測量值與多個 預期壓力做比較。 5.如申請專利範圍第3項所述之壓力測量系統，其中該控 制器更用來接收來自壓力感測器的壓力測量值，並且計算 出一氣體入口與一氣體出口之間的壓力差。 20 200836819 6.如申請專利範圍第3項所述之壓力測量系統，其中該控 制器更接收來自該壓力感測器的壓力測量值以建立每個入 口的基準壓力。

   7.如申請專利範圍第2項所述之壓力測量系統，更包括一 用來操作該一或多個閥的控制器獨立地連接或斷開該一或 多個壓力埠與該壓力感測器。 8. —種電子元件製程氣體排放物的減量系統，其包括： 一或多個處理室； 一熱減量反應器，其具有一或多個排放物入口以及一 或多個出口 ，該一或多個入口連接至該一或多個處理室， 以接收來自該一或多個處理室的排放物，其中每個入口與 每個出口包含一壓力淳；以及 一壓力感測器，選擇連接至一個以上的壓力埠。

   9.如申請專利範圍第8項所述之減量系統，更包括在每個 壓力埠與該壓力感測器之間具有一閥，其中每個閥可選擇 將各自的壓力埠與該壓力感測器相連接或斷開來。 1 0.如申請專利範圍第9項所述之減量系統，更包括一控 制器，用以使該一或多個闕獨立地連接或斷開各自的壓力 埠與壓力感測器。 21 200836819 11 .如申請專利範圍第9項所述之減量系統，更包括一控 制器，以接收來自每個入口壓力感測器的入口壓力測量值。

   1 2.如申請專利範圍第11項所述之減量系統，其中該控制 器更用以將所接收到每個入口的入口壓力測量值與一預期 壓力值進行比較，以及更於判斷出該接收入口壓力測量值 超過該預期壓力值時，使該流體轉向而離該入口。 13. —種操作用於電子元件製造之熱減量系統的方法，其 包括： 使一氣體排放物經由一入口流入一熱減量反應室； 減量該氣體排放物； 使該已減量的氣體排放物經由一出口離該熱減量反應 室； 使用一壓力感測器測量該入口的入口壓力； 使用相同的壓力感測器測量該出口的出口壓力； 其中，該壓力感測器相繼地測量該入口壓力與該出口 壓力； 判斷該入口壓力與該出口壓力之間的壓力差；以及 當該入口壓力與該出口壓力之間的壓力差超過一預定 壓力時，使該氣體排放物轉向而離開該入口。 1 4 ·如申請專利範圍第1 3項所述之方法，其中離開該入口 22 200836819 的該氣體排放物係引導至該熱減量反應室的一不同入口， 或引導至一不同熱減量反應室的一入口。 1 5.如申請專利範圍第1 4項所述之方法，其中使用一控制 器來判斷該入口壓力與該出口壓力之間的壓力差。

   1 6.如申請專利範圍第1 3項所述之方法，其中一控制器操 作一第一闊選擇連接或斷開該壓力感測器與該入口上的壓 力埠，以及操作一第二閥選擇連接或斷開該壓力感測器與 該出口上的壓力埠。 1 7 ·如申請專利範圍第1 3項所述之方法，其中來自一個以 上之處理室的該氣體排放物係流入該熱減量反應室一個以 上的入口。 18.如申請專利範圍第17項所述之方法，其中每個入口連 接至一闊，且利用一控制器操作該閥選擇連搔或斷開該壓 力感測器及其各自的入口闊。 1 9 ·如申請專利範圍第1 8項所述之方法，其中該控制器操 作該等闊，使得每次僅測量一入口的氣體排放物壓力。 23