KR20080054087A - 멀티 챔버 시스템 - Google Patents

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KR20080054087A
KR20080054087A KR1020060126230A KR20060126230A KR20080054087A KR 20080054087 A KR20080054087 A KR 20080054087A KR 1020060126230 A KR1020060126230 A KR 1020060126230A KR 20060126230 A KR20060126230 A KR 20060126230A KR 20080054087 A KR20080054087 A KR 20080054087A
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삼성전자주식회사
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Abstract

멀티 챔버 시스템은 복수의 공정 챔버들과 각각 연결되고, 공정 챔버들의 진공을 유지하기 위한 복수의 주 라인들, 주 라인들과 각각 연결되고, 주 라인들을 통하여 공정 챔버들에 진공력을 각각 제공하는 복수의 주 펌프들, 주 라인들로부터 각각 분기되는 보조 라인들 및 보조 라인들과 연결되고, 주 펌프의 작동 불량시 보조 라인들을 통하여 공정 챔버들에 진공력을 제공하기 위한 보조 펌프를 포함한다. 따라서 주 펌프의 고장이 발생하더라도 보조 펌프를 이용하여 공정 챔버들의 진공도를 유지할 수 있다.

Description

멀티 챔버 시스템{MULTI-CHAMBER SYSTEM}
도 1은 종래의 멀티 챔버 시스템을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 챔버 시스템을 설명하기 위한 구성도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 멀티 챔버 시스템 111, 112, 113 : 공정 챔버
121, 122, 123 : 주 펌프 131, 132, 133 : 주 밸브
141, 142, 143 : 주 라인 136, 137, 138 : 보조 밸브
161, 162, 163 : 보조 라인 180 : 구동부
181, 182, 183 : 제어기 186, 187, 188 : 센서
본 발명은 반도체 장치를 제조하기 위한 가공 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상기 반도체 장치를 제조하기 위한 챔버 내의 진공을 유지시키는 멀티 챔버 시스템에 관한 것이다.
근래에 정보 통신 분야의 급속한 발달과 컴퓨터와 같은 정보 매체가 널리 보 급에 따라 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 그 기능적인 면에 있어서, 상기 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구된다. 이에 따라, 상기 반도체 장치는 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 제조 기술이 발전되고 있다.
상기 반도체 장치는 일반적으로 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등을 위한 일련의 단위 공정들을 순차적으로 수행함으로서 제조된다. 상기 단위 공정들의 수행에서는 상기 단위 공정들의 공정 조건에 적합한 제조 장치가 사용된다.
상기 공정들은 반도체 장치의 품질 및 수율 향상을 위해 압력 및 온도 등 공정 분위기의 정밀한 제어가 필수적인 요구 조건으로 대두되고 있다.
일반적으로, 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 기판의 가공 공정들은 다양한 공정 가스들을 사용하고, 반도체 기판이 공기와 반응하지 않도록 하기 위해 대기압에 비해 매우 낮은 진공 상태에서 수행된다.
상기 공정들이 시작될 때 공정 챔버로 공정 가스들이 투입되면, 상기 공정 챔버의 내부는 일시적으로 압력이 상승된다. 따라서 상승된 상기 압력을 공정 조건으로 유지하기 위해 공정이 진행되는 동안 계속해서 진공 시스템이 가동되어야 하고, 공정이 진행되는 동안 일정한 압력을 갖는 진공 상태의 유지도 펌프 시스템에 의해 이루어진다.
상기 진공 시스템은 공정 장치들에 따라 다양한 방식이 있으며, 진공 라인 등에는 다양한 밸브들이 장착되어 공정 조건을 제어한다.
도 1은 종래 기술에 따른 멀티 챔버 시스템을 설명하기 위한 개략적인 구성 도이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 멀티 챔버 시스템(10)은 복수의 공정 챔버들(11, 12, 13), 공정 챔버들(11, 12, 13)과 각각 연결되는 진공 라인들(41, 42, 43), 진공 라인들(41, 42, 43) 중에 설치되는 밸브(31, 32, 33) 및 진공 라인들(41, 42, 43)을 통해 공정 챔버(11, 12, 13)와 연결되는 진공 펌프들(21, 22, 23)을 포함한다.
각각의 진공 펌프들(21, 22, 23)이 정상적으로 작동하는 경우에는 각각의 밸브(31, 32, 33)가 개방되어 공정 챔버(11, 12, 13) 내의 압력이 일정하게 유지되도록 조절된다. 그러나 진공 펌프들(21, 22, 23)중 어느 하나라도 이상이 발생하여 작동이 정지되는 경우에는 밸브(31, 32, 33)가 닫히면서 공정 챔버(11, 12, 13) 내부에 인접하는 라인들로부터의 역류가 발생하게 된다. 따라서, 공정 챔버가 일정한 진공 상태를 유지하지 못함에 따라, 챔버 내부가 오염될 수 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 진공 펌프의 오동작시 해당 챔버가 일정한 진공 상태를 유지할 수 있는 멀티 챔버 시스템을 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 챔버 시스템은, 복수의 공정 챔버들과 각각 연결되고, 상기 공정 챔버들의 진공을 유지하기 위한 복수의 주 라인들, 상기 주 라인들과 각각 연결되고, 상기 주 라인 들을 통하여 상기 공정 챔버들에 진공력을 각각 제공하는 복수의 주 펌프들, 상기 주 라인들로부터 각각 분기되는 복수의 보조 라인들 및 상기 보조 라인들과 연결되고, 상기 주 펌프의 작동 불량시 상기 보조 라인들을 통하여 상기 공정 챔버들에 진공력을 제공하기 위한 보조 펌프를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 멀티 챔버 시스템은 상기 주 라인들로부터 상기 보조 라인들이 분기되는 부위들에 각각 구비되고, 상기 주 펌프들이 정상적으로 작동하는 경우 상기 주 펌프들로부터 상기 주 라인들을 통하여 상기 진공력을 상기 공정 챔버들에 전달하도록 동작되며, 상기 주 펌프들 중 적어도 하나의 작동 불량이 발생되는 경우 상기 보조 펌프가 상기 작동 불량이 발생된 주 펌프와 연결된 보조 라인을 통하여 상기 진공력을 상기 작동 불량이 발생된 주 펌프와 연결된 공정 챔버에 전달하는 복수의 밸브들을 더 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 멀티 챔버 시스템은 상기 주 펌프의 작동 여부에 따라 상기 밸브들의 동작을 제어하기 위한 제어부를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제어부는 상기 주 펌프들의 회전수를 측정하는 센서들 및 상기 센서들에 의하여 상기 주 펌프들의 동작 상태를 감지하여 상기 밸브들을 각각 개폐하는 제어기를 포함할 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 멀티 챔버 시스템은 각각의 주 라인에 연결된 주 펌프가 작동 불량인 경우 상기 보조 펌프가 상기 보조 라인을 통해 공정 챔버의 진공도를 유지한다. 따라서 상기 주 펌프의 작동이 멈추더라도 인접하는 라인으로부터 공정 챔버로의 역류하는 현상을 방지하고, 공정 챔버 내부의 진공도가 일정하게 유지될 수 있다. 또한, 보조 라인이 보조 펌프에 병렬로 연결됨 에 따라, 하나의 보조 펌프가 복수의 공정 챔버에 연결될 수 있다. 따라서, 하나의 보조 챔버가 복수의 공정 챔버 중의 불량 상태의 공정 챔버의 진공도를 유지할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다. 첨부된 도면에 있어서, 챔버들, 펌프들 및 라인들은 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 또한, 각 구조물들이 "제1" 및/또는 "제2"로 언급되는 경우, 이러한 부재들을 한정하기 위한 것이 아니라 단지 각 구조물들을 구분하기 위한 것이다. 따라서, "제1" 및/또는 "제2"는 각 구조물들에 대하여 각기 선택적으로 또는 교환적으로 사용될 수 있다. 그리고, 후술하는 본 발명의 멀티 챔버 시스템은 일반적으로 진공을 이용하는 제조 공정에 적용될 수 있으나, 특히, 반도체 장치의 제조 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 멀티 챔버 시스템을 설명하기 위한 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 멀티 챔버 시스템(100)은 복수의 주 라인들(141, 142, 143), 복수의 주 펌프들(121, 122, 123), 복수의 보조 라인들(161, 162, 163) 및 보조 펌프(150)를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 멀티 챔버 시스템에 있어서, 상기에서 보조 펌프(150)를 제외한 구성 요소는 공정 챔버들(111, 112, 113)의 수에 따라 그 수가 결정된다. 이하, 상세한 설명에서는 공정 챔버들(111, 112, 113)이 세 개인 경우로 한정에서 설명한다.
복수의 주 라인들(141, 142, 143)은 세 개의 공정 챔버들과 각각 연결되고, 공정 챔버들에서 공정 중 진공 조건을 충족시키기 위한 통로를 제공한다. 예를 들면, 공정 챔버들(111, 112, 113)이 세 개 구비될 경우, 주 라인들(141, 142, 143)도 세 개 구비된다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 공정 챔버들(111, 112, 113)은 그 내부를 저압을 유지한 상태에서 소정의 반도체 소자 제조 공정이 진행된다.
복수의 주 펌프들(121, 122, 123)은 공정 챔버들과 연결된 주 라인들(141, 142, 143)의 단부에 각각 연결된다. 예를 들면, 주 펌프들(121, 122, 123)은 세 개의 주 라인들(141, 142, 143) 각각에 연결된다. 또한, 복수의 주 펌프들(121, 122, 123)의 개수는 주 라인들(141, 142, 143)의 개수에 대응된다. 예를 들면, 공정 챔버들의 개수가 세 개일 경우, 주 펌프들(121, 122, 123) 또한 세 개 구비된다.
복수의 주 펌프들(121, 122, 123)은 각각의 주 라인들(141, 142, 143)에 진공력을 제공한다. 주 펌프들(121, 122, 123)의 예로서는 건식 펌프 및 오일 및 물을 사용하는 습식 펌프를 포함한다. 주 펌프들(121, 122, 123)이 건식 펌프일 경우, 주 펌프들(121, 122, 123)은 펌프 내부에 오일의 공급없이 구동되는 진공펌프이다. 따라서, 주 펌프들(121, 122, 123)의 내부에 오일 미스트가 발생되지 않는 다. 따라서 상기 건식 펌프는 반도체 소자 제조 공정과 같은 쾌적한 환경을 요하는 곳에서 사용하기 적합할 수 있다. 또한 상기 건식 펌프는 마찰이 동반되지 않으므로 보다 폭넓은 압력 범위를 요하는 진공 성형 장비에서도 유용하게 사용할 수 있다. 상기 건식 펌프는 저진공 펌프로서 로타리 베인 펌프(rotary vane pump)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 멀티 챔버 시스템(100)은 공정 챔버들(111, 112, 113) 및 주 펌프들(121, 122, 123) 사이를 연결하는 주 라인들(141, 142, 143)의 각각에 설치된 주 밸브들(131, 132, 133)을 더 포함할 수 있다. 주 밸브들(131, 132, 133)은 공정 챔버들(111, 112, 113)의 동작에 따라 개폐될 수 있다.
보조 라인들(161, 162, 163)은 주 라인들(141, 142, 143)로부터 각각 분기된다. 보조 라인들(161, 162, 163)은 주 라인들(141, 142, 143)을 사용하여 챔버들의 진공도를 유지할 수 없는 경우 상기 챔버의 진동도를 유지하기 위한 통로일 수 있다. 보조 라인들(161, 162, 163)도 각각의 주 라인들(141, 142, 143)로부터 각각 분기되므로 보조 라인들(161, 162, 163)의 개수는 주 라인들(141, 142, 143)의 개수에 대응된다. 예를 들면, 주 라인들(141, 142, 143)의 개수가 세 개일 경우, 보조 라인들(161, 162, 163)의 개수 또한 세 개이다.
보조 펌프(150)는 보조 라인들(161, 162, 163)과 연결된다. 보조 펌프(150)는 각각의 주 라인들(141, 142, 143)로부터 분기되는 보조 라인들과 병렬로 연결된다. 보조 펌프(150)는 주 펌프들(121, 122, 123)의 작동 불량시에 보조 라인들(161, 162, 163)을 경유하여 불량의 주 펌프들(121, 122, 123)에 연결된 챔버에 진공력을 제공한다. 보조 펌프(150)의 예로는 건식 펌프를 들 수 있다.
보조 펌프(150)는 주 펌프들(121, 122, 123)의 갑작스런 작동 불량을 대비하여 항상 작동 상태를 유지한다. 즉 보조 펌프(150)는 펌핑에 의해 보조 펌프(150)와 연결된 각각의 보조 라인들(161, 162, 163)이 공정 챔버들(111, 112, 113)의 공정 조건과 동일한 상태를 유지하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 공정 챔버들의 개수에 관계없이 보조 펌프(150)는 하나만으로 공정 챔버들(111, 112, 113)의 진공도를 일정하게 유지할 수 있다. 즉, 보조 펌프(150)는 주 라인들(141, 142, 143)과 병렬로 연결된 복수의 보조 라인들(161, 162, 163)을 모든 공정 챔버들과 연결될 수 있다. 따라서, 복수의 공정 챔버들을 포함하는 멀티 챔버 시스템에 있어서, 하나의 보조 챔버만으로 불량 상태의 공정 챔버들의 진공도를 유지할 수 있다.
보조 펌프(150)는 주 펌프들(121, 122, 123)과 마찬가지로 작동 불량시 자체적으로 경보 신호를 발생하여 작업자가 보조 펌프(150)의 이상을 알 수 있도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 챔버 시스템은 복수의 예비 밸브들(136, 137, 138)을 더 포함할 수 있다.
예비 밸브들(136, 137, 138)은 주 라인들(141, 142, 143)에서 보조 라인들(161, 162, 163)이 분기되는 부위에 구비된다. 예비 밸브들(136, 137, 138)은 주 펌프들(121, 122, 123)이 정상적으로 작동하는 경우에는 보조 라인들(161, 162, 163)을 폐쇄함으로써, 주 라인들(141, 142, 143)을 통하여 공정 챔버들(111, 112, 113)내의 진공도를 일정하게 유지시킨다. 즉 예비 밸브들(136, 137, 138)은 보조 라인들(161, 162, 163)을 폐쇄함으로써, 주 라인들(141, 142, 143)을 통하여 공정 챔버들(111, 112, 113) 및 주 펌프들(121, 122, 123)이 상호 연결된다.
예비 밸브들(136, 137, 138)은 주 펌프들(121, 122, 123)의 작동 이상 시 보조 라인들(161, 162, 163)을 개방하여 보조 라인들(161, 162, 163)을 통하여 보조 펌프(150)가 공정 챔버들의 진공도를 유지시킨다. 즉 예비 밸브들(136, 137, 138)은 공정 챔버들(111, 112, 113)과 보조 펌프(150)를 연결시키도록 작동된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 멀티 챔버 시스템은 상기 주 펌프들(121, 122, 123)의 작동 여부에 따라 예비 밸브들(136, 137, 138)의 동작을 제어하는 제어부(180)를 더 포함할 수 있다.
제어부(180)는 주 펌프들(121, 122, 123)의 동작 상태를 감지하여 예비 밸브들(136, 137, 138)의 동작을 제어한다. 예를 들면, 주 펌프들(121, 122, 123)이 정상 상태일 경우 제어부(180)는 주 펌프들(121, 122, 123)이 주 라인들(141, 142, 143)을 통하여 공정 챔버들(111, 112, 113)의 진공도를 유지할 수 있도록 예비 밸브들(136, 137, 138)을 폐쇄한다. 주 펌프들(121, 122, 123)이 작동 불량인 경우에는 제어부(180)는 보조 펌프(150)가 보조 라인들(161, 162, 163)을 통하여 공정 챔버들(111, 112, 113)의 진공도를 유지할 수 있도록 예비 밸브들(136, 137, 138)을 개방한다.
제어부(180)는 제어기들(181, 182, 183) 및 센서들(186, 187, 188)을 포함한다.
센서들(186, 187, 188)은 주 펌프들(121, 122, 123)과 각각 연결되어 주 펌프들(121, 122, 123)의 동작 상태를 감지한다. 예를 들면, 센서들(186, 187, 188)은 주 펌프들(121, 122, 123)의 회전 속도를 측정하여 주 펌프들(121, 122, 123)이 요구되는 회전 속도를 가지지 못할 경우, 주 펌프들(121, 122, 123)의 동작 상태를 불량으로 판정하여 제어기들(181, 182, 183)의 각각에 불량 신호를 발생한다.
제어기들(181, 182, 183)은 센서들(186, 187, 188)의 불량 신호를 감지하여 불량상태의 주 펌프들(121, 122, 123)에 해당되는 예비 밸브들(136, 137, 138)을 개방한다. 따라서, 보조 펌프(150)는 보조 라인들(161, 162, 163)을 통하여 불량 상태의 주 펌프들(121, 122, 123)에 해당되는 공정 챔버들(111, 112, 113)의 진공도를 유지한다.
상술한 멀티 챔버 시스템은 공정 챔버들(111, 112, 113)의 수가 복수인 경우에 대해서만 설명되었지만, 공정 챔버가 하나인 경우, 즉 주 라인들(141, 142, 143), 주 펌프들(121, 122, 123), 예비 밸브들(136, 137, 138) 및 보조 라인들(161, 162, 163)이 각각 하나인 경우에도 사용할 수 있음은 당업자에 자명하다.
이하, 상술한 멀티 챔버 시스템의 구동에 대하여 설명하기로 한다.
우선 공정 챔버들(111, 112, 113)에서 소정의 반도체 소자 제조 공정이 진행 중 공정 챔버들(111, 112, 113)로 공정 가스들이 투입되면, 공정 챔버들(111, 112, 113)의 내부는 일시적으로 압력이 상승된다. 따라서 상기 공정이 진행되는 동안 상승된 공정 챔버들(111, 112, 113)의 압력 및 진공도를 공정 조건으로 유지하여 하고, 상기 공정이 진행되는 동안 발생하는 미반응 가스 및 반응 부산물의 배출을 위 해서 주 펌프들(121, 122, 123)이 작동된다. 이 때 제어부(180)는 예비 밸브들(136, 137, 138)의 동작을 제어하여 보조 펌프(150)와 연결되는 보조 라인들(161, 162, 163)을 폐쇄한다.
주 라인들(141, 142, 143)을 통해 공정 챔버들(111, 112, 113)의 진공도가 유지되는 상태이더라도 보조 펌프(150)는 공정 챔버들(111, 112, 113)을 공정 압력으로 유지하거나 상기 배기 가스를 배출하기 위해 작동 상태를 유지한다.
주 펌프들(121, 122, 123)이 작동 중 갑작스럽게 작동 불량이 발생하면 구동부의 제1 내지 3 센서들(186, 187, 188)은 불량 신호를 발생시킨다. 제어부(180)의 제1 내지 제3 제어기들(181, 182, 183)은 제1 내지 제3 센서들(186, 187, 188)의 불량 신호를 감지함과 동시에 예비 밸브들(136, 137, 138)의 동작을 제어하여 작동 상태에 있는 보조 펌프(150)와 연결된 보조 라인들(161, 162, 163)을 개방한다.
따라서 보조 펌프(150)의 펌핑에 의해 공정 챔버들(111, 112, 113) 내부의 압력을 공정 조건으로 유지하고 또한 인접하는 라인들로부터 역류를 방지한다. 특히 공정 챔버들(111, 112, 113)의 내부로 역류하여 파티클 발생의 원인이 되는 것을 방지한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 멀티 챔버 시스템은 복수의 주 라인들로부터 각각 분기되는 보조 라인들을 구비하고, 상기 보조 라인들이 동시에 연결되는 보조 펌프를 구비한다. 각각의 주 라인들에 연결된 주 펌프가 작동 불량인 경우 상기 보조 펌프가 상기 보조 라인을 통해 공정 챔버의 진공도를 유지한다. 따라서 상기 주 펌프의 작동이 멈추더라도 인접하는 라인으로부터 공정 챔버로의 역류하는 현상을 방지하고, 공정 챔버 내부의 진공도가 일정하게 유지될 수 있다. 또한, 보조 라인이 보조 펌프에 병렬로 연결됨에 따라, 하나의 보조 펌프가 복수의 공정 챔버에 연결될 수 있다. 따라서, 하나의 보조 챔버가 복수의 공정 챔버 중의 불량 상태의 공정 챔버의 진공도를 유지할 수 있다.
멀티 챔버 시스템을 이용하여 상기 주 펌프가 작동 불량이 되더라도 반도체 소자 제조 공정을 이상 없이 진행할 수 있으므로, 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (4)

  1. 복수의 공정 챔버들과 각각 연결되고, 상기 공정 챔버들의 진공을 유지하기 위한 복수의 주 라인들;
    상기 주 라인들과 각각 연결되고, 상기 주 라인들을 통하여 상기 공정 챔버들에 진공력을 각각 제공하는 복수의 주 펌프들;
    상기 주 라인들로부터 각각 분기되는 복수의 보조 라인들; 및
    상기 보조 라인들과 연결되고, 상기 주 펌프의 작동 불량시 상기 보조 라인들을 통하여 상기 공정 챔버들에 진공력을 제공하기 위한 보조 펌프를 포함하는 멀티 챔버 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 주 라인들로부터 상기 보조 라인들이 분기되는 부위들에 각각 구비되고, 상기 주 펌프들이 정상적으로 작동하는 경우 상기 주 펌프들로부터 상기 주 라인들을 통하여 상기 진공력을 상기 공정 챔버들에 전달하도록 동작되며, 상기 주 펌프들 중 적어도 하나의 작동 불량이 발생되는 경우 상기 보조 펌프가 상기 작동 불량이 발생된 주 펌프와 연결된 보조 라인을 통하여 상기 진공력을 상기 작동 불량이 발생된 주 펌프와 연결된 공정 챔버에 전달하는 복수의 밸브들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 챔버 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 주 펌프의 작동 여부에 따라 상기 밸브들의 동작을 제 어하기 위한 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 챔버 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제어부는
    상기 주 펌프들의 회전수를 측정하는 센서들; 및
    상기 센서들에 의하여 상기 주 펌프들의 동작 상태를 감지하여 상기 밸브들을 각각 개폐하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 챔버 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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