JPH11267443A - 乾式ガスの除害処理装置および除害方法 - Google Patents
乾式ガスの除害処理装置および除害方法Info
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- JPH11267443A JPH11267443A JP10074404A JP7440498A JPH11267443A JP H11267443 A JPH11267443 A JP H11267443A JP 10074404 A JP10074404 A JP 10074404A JP 7440498 A JP7440498 A JP 7440498A JP H11267443 A JPH11267443 A JP H11267443A
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- solid
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 除害対象ガスを除害処理装置に安定的に導入
し、かつ安全に除害処理する。 【解決手段】 ガス除害用の固体薬剤を充填した乾式ガ
ス除害処理装置において、ガス導入口を２箇所設け、一
方は固体除害薬剤から離れた装置内の上流部に設け、も
う一方は固体除害薬剤を埋設した装置内の下流部の固体
除害薬剤の中に設けた装置で、上流のガス導入口からガ
スを導入し、その除害経路が絶たれた際、もう一方の固
体除害薬剤の中に設けたガス導入口からガスを導入す
る。
し、かつ安全に除害処理する。 【解決手段】 ガス除害用の固体薬剤を充填した乾式ガ
ス除害処理装置において、ガス導入口を２箇所設け、一
方は固体除害薬剤から離れた装置内の上流部に設け、も
う一方は固体除害薬剤を埋設した装置内の下流部の固体
除害薬剤の中に設けた装置で、上流のガス導入口からガ
スを導入し、その除害経路が絶たれた際、もう一方の固
体除害薬剤の中に設けたガス導入口からガスを導入す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス除害用の固体
薬剤を充填した乾式ガス除害処理装置において、ガス経
路が絶たれた場合、別の経路からガスを除害処理しガス
経路の閉塞を防ぐことを目的とする乾式ガスの除害処理
方法に関するものである。
薬剤を充填した乾式ガス除害処理装置において、ガス経
路が絶たれた場合、別の経路からガスを除害処理しガス
経路の閉塞を防ぐことを目的とする乾式ガスの除害処理
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】固体除害薬剤を充填した乾式ガス除害処
理装置において、除害対象ガスを常に安定して導入処理
することは、重要な要素技術のひとつである。そのため
には絶えず除害筒のガスの圧力損失を一定値以下にする
ことが不可欠である。例えば、除害対象ガス中に多量の
粒子を含み、それらが乾式ガス除害処理装置に導入され
た場合、薬剤の上部でガス導入経路の閉塞が起こり、除
害筒のガスの圧力損失が増大し、ガスが流れにくくなる
ことがある。また、別の例として、固体除害薬剤との反
応により固結を生じ、同様に薬剤の上部でガス導入経路
の閉塞が起こり、ガスが流れにくくなることがある。
理装置において、除害対象ガスを常に安定して導入処理
することは、重要な要素技術のひとつである。そのため
には絶えず除害筒のガスの圧力損失を一定値以下にする
ことが不可欠である。例えば、除害対象ガス中に多量の
粒子を含み、それらが乾式ガス除害処理装置に導入され
た場合、薬剤の上部でガス導入経路の閉塞が起こり、除
害筒のガスの圧力損失が増大し、ガスが流れにくくなる
ことがある。また、別の例として、固体除害薬剤との反
応により固結を生じ、同様に薬剤の上部でガス導入経路
の閉塞が起こり、ガスが流れにくくなることがある。
【０００３】乾式ガス除害処理装置において、除害筒の
ガスの圧力損失を一定値以下にし、除害対象ガスを常に
安定して導入する方法が従来から採られてきた。その方
法は、除害筒の入口ガスの圧力が増大し、ガスが導入さ
れにくくなった場合、図７に示したようにバイパスライ
ン７の設置により、バルブ２を開けて導入ガスを除害筒
５を経由させずに装置外に排気するものや、図８に示し
たように予備の除害筒８を設置してバルブ２を開けてそ
ちらに導入ガスを逃がし除害処理して排気するものであ
る。
ガスの圧力損失を一定値以下にし、除害対象ガスを常に
安定して導入する方法が従来から採られてきた。その方
法は、除害筒の入口ガスの圧力が増大し、ガスが導入さ
れにくくなった場合、図７に示したようにバイパスライ
ン７の設置により、バルブ２を開けて導入ガスを除害筒
５を経由させずに装置外に排気するものや、図８に示し
たように予備の除害筒８を設置してバルブ２を開けてそ
ちらに導入ガスを逃がし除害処理して排気するものであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】上記従来の固体除害
薬剤を充填した乾式ガス除害処理装置において、除害筒
のガスの圧力損失を一定値以下にし除害対象ガスを常に
安定して導入する方法では、安全上の問題や装置が大き
くなるといった問題点があった。すなわち、図７に示し
たようにバイパスライン７の設置によりバルブ２を開け
て導入ガスを除害筒５を経由せずに装置外に排気する方
法では、バイパスライン７に除害筒が無いため除害対象
ガスが除害されず装置外に排気されることが考えられ
る。また、図８に示したように予備の除害筒８を設置し
てバルブ２を開けてそちらに導入ガスを逃がし除害処理
して排気する方法では、予備の除害筒８により除害対象
ガスを除害できるため、装置外に該ガスが排気されると
いった安全上の問題点はないが、別途予備の除害筒を設
置する必要があり装置全体が大きくなるといった問題点
がある。また、実公平３−１７９３５号公報にも同様な
方法を用いた処理装置が記載されている。
薬剤を充填した乾式ガス除害処理装置において、除害筒
のガスの圧力損失を一定値以下にし除害対象ガスを常に
安定して導入する方法では、安全上の問題や装置が大き
くなるといった問題点があった。すなわち、図７に示し
たようにバイパスライン７の設置によりバルブ２を開け
て導入ガスを除害筒５を経由せずに装置外に排気する方
法では、バイパスライン７に除害筒が無いため除害対象
ガスが除害されず装置外に排気されることが考えられ
る。また、図８に示したように予備の除害筒８を設置し
てバルブ２を開けてそちらに導入ガスを逃がし除害処理
して排気する方法では、予備の除害筒８により除害対象
ガスを除害できるため、装置外に該ガスが排気されると
いった安全上の問題点はないが、別途予備の除害筒を設
置する必要があり装置全体が大きくなるといった問題点
がある。また、実公平３−１７９３５号公報にも同様な
方法を用いた処理装置が記載されている。
【０００５】これら乾式ガス除害処理装置で除害対象ガ
スを常に安定して導入処理することが、安全に、かつ装
置が大きくなることなく実現できれば、乾式ガス除害処
理装置において今までにないコンパクトで安全なものが
実現できる。
スを常に安定して導入処理することが、安全に、かつ装
置が大きくなることなく実現できれば、乾式ガス除害処
理装置において今までにないコンパクトで安全なものが
実現できる。
【０００６】このため安全にかつ装置が大きくなること
なく除害対象ガスを常に安定して導入処理することがで
きる乾式ガス除害処理装置の開発が待たれていた。
なく除害対象ガスを常に安定して導入処理することがで
きる乾式ガス除害処理装置の開発が待たれていた。
【０００７】
【問題点を解決するための具体的手段】本発明者らは、
かかる問題点に鑑み鋭意検討の結果、固体除害薬剤を充
填した乾式ガス除害処理装置において、ガス導入口を２
箇所設け、一方の除害経路が絶たれた場合、他方を予備
として使用することにより、除害対象ガスを常に安定し
て導入処理できることを見いだし本発明に到達したもの
である。
かかる問題点に鑑み鋭意検討の結果、固体除害薬剤を充
填した乾式ガス除害処理装置において、ガス導入口を２
箇所設け、一方の除害経路が絶たれた場合、他方を予備
として使用することにより、除害対象ガスを常に安定し
て導入処理できることを見いだし本発明に到達したもの
である。
【０００８】すなわち本発明は、ガス除害用の固体薬剤
を充填した乾式ガス除害処理装置において、ガス導入口
を装置内に２箇所設け、一方は固体除害薬剤から離れた
装置内の上流部に設け、もう一方は固体除害薬剤を埋設
した装置内の下流部の固体除害薬剤の中に設けたことを
特徴とする乾式ガスの除害処理装置で、さらには、下流
部出口に予備除害塔を設けた装置であり、また、固体除
害薬剤から離れた上流部のガス導入口からガスを導入
し、その除害経路が絶たれた際、固体除害薬剤を埋設し
た装置内下流部の固体除害薬剤の中のもう一方のガス導
入口からガスを導入することを特徴とする該装置を用い
る乾式ガスの除害処理方法を提供するものである。
を充填した乾式ガス除害処理装置において、ガス導入口
を装置内に２箇所設け、一方は固体除害薬剤から離れた
装置内の上流部に設け、もう一方は固体除害薬剤を埋設
した装置内の下流部の固体除害薬剤の中に設けたことを
特徴とする乾式ガスの除害処理装置で、さらには、下流
部出口に予備除害塔を設けた装置であり、また、固体除
害薬剤から離れた上流部のガス導入口からガスを導入
し、その除害経路が絶たれた際、固体除害薬剤を埋設し
た装置内下流部の固体除害薬剤の中のもう一方のガス導
入口からガスを導入することを特徴とする該装置を用い
る乾式ガスの除害処理方法を提供するものである。
【０００９】本発明者らは、除害対象ガス導入経路の閉
塞がどの位置で起こるか調べたところ、ガス出口付近で
は起こらないことがわかった。ガス導入経路の閉塞が起
こる場合は、粒子が乾式ガス除害処理装置に多量に混入
した場合であり、薬剤の上部でガス導入経路の閉塞が起
こり、除害筒のガスの圧力損失が増大しガスが流れにく
くなる。また、固体除害薬剤との反応により固結が起こ
る場合であり、反応ゾーンがガス除害処理が進むにつれ
て上部から下方に移動するが、この反応ゾーンでガス導
入経路の閉塞が起こり、ガスが流れにくくなる。
塞がどの位置で起こるか調べたところ、ガス出口付近で
は起こらないことがわかった。ガス導入経路の閉塞が起
こる場合は、粒子が乾式ガス除害処理装置に多量に混入
した場合であり、薬剤の上部でガス導入経路の閉塞が起
こり、除害筒のガスの圧力損失が増大しガスが流れにく
くなる。また、固体除害薬剤との反応により固結が起こ
る場合であり、反応ゾーンがガス除害処理が進むにつれ
て上部から下方に移動するが、この反応ゾーンでガス導
入経路の閉塞が起こり、ガスが流れにくくなる。
【００１０】本発明は、除害対象ガス導入経路の閉塞が
ガス出口付近は起こらないという知見に基づき、ガス導
入口を２箇所設け、図１に示したように、一方が固体除
害薬剤６から離れたガス入口ライン９からガスを導入す
るものに対し、他方は固体除害薬剤６の埋設した装置出
口付近の固体除害薬剤中のガス入口ライン１０からガス
を導入することにより、一方の除害経路が絶たれた場
合、他方を予備として使用することにより除害対象ガス
を常に安定して導入し、しかも固体除害薬剤中に導入す
ることにより除害処理を可能とするものである。また、
下流部出口付近に、インジケーターや予備の除害塔を設
けることにより安全性はさらに高まる。
ガス出口付近は起こらないという知見に基づき、ガス導
入口を２箇所設け、図１に示したように、一方が固体除
害薬剤６から離れたガス入口ライン９からガスを導入す
るものに対し、他方は固体除害薬剤６の埋設した装置出
口付近の固体除害薬剤中のガス入口ライン１０からガス
を導入することにより、一方の除害経路が絶たれた場
合、他方を予備として使用することにより除害対象ガス
を常に安定して導入し、しかも固体除害薬剤中に導入す
ることにより除害処理を可能とするものである。また、
下流部出口付近に、インジケーターや予備の除害塔を設
けることにより安全性はさらに高まる。
【００１１】本発明において、対象となるガスは、ハロ
ゲン系ガスや水素系ガス等であり、ハロゲン系ガスとし
ては、Ｆ2、Ｃｌ2、ＣｌＦ、ＣｌＦ3、ＣｌＦ5、ＡｓＣ
ｌ3、ＳｉＣｌ4、ＳｉＦ4、ＧｅＦ4、ＷＦ6、ＢＣｌ3、
ＢＦ3、ＨＣｌ、ＨＢｒ、ＨＦ、ＳｉＨ2Ｃｌ2、ＳｉＨ
Ｃｌ3、ＴｉＣｌ4、ＴｉＦ4などであり、水素系ガスと
しては、ＡｓＨ3、ＰＨ3、Ｂ2Ｈ6、ＳｅＨ2、ＳｉＨ4、
Ｓｉ2Ｈ6、ＧｅＨ4などであり特に限定されるものでは
ない。
ゲン系ガスや水素系ガス等であり、ハロゲン系ガスとし
ては、Ｆ2、Ｃｌ2、ＣｌＦ、ＣｌＦ3、ＣｌＦ5、ＡｓＣ
ｌ3、ＳｉＣｌ4、ＳｉＦ4、ＧｅＦ4、ＷＦ6、ＢＣｌ3、
ＢＦ3、ＨＣｌ、ＨＢｒ、ＨＦ、ＳｉＨ2Ｃｌ2、ＳｉＨ
Ｃｌ3、ＴｉＣｌ4、ＴｉＦ4などであり、水素系ガスと
しては、ＡｓＨ3、ＰＨ3、Ｂ2Ｈ6、ＳｅＨ2、ＳｉＨ4、
Ｓｉ2Ｈ6、ＧｅＨ4などであり特に限定されるものでは
ない。
【００１２】また、本発明において、用いられる固体除
害剤としては、水酸化カルシウム、水酸化カリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化リチウム、水酸化マグネシウ
ム、水酸化ストロンチウム、水酸化バリウム、水酸化ニ
オブ、水酸化銅、ソーダライム、酸化カルシウム、酸化
カリウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化銅、酸
化亜鉛、酸化鉄、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化ス
ズ、酸化鉛、酸化アンチモン、酸化ビスマス、酸化モリ
ブデン、酸化タングステン、酸化タンタル、活性炭、ゼ
オライト、アルミナなどであり特に限定されるものでは
ない。
害剤としては、水酸化カルシウム、水酸化カリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化リチウム、水酸化マグネシウ
ム、水酸化ストロンチウム、水酸化バリウム、水酸化ニ
オブ、水酸化銅、ソーダライム、酸化カルシウム、酸化
カリウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化銅、酸
化亜鉛、酸化鉄、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化ス
ズ、酸化鉛、酸化アンチモン、酸化ビスマス、酸化モリ
ブデン、酸化タングステン、酸化タンタル、活性炭、ゼ
オライト、アルミナなどであり特に限定されるものでは
ない。
【００１３】
【実施例】以下、実施例により具体的に説明するが、か
かる実施例に限定されるものではない。
かる実施例に限定されるものではない。
【００１４】実施例１ 図１に本発明方法による乾式ガス除害装置の概略図を示
す。１は、ガス入口ライン９に設けたバルブで、通常除
害対象ガスを処理する場合はこれを開けて当該ガスを導
入する。２は、予備として設置したガス入口ライン１０
のバルブで、入口ガスの圧力が増大した場合にこれを開
けて当該ガスを導入し除害処理する。３は、出口のバル
ブでこれを開けて除害筒において処理したガスを排気す
る。４は、入口のガス圧力を測定するための圧力計であ
る。５は、除害筒で、この中にガスを除害処理するため
の固体除害薬剤６が充填されている。通常除害対象ガス
を処理する場合は、ガス入口ライン９で、予備として入
口ライン１０が設置してある。
す。１は、ガス入口ライン９に設けたバルブで、通常除
害対象ガスを処理する場合はこれを開けて当該ガスを導
入する。２は、予備として設置したガス入口ライン１０
のバルブで、入口ガスの圧力が増大した場合にこれを開
けて当該ガスを導入し除害処理する。３は、出口のバル
ブでこれを開けて除害筒において処理したガスを排気す
る。４は、入口のガス圧力を測定するための圧力計であ
る。５は、除害筒で、この中にガスを除害処理するため
の固体除害薬剤６が充填されている。通常除害対象ガス
を処理する場合は、ガス入口ライン９で、予備として入
口ライン１０が設置してある。
【００１５】用いた除害処理装置は、除害筒の内径を５
００ｍｍ、高さを１０００ｍｍとしたもので、また入口
のガス圧力が１０ｋＰａになった時点で予備として設置
した入口のバルブが自動で開放されて当該ガスを導入す
るものである。除害筒内の固体除害薬剤は、酸化銅（初
期かさ密度１．２ｇ／ｃｍ3）を用いた。
００ｍｍ、高さを１０００ｍｍとしたもので、また入口
のガス圧力が１０ｋＰａになった時点で予備として設置
した入口のバルブが自動で開放されて当該ガスを導入す
るものである。除害筒内の固体除害薬剤は、酸化銅（初
期かさ密度１．２ｇ／ｃｍ3）を用いた。
【００１６】除害対象ガスとしてシラン（ＳｉＨ4）を
用い、流量１０００ｃｍ3／ｍｉｎで流し、また粒子を
含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ2）を１０００００ｃｍ3／ｍ
ｉｎで同時に流した。３７時間後入口のガス圧力は１０
ｋＰａとなり、それと同時に予備として設置した入口の
バルブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰａ以下に戻
り、除害筒の出口においても除害対象ガスは、１ｐｐｍ
以下であり引き続きガス除害処理が可能となった。その
ときの除害筒内のかさ密度分布を調べた結果、図２の斜
線部に示したように１．４ｇ／ｃｍ3の部分が上部に発
生していた。また、これは希釈窒素ガス中の粒子が堆積
したものであることが固体薬剤の分析結果から明らかに
なった。
用い、流量１０００ｃｍ3／ｍｉｎで流し、また粒子を
含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ2）を１０００００ｃｍ3／ｍ
ｉｎで同時に流した。３７時間後入口のガス圧力は１０
ｋＰａとなり、それと同時に予備として設置した入口の
バルブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰａ以下に戻
り、除害筒の出口においても除害対象ガスは、１ｐｐｍ
以下であり引き続きガス除害処理が可能となった。その
ときの除害筒内のかさ密度分布を調べた結果、図２の斜
線部に示したように１．４ｇ／ｃｍ3の部分が上部に発
生していた。また、これは希釈窒素ガス中の粒子が堆積
したものであることが固体薬剤の分析結果から明らかに
なった。
【００１７】実施例２ 実施例１と同じ装置を用い、固体除害薬剤としてソーダ
ライムを用いた。除害対象ガスとして六フッ化タングス
テン（ＷＦ6）を用い流量８０００ｃｍ3／ｍｉｎで、希
釈ガスの窒素（Ｎ2）を流量１０００００ｃｍ3／ｍｉｎ
で同時に流した。４５時間後入口のガス圧力は１０ｋＰ
ａになり、それと同時に予備として設置した入口のバル
ブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰａ以下に戻り、
除害筒の出口においても除害対象ガスは１ｐｐｍ以下で
あり引き続きガス除害処理が可能となった。そのときの
除害筒内のかさ密度分布を調べた結果、図３の斜線部に
示したように１．４ｇ／ｃｍ3以上の部分が除害筒中央
部となった。また、これは六フッ化タングステンと固体
除害薬剤との反応生成物からなるものであることが固体
除害薬剤の分析結果から明らかになった。
ライムを用いた。除害対象ガスとして六フッ化タングス
テン（ＷＦ6）を用い流量８０００ｃｍ3／ｍｉｎで、希
釈ガスの窒素（Ｎ2）を流量１０００００ｃｍ3／ｍｉｎ
で同時に流した。４５時間後入口のガス圧力は１０ｋＰ
ａになり、それと同時に予備として設置した入口のバル
ブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰａ以下に戻り、
除害筒の出口においても除害対象ガスは１ｐｐｍ以下で
あり引き続きガス除害処理が可能となった。そのときの
除害筒内のかさ密度分布を調べた結果、図３の斜線部に
示したように１．４ｇ／ｃｍ3以上の部分が除害筒中央
部となった。また、これは六フッ化タングステンと固体
除害薬剤との反応生成物からなるものであることが固体
除害薬剤の分析結果から明らかになった。
【００１８】実施例３ 実施例１と同じ装置を用い、固体除害薬剤として酸化銅
を用いた。また固体除害薬剤の寿命を検出するためのカ
ラーインジケータが設置されている。図４に示すように
カラーインジケータ部１１を除けば図１〜図３に示した
除害処理装置と同様である。これは、除害対象ガスが除
害処理されずにここを通過するとカラーインジケータの
薬剤が変色し、除害筒薬剤が寿命にきており交換しなけ
ればならないことを知らすものである。ただし、カラー
インジケータで検出された後もすぐにガスが装置外に排
出されることがないようカラーインジケータ部の下流に
おいても薬剤が充填されている構造になっている。
を用いた。また固体除害薬剤の寿命を検出するためのカ
ラーインジケータが設置されている。図４に示すように
カラーインジケータ部１１を除けば図１〜図３に示した
除害処理装置と同様である。これは、除害対象ガスが除
害処理されずにここを通過するとカラーインジケータの
薬剤が変色し、除害筒薬剤が寿命にきており交換しなけ
ればならないことを知らすものである。ただし、カラー
インジケータで検出された後もすぐにガスが装置外に排
出されることがないようカラーインジケータ部の下流に
おいても薬剤が充填されている構造になっている。
【００１９】除害対象ガスとしてシラン（ＳｉＨ4）を
用い、流量１０００ｃｍ3／ｍｉｎで流し、また粒子を
含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ2）を１０００００ｃｍ3／ｍ
ｉｎで同時に流した。３４時間後入口のガス圧力は１０
ｋＰａとなり、それと同時に予備として設置した入口の
バルブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰａ以下に戻
った。そのときの除害筒内のかさ密度分布を調べた結
果、図４の斜線部に示したように１．４ｇ／ｃｍ3の部
分が上部に発生していた。また、これは希釈窒素ガス中
の粒子が堆積したものであることが固体薬剤の分析結果
から明らかになった。また予備として設置した入口のバ
ルブが開となって１時間後カラーインジケータ薬剤が変
色して正常に固体除害薬剤が寿命に達したことを検出で
きた。検出時も除害筒の出口においても除害対象ガスは
１ｐｐｍ以下であり引き続き１時間以内はガス除害処理
ができた。
用い、流量１０００ｃｍ3／ｍｉｎで流し、また粒子を
含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ2）を１０００００ｃｍ3／ｍ
ｉｎで同時に流した。３４時間後入口のガス圧力は１０
ｋＰａとなり、それと同時に予備として設置した入口の
バルブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰａ以下に戻
った。そのときの除害筒内のかさ密度分布を調べた結
果、図４の斜線部に示したように１．４ｇ／ｃｍ3の部
分が上部に発生していた。また、これは希釈窒素ガス中
の粒子が堆積したものであることが固体薬剤の分析結果
から明らかになった。また予備として設置した入口のバ
ルブが開となって１時間後カラーインジケータ薬剤が変
色して正常に固体除害薬剤が寿命に達したことを検出で
きた。検出時も除害筒の出口においても除害対象ガスは
１ｐｐｍ以下であり引き続き１時間以内はガス除害処理
ができた。
【００２０】実施例４ 図５に示すようにガス出口を薬剤の埋設した下流部に取
り付けた構造とした以外は、実施例３と同じ処理装置を
用い、固体除害薬剤として酸化銅を用いた。除害対象ガ
スとしてシラン（ＳｉＨ4）を用い、流量１０００ｃｍ3
／ｍｉｎで流し、また粒子を含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ
2）を１０００００ｃｍ3／ｍｉｎで同時に流した。３６
時間後入口のガス圧力は１０ｋＰａとなり、それと同時
に予備として設置した入口のバルブが開となり、入口の
ガス圧力は１ｋＰａ以下に戻った。そのときの除害筒内
のかさ密度分布を調べた結果、図５の斜線部に示したよ
うに１．４ｇ／ｃｍ3の部分が上部に発生していた。ま
た、これは希釈窒素ガス中の粒子が堆積したものである
ことが固体除害薬剤の分析結果から明らかになった。ま
た予備として設置した入口のバルブが開となって１時間
後カラーインジケータ薬剤が変色して正常に固体充填薬
剤が寿命に達したことを検出できた。検出時も除害筒の
出口においても除害対象ガスは１ｐｐｍ以下であり引き
続き１時間以内はガス除害処理ができた。
り付けた構造とした以外は、実施例３と同じ処理装置を
用い、固体除害薬剤として酸化銅を用いた。除害対象ガ
スとしてシラン（ＳｉＨ4）を用い、流量１０００ｃｍ3
／ｍｉｎで流し、また粒子を含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ
2）を１０００００ｃｍ3／ｍｉｎで同時に流した。３６
時間後入口のガス圧力は１０ｋＰａとなり、それと同時
に予備として設置した入口のバルブが開となり、入口の
ガス圧力は１ｋＰａ以下に戻った。そのときの除害筒内
のかさ密度分布を調べた結果、図５の斜線部に示したよ
うに１．４ｇ／ｃｍ3の部分が上部に発生していた。ま
た、これは希釈窒素ガス中の粒子が堆積したものである
ことが固体除害薬剤の分析結果から明らかになった。ま
た予備として設置した入口のバルブが開となって１時間
後カラーインジケータ薬剤が変色して正常に固体充填薬
剤が寿命に達したことを検出できた。検出時も除害筒の
出口においても除害対象ガスは１ｐｐｍ以下であり引き
続き１時間以内はガス除害処理ができた。
【００２１】実施例５ 図６に示すようにガス出口を薬剤の埋設した下流部に取
り付けた構造とした。さらに、出口側にはガス検知ポー
ト１２が設置された以外は実施例４と同じ処理装置及び
固体除害薬剤として酸化銅を用いており、ここにガス検
知器を接続することによりガス検知器による除害筒薬剤
の寿命の検出が可能となる。また寿命を検出した後もす
ぐにガスが装置外に排出されることがないようさらに下
流の出口部（図６においては上部）においても薬剤が充
填されている予備除害塔８を設けた構造になっている。
り付けた構造とした。さらに、出口側にはガス検知ポー
ト１２が設置された以外は実施例４と同じ処理装置及び
固体除害薬剤として酸化銅を用いており、ここにガス検
知器を接続することによりガス検知器による除害筒薬剤
の寿命の検出が可能となる。また寿命を検出した後もす
ぐにガスが装置外に排出されることがないようさらに下
流の出口部（図６においては上部）においても薬剤が充
填されている予備除害塔８を設けた構造になっている。
【００２２】この装置に除害対象ガスとしてシラン（Ｓ
ｉＨ4）を用い、流量１０００ｃｍ3／ｍｉｎで流し、ま
た粒子を含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ2）を１０００００
ｃｍ3／ｍｉｎで同時に流した。３５時間後入口のガス
圧力は１０ｋＰａとなり、それと同時に予備として設置
した入口のバルブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰ
ａ以下に戻った。そのときの除害筒内のかさ密度分布を
調べた結果、図６の斜線部に示したように１．４ｇ／ｃ
ｍ3の部分が上部に発生した。また、これは希釈窒素ガ
ス中の粒子が堆積したものであることが固体除害薬剤の
分析結果から明らかになった。また予備として設置した
入口のバルブが開となって１時間後カラーインジケータ
薬剤が変色し、それとほぼ同時にガス検知ポートに接続
されたガス検知器により検知があり、正常に固体充填薬
剤が寿命に達したことを検出できた。検出時も除害筒の
出口においても除害対象ガスは１ｐｐｍ以下であり引き
続き１時間以内はガス除害処理ができた。
ｉＨ4）を用い、流量１０００ｃｍ3／ｍｉｎで流し、ま
た粒子を含んだ希釈ガスの窒素（Ｎ2）を１０００００
ｃｍ3／ｍｉｎで同時に流した。３５時間後入口のガス
圧力は１０ｋＰａとなり、それと同時に予備として設置
した入口のバルブが開となり、入口のガス圧力は１ｋＰ
ａ以下に戻った。そのときの除害筒内のかさ密度分布を
調べた結果、図６の斜線部に示したように１．４ｇ／ｃ
ｍ3の部分が上部に発生した。また、これは希釈窒素ガ
ス中の粒子が堆積したものであることが固体除害薬剤の
分析結果から明らかになった。また予備として設置した
入口のバルブが開となって１時間後カラーインジケータ
薬剤が変色し、それとほぼ同時にガス検知ポートに接続
されたガス検知器により検知があり、正常に固体充填薬
剤が寿命に達したことを検出できた。検出時も除害筒の
出口においても除害対象ガスは１ｐｐｍ以下であり引き
続き１時間以内はガス除害処理ができた。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の方法によ
れば固体除害薬剤を充填した乾式ガス除害処理装置にお
いて、ガス入口を２箇所設けることにより、一方の除害
経路が絶たれた場合、他方を予備として使用することに
より、除害対象ガスを常に安定して導入することがで
き、かつ安全にガス除害処理することができる。
れば固体除害薬剤を充填した乾式ガス除害処理装置にお
いて、ガス入口を２箇所設けることにより、一方の除害
経路が絶たれた場合、他方を予備として使用することに
より、除害対象ガスを常に安定して導入することがで
き、かつ安全にガス除害処理することができる。
【図１】本発明方法による除害処理装置の概略図であ
る。
る。
【図２】実施例１の除害処理装置における粒子による閉
塞例の概略図である。
塞例の概略図である。
【図３】実施例２の除害処理装置における反応生成物に
よる閉塞例の概略図である。
よる閉塞例の概略図である。
【図４】実施例３の除害処理装置の構成及び粒子による
閉塞例の概略図である。
閉塞例の概略図である。
【図５】実施例４の除害処理装置の構成及び粒子による
閉塞例の概略図である。
閉塞例の概略図である。
【図６】実施例５の除害処理装置の構成及び粒子による
閉塞例の概略図である。
閉塞例の概略図である。
【図７】従来から用いられている除害処理装置の概略図
の一例である。
の一例である。
【図８】従来から用いられている除害処理装置の概略図
の一例である。
の一例である。
１・・・バルブ１ ２・・・バルブ２ ３・・・バルブ３ ４・・・圧力計 ５・・・除害筒 ６・・・固体除害薬剤 ７・・・バイパスライン ８・・・予備除害筒 ９・・・ガス入口ライン １０・・ガス入口ライン １１・・カラーインジケータ １２・・ガス検知ポート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市丸 広志 山口県宇部市大字沖宇部5272番地の１ セ ントラルエンジニアリング株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 ガス除害用の固体薬剤を充填した乾式ガ
ス除害処理装置において、ガス導入口を装置内に２箇所
設け、一方は固体除害薬剤から離れた装置内の上流部に
設け、もう一方は固体除害薬剤を埋設した装置内の下流
部の固体除害薬剤の中に設けたことを特徴とする乾式ガ
スの除害処理装置。 - 【請求項２】 固体除害薬剤から離れた上流部のガス導
入口からガスを導入し、その除害経路が絶たれた際、固
体除害薬剤を埋設した装置内下流部の固体除害薬剤の中
のもう一方のガス導入口からガスを導入することを特徴
とする請求項１記載の装置を用いる乾式ガスの除害処理
方法。 - 【請求項３】 下流部出口に予備除害塔を設けたことを
特徴とする請求項１記載の乾式ガスの除害処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074404A JPH11267443A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 乾式ガスの除害処理装置および除害方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074404A JPH11267443A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 乾式ガスの除害処理装置および除害方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11267443A true JPH11267443A (ja) | 1999-10-05 |
Family
ID=13546228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10074404A Pending JPH11267443A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | 乾式ガスの除害処理装置および除害方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11267443A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006314869A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | 半導体プロセスチャンバからの排ガスを除害するためのシステム |
| JP2010511513A (ja) * | 2006-12-05 | 2010-04-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数入口の除害装置 |
| JP2010158643A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Ebara Corp | 予備処理槽を備えた排ガス処理装置 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP10074404A patent/JPH11267443A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006314869A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | 半導体プロセスチャンバからの排ガスを除害するためのシステム |
| JP2010511513A (ja) * | 2006-12-05 | 2010-04-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数入口の除害装置 |
| JP2010158643A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Ebara Corp | 予備処理槽を備えた排ガス処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040318 |