JP2812833B2 - シランの除去方法 - Google Patents
シランの除去方法Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
- C01B21/083—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms
- C01B21/0832—Binary compounds of nitrogen with halogens
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＮＦ3 とシランとを同
時に扱うシステムにおいてＮＦ3 を安全に除害するため
に、前段階におけるシランの除去方法に関するものであ
る。
時に扱うシステムにおいてＮＦ3 を安全に除害するため
に、前段階におけるシランの除去方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ＮＦ3 は航空宇宙分野ではロケットの燃
料として、また近年半導体産業分野ではＣＶＤ装置等の
ドライクリーニング剤あるいはＬＳＩ製造工程でのドラ
イエッチング剤として注目されている。特にドライエッ
チング剤としてはＣＦ4 などのパーフロロカーボン系の
エッチング剤に比較してＬＳＩに対する汚染の度合がき
わめて少ないという利点があり次第に多用されるように
なってきている。
料として、また近年半導体産業分野ではＣＶＤ装置等の
ドライクリーニング剤あるいはＬＳＩ製造工程でのドラ
イエッチング剤として注目されている。特にドライエッ
チング剤としてはＣＦ4 などのパーフロロカーボン系の
エッチング剤に比較してＬＳＩに対する汚染の度合がき
わめて少ないという利点があり次第に多用されるように
なってきている。
【０００３】しかしながらＮＦ3 は大気中できわめて安
定であり、水にもわずかしか溶解しないＴＬＶが１０ｐ
ｐｍの毒性ガスであるため、これを使用する場合には、
その未利用ガスを排出する際に、常にその除害が必要と
なってくる。一方ＮＦ3 はＣＶＤ装置で同時に用いられ
るシランと激しい反応性を有しており同一システム内で
これらガスを安全に利用・除害する方法が求められてい
る。
定であり、水にもわずかしか溶解しないＴＬＶが１０ｐ
ｐｍの毒性ガスであるため、これを使用する場合には、
その未利用ガスを排出する際に、常にその除害が必要と
なってくる。一方ＮＦ3 はＣＶＤ装置で同時に用いられ
るシランと激しい反応性を有しており同一システム内で
これらガスを安全に利用・除害する方法が求められてい
る。
【０００４】ＮＦ3 は常温付近では非常に安定なガス
で、酸・アルカリ等の化学物質とは全く反応せず、水に
ほとんど吸収されずまた適当な吸着剤もないため通常の
化学的・物理的な方法では除害できない。しかしＮＦ3
は１８０℃以上でＮ2 と活性なＦ原子に分解し始め、４
００℃以上で十分に大きな分解速度を持つようになる。
で、酸・アルカリ等の化学物質とは全く反応せず、水に
ほとんど吸収されずまた適当な吸着剤もないため通常の
化学的・物理的な方法では除害できない。しかしＮＦ3
は１８０℃以上でＮ2 と活性なＦ原子に分解し始め、４
００℃以上で十分に大きな分解速度を持つようになる。
【０００５】つまり、ＮＦ3 を処理するための有効な方
法は４００℃以上の高温でＮＦ3 を分解し、発生したＦ
原子を適当な物質と反応させるというもので、これまで
工業的用途に開発されたＮＦ3 の除害方法の大部分のも
のはこの原理に基づいている。例えばＦと反応する物質
としてＳｉ、Ｗ、Ｍｏ等の揮発性フッ化物を生成するも
のを利用する方法（特公昭63-48570号）、活性炭などＣ
Ｆ4 ガスを生成する炭素源を利用する方法（特公平2-30
731 号）などである。
法は４００℃以上の高温でＮＦ3 を分解し、発生したＦ
原子を適当な物質と反応させるというもので、これまで
工業的用途に開発されたＮＦ3 の除害方法の大部分のも
のはこの原理に基づいている。例えばＦと反応する物質
としてＳｉ、Ｗ、Ｍｏ等の揮発性フッ化物を生成するも
のを利用する方法（特公昭63-48570号）、活性炭などＣ
Ｆ4 ガスを生成する炭素源を利用する方法（特公平2-30
731 号）などである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところでＮＦ3 の主要
用途である半導体製造等におけるクリーニングおよびエ
ッチング工程ではその前段の製膜工程において原料ガス
としてシランが用いられることが多い。ＮＦ3 とシラン
ガスは混合により爆発混合気を形成し得るので製膜工程
とクリーニングおよびエッチング工程に使用されるこれ
らのガスは決して混合し合うことがないように注意して
装置やシステムが設計されてはいるが、所詮同一のＣＶ
Ｄ装置等で使用するからには配管を介してガス源が連結
されており、バルブの誤操作等により万が一にも絶対に
混合することが無いとはいい切れない。仮にこうした不
測の事態によって形成された爆発混合気がＮＦ3 の除害
反応の場を与える高温の反応器を有するＮＦ3 の除害装
置に流入した場合そこで爆発する恐れがある。こうした
危険を除くためのバックアップシステムとしてはこれま
で適当なものが提案されていなかった。
用途である半導体製造等におけるクリーニングおよびエ
ッチング工程ではその前段の製膜工程において原料ガス
としてシランが用いられることが多い。ＮＦ3 とシラン
ガスは混合により爆発混合気を形成し得るので製膜工程
とクリーニングおよびエッチング工程に使用されるこれ
らのガスは決して混合し合うことがないように注意して
装置やシステムが設計されてはいるが、所詮同一のＣＶ
Ｄ装置等で使用するからには配管を介してガス源が連結
されており、バルブの誤操作等により万が一にも絶対に
混合することが無いとはいい切れない。仮にこうした不
測の事態によって形成された爆発混合気がＮＦ3 の除害
反応の場を与える高温の反応器を有するＮＦ3 の除害装
置に流入した場合そこで爆発する恐れがある。こうした
危険を除くためのバックアップシステムとしてはこれま
で適当なものが提案されていなかった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の実
状を鑑み鋭意検討の結果、高温部を有するＮＦ3 の除害
装置の前段にシランを除去する薬剤を配して、万が一Ｎ
Ｆ3 とシランの混合気が形成されたまま当該ＮＦ3 除害
装置に導入されるという事態に至った場合でも当該混合
気からシラン成分を取り除き安全にＮＦ3 の除害を行う
ことができるという方法を提供するものである。また、
かかるＮＦ3 の除害ラインにシランが混入していること
を自動的に検知することにより危険な事態を警告し得る
方法を提供し、さらにはシランを除去する薬剤の寿命を
自動的に管理し得る方法をも提供するものである。
状を鑑み鋭意検討の結果、高温部を有するＮＦ3 の除害
装置の前段にシランを除去する薬剤を配して、万が一Ｎ
Ｆ3 とシランの混合気が形成されたまま当該ＮＦ3 除害
装置に導入されるという事態に至った場合でも当該混合
気からシラン成分を取り除き安全にＮＦ3 の除害を行う
ことができるという方法を提供するものである。また、
かかるＮＦ3 の除害ラインにシランが混入していること
を自動的に検知することにより危険な事態を警告し得る
方法を提供し、さらにはシランを除去する薬剤の寿命を
自動的に管理し得る方法をも提供するものである。
【０００８】すなわち本発明は、ＮＦ3 を除去する工程
において、該工程に混入したシランを工程の前段階で除
去薬剤と反応除去することを特徴とするシランの除去方
法で、シランの除去薬剤として酸化マンガン、酸化銅、
酸化鉄の中から選ばれる少なくとも一種以上の薬剤から
なることを特徴とし、シラン除去部にシランが流入した
ことを温度の上昇により検知し、さらにシラン除去部の
途中から採取したガスを分析することによってシラン除
去薬剤の寿命を検知し、シラン除去部の一部に外部から
観察可能な部分に設けた窓部にシランと反応して変色す
る物質を配することによりシラン除去薬剤の寿命を検知
することを特徴とするシランの除去方法である。
において、該工程に混入したシランを工程の前段階で除
去薬剤と反応除去することを特徴とするシランの除去方
法で、シランの除去薬剤として酸化マンガン、酸化銅、
酸化鉄の中から選ばれる少なくとも一種以上の薬剤から
なることを特徴とし、シラン除去部にシランが流入した
ことを温度の上昇により検知し、さらにシラン除去部の
途中から採取したガスを分析することによってシラン除
去薬剤の寿命を検知し、シラン除去部の一部に外部から
観察可能な部分に設けた窓部にシランと反応して変色す
る物質を配することによりシラン除去薬剤の寿命を検知
することを特徴とするシランの除去方法である。
【０００９】本発明において、本発明者らはシラン除去
薬剤について鋭意検討した結果、酸化マンガン、酸化
銅、酸化鉄の中から選ばれる少なくとも一種以上からな
る薬剤がかかる目的に対して非常に有用であることを見
いだし本発明に到達したものである。即ち酸化マンガ
ン、酸化銅、酸化鉄の中から選ばれる少なくとも一種以
上から成る薬剤は、完全な乾燥状態でもシランを除去す
ることができるばかりでなく、同時に半導体製造等のク
リーニング工程またはエッチング工程から排出され、未
分解ＮＦ3 に同伴するＳｉＦ4 などのクリーニングまた
はエッチング生成ガスによってもそのシラン除去能力が
ほとんど悪影響を被らないという利点をも兼ね備えたも
のであることを見いだし本発明に到達した。
薬剤について鋭意検討した結果、酸化マンガン、酸化
銅、酸化鉄の中から選ばれる少なくとも一種以上からな
る薬剤がかかる目的に対して非常に有用であることを見
いだし本発明に到達したものである。即ち酸化マンガ
ン、酸化銅、酸化鉄の中から選ばれる少なくとも一種以
上から成る薬剤は、完全な乾燥状態でもシランを除去す
ることができるばかりでなく、同時に半導体製造等のク
リーニング工程またはエッチング工程から排出され、未
分解ＮＦ3 に同伴するＳｉＦ4 などのクリーニングまた
はエッチング生成ガスによってもそのシラン除去能力が
ほとんど悪影響を被らないという利点をも兼ね備えたも
のであることを見いだし本発明に到達した。
【００１０】本発明において用いられる酸化物は、酸化
マンガンとしてＭｎ3 Ｏ4 ，Ｍｎ2Ｏ3 ，ＭｎＯ2 、酸
化銅としてＣｕ2 Ｏ，ＣｕＯ、酸化鉄としてＦｅＯ，Ｆ
ｅ3Ｏ4 ，Ｆｅ2 Ｏ3 が好ましい。
マンガンとしてＭｎ3 Ｏ4 ，Ｍｎ2Ｏ3 ，ＭｎＯ2 、酸
化銅としてＣｕ2 Ｏ，ＣｕＯ、酸化鉄としてＦｅＯ，Ｆ
ｅ3Ｏ4 ，Ｆｅ2 Ｏ3 が好ましい。
【００１１】シランを除去する薬剤としては一般的には
酸化剤として過マンガン酸カリウム等が知られており、
さらにメタ珪酸塩、アルカリ等も知られているがいずれ
も水の存在下でシランの除去能力を有しているので湿式
または半乾式の除去法となり、ＮＦ3 除害装置の前段に
配するシラン除去装置としては大変具合いが悪い。なぜ
なら、かかるシラン除去薬剤の保有する水分はＮＦ3 除
害装置に流入するガスと共にその温度での分圧の水蒸気
としてＮＦ3 除害部へ入るが、この時Ｆ原子と水蒸気と
の作用で高温の反応器の材質の金属を著しく腐食するか
らである。
酸化剤として過マンガン酸カリウム等が知られており、
さらにメタ珪酸塩、アルカリ等も知られているがいずれ
も水の存在下でシランの除去能力を有しているので湿式
または半乾式の除去法となり、ＮＦ3 除害装置の前段に
配するシラン除去装置としては大変具合いが悪い。なぜ
なら、かかるシラン除去薬剤の保有する水分はＮＦ3 除
害装置に流入するガスと共にその温度での分圧の水蒸気
としてＮＦ3 除害部へ入るが、この時Ｆ原子と水蒸気と
の作用で高温の反応器の材質の金属を著しく腐食するか
らである。
【００１２】本発明でシランと称する物質は、シリコン
原子１個から成るモノシランのほかシリコン原子が２個
のジシランおよびこれらシランの水素原子の一部がハロ
ゲン原子で置き替わったフルオロシラン、クロルシラ
ン、ブロムシラン類も包括している。
原子１個から成るモノシランのほかシリコン原子が２個
のジシランおよびこれらシランの水素原子の一部がハロ
ゲン原子で置き替わったフルオロシラン、クロルシラ
ン、ブロムシラン類も包括している。
【００１３】さらにＮＦ3 除害ラインにシランの混入が
継続した場合、本発明が提供するシラン除去薬剤によっ
て当面の危険は回避できるとはいうものの、薬剤の能力
が有限であるからにはいずれシラン除去能力は失われ危
険状態に陥る恐れがある。そのため、かかる危険状態を
未然に検知して操作員に知らしめる機構が必要である。
本発明は当該検知機構についてもその方法を提供するも
のである。即ち、酸化マンガン、酸化銅、酸化鉄の中か
ら選ばれる少なくとも一種以上からなる薬剤はシランと
の反応により発熱するため発熱に伴う温度上昇を温度セ
ンサーによってキャッチすることによりＮＦ3 除害ライ
ンにシランが混入していることをきわめて早い時期に検
知できる。例えばＮＦ3 −ＳｉＨ4 −Ｎ2 系の場合、爆
発下限ＳｉＨ4 濃度は０．６６％といわれているがこれ
よりも低い濃度の０．５％のＳｉＨ4 の場合でも３０℃
以上の温度上昇を示しており容易に検出が可能である。
継続した場合、本発明が提供するシラン除去薬剤によっ
て当面の危険は回避できるとはいうものの、薬剤の能力
が有限であるからにはいずれシラン除去能力は失われ危
険状態に陥る恐れがある。そのため、かかる危険状態を
未然に検知して操作員に知らしめる機構が必要である。
本発明は当該検知機構についてもその方法を提供するも
のである。即ち、酸化マンガン、酸化銅、酸化鉄の中か
ら選ばれる少なくとも一種以上からなる薬剤はシランと
の反応により発熱するため発熱に伴う温度上昇を温度セ
ンサーによってキャッチすることによりＮＦ3 除害ライ
ンにシランが混入していることをきわめて早い時期に検
知できる。例えばＮＦ3 −ＳｉＨ4 −Ｎ2 系の場合、爆
発下限ＳｉＨ4 濃度は０．６６％といわれているがこれ
よりも低い濃度の０．５％のＳｉＨ4 の場合でも３０℃
以上の温度上昇を示しており容易に検出が可能である。
【００１４】この温度センサーによって捉えられた信号
でランプ、ブザーなどの警報器を作動して操作員に危険
状態を迅速に知らしめることもできるし、またシランま
たは／およびＮＦ3 の元バルブを自動的に閉止して危険
状態の原因を絶つことも可能である。
でランプ、ブザーなどの警報器を作動して操作員に危険
状態を迅速に知らしめることもできるし、またシランま
たは／およびＮＦ3 の元バルブを自動的に閉止して危険
状態の原因を絶つことも可能である。
【００１５】上記のＮＦ3 除害ラインへのシラン混入検
知機構においては、警報を出力する温度レベルとしては
正常状態での温度の変動幅に誤差の幅を加えた値に設定
するのが実用的である。従ってシランが混入してはいる
がその濃度が低くて警報を出力する温度レベルには達し
ないという事態も生じ得る。そのまま放置した場合には
気付かないうちにシラン除去薬剤の能力が失われて、安
全装置としての機能を果たさなくなるのでかかる事態を
検出する機構も必要とされ、本発明はそのための方法を
も提供するものである。即ち、シラン除去薬剤の能力が
失われてしまった場合にはその下流側にシランが流出し
てくるのでこのシランを分析することによって対策を構
じることができる。ただしこの場合、シラン除去部の出
口のガスを分析したのではシランを検出するのとそのシ
ランがＮＦ3 除害反応部へ流入するのが同時であるので
危険で未然に対処することができない。従ってシラン除
去部の上流側の一部の薬剤が能力を失っても残りの下流
側の薬剤が依然能力を保持しているようにシラン除去部
の中程に分析ガスのサンプリング位置を決める必要があ
る。分析の具体的方法としてはガスクロマトグラフィー
法、ＩＲ吸光光度法、定電位電解法等のうちから条件に
よって適当なものを選択すればよい。
知機構においては、警報を出力する温度レベルとしては
正常状態での温度の変動幅に誤差の幅を加えた値に設定
するのが実用的である。従ってシランが混入してはいる
がその濃度が低くて警報を出力する温度レベルには達し
ないという事態も生じ得る。そのまま放置した場合には
気付かないうちにシラン除去薬剤の能力が失われて、安
全装置としての機能を果たさなくなるのでかかる事態を
検出する機構も必要とされ、本発明はそのための方法を
も提供するものである。即ち、シラン除去薬剤の能力が
失われてしまった場合にはその下流側にシランが流出し
てくるのでこのシランを分析することによって対策を構
じることができる。ただしこの場合、シラン除去部の出
口のガスを分析したのではシランを検出するのとそのシ
ランがＮＦ3 除害反応部へ流入するのが同時であるので
危険で未然に対処することができない。従ってシラン除
去部の上流側の一部の薬剤が能力を失っても残りの下流
側の薬剤が依然能力を保持しているようにシラン除去部
の中程に分析ガスのサンプリング位置を決める必要があ
る。分析の具体的方法としてはガスクロマトグラフィー
法、ＩＲ吸光光度法、定電位電解法等のうちから条件に
よって適当なものを選択すればよい。
【００１６】さらにシラン除去薬剤の能力を確認する方
法として前記の方法以外にもシランとの反応により変色
する試薬をシラン除去部に外部から観察できるようにし
て配する方法をも本発明で提供するところである。変色
薬剤としてはシランとの作用によって変色するものの中
から選択すればよくＨｇＣｌ2 等が有用である。変色試
薬はそのままの形あるいは水に溶解してシリカゲル、多
孔質アルミナ、ろ紙などの担体に付着させた形で利用す
ることができる。
法として前記の方法以外にもシランとの反応により変色
する試薬をシラン除去部に外部から観察できるようにし
て配する方法をも本発明で提供するところである。変色
薬剤としてはシランとの作用によって変色するものの中
から選択すればよくＨｇＣｌ2 等が有用である。変色試
薬はそのままの形あるいは水に溶解してシリカゲル、多
孔質アルミナ、ろ紙などの担体に付着させた形で利用す
ることができる。
【００１７】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 実施例１ ＣｕＯとＭｎ2 Ｏ3 を重量で３０：７０の割合でボール
ミルに仕込み粉砕しながら混合し、その後加圧成形した
ものを解砕して約３ｍｍ径の粒に調整した。これを、両
端にガスの出入口配管と両端から等距離の位置の管壁に
ガスサンプリング用配管および内部の温度を測定するた
めの熱電対とを備えた内径２４ｍｍ、長さ５００ｍｍの
ステンレス管に１４０ｇ充填しシラン除去カラムとし
た。室温状態で当該カラムの一方の口からＮＦ3 ＝２％
残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で流
し、他方の口から出てくるガスを分析したところ、ＮＦ
3 ＝２％であり変化はなかった。またカラム内の温度に
も変化は無かった。次に、ＮＦ 3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝２
％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で
流し、他方の口から出てくるガスを分析したところ、Ｎ
Ｆ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＜１０ｐｐｍ（検出下限以下）で
あった。内部の温度はガス入口付近が最も高く１６６℃
に達した（実験開始前 ２２℃）。
る。 実施例１ ＣｕＯとＭｎ2 Ｏ3 を重量で３０：７０の割合でボール
ミルに仕込み粉砕しながら混合し、その後加圧成形した
ものを解砕して約３ｍｍ径の粒に調整した。これを、両
端にガスの出入口配管と両端から等距離の位置の管壁に
ガスサンプリング用配管および内部の温度を測定するた
めの熱電対とを備えた内径２４ｍｍ、長さ５００ｍｍの
ステンレス管に１４０ｇ充填しシラン除去カラムとし
た。室温状態で当該カラムの一方の口からＮＦ3 ＝２％
残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で流
し、他方の口から出てくるガスを分析したところ、ＮＦ
3 ＝２％であり変化はなかった。またカラム内の温度に
も変化は無かった。次に、ＮＦ 3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝２
％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で
流し、他方の口から出てくるガスを分析したところ、Ｎ
Ｆ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＜１０ｐｐｍ（検出下限以下）で
あった。内部の温度はガス入口付近が最も高く１６６℃
に達した（実験開始前 ２２℃）。
【００１８】供給したＳｉＨ4 の積算値が１．０Ｌにな
った時点でカラム中央部の孔からガスをサンプリングし
分析したところＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝０．１２％で
あった。またこの時同時にサンプリングした出口ガスの
組成はＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ 4 ＜１０ｐｐｍと変化はな
かった。
った時点でカラム中央部の孔からガスをサンプリングし
分析したところＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝０．１２％で
あった。またこの時同時にサンプリングした出口ガスの
組成はＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ 4 ＜１０ｐｐｍと変化はな
かった。
【００１９】実施例２ 実施例１のステンレス管のガスサンプリング口の近くに
石英製の窓を設け外部から観察できるように窓の内側に
ＨｇＣｌ2 の粉末を配した。そのほかの条件は実施例１
と同様に実施したところ、供給したＳｉＨ4 の積算値が
０．４Ｌになった時点で該粉末の色が白色からＨｇ2 Ｃ
ｌ2 の黄色に変化し、窓の位置より上流側すなわち１／
２の薬剤が破過しＳｉＨ4 が検出されたことを示した。
石英製の窓を設け外部から観察できるように窓の内側に
ＨｇＣｌ2 の粉末を配した。そのほかの条件は実施例１
と同様に実施したところ、供給したＳｉＨ4 の積算値が
０．４Ｌになった時点で該粉末の色が白色からＨｇ2 Ｃ
ｌ2 の黄色に変化し、窓の位置より上流側すなわち１／
２の薬剤が破過しＳｉＨ4 が検出されたことを示した。
【００２０】実施例３ 供給ガスＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝０．５％、残部Ｎ2
の混合ガスである以外は実施例１と同様に実施したとこ
ろカラム内温度が最高５８℃（初期２２℃）となりＳｉ
Ｈ4 を検出するに十分な温度変化を示した。
の混合ガスである以外は実施例１と同様に実施したとこ
ろカラム内温度が最高５８℃（初期２２℃）となりＳｉ
Ｈ4 を検出するに十分な温度変化を示した。
【００２１】実施例４ 実施例１と同じ実験装置に室温状態でカラムの一方の口
からＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ＝２％、残部Ｎ2 の
混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で流し他方の口か
ら出てくるガスを分析したところ、ＮＦ3 ＝２％、Ｓｉ
Ｈ2 Ｃｌ2 ＜１０ｐｐｍ（検出下限以下）あった。
からＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ＝２％、残部Ｎ2 の
混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で流し他方の口か
ら出てくるガスを分析したところ、ＮＦ3 ＝２％、Ｓｉ
Ｈ2 Ｃｌ2 ＜１０ｐｐｍ（検出下限以下）あった。
【００２２】実施例５ 実施例１と同じ実験装置に室温状態でカラムの一方の口
からＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ2 Ｆ2 ＝２％、残部Ｎ2 の混
合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で流し他方の口から
出てくるガスを分析したところ、ＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ
2 Ｆ2 ＜１０ｐｐｍ（検出下限以下）であった。
からＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ2 Ｆ2 ＝２％、残部Ｎ2 の混
合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流量で流し他方の口から
出てくるガスを分析したところ、ＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ
2 Ｆ2 ＜１０ｐｐｍ（検出下限以下）であった。
【００２３】実施例６ Ｆｅ2 Ｏ3 とＭｎ2 Ｏ3 を重量で３０：７０の割合でボ
ールミルに仕込み粉砕しながら合し、その後加圧成形し
たものを解砕して約３ｍｍ径の粒を調整した。これを、
実施例１と同じステンレス管に１４０ｇ充填しシラン除
去カラムとした。室温状態で当該カラムの一方の口から
ＮＦ3 ＝２％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉ
ｎの流量で流し他方の口から出てくるガスを分析したと
ころ、ＮＦ3 ＝２％であり変化はなかった。またカラム
内の温度にも変化は無かった。ついでＮＦ3 ＝２％、Ｓ
ｉＨ4 ＝２％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉ
ｎの流量で流し他方の口から出てくるガスを分析したと
ころ、ＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＜１０ｐｐｍ（検出下限
以下）であった。内部の温度はガス入口付近が最も高く
１３４℃に達した（実験開始前 ２２℃）。
ールミルに仕込み粉砕しながら合し、その後加圧成形し
たものを解砕して約３ｍｍ径の粒を調整した。これを、
実施例１と同じステンレス管に１４０ｇ充填しシラン除
去カラムとした。室温状態で当該カラムの一方の口から
ＮＦ3 ＝２％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉ
ｎの流量で流し他方の口から出てくるガスを分析したと
ころ、ＮＦ3 ＝２％であり変化はなかった。またカラム
内の温度にも変化は無かった。ついでＮＦ3 ＝２％、Ｓ
ｉＨ4 ＝２％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉ
ｎの流量で流し他方の口から出てくるガスを分析したと
ころ、ＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＜１０ｐｐｍ（検出下限
以下）であった。内部の温度はガス入口付近が最も高く
１３４℃に達した（実験開始前 ２２℃）。
【００２４】供給したＳｉＨ4 の積算値が１．０Ｌにな
った時点でカラム中央部の孔からガスをサンプリングし
分析したところＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝０．８７％で
あった。またこの時同時にサンプリングした出口ガスの
組成はＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ 4 ＜１０ｐｐｍと変化はな
かった。
った時点でカラム中央部の孔からガスをサンプリングし
分析したところＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝０．８７％で
あった。またこの時同時にサンプリングした出口ガスの
組成はＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ 4 ＜１０ｐｐｍと変化はな
かった。
【００２５】比較例 実施例１と同じステンレス管にＫＭｎＯ4 を１４０ｇ充
填し、室温状態で一方の口からＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4
＝２％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流
量で流し、他方の口から出てくるガスを分析したとこ
ろ、ＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝２％であり除去効果は認
められなかった。カラム内の温度にも変化は無かった。
填し、室温状態で一方の口からＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4
＝２％、残部Ｎ2 の混合ガスを２５０ｃｃ／ｍｉｎの流
量で流し、他方の口から出てくるガスを分析したとこ
ろ、ＮＦ3 ＝２％、ＳｉＨ4 ＝２％であり除去効果は認
められなかった。カラム内の温度にも変化は無かった。
【００２６】またＫＭｎＯ4 に替わってＮａ2 Ｓｉ
Ｏ3 、ソーダライム（Ｃａ（ＯＨ）2 ＋ＮａＯＨ）につ
いても同様な試験を行ったがやはり除去効果は認められ
なかった。
Ｏ3 、ソーダライム（Ｃａ（ＯＨ）2 ＋ＮａＯＨ）につ
いても同様な試験を行ったがやはり除去効果は認められ
なかった。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、ＮＦ3 を除去する工程
において、シランの混入を事前に検知し、除去すること
を可能にし、混入による爆発の危険性を回避できるとい
う顕著な効果を奏する。
において、シランの混入を事前に検知し、除去すること
を可能にし、混入による爆発の危険性を回避できるとい
う顕著な効果を奏する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−202128（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−118117（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−90726（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−80830（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−139033（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01D 53/46 B01D 53/54 B01D 53/68
Claims (5)
- 【請求項１】 ＮＦ3 を除去する工程において、該工程
に混入したシランを工程の前段階で除去薬剤と反応除去
することを特徴とするシランの除去方法。 - 【請求項２】 シランの除去薬剤として酸化マンガン、
酸化銅、酸化鉄の中から選ばれる少なくとも一種以上の
薬剤からなることを特徴とする請求項１記載のシランの
除去方法。 - 【請求項３】 シラン除去部にシランが流入したことを
温度の上昇により検知することを特徴とする請求項１記
載のシランの除去方法。 - 【請求項４】 シラン除去部の途中から採取したガスを
分析することによってシラン除去薬剤の寿命を検知する
ことを特徴とする請求項１記載のシランの除去方法。 - 【請求項５】 シラン除去部の一部に外部から観察可能
な部分に設けた窓部にシランと反応して変色する物質を
配することによりシラン除去薬剤の寿命を検知すること
を特徴とする請求項１記載のシランの除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043466A JP2812833B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | シランの除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043466A JP2812833B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | シランの除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05237334A JPH05237334A (ja) | 1993-09-17 |
| JP2812833B2 true JP2812833B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=12664497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4043466A Expired - Fee Related JP2812833B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | シランの除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2812833B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9913970D0 (en) | 1999-06-16 | 1999-08-18 | Boc Group Plc | Semiconductor processing exhaust abatement |
| JP2006172411A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Sgt Singapore Holdings Pte Ltd | 表示器を備えた減圧装置、及びそのような減圧装置用表示器とガス源とからなる構成機器キット |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043466A patent/JP2812833B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05237334A (ja) | 1993-09-17 |
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|---|---|---|---|
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