CN100431674C - 处理流体的方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及用于混合流体组合物的组分与活性流体的装置。该装置包括具有多个包含在外壳内的中空纤维的中空纤维接触器。可以在中空纤维膜的壳或腔侧上的活性流体被置于所述装置内，并用于与活性流体的膜反面上的流体组合物的组分混合。活性液体与流体组合物的一种或多种组分混合，可用于流体组合物的纯化，或用于制备化学试剂。

Description

处理流体的方法和装置

优先权

本申请要求2003年5月28日提交的美国临时申请号60/473,962的权益，其全部内容在此引入作为参考。

背景技术

各种工业都要求在将化学品用于后续工艺之前除去其中的污染物，或在排放流出物之前除去化学品中的有害化合物。这种工艺的实例包括：使用净化器床从纤维光学加工用的含硅的过程气体中除去像水蒸汽的污染物；使用干燥器列(dry train)从密闭系统如手套箱的再循环气体中除去像水和氧的有害气体；使用净化器床从径迹(track)或光阻材料加工清洁室的再循环环境气体中除去诸如胺的气体；以及使用湿洗器从生产半导体晶片中使用的过程气中除去如氨和盐酸的腐蚀性气体。

在许多这种纯化或流出物洗涤的应用中，在床的能力耗尽时，该床或被更换，或在通常要求加热或使用吹扫气体的另外的处理中再生。无论是二次纯化还是涤气装置，都要求保持连续的加工能力，否则在更换或再生净化器时操作会停止。

在干洗器中，能同活性化学试剂反应或由活性化学试剂浸渍的载体，如炭颗粒，氧化铁、氧化铜、氧化铝或二氧化硅的挤出颗粒被设计用于从流体流中除去气体污染物，如HCL、HF、胺、NMP、Cl₂、PH₃、SiH₄等。所述载体被放置在容器内或可以粘合到固体支撑物或膜上。当容器中的或粘合到支撑物上的试剂容量(capacity)被污染物消耗时，监控装置将指示活性材料的终点容量。停止操作，清除用过的材料，加上含除污材料的新容器。

载体的反应试剂或在含污染物载体中的反应试剂受扩散限制。一旦试剂的外层部分已反应，其进一步的反应则受污染物从存在有新鲜活性化学品的粒子外面到里面的扩散限制。这种扩散迫使使用大容积的材料来有效增加气体停留时间，并防止产生早期穿透(prematurebreakthrough)。常用的涤气器床具有约55加仑的大容积，这导致实验室中需要大的基底面(footprint)。大容积涤气器的滤毒罐还导致材料废物处理的高成本。

用浸渍有活性化学品的小目数粒子除去的污染物可能是颗粒状污染源。这经常需要具有比颗粒更小孔径的二次过滤器或制造不对称承载膜以防止粒子流失。这增加了所述膜的成本。防止浸渍粒子流失所用的小孔径膜导致气体通过膜的压力降增大，并要求更昂贵的泵与空气处理设备。

开式活性材料床虽然压力降较低，但是就从气流中除去污染物而言，其比嵌在膜中的浸渍有活性化学品的载体粒子效率更低。

停止操作以取出废物或污染物的还原装置是麻烦的。此外，终点传感器可能失灵，而除污床可能产生沟流(channeling)，从而导致早期穿透。

在流出物洗涤中使用的湿洗器是大基底面的装置，它拥有大容积的水、泵、腊希环和/或喷雾器，以增加流出物气体与洗涤液体之间的混合和接触面积。

位于涤气器床中的传感器为穿透提供了最好指示，使之能够在发生穿透前更换涤气器。然而，传感器基本是与昂贵的床一起报废的。在干式床中使用的传感器类型是有限的。如果传感器位于涤气器床的后面，则该传感器可以被回收，但由于传感器只能在床报废时进行检测，因而可能发生穿透。虽然可以预期床的穿透和在耗尽前将床取出，但这会导致低效率地使用涤气器床的能力，更高的床材料和废料处理成本。未检测出的床的穿透会引起产品损失或有毒气体释放入环境。

在流体浓缩或从各种生产过程中使用的和环境夹杂物流体中除去污染物或有害流出物时，使用小基底面装置是理想的。如果纯化装置能简单再生并连续处理，则更理想。如果所述纯化装置能使用多种纯化或涤气介质、并减少生成废物的量则更理想。有必要减少除污床产生的化学废物的量，并减小这种除污所需设备的尺寸。在不增加气体通过所述床的压力降的情况下改进污染物从气体到化学活性介质的传质是理想的。防止除污床或介质产生沟流和早期穿透、延长床的寿命并减少更换频率是令人满意的。

发明内容

本发明的一个实施方案涉及用于流体组合物的组分与活性流体混合的装置。该装置包括在外壳内包含多根中空纤维的中空纤维接触器。该中空纤维具有被多孔膜分开的腔侧(lumen side)和壳侧(shellside)，所述中空纤维的腔侧与外壳的入口和出口流体连通，所述中空纤维膜的壳侧与外壳另外的流体入口和出口流体连通。可以在中空纤维膜的壳或腔侧上的活性流体被置于所述装置内，并被用于与活性流体的膜反面上的流体组合物的组分混合。活性液体与流体组合物的一种或多种组分混合；在所述混合后，含有添加组分的活性液体可用于在反应器中进一步化学处理，或用于适宜的排放。

本发明的一个实施方案涉及用于从流体中清除杂质的装置。该装置包括在外壳内包含多根中空纤维的中空纤维接触器。该中空纤维具有被多孔膜分开的腔侧和壳侧，所述中空纤维的腔侧与外壳的入口和出口流体连通，所述中空纤维膜的壳侧与外壳另外的流体入口和出口流体连通。可以在中空纤维膜的壳或腔侧上的活性流体被置于所述装置内，并被用于清除活性流体的膜反面上的流体组合物的组分。活性流体清除所述流体中的组分，该流体可用于反应器中进一步化学处理或用于适宜的排放。

中空纤维装置的高表面积和强传质作用使得能提供用于各种流体纯化和洗涤应用的小基底面装置。本发明的实施方案可以用化学和热惰性的结构材料如PFA和MFA制成，这使得本装置可以在多种流体处理和温度下使用。

在另一个实施方案中，本装置还可包括与中空纤维接触器膜的一侧流体连通的活性流体的储蓄器。活性流体被计量通过中空纤维接触器，以保持中空纤维接触器内的化学组成不变，以除去流体中的杂质或有害的流出物。该装置还可以包括一台与活性流体储蓄器连通的再循环泵，用以再循环活性流体通过中空纤维接触器。储蓄器可按地方要求定期排放出活性流体，并用新鲜的活性流体进行更换，以便在不中断操作的情况下保持纯化和洗涤处理的效率。可以在活性流体储蓄器中放置在线化学传感器，以用于监控纯化或洗涤流体的组成。还可以监控液体和气体侧的性能以确定气体的传递效率。

本发明的另一个实施方案是纯化流体的装置，它包括含杂质的流体源，及具有与所述含杂质流体串联(in-line)入口的中空纤维膜接触器。该装置包括通过所述接触器的多孔中空纤维而与含杂质流体分开的活性流体。该活性流体与含杂质流体的至少一个组分反应，使含杂质流体中的杂质优先在所述活性流体中浓缩。中空纤维接触器包括用于排出(withdraw)一部分所述纯化流体的出口。

本发明的另一个实施方案是使流体组合物与活性流体混合的方法，其包括提供流体组合物并使其与活性流体混合的操作，该活性流体是在中空纤维接触器中通过多个多孔中空纤维膜从流体组合物中分离出的。通过除去流体组合物的杂质，可将流体组合物的组分与活性流体的混合用于纯化所述流体组合物。或者，可以浓缩流体组合物的一种或多种组分，或使其同活性流体反应，以制备有用的试剂。本方法还可以包括使活性流体再循环通过中空纤维接触器的操作，以及通过加入和排出部分流经所述中空纤维接触器的活性流体、和用未曾使用过的活性流体进行替换来保持活性流体组成的操作。

中空纤维膜接触器使气体在液体中有很高的传递速率，并提供小得多的基底面、迅速启动接触处理并具有优越的材料相容性。这将为实施者提供更低成本拥有的更有效的接触器。

本发明涉及气体纯化的方法和装置，可用于化学处理或是流出物流的一部分。特别地，本发明提供了一种纯化方法，其中通过流体组分与包含在多孔中空纤维膜一侧上的活性液体、凝胶或浆液反应来纯化流体。

本发明的一个实施方案是含有填充有化学活性液体的多根中空纤维的中空纤维装置。所述装置中的每根中空纤维都填充有化学活性液体，并起着大表面积和高容量吸收颗粒的作用。中空纤维膜既是载体又是活性材料源。其优点是由于气体不通过膜来进行流动，从而可获得高清除率和低的压力降。另一个优点是消除了由开式床或膜中的负载粒子生成粒子的潜能。

如图1中所示意的，填充有活性液体的中空纤维设备可以在其入口、出口有流体阀，并通过泵与附加的活性液体储蓄器连通。通过再循环活性液体经过中空纤维并使其进入容器，本发明的若干优点得以实现。首先，用泵混合液体改进了气体进入活性液体并穿过所述膜的传质。其次，储蓄器为纤维提供了基本稳定的新鲜的活性反应液源(与试剂浸渍到固体中的情况不一样)。在这一方案中利用了试剂的最大能力，不像固体反应物颗粒那样会受扩散的限制。阀可使中空纤维设备暂时关闭，由于纤维内所含液体的反应能力，可以在不中断处理的情况下用新鲜的活性液体替换该活性液体。这使得本发明具有不同于固体床的真正不受限制的能力。

储蓄器可包含用于检测液体储蓄器中物种浓度的监控仪器。该监控器可用于指示活性液体或浆液的适时能力。监控器可以是色谱仪、电化学仪、光学仪、质谱仪、比色计或化学发光仪等。在固体材料床中安装终点传感器是没有必要的，因为储蓄器中的液体混合良好，在储蓄器内任何地方的监测都是等同的。这是优点，因为它使得可以进行准确的活性液体取样，并降低通常要布置的传感器的成本。

附图说明

在某种程度上，通过参考以下的说明书、所附的权利要求和附图，本发明实施方案的其它方面、特性、益处和优点中将显而易见。

图1是本发明用于清除流体中杂质的接触器的示意图；

图2是本发明用于清除流体中杂质、并包括再循环泵和活性流体储蓄器的接触器的示意图；

图3是用于混合流体组合物与活性流体的接触器和活性流体的示意图。

具体实施方式

在描述本组合物和方法之前，应当理解本发明不限于已述的特定分子、组合物、方法或规程，因为这些都是可以改变的。还应理解在本说明书中所用术语只是为了描述特定方案或实施方案而已，并不打算由此来限制本发明范围，本发明只由所附权利要求限制。

还必须注意，本说明书及所附权利要求中使用单数形式的“a”、“an”和“the”都包括复数的对照物，除非上下文另有明确指示。由此，例如“中空纤维”是指本领域技术人员已知的一根或多根中空纤维及其对等物等等。除非另有定义，本说明书所用的所有技术和科学术语与本领域技术人员通常所理解的有相同含意。虽然与本说明书所述的相似或等效的任何方法和材料可以用于本发明实施方案的实践或试验中，但优选的方法、设备和材料是现在所描述的。本说明书所提及的所有出版物都被引入以供参考。这其中的任何情况都不应解释为本发明有权依靠在先发明而先于这种公开内容。

本发明的实施方案涉及从流体中清除杂质的装置。该装置包括在如图1中所示的外壳内包含多根中空纤维的中空纤维接触器。该中空纤维50具有被多孔膜分开的腔侧和壳侧，该中空纤维的腔侧与所述外壳的入口20和出口40流体连通，该中空纤维膜的壳侧与所述外壳另外的流体入口30和出口60流体连通。可用于本发明实践中的空纤维接触器包括但不限于由Liqui Cel、WL Gore、Nitto Denko和Phasor，Mykrolis Corporaion，BilleriCa，MA制造的那些接触器。中空纤维可由化学相容的结构材料制成，其包括但不限于聚乙烯、聚甲基戊烯和聚四氟乙烯。优选的中空纤维由其中烷基主要或完全是丙基的(四氟乙烯-全氟(烷基乙烯基醚))共聚物实例Teflon

、(四氟乙烯-六氟丙烯)共聚物的实例FEP、或四氟乙烯与全氟甲基乙烯基醚共聚合制得的聚合物形成的

MFA制成。优选的中空纤维接触器是用WO 00/44479中所描述的方法和材料制成的，该专利内容在此引入作为参考。

纤维直径可在100-1000μm范围内。壁的厚度应是最小化的，优选厚度为25-250μm。中空纤维床由厚度为1-25cm、长度和宽度为10-100cm的纤维层构成。纤维床可以是圆形的，直径为1-25cm，长度为20-30cm，并含有多个挡板来分散通过纤维床的气体。在接触器中的中空纤维可以是直排的，或可以是松散填充的。

在本发明的实践中，挡板可用于强化流体在中空纤维膜两侧(图1中未显示)的混合和分散。中空纤维接触器可以以单通过模式或再循环模式用于任何一个或两个活性流体和待纯化的流体组合物。优选的接触器在其外壳的壳侧和腔侧安装有两个或多个流体孔口或接头。通常是一个孔口用作流体入口，第二个用作流体出口。接触器壳侧上的孔口或流体连通被纤维膜与腔侧的入口和出口孔口隔开。优选的活性流体和含杂质的流体组合物彼此逆向流动，如图1所示；更优选所述流体以彼此交叉流动最大化的方式流动。

本发明中所用的活性流体可以在中空纤维膜的壳侧或腔侧上。所述活性流体被用于与流体组合物中的组分混合。从流体组合物中除去的组分可以是杂质，或可以是某种添加到活性流体中形成流体产物的化学物质。活性流体可以包括气体、液体或固体材料的含液体的浆液。选择活性液体的化学组成，以便使流体组合物的组分反应到或浓缩到活性液体中。活性液体可以包括水、碱的水溶液、酸的水溶液、还原剂水溶液和氧化剂水溶液。也可以使用像FeOOH和CuO悬浮液的活性粒子浆液。

例如，所述活性液体可以包括在水中溶解有盐酸气或有机磺酸的水。这种活性液体可用于与将要用于洁净室空气源中的氨蒸气混合并除去氨气。活性液体可以包括金属氢氧化物碱如氢氧化钠、有机胺如丁基胺或单乙醇胺，以除去如下但又不限于此的来自金属蚀刻加工的气体流出物HCl、HBr和H₂CO₃等酸性气体，或用于除去天然气中的痕量CO₂或H₂S。图1举例说明了从30处如空气进料的气体混合物中、使20处的活性流体NaOH逆向流动至接触器来除去CO₂。CO₂与纤维内的水和NaOH反应生成Na₂CO₃，从而有效地从气体混合物中除去CO₂。低蒸气压液体如硫酸可用作液体干燥剂或用于除去氨气。活性浆液虽然含有大到会堵塞膜的粒子，但其可用于提高活性液体的容量，或方便其再调理。例如，含磷酸氢锆的悬浮体浆液可用于除去气体中的胺；浆液中反应了的粒子可用过滤法除去，并用未反应的氢磷酸锆替换它。活性流体还可以是诸如水的液体。接触器中的水可以与像HCl和N₂的气体混合物混合以制得在此情况下是酸的水溶液的流体产物。

可以调节活性流体或流体组合物的温度，以提高反应性或提升活性液体中流体组合物组分的浓度。对于可溶解在活性液体中的气体，需要降低液体的温度以提高气体杂质或流体组分在活性液体中的溶解度。所述活性液体可用于除去流体组合物中的部分杂质，以便流体组合物可用于进一步的化学处理或排放。或者，使流体组合物中的组分与活性流体混合以形成可用于进一步化学处理的产物流体。如图3中所示，流体源200通过接触器244与活性流体224接触。通过该混合新形成的产物流体可由传感器216监控并通过阀220排出。在清除杂质时，要求从流体组合物中除去的杂质的量取决于具体的应用以及杂质和活性流体的浓度。两种流体的流速及接触器的尺寸可影响杂质的清除。例如，本领域技术人员可应用已知的化学和化学工程原理来增加接触器的尺寸、纤维的数目，或改变活性流体的温度和浓度以满足应用需要。

含杂质组分或含将要与活性流体混合的组分的流体组合物可用多孔纤维膜将其与活性流体分开。流体组合物可以在多孔纤维接触器的壳或腔侧上，并通过入口接头进入接触器。流体组合物可以是蒸气或气体，其可以处于相对于活性流体的正压，或处于比活性流体更低的压力。流体组合物中的杂质或组分可以冷凝、溶解、或与活性液体发生化学反应，从而降低流体组合物中杂质或组分的数量。就杂质而言，降低了杂质含量的流体组合物通过出口接头从中空纤维接触器中排出，并用于在反应器中的进一步化学处理或用于适宜的排放。流体组合物的流动可以相对于活性流体逆流，优选流动为相对于活性流体交叉流动。流过中空纤维接触器的流体组合物的流速和压力可用本领域技术人员已知的方法予以控制。

与中空纤维接触器142的入口流体接触的活性流体储蓄器122可以通过中空纤维接触器进行计量，以保持中空纤维接触器内活性流体的化学组成和反应性，从而除去流体组合物中的杂质或有害排放物。可在中空纤维接触器出口收集已消耗的活性流体，并用离线方法(图2未显示)进行处理或再生。阀114和138可用于分离流体储蓄器与接触器，以供活性流体单通过接触器的应用。储蓄器122可以具有一个入口，所以该装置可包括与活性流体储蓄器122保持连通以使活性流体再循环通过中空纤维接触器142的再循环泵118。该储蓄器可按地方当局的排污要求通过阀126定期排放出活性流体，或离线再生，并通过阀130用新鲜的活性流体替换排出的流体，以便在不中断操作的情况下保持纯化和洗涤处理的效率。

在线的化学、温度或流量传感器134可以安装在活性流体储蓄器中或流动通道中，以监控活性流体的组成。进入或流出中空纤维接触器的流体组合物150也可用适宜的传感器进行监控。源自诸如带有设备154的环境夹杂物100来源的流体组合物可用泵110进料，以将流体组合物(空气和NH₃)送入接触器142中，其中流体组合物与活性流体反应，并以干净的空气返回。阀146可用于隔离或停止气体流过接触器。用于进料或排出活性流体进出中空纤维接触器或储蓄器的控制环路(未显示)可以基于各种传感器的输入值，如本领域技术人员所已知的。例如，当装有碱水溶液的储蓄器的pH值下降到低于操作者设定值时，打开储蓄器以放出储蓄器中一定体积的用过的活性流体，同时，开启装有新鲜活性流体的容器以补充一定体积的储蓄器中的活性流体。活性流体的流速以及流体组合物的流速也可以根据流体组合物中的杂质的量进行调节，从而使装置达到最大的传质效率。

对含杂质流体组合物的纯化包括以下步骤或操作：提供含杂质的流体组合物源，使其与通过中空纤维接触器中的多个多孔纤维膜从不纯流体组合物中分离出的活性流体接触。该方法进一步包括使流体组合物中的杂质与活性流体混合，并将其浓缩、溶解或冷凝。含部分杂质被清除的液体组合物从接触器排出以供进一步化学处理或环境维护。该方法可以进一步包括再循环活性流体通过中空纤维接触器的操作，以及通过供给和排放出部分流过中空纤维接触器的活性流体和用未使用过的活性流体替换它以维持活性流体组成的操作。

对流体组合物中杂质的清除或流体组分与活性流体的混合量可采用本领域技术人员已知的传感器确定。如带气体池的FTIR光谱可用于测量百万分之一份含量的如水、HCL、CO₂以及流出物气流中其它气体物种的气体浓度。液相色谱、质谱以及传统的pH传感器可用于测量向液体中引入的百万分之一份含量至十亿分之一份含量的气体如HCl或NH₃。必要时，可以在分析前将液体浓缩。

中空纤维膜接触器具有很高的气体在液体中的传递速率，可提供小的多的基底面、快递启动的接触操作和优越的材料相容性。这将为实施者提供更低成本拥有的更有效的接触器。本发明的除污装置实施方案的应用包括在蚀刻及化学蒸发沉积工具上的真空泵之前或之后的布置。这种装置可以放置在化学蒸气沉积工具的出口，在一个实施方案中可用于选择性地从废气中除去贵金属试剂如铂，以便再生和回收。在另一应用中，该除污装置可用作空气处理装置的空气流中，以除去痕量的污染物，如来自清洁室空气中的胺。通过使活性流体与包括酸形成组分的气体混合物混合，该接触器可用于酸化流体以形成酸性流体产物。另外，通过使用含有诸如氨组分的气体混合物，所述接触器可用于在活性流体中形成碱。

本发明涉及气体纯化的方法和装置，纯化的气体可用于化学处理或可作为部分的流出物流。特别是，本发明提供了通过使流体组分与包含在多孔中空纤维膜一侧上的活性流体、凝胶或浆液反应来纯化流体的纯化方法。

实施例1

表1显示了用水作涤气液从空气和氧气混合物中除去CO₂的结果：

表1

水流(gpm)	CO<sub>2</sub>流(l/min)	O<sub>2</sub>流(l/min)	入口电阻率(MΩ)	出口电阻率(KΩ)
					1	1.5	1.5	17.3	43
5	1.5	1.5	17.3	87.8
					1	0.3	2.7	17.3	104
5	0.3	2.7	17.3	240
					1	1.021	5	17.3	68.5
2	1.021	5	17.3	87.5
					3	1.021	5	17.3	108
4	1.021	5	17.3	129
					5	1.021	5	17.3	152

结果显示，水从空气中除去CO₂在水中形成碳酸，从而导致水的电阻率降低。

实施例2

设置集流腔(manifold)以用于在真空处理用气体涤气器中用活性化学品来评价中空纤维。用二氧化碳作为试验气体，用NaOH水溶液作为清除空气中CO₂的活性化学品。安装0-1600ppm CO₂检测范围的非分散式红外传感器来监控室内气流中CO₂的清除。非分散式传感器的出口与GAST泵连接，该泵通过接触器壳侧上的入口、横跨过含NaOH水溶液的纤维、从接触器出口流出并穿过非分散式CO₂检测器吸入空气。流过接触器的空气用0-5slpm的质量流量控制器进行控制。在NaOH水溶液的液体在臭氧接触器中空纤维腔体内流动和测试～520ppm CO₂原料的情况下，CO₂的清除效率在5slpm气体流量下为70％，在100sccm穿过接触器的总气体流量下变为96％。

构建含有用Teflon齿轮泵以280cc/min的流量进行再循环的pH为12-14的NaOH水溶液、在接触器中空纤维腔体的外部采用0.5升的PFA容器用于容纳NaOH的接触器。将含约520ppm CO₂的空气试验料通过纤维的腔体进料。在至多约2slpm的空气试验料流速下从空气中除去CO₂基本上是定量的(quanitative)(100％的CO₂分析仪的检测极限)；在5slpm空气流量下通过含NaOH涤气溶液的接触器时可获得93％的CO₂清除率。

虽然通过参考某些优选的实施方案而非常详细地描述了本发明，但其它方案也是可能的。例如，通过使流体组分与活性流体接触，相同的装置可用于产生气体或蒸汽。因此，所附权利要求的精神和范围不应局限于本说明书和本说明书中所含的优选方案。

Claims (9)

1.一种装置，其包括：

在外壳内包含多根中空纤维的中空纤维接触器，该中空纤维是由其中烷基主要或完全是丙基的(四氟乙烯-全氟(烷基乙烯基醚))共聚物、或由(四氟乙烯-六氟丙烯)共聚物、或由四氟乙烯与全氟甲基乙烯基醚共聚合制得的聚合物形成；所述中空纤维具有被多孔膜分开的腔侧和壳侧，所述中空纤维的所述腔侧与所述外壳的第一入口和第一出口流体连通，所述中空纤维膜的所述壳侧与所述外壳的第二入口和第二出口流体连通；所述第一入口或第二入口与含杂质气体串联，该含杂质气体来自蚀刻工具的出口、沉积工具的出口、或再循环环境夹杂物的进料；

在所述中空纤维的腔侧上的活性流体；

所述中空纤维接触器将来自活性流体储蓄器的活性流体与所述含杂质气体混合，形成具有减少的杂质含量的气体；

所述第二出口来自所述中空纤维接触器，用于排出来自所述中空纤维接触器、并具有减少的杂质含量的所述气体；以及

在线的化学传感器，用于监控来自所述中空纤维接触器、具有减少的杂质含量的气体的组成。

2.权利要求1的装置，其中环境室是手套箱或清洁室。

3.权利要求1的装置，其还包括用于再循环所述活性流体通过所述中空纤维接触器、与所述活性流体储蓄器流体连通的泵。

4.权利要求1的装置，其还包括排出来自储蓄器的用过的活性流体的阀，以及补充储蓄器中的活性流体的阀。

5.一种纯化流体的方法，其包括以下步骤：

从再循环环境夹杂物向中空纤维接触器的入口提供含杂质的气体；

在中空纤维接触器中使所述含杂质的气体与通过多个多孔中空纤维膜与所述含杂质的气体分离的在所述中空纤维的腔侧上的活性流体混合，该中空纤维是由其中烷基主要或完全是丙基的(四氟乙烯-全氟(烷基乙烯基醚))共聚物、或由(四氟乙烯-六氟丙烯)共聚物、或由四氟乙烯与全氟甲基乙烯基醚共聚合制得的聚合物形成，所述活性流体减少了所述含杂质的气体中的杂质的量，形成具有减少的杂质含量的气体；

用在线的化学传感器监控具有减少的杂质含量的气体的组成；

从活性流体储蓄器再循环所述活性流体经过所述中空纤维接触器；和

从所述中空纤维接触器的出口排除所述具有减少的杂质含量的气体。

6.权利要求5的方法，其还包括通过从所述储蓄器放出一定体积的用过的活性流体，以及用一定体积的新鲜活性流体补充储蓄器以保持活性流体组成的步骤。

7.权利要求6的方法，其还包括用在线的化学传感器监控所述活性流体再循环通过所述中空纤维接触器的步骤。

8.权利要求5的方法，其还包括再循环所述含杂质的活性流体通过所述中空纤维接触器的步骤。

9.权利要求5的方法，其中所述含杂质的气体是清洁室空气。

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