JP4265939B2 - 窒素化合物の除去方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、燃焼排ガスなどの排気ガスや窒素フッ化物、窒素酸化フッ化物合成工程での粗製品中に含まれる不要な窒素酸化物、窒素酸化ハロゲン化物、窒素フッ化物、並びにそれらのハロゲン化水素との複合体ガスを高効率に無害化あるいは精製する窒素化合物の除去方法に関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
従来、燃焼排ガスなどに含まれる窒素酸化物などは、アンモニア接触還元法(特許文献1)、酸化マンガン−酸化セリウムによる吸着除去法(特許文献2)、光触媒担持組成物にNOx吸着させ紫外線を照射して分解する方法(特許文献3)、プラズマ分解とオゾン吸収剤とを組み合わせた方法(特許文献4)などが提案されている。しかしアンモニア接触還元法では、支燃性物質中に可燃性物質を混合する危険性があり、触媒充填式では、大量のガスを処理するためには大規模な施設が必要となり、プラズマ式では、大量のガスを分解することは実質的に困難である問題があった。また、本発明で除去対象の一つとしている窒素酸化物とハロゲン化水素の付加体に関しては、有効な除去手段は知られていなかった。さらに、三フッ化窒素などのフッ化物製造工程に於いても、反応器からの大気や水分の混入、あるいは原料中に微量に含まれる酸素や水分の影響から窒素酸化物、窒素酸化ハロゲン化物並びにそれらのハロゲン化水素付加体が生成する場合があった。このような場合、ガスを精製するために精製設備の規模を大型化したり、多段化したりする必要があった。特にハロゲン化水素付加体の場合は、ガス中から選択的に取り除くことは困難であった。
【0003】
以上のことから高効率に、かつ簡便に不要な窒素酸化物、窒素酸化ハロゲン化物、窒素フッ化物、並びにそれらのハロゲン化水素との複合体ガス等を取り除くことができる方法が必要とされていた。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−213596号公報
【特許文献2】
特開2002−371830号公報
【特許文献3】
特開2003−063852号公報
【特許文献4】
特開2001−259362号公報
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の問題点に鑑み鋭意検討の結果、窒素酸化物、窒素酸化ハロゲン化物、窒素フッ化物、及びそれらのハロゲン化水素との複合体ガスを水スクラバーとアルカリ水溶液スクラバーを直列に連結したスクラバーを通過させる前にF2ガスを混合することにより飛躍的に除去効率をあがることを見出し本発明に至った。
【0006】
すなわち、本発明は、水スクラバーとアルカリ水溶液スクラバーを直列に連結したスクラバーにおいて、NOx、NOxAy、HNOx、NOx・nHA、NOxAy・nHA、HNOx・nHA、N2F2、N2F4、またはこれらの混合物ガスを除去するに際し、該ガスを含むガスを該スクラバーに通過させる前にF2ガスを0.1〜60容積%添加して除去することを特徴とする窒素化合物の除去方法(ただし、A:ハロゲン、x≧0.5、y>0、nは、1以上の整数を表す。)を提供するものである。
【0007】
本発明において、対象となる窒素酸化物、窒素酸化ハロゲン化物、窒素フッ化物、及びそれらのハロゲン化水素との複合体ガスとは、一般式では、NOx、NOxAy、NOx・nHA、NOxAy・nHA、HNOx・nHA、N2F2、またはN2F4で表される(ただし、A:ハロゲン、x≧0.5、y>0、nは、1以上の整数を表す。)。HFの付加は、水素結合により連鎖的に会合しておりその最大値は不明である。しかし、HFとの複合体が存在することは古くから知られている(F.seel and W.Birnkraut、Angewandte Chemie 73, 531−2(1961)等)。具体的には、NO2・4HF、NO2・8HF、NO2・12HF、NOF・4HF、NO2F・4HF、NO2F・8HF、NO2F・12HF等が挙げられる。
【0008】
本発明において、添加するF2ガスの濃度は、0.1〜60容積%の範囲が好ましい。より好ましくは1〜30容積%である。0.1容積%以下では添加の効果が顕著ではなく、また60容積%より多く添加するとF2と水やアルカリとの反応性が高いためスクラバー温度が上がり危険である。さらに60容積%以上の領域では、濃度の上昇に伴う除去効率の上昇傾向は小さくなり好ましくない。F2で処理した後、水スクラバーとアルカリ水溶液スクラバーにガスを通過させて過剰のF2やHFを除去すると共に窒素酸化物やフッ化窒素酸化物を硝酸として固定化して除去する。なお、合成反応のように原料としてF2を使用する場合のF2ガスの添加方法としては、反応器とスクラバーの間でF2を添加しても、反応に使用するF2ガスを必要量より多く加えてスクラバーに流入させる際にF2濃度が0.1〜60容積%になるように調整しても良い。
【0009】
次に、F2を加えるときの温度は、0〜500℃の範囲が好ましい。より好ましくは25〜400℃の範囲が良い。0℃以下では添加の効果が顕著ではなく、500℃以上ではF2を混合する反応装置の材料に腐蝕を来すため好ましくない。
【0010】
さらに、本発明の方法により処理した後、揮発してきた水やフッ酸等は、0℃〜−80℃に冷却した冷却トラップで捕集すればよい。
【0011】
【実施例】
以下、実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。
【0012】
実施例1〜16、比較例1〜11
フッ素樹脂製の1000ml容器1個、および250ml容器2個を直列に接続してバブラーとして使用し、さらにバブラーを通過してきたガスを捕集するために1000mlのフッ素樹脂製容器を接続した。1000ml容器には、純水を900ml、250ml容器には、KOH水溶液を100ml充填した。
【0013】
次に、NO2ガス、HFガス、F2ガス、NO2Fガス、およびNOFガスを混合して表1に示した除去対象ガスを作製した。作製した各ガスを1000mlのバブラー入口から導入し、バブラー液中の硝酸、亜硝酸イオン濃度、並びにバブラーを通過したガスを純水に吸収させ硝酸、亜硝酸イオン濃度をイオンクロマトで測定した。この方法でNO2、NO2F、NOF並びにそれらのHF付加物、N2F2のバブラーでの除去効率に対するF2の添加効果を比較した。なお、各ガスはN2等で希釈した。またバブラーの前段に1L容器を取り付け、F2とはその中で混合させた。希釈ガスも含めた総ガス流量は、50SCCMに調節した。その条件及び結果を表1に示す。表1からF2を添加すると顕著に吸収効率が向上することが解る。
【0014】
【表1】
【0015】
実施例17〜21、比較例12
NF3試験製造装置の反応器出口にF2配管を接続し、F2配管と反応器との間並びにF2を混合した後の配管に実施例1で使用したバブラーを取り付け、ガスポンプで生成物を引き込んで酸化窒素、酸化フッ化窒素、フッ化窒素(表2には総不純物濃度で表示)の吸収効率を比較した。なお、ポンプの前段には1L容器を取り付け、F2ガスとの混合温度を制御した。ガス流通量は、100SCCMとした。その結果を表2に記した。F2を添加することにより吸収効率が大幅に向上することが解る。なお、F2を添加していない場合のF2濃度は反応で余剰となったF2である。
【0016】
【表2】
【0017】
実施例22
NF3試験製造装置の水スクラバーとアルカリスクラバーの後段でガスを捕集し、不純物(NOxやNOxXy)の濃度を測定し除去効率を求めた。反応器から排出されたガス中のF2濃度は、約1.5容積%で有り、その際のNOx、NOx・nHF、NOxF・nHFなどの不純物をNO2濃度に換算した総不純物濃度は、6900ppm、HF濃度は、約79容積%であり、NF3濃度は、約19容積%であった。また、水スクラバー、アルカリスクラバーでの不純物の吸収効率は、97.1%であった。次にF2を反応器の出口から添加し、2.5容積%にF2濃度を増加させたところ吸収効率は99.9%まで向上した。
【0018】
【発明の効果】
本発明の方法により、燃焼排ガスなどの排気ガスや窒素フッ化物等の合成工程での粗製品中に含まれる不要な窒素酸化物、窒素酸化ハロゲン化物、窒素フッ化物、及びそれらのハロゲン化水素との複合体ガスを高効率に無害化あるいは精製除去することを可能にした。
Claims (1)
- 水スクラバーとアルカリ水溶液スクラバーを直列に連結したスクラバーにおいて、NOx、NOxAy、HNOx、NOx・nHA、NOxAy・nHA、HNOx・nHA、N2F2、N2F4、またはこれらの混合物ガスを除去するに際し、該ガスを含むガスを該スクラバーに通過させる前にF2ガスを0.1〜60容積%添加して除去することを特徴とする窒素化合物の除去方法。ただし、A=ハロゲン、x≧0.5、y>0、nは、1以上の整数を表す。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003189186A JP4265939B2 (ja) | 2003-07-01 | 2003-07-01 | 窒素化合物の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003189186A JP4265939B2 (ja) | 2003-07-01 | 2003-07-01 | 窒素化合物の除去方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005021784A JP2005021784A (ja) | 2005-01-27 |
JP4265939B2 true JP4265939B2 (ja) | 2009-05-20 |
Family
ID=34187465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003189186A Expired - Fee Related JP4265939B2 (ja) | 2003-07-01 | 2003-07-01 | 窒素化合物の除去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4265939B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4498053B2 (ja) * | 2004-08-02 | 2010-07-07 | セントラル硝子株式会社 | 窒素化合物の分解方法 |
CN114797486B (zh) * | 2022-04-13 | 2023-02-03 | 合肥凯华环保科技有限公司 | 废水脱氨用亲水后可重新疏水的疏水膜 |
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---|---|
JP2005021784A (ja) | 2005-01-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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