JP2000276727A - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ノイズ特性に優れた磁気記録媒体を提供す
る。 【解決手段】 基板１上にカーボン下地膜２が設けら
れ、その上に磁化容易軸が基板に対し垂直に配向した垂
直磁性膜４が設けられ、カーボン下地膜２の厚さが１０
０Åを越え、１０００Å以下であり、垂直磁性膜１は、
Ｃｏ／Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｔａ
系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系（Ｘ：Ｔａ、Ｚｒ、Ｃｕ、
Ｒｅ、Ｂのうち１種または２種以上）のうちいずれかの
合金からなり、更に、垂直磁性膜４の直下に、ｈｃｐ構
造を有する非磁性中間膜３を設ける。
る。 【解決手段】 基板１上にカーボン下地膜２が設けら
れ、その上に磁化容易軸が基板に対し垂直に配向した垂
直磁性膜４が設けられ、カーボン下地膜２の厚さが１０
０Åを越え、１０００Å以下であり、垂直磁性膜１は、
Ｃｏ／Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｔａ
系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系（Ｘ：Ｔａ、Ｚｒ、Ｃｕ、
Ｒｅ、Ｂのうち１種または２種以上）のうちいずれかの
合金からなり、更に、垂直磁性膜４の直下に、ｈｃｐ構
造を有する非磁性中間膜３を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
などに用いられる磁気記録媒体に関するものであり、特
に、ノイズ特性に優れた磁気記録媒体に関するものであ
る。
などに用いられる磁気記録媒体に関するものであり、特
に、ノイズ特性に優れた磁気記録媒体に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】現在市販されている磁気記録媒体は、磁
性膜内の磁化容易軸が基板に対し主に水平に配向した面
内磁気記録媒体がほとんどである。このような面内磁気
記録媒体では、高記録密度化するとビット体積が小さく
なりすぎ、熱揺らぎ効果により再生特性が悪化する可能
性がある。また、高記録密度化した際に、記録ビット境
界での反磁界の影響により媒体ノイズが増加することが
ある。これに対し、磁性膜内の磁化容易軸が基板に対し
主に垂直に配向した、いわゆる垂直磁気記録媒体は、高
記録密度化した場合でもビット境界での反磁界の影響が
小さく、境界が鮮明な記録磁区が形成されるため低ノイ
ズ化が可能であり、しかも比較的ビット体積が大きくて
も高記録密度化が可能であることから熱揺らぎ効果にも
強く、近年大きな注目を集めており、垂直磁気記録に適
した媒体の構造などが提案されている。例えば、特開昭
６０−２１４４１７号公報には、Ｃｏ合金材料からなる
垂直磁性膜の下地層にＧｅ、Ｓｉ材料を用いることが提
案されている。また特開昭６３−２１１１１７号公報に
は上記下地層に炭素含有材料を用い、その厚さを１〜１
００Åの範囲とすることが提案されている。
性膜内の磁化容易軸が基板に対し主に水平に配向した面
内磁気記録媒体がほとんどである。このような面内磁気
記録媒体では、高記録密度化するとビット体積が小さく
なりすぎ、熱揺らぎ効果により再生特性が悪化する可能
性がある。また、高記録密度化した際に、記録ビット境
界での反磁界の影響により媒体ノイズが増加することが
ある。これに対し、磁性膜内の磁化容易軸が基板に対し
主に垂直に配向した、いわゆる垂直磁気記録媒体は、高
記録密度化した場合でもビット境界での反磁界の影響が
小さく、境界が鮮明な記録磁区が形成されるため低ノイ
ズ化が可能であり、しかも比較的ビット体積が大きくて
も高記録密度化が可能であることから熱揺らぎ効果にも
強く、近年大きな注目を集めており、垂直磁気記録に適
した媒体の構造などが提案されている。例えば、特開昭
６０−２１４４１７号公報には、Ｃｏ合金材料からなる
垂直磁性膜の下地層にＧｅ、Ｓｉ材料を用いることが提
案されている。また特開昭６３−２１１１１７号公報に
は上記下地層に炭素含有材料を用い、その厚さを１〜１
００Åの範囲とすることが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年では、磁気記録媒
体の更なる高記録密度化が要望されており、これに伴い
ノイズ特性の向上が要求されている。しかしながら従来
の磁気記録媒体は、ノイズ特性の点で決して満足できる
ものでなく、よりノイズ特性に優れた磁気記録媒体が要
望されていた。本発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、ノイズ特性に優れた磁気記録媒体を提供すること
を目的とする。
体の更なる高記録密度化が要望されており、これに伴い
ノイズ特性の向上が要求されている。しかしながら従来
の磁気記録媒体は、ノイズ特性の点で決して満足できる
ものでなく、よりノイズ特性に優れた磁気記録媒体が要
望されていた。本発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、ノイズ特性に優れた磁気記録媒体を提供すること
を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題は、基板上にカ
ーボン下地膜が設けられ、その上に磁化容易軸が基板に
対し主に垂直に配向した垂直磁性膜が設けられ、カーボ
ン下地膜の厚さが１００Åを越え、１０００Å以下であ
る磁気記録媒体によって解決することができる。垂直磁
性膜は、Ｃｏ／Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ系、Ｃｏ／Ｃ
ｒ／Ｔａ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系（Ｘ：Ｔａ、Ｚ
ｒ、Ｃｕ、Ｒｅ、Ｂのうち１種または２種以上）のうち
いずれかの合金からなるものとするのが好ましい。垂直
磁性膜の厚さは、１００〜１０００Åとするのが好まし
い。また垂直磁性膜の直下には、ｈｃｐ構造を有する非
磁性中間膜を設けるのが好ましい。非磁性中間膜の厚さ
は、５０〜５００Åとするのが好ましい。
ーボン下地膜が設けられ、その上に磁化容易軸が基板に
対し主に垂直に配向した垂直磁性膜が設けられ、カーボ
ン下地膜の厚さが１００Åを越え、１０００Å以下であ
る磁気記録媒体によって解決することができる。垂直磁
性膜は、Ｃｏ／Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ系、Ｃｏ／Ｃ
ｒ／Ｔａ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系（Ｘ：Ｔａ、Ｚ
ｒ、Ｃｕ、Ｒｅ、Ｂのうち１種または２種以上）のうち
いずれかの合金からなるものとするのが好ましい。垂直
磁性膜の厚さは、１００〜１０００Åとするのが好まし
い。また垂直磁性膜の直下には、ｈｃｐ構造を有する非
磁性中間膜を設けるのが好ましい。非磁性中間膜の厚さ
は、５０〜５００Åとするのが好ましい。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の磁気記録媒体の
一実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、
基板１上に、カーボン下地膜２、非磁性中間膜３、垂直
磁性膜４、および保護膜５を順次形成してなるものであ
る。基板１としては、磁気記録媒体用基板として一般に
用いられるＮｉＰメッキ膜が形成されたアルミニウム合
金基板（以下、「ＮｉＰメッキＡｌ基板」という）、ガ
ラス基板、セラミック基板、カーボン基板、可撓性樹脂
基板、またはこれらの基板にＮｉＰ膜をメッキあるいは
スパッタ法により形成した基板などを用いることができ
る。また、基板１の表面には、より良好な電磁変換特
性、より高い保磁力を得るなどの目的でテクスチャ処理
を施してもよい。
一実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、
基板１上に、カーボン下地膜２、非磁性中間膜３、垂直
磁性膜４、および保護膜５を順次形成してなるものであ
る。基板１としては、磁気記録媒体用基板として一般に
用いられるＮｉＰメッキ膜が形成されたアルミニウム合
金基板（以下、「ＮｉＰメッキＡｌ基板」という）、ガ
ラス基板、セラミック基板、カーボン基板、可撓性樹脂
基板、またはこれらの基板にＮｉＰ膜をメッキあるいは
スパッタ法により形成した基板などを用いることができ
る。また、基板１の表面には、より良好な電磁変換特
性、より高い保磁力を得るなどの目的でテクスチャ処理
を施してもよい。
【０００６】カーボン下地膜２は、媒体ノイズを低く抑
えるとともに再生出力を向上させ、磁気記録媒体のノイ
ズ特性を向上させるためのものである。カーボン下地膜
２はカーボンを主成分とするものとされ、その厚さは、
１００Åを越え、１０００Å以下となる範囲とされる。
カーボン下地膜２の厚さが１００Å以下の場合には、十
分な再生出力が得られなくなるとともにノイズが増大
し、ノイズ特性が悪化する。また１０００Åを越える場
合には、膜表面の起伏が大きくなり媒体のＣＳＳ特性が
悪化するため好ましくない。カーボン下地膜２の厚さ
は、ノイズ特性の点から３００〜１０００Å、さらには
４００〜９００Åとするのが好ましい。
えるとともに再生出力を向上させ、磁気記録媒体のノイ
ズ特性を向上させるためのものである。カーボン下地膜
２はカーボンを主成分とするものとされ、その厚さは、
１００Åを越え、１０００Å以下となる範囲とされる。
カーボン下地膜２の厚さが１００Å以下の場合には、十
分な再生出力が得られなくなるとともにノイズが増大
し、ノイズ特性が悪化する。また１０００Åを越える場
合には、膜表面の起伏が大きくなり媒体のＣＳＳ特性が
悪化するため好ましくない。カーボン下地膜２の厚さ
は、ノイズ特性の点から３００〜１０００Å、さらには
４００〜９００Åとするのが好ましい。
【０００７】非磁性中間膜３は、媒体の保磁力を高める
ためのもので、ｈｃｐ構造を有する非磁性材料からなる
ものとされる。非磁性中間膜３の材料としては、Ｃｏ／
Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｔａ系、Ｃ
ｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系（Ｘ：Ｔａ、Ｚｒ、Ｃｕ、Ｒｅ、
Ｂのうち１種または２種以上）のうちいずれかの合金を
用いるのが好適である。特に、Ｃｒの含有率が２５〜５
０ａｔ％、Ｐｔの含有率が０〜１５ａｔ％、Ｘの含有率
が０〜１０ａｔ％、残部がＣｏからなるＣｏ合金を主成
分とするものを用いるのが好ましい。非磁性中間膜３
は、単層構造をなすものとしてもよいし、多層構造をな
すものとしてもよい。多層構造とする場合には、上記材
料から選ばれた互いに同一または異なる材料からなる複
数の層を積層したものとすることができる。
ためのもので、ｈｃｐ構造を有する非磁性材料からなる
ものとされる。非磁性中間膜３の材料としては、Ｃｏ／
Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｔａ系、Ｃ
ｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系（Ｘ：Ｔａ、Ｚｒ、Ｃｕ、Ｒｅ、
Ｂのうち１種または２種以上）のうちいずれかの合金を
用いるのが好適である。特に、Ｃｒの含有率が２５〜５
０ａｔ％、Ｐｔの含有率が０〜１５ａｔ％、Ｘの含有率
が０〜１０ａｔ％、残部がＣｏからなるＣｏ合金を主成
分とするものを用いるのが好ましい。非磁性中間膜３
は、単層構造をなすものとしてもよいし、多層構造をな
すものとしてもよい。多層構造とする場合には、上記材
料から選ばれた互いに同一または異なる材料からなる複
数の層を積層したものとすることができる。
【０００８】非磁性中間膜３の厚さは、５０〜５００Å
とするのが好ましい。この厚さが５０Å未満である場合
には、出力が低下しノイズ特性が低下するため好ましく
ない。また、この厚さが５００Åを越えると、垂直磁性
膜４内の磁性粒子の粗大化が起きやすくなり、ノイズ特
性が低下するため好ましくない。非磁性中間膜３の厚さ
は２００〜４００Åとするのがより好ましい。多層にし
た場合の非磁性中間膜３の厚さは、上記理由から、全体
で１００〜５００Å、好ましくは２００〜４００Åとす
るのが望ましい。
とするのが好ましい。この厚さが５０Å未満である場合
には、出力が低下しノイズ特性が低下するため好ましく
ない。また、この厚さが５００Åを越えると、垂直磁性
膜４内の磁性粒子の粗大化が起きやすくなり、ノイズ特
性が低下するため好ましくない。非磁性中間膜３の厚さ
は２００〜４００Åとするのがより好ましい。多層にし
た場合の非磁性中間膜３の厚さは、上記理由から、全体
で１００〜５００Å、好ましくは２００〜４００Åとす
るのが望ましい。
【０００９】垂直磁性膜４は、その磁化容易軸が基板に
対し主に垂直方向に配向した磁性材料からなる膜であ
り、その材料としては、Ｃｏ／Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐ
ｔ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｔａ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系
（Ｘ：Ｔａ、Ｚｒ、Ｃｕ、Ｒｅのうち１種または２種以
上）のうちいずれかの合金を用いるのが好ましい。特
に、Ｃｒの含有率が１３〜２５ａｔ％、Ｐｔの含有率が
０〜１５ａｔ％、Ｔａの含有率が０〜５ａｔ％、残部が
ＣｏからなるＣｏ合金を用いるのが好ましい。上記各成
分の含有率が上記範囲を外れると、ノイズ特性または再
生出力が低下するため好ましくない。
対し主に垂直方向に配向した磁性材料からなる膜であ
り、その材料としては、Ｃｏ／Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐ
ｔ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｔａ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系
（Ｘ：Ｔａ、Ｚｒ、Ｃｕ、Ｒｅのうち１種または２種以
上）のうちいずれかの合金を用いるのが好ましい。特
に、Ｃｒの含有率が１３〜２５ａｔ％、Ｐｔの含有率が
０〜１５ａｔ％、Ｔａの含有率が０〜５ａｔ％、残部が
ＣｏからなるＣｏ合金を用いるのが好ましい。上記各成
分の含有率が上記範囲を外れると、ノイズ特性または再
生出力が低下するため好ましくない。
【００１０】垂直磁性膜４の厚さは、１００〜１０００
Åとするのが好ましい。垂直磁性膜４の厚さが１００Å
未満であると、十分な磁束が得られず、再生出力が低下
する。また垂直磁性膜４の厚さが１０００Åを越える
と、垂直磁性膜４内の磁性粒子の粗大化が起き、ノイズ
特性が低下するため好ましくない。垂直磁性膜４の厚さ
は、３００〜７００Åとするのがさらに好ましい。これ
は、垂直磁性膜４の厚さをこの範囲とすると、再生出力
をさらに向上させるとともに、垂直磁性膜４内の磁性粒
子の粗大化を防ぎ、ノイズ特性をより高めることができ
るためである。
Åとするのが好ましい。垂直磁性膜４の厚さが１００Å
未満であると、十分な磁束が得られず、再生出力が低下
する。また垂直磁性膜４の厚さが１０００Åを越える
と、垂直磁性膜４内の磁性粒子の粗大化が起き、ノイズ
特性が低下するため好ましくない。垂直磁性膜４の厚さ
は、３００〜７００Åとするのがさらに好ましい。これ
は、垂直磁性膜４の厚さをこの範囲とすると、再生出力
をさらに向上させるとともに、垂直磁性膜４内の磁性粒
子の粗大化を防ぎ、ノイズ特性をより高めることができ
るためである。
【００１１】保護膜５は、垂直磁性膜４の腐食を防ぐと
ともに、ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷
を防ぎ、かつヘッドと媒体の間の潤滑特性を確保するた
めのもので、従来公知の材料を使用でき、例えばＣ、Ｓ
ｉＯ2、ＺｒＯ2の単一組成、またはこれらを主成分とし
他元素を含むものが使用可能である。保護膜５の厚さ
は、耐腐食性、摺動性の観点から１０〜２００Åが望ま
しい。さらには、スペーシングロスを低減させ十分な再
生出力を得るために１０〜１００Åとするのがより好ま
しい。また、保護膜５上には、パーフルオロポリエーテ
ル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などから
なる潤滑膜を設けるのが好ましい。
ともに、ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷
を防ぎ、かつヘッドと媒体の間の潤滑特性を確保するた
めのもので、従来公知の材料を使用でき、例えばＣ、Ｓ
ｉＯ2、ＺｒＯ2の単一組成、またはこれらを主成分とし
他元素を含むものが使用可能である。保護膜５の厚さ
は、耐腐食性、摺動性の観点から１０〜２００Åが望ま
しい。さらには、スペーシングロスを低減させ十分な再
生出力を得るために１０〜１００Åとするのがより好ま
しい。また、保護膜５上には、パーフルオロポリエーテ
ル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などから
なる潤滑膜を設けるのが好ましい。
【００１２】上記構成の磁気記録媒体を製造するには、
基板１上に、カーボン下地膜２、非磁性中間膜３、垂直
磁性膜４を順次をスパッタリング、真空蒸着、イオンプ
レーティングなどの手法により形成し、次いで保護膜５
を、好ましくはプラズマＣＶＤ法、イオンビーム法、ス
パッタリング法により形成する。また、潤滑膜を形成す
るには、ディッピング法、スピンコート法など従来公知
の方法を採用することができる。
基板１上に、カーボン下地膜２、非磁性中間膜３、垂直
磁性膜４を順次をスパッタリング、真空蒸着、イオンプ
レーティングなどの手法により形成し、次いで保護膜５
を、好ましくはプラズマＣＶＤ法、イオンビーム法、ス
パッタリング法により形成する。また、潤滑膜を形成す
るには、ディッピング法、スピンコート法など従来公知
の方法を採用することができる。
【００１３】上記構成の磁気記録媒体にあっては、基板
１上にカーボン下地膜２が設けられ、このカーボン下地
膜２の厚さが１００Åを越え、１０００Å以下であるの
で、表面の起伏を大きくさせることなく、再生出力を向
上させるとともにノイズを低減させ、ノイズ特性を向上
させることができる。
１上にカーボン下地膜２が設けられ、このカーボン下地
膜２の厚さが１００Åを越え、１０００Å以下であるの
で、表面の起伏を大きくさせることなく、再生出力を向
上させるとともにノイズを低減させ、ノイズ特性を向上
させることができる。
【００１４】なお、上記構成の磁気記録媒体は、 ｈｃ
ｐ構造を有する材料からなる非磁性中間膜３を設けた
が、本発明の磁気記録媒体はこれに限らず、非磁性中間
膜３を設けなくてもよい。非磁性中間膜３を設けない場
合の磁気記録媒体を図２に示す。また本明細書において
主成分とは当該成分を５０ａｔ％を越えて含むことを指
す。
ｐ構造を有する材料からなる非磁性中間膜３を設けた
が、本発明の磁気記録媒体はこれに限らず、非磁性中間
膜３を設けなくてもよい。非磁性中間膜３を設けない場
合の磁気記録媒体を図２に示す。また本明細書において
主成分とは当該成分を５０ａｔ％を越えて含むことを指
す。
【００１５】
【実施例】（試験例１）以下、具体例を示して本発明の
作用効果を明確にする。図１に示すものと同様の磁気記
録媒体を次のようにして作製した。表面にＮｉＰメッキ
膜（厚さ１０μｍ）を形成したアルミニウム合金基板
（直径８４ｍｍ、厚さ０．８ｍｍ）の表面に、表面平均
粗さＲａが１５Åとなるようにメカニカルテクスチャ加
工を施した後、この基板１をＤＣマグネトロンスパッタ
装置（アネルバ社製３０１０）のチャンバ内にセットし
た。チャンバ内を真空到達度２×１０-7Ｐａとなるまで
排気し、基板１を２００℃まで加熱した後、この基板１
上に、カーボン下地膜２、Ｃｏ−４０ａｔ％Ｃｒ（Ｃｒ
含有量は４０ａｔ％。以下「Ｃｏ４０Ｃｒ」という。）
からなる非磁性中間膜３、Ｃｏ−１８ａｔ％Ｃｒ−６ａ
ｔ％Ｐｔ−３ａｔ％Ｔａ（同「Ｃｏ１８Ｃｒ６Ｐｔ３Ｔ
ａ」）からなる垂直磁性膜４を順次スパッタリングによ
り形成した。垂直磁性膜４上には、プラズマＣＶＤ装置
（アネルバ製）を用いてプラズマＣＶＤ法により厚さ７
０Åのカーボン保護膜５を形成した。
作用効果を明確にする。図１に示すものと同様の磁気記
録媒体を次のようにして作製した。表面にＮｉＰメッキ
膜（厚さ１０μｍ）を形成したアルミニウム合金基板
（直径８４ｍｍ、厚さ０．８ｍｍ）の表面に、表面平均
粗さＲａが１５Åとなるようにメカニカルテクスチャ加
工を施した後、この基板１をＤＣマグネトロンスパッタ
装置（アネルバ社製３０１０）のチャンバ内にセットし
た。チャンバ内を真空到達度２×１０-7Ｐａとなるまで
排気し、基板１を２００℃まで加熱した後、この基板１
上に、カーボン下地膜２、Ｃｏ−４０ａｔ％Ｃｒ（Ｃｒ
含有量は４０ａｔ％。以下「Ｃｏ４０Ｃｒ」という。）
からなる非磁性中間膜３、Ｃｏ−１８ａｔ％Ｃｒ−６ａ
ｔ％Ｐｔ−３ａｔ％Ｔａ（同「Ｃｏ１８Ｃｒ６Ｐｔ３Ｔ
ａ」）からなる垂直磁性膜４を順次スパッタリングによ
り形成した。垂直磁性膜４上には、プラズマＣＶＤ装置
（アネルバ製）を用いてプラズマＣＶＤ法により厚さ７
０Åのカーボン保護膜５を形成した。
【００１６】（試験例２〜４）カーボン下地膜２の厚さ
を変えたこと以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体
を作製した。
を変えたこと以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体
を作製した。
【００１７】（試験例５〜８）垂直磁性膜４の厚さを変
えたこと以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体を作
製した。
えたこと以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体を作
製した。
【００１８】（試験例９〜１３）非磁性中間膜３の厚さ
を変えたこと以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体
を作製した。
を変えたこと以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体
を作製した。
【００１９】上記試験例１〜１３の磁気記録媒体の静磁
気特性を振動式磁気特性測定装置（ＶＳＭ）を用いて測
定した。また、これら磁気記録媒体の電磁変換特性を、
ＧＵＺＩＫ社製リードライトアナライザＲＷＡ１６３
２、およびスピンスタンドＳ１７０１ＭＰを用いて測定
した。電磁変換特性の評価には、磁気ヘッドとして、再
生部に巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）素子を有する複合型薄膜
磁気記録ヘッドを用い、記録条件を線記録密度２５０ｋ
ＦＣＩとして測定を行った。上記試験例１〜１３の磁気
記録媒体の静磁気特性、電磁変換特性の測定結果を表１
に示す。
気特性を振動式磁気特性測定装置（ＶＳＭ）を用いて測
定した。また、これら磁気記録媒体の電磁変換特性を、
ＧＵＺＩＫ社製リードライトアナライザＲＷＡ１６３
２、およびスピンスタンドＳ１７０１ＭＰを用いて測定
した。電磁変換特性の評価には、磁気ヘッドとして、再
生部に巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）素子を有する複合型薄膜
磁気記録ヘッドを用い、記録条件を線記録密度２５０ｋ
ＦＣＩとして測定を行った。上記試験例１〜１３の磁気
記録媒体の静磁気特性、電磁変換特性の測定結果を表１
に示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１中、試験例１〜４の比較より、カーボ
ン下地膜２の厚さを１００Åを越え、１０００Å以下と
なる範囲とした試験例１、３および４の磁気記録媒体
は、カーボン下地膜２の厚さを上記範囲外に設定した試
験例２の磁気記録媒体に比べ、優れたノイズ特性を有す
るものとなったことがわかる。試験例１、５〜８の比較
より、垂直磁性膜４の厚さを１００〜１０００Åの範囲
とした試験例１、６および７の磁気記録媒体は、垂直磁
性膜４の厚さを上記範囲外に設定した試験例５および８
に比べ、優れたノイズ特性を有するものとなったことが
わかる。試験例１、９〜１３の比較より、非磁性中間膜
３の厚さを０または５０〜５００Åの範囲とした試験例
１、９、１１、１２の磁気記録媒体は、非磁性中間膜３
の厚さを上記範囲外に設定した試験例１０、１３の磁気
記録媒体に比べ優れたノイズ特性を有するものとなった
ことがわかる。
ン下地膜２の厚さを１００Åを越え、１０００Å以下と
なる範囲とした試験例１、３および４の磁気記録媒体
は、カーボン下地膜２の厚さを上記範囲外に設定した試
験例２の磁気記録媒体に比べ、優れたノイズ特性を有す
るものとなったことがわかる。試験例１、５〜８の比較
より、垂直磁性膜４の厚さを１００〜１０００Åの範囲
とした試験例１、６および７の磁気記録媒体は、垂直磁
性膜４の厚さを上記範囲外に設定した試験例５および８
に比べ、優れたノイズ特性を有するものとなったことが
わかる。試験例１、９〜１３の比較より、非磁性中間膜
３の厚さを０または５０〜５００Åの範囲とした試験例
１、９、１１、１２の磁気記録媒体は、非磁性中間膜３
の厚さを上記範囲外に設定した試験例１０、１３の磁気
記録媒体に比べ優れたノイズ特性を有するものとなった
ことがわかる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体は、ノイズ特性に優れたものとなる。
媒体は、ノイズ特性に優れたものとなる。
【図１】 本発明の磁気記録媒体の一実施形態を示す一
部断面図である。
部断面図である。
【図２】 本発明の磁気記録媒体の他の実施形態を示す
一部断面図である。
一部断面図である。
１・・・基板、２・・・カーボン下地膜、３・・・非磁性中間
膜、４・・・磁性膜、５・・・保護膜
膜、４・・・磁性膜、５・・・保護膜
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年６月２２日（１９９９．６．２
２）
２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】
【表１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 彰 千葉県市原市八幡海岸通５番の１ 昭和電 工株式会社ＨＤ研究開発センター内 (72)発明者 吉川 利彦 千葉県市原市八幡海岸通５番の１ 昭和電 工株式会社ＨＤ研究開発センター内 (72)発明者 酒井 浩志 千葉県市原市八幡海岸通５番の１ 昭和電 工株式会社ＨＤ研究開発センター内 (72)発明者 逢坂 哲彌 東京都新宿区大久保三丁目４番１号 学校 法人早稲田大学理工学部内 Ｆターム(参考） 5D006 BB02 CA01 CA05 CA06 DA03 DA08 FA09
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上にカーボン下地膜が設けられ、そ
の上に磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直
磁性膜が設けられ、 カーボン下地膜の厚さが１００Åを越え、１０００Å以
下であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気記録媒体において、
垂直磁性膜が、Ｃｏ／Ｃｒ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ系、Ｃ
ｏ／Ｃｒ／Ｔａ系、Ｃｏ／Ｃｒ／Ｐｔ／Ｘ系（Ｘ：Ｔ
ａ、Ｚｒ、Ｃｕ、Ｒｅ、Ｂのうち１種または２種以上）
のうちいずれかの合金からなるものであることを特徴と
する磁気記録媒体。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の磁気記録媒体に
おいて、垂直磁性膜の直下に、ｈｃｐ構造を有する非磁
性中間膜を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8054499A JP2000276727A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8054499A JP2000276727A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000276727A true JP2000276727A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13721300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8054499A Withdrawn JP2000276727A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000276727A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7101600B1 (en) | 2000-12-29 | 2006-09-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording disk |
| US7229707B2 (en) | 2002-10-01 | 2007-06-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
-
1999
- 1999-03-24 JP JP8054499A patent/JP2000276727A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7101600B1 (en) | 2000-12-29 | 2006-09-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording disk |
| US7214404B2 (en) | 2000-12-29 | 2007-05-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording disk |
| US7229707B2 (en) | 2002-10-01 | 2007-06-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |