JP2001189006A

JP2001189006A - 磁気記録媒体およびその製造方法ならびに磁気記録再生装置

Info

Publication number: JP2001189006A
Application number: JP37586499A
Authority: JP
Inventors: Akira Ito; 彰伊藤; Kenji Shimizu; 謙治清水; Hiroshi Sakai; 浩志酒井
Original assignee: Showa Denko KK
Current assignee: Resonac Holdings Corp
Priority date: 1999-12-28
Filing date: 1999-12-28
Publication date: 2001-07-10

Abstract

(57)【要約】【課題】ノイズ特性に優れた磁気記録媒体を提供す
る。【解決手段】非磁性基板１上に軟磁性膜２が設けら
れ、その上に磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向し
た垂直磁性膜３が設けられ、軟磁性膜２が、非磁性基板
周方向の磁気異方性を有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクなど
の磁気記録媒体およびその製造方法、ならびにこの磁気
記録媒体を用いた磁気記録再生装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年では、ワークステーションやパーソ
ナルコンピュータの進歩に伴い、ハードディスクの大容
量化および小型化が進んでおり、磁気記録媒体には高記
録密度化が要望されている。磁気記録媒体としては、磁
性膜内の磁化容易軸が主に基板に対し水平に配向した面
内磁気記録媒体が広く用いられているが、面内磁気記録
媒体では、高記録密度化すると記録ビットが微細化し、
熱揺らぎ現象などにより再生特性が悪化する問題があ
る。これに対し、磁性膜内の磁化容易軸が主に基板に対
し垂直に配向した、いわゆる垂直磁気記録媒体は、再生
特性を悪化させることなく高記録密度化が可能であるこ
とから近年大きな注目を集めている。垂直磁気記録媒体
としては、垂直磁性膜の下に、基板に対し垂直方向への
理想的な書き込みを補助するための軟磁性膜が形成され
たものがある。

【０００３】このような構造の磁気記録媒体では、スパ
イクノイズが発生しやすいという問題がある。スパイク
ノイズは、軟磁性膜中の磁壁近傍から外部に漏れ出る磁
束に起因して発生するノイズであり、エンベロープ特性
を劣化させ、記録再生の誤り率を増大させる。このた
め、図１１および図１２に示すように、軟磁性膜の下に
硬磁性膜や反強磁性膜を設け、これによって軟磁性膜中
の磁壁の移動を抑え、スパイクノイズの減少を図ること
ができる磁気記録媒体が提案されている。

【０００４】図１１は、非磁性基板１上にＣｏＳｍ合金
やＣｏＣｒＰｔＣｒ合金などからなる硬磁性層２２を設
け、その上に軟磁性層２３、硬磁性記録層２４、および
保護層２５を形成した磁気記録媒体を示す。この磁気記
録媒体では、高保磁力の硬磁性層２２によって軟磁性膜
２３内の磁化を安定させ、軟磁性層２３内の磁壁の移動
を起こりにくくすることによってスパイクノイズ低減を
図るものである。図１２は、硬磁性層２２に代えて、Ｐ
ｔＭｎ合金、ＮｉＭｎ合金などからなる反強磁性層２６
を基板１上に設けた例を示すものである。この磁気記録
媒体では、反強磁性層２６と軟磁性層２３との間の交換
結合により軟磁性層２３の磁化容易軸の方向がコントロ
ールされるため、磁壁の移動が起こりにくく、スパイク
ノイズ低減を図ることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年では、磁気記録媒
体の更なる高記録密度化が要望されており、これに伴
い、いっそうのノイズ特性向上が要求されている。しか
しながら従来の磁気記録媒体では、ノイズ特性の点で、
高記録密度化の要求を満足させ得るものでなく、よりノ
イズ特性に優れた磁気記録媒体が要望されていた。本発
明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ノイズ特性に
優れた磁気記録媒体を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、非磁性基板上に軟磁性膜が設けられ、その上に磁化
容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性膜が設
けられ、前記軟磁性膜が、基板周方向の磁気異方性を有
するものであることを特徴とする。また本発明の磁気記
録媒体では、軟磁性膜に基板周方向の外部磁場を加えた
ときの残留磁化Ｍｃと、径方向の外部磁場を加えたとき
の残留磁化Ｍｒとの比Ｍｃ／Ｍｒが、１．４以上である
ことを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。また軟
磁性膜の保磁力は０．１〜１０（Ｏｅ）とするのが好ま
しく、飽和磁束密度は、２．２Ｔ以下とするのが好まし
い。本発明の磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上
に、軟磁性膜を形成し、次いで磁化容易軸が基板に対し
主に垂直に配向した垂直磁性膜を形成するにあたり、軟
磁性膜を基板周方向の磁場中で形成することを特徴とす
る方法である。また本発明の磁気記録再生装置は、磁気
記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気
ヘッドとを備え、磁気記録媒体が、非磁性基板上に軟磁
性膜が設けられ、その上に磁化容易軸が基板に対し主に
垂直に配向した垂直磁性膜が設けられ、前記軟磁性膜
が、基板周方向の磁気異方性を有することを特徴とする
磁気記録再生装置である。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の磁気記録媒体の
第１実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体
は、非磁性基板１上に、軟磁性膜２、垂直磁性膜３、お
よび保護膜４が順次形成されたものである。

【０００８】非磁性基板１としては、磁気記録媒体用基
板として一般に用いられるＮｉＰメッキ膜が形成された
アルミニウム合金基板、ガラス基板、セラミック基板、
カーボン基板、可撓性樹脂基板、またはこれらの基板に
ＮｉＰ膜をメッキ法やスパッタ法により形成した基板な
どを用いることができる。

【０００９】非磁性基板１は、表面にテクスチャ加工を
施すことによって、表面粗さＲａを１００Å以下（好ま
しくは２０Å以下、さらに好ましくは１０Å以下）とす
るのが好ましい。テクスチャ加工は基板周方向に沿って
行うのが好ましい。テクスチャ加工を行うのが好ましい
としたのは、テクスチャ加工によって、軟磁性膜２の周
方向の磁気異方性をさらに向上させ、スパイクノイズの
低減を図ることができるためである。

【００１０】軟磁性膜２は、Ｃｏ系のアモルファス合金
からなるものとするのが好ましい。このＣｏ系アモルフ
ァス合金としては、ＣｏＺｒＮｂ、ＣｏＴａＮｂ、Ｃｏ
ＺｒＭｏ等の各種合金を挙げることができる。

【００１１】本実施形態の磁気記録媒体において、軟磁
性膜２は、基板周方向の磁気異方性を有するものであ
る。軟磁性膜２では、軟磁性膜２に基板周方向の外部磁
場を加えたときの残留磁化Ｍｃと、径方向の外部磁場を
加えたときの残留磁化Ｍｒとの比であるＭｃ／Ｍｒを、
１．４以上（好ましくは２以上、さらに好ましくは２．
７以上）とするのが望ましい。Ｍｃ／Ｍｒが上記範囲未
満であると、軟磁性膜２の周方向の磁気異方性が低くな
り、スパイクノイズ低減効果が不十分となりやすい。

【００１２】軟磁性膜２の保磁力は０．１〜１０（Ｏ
ｅ）（好ましくは０．１〜５（Ｏｅ）、さらに好ましく
は０．１〜３（Ｏｅ））とするのが望ましい。保磁力が
上記範囲未満である軟磁性膜は作製が難しく、さらには
垂直磁性膜３の磁気異方性の低下を招く。また、保磁力
が上記範囲を越えると、周方向の残留磁化Ｍｃが飽和磁
化に近づくため、軟磁性膜２からのノイズが増大する。

【００１３】また軟磁性膜２の飽和磁束密度は、２．２
Ｔ以下（好ましくは０．４〜２．２Ｔ、さらに好ましく
は０．４〜２．０Ｔ）とするのが望ましい。これは、上
記飽和磁束密度が上記範囲を越える軟磁性膜の作製は困
難であるためである。また飽和磁束密度が０．４Ｔ以上
が好ましいとしたのは、飽和磁束密度を０．４以上とす
ることによって、軟磁性膜２の膜厚を５０００Å以下に
することができるためである。

【００１４】軟磁性膜２の膜厚は、５００〜５０００Å
（好ましくは５００〜２５００Å、より好ましくは５０
０〜２０００Å）とするのが好適である。この膜厚が上
記範囲未満であると書き込みを行う磁気ヘッドに対応す
る十分な磁束が得られず、信号の記録に支障を来す。ま
た膜厚が上記範囲を越えると生産効率低下を招く。

【００１５】軟磁性膜２の最大透磁率は、１０００〜１
００００００、好ましくは８０００〜５０００００、さ
らに好ましくは１０００００〜５０００００とするのが
望ましい。最大透磁率が１０００未満であると、記録時
に磁気記録媒体への書き込みが不十分となりやすく、良
好な電磁変換特性を得られなくなるおそれがある。また
最大透磁率が１００００００を越える軟磁性膜を作製す
るのは技術的に難しい。

【００１６】上記最大透磁率は、次のように定義され
る。すなわち軟磁性体スパッタターゲット試験片を、例
えば振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用いて全く磁化さ
れていない状態から外部磁界を印加することにより徐々
に磁化していき、磁界を増加しても磁化の強さが増加し
ない状態に達するまでの磁化曲線中で、磁界の変化に対
する磁化の変化の割合のうち最大となったものを最大透
磁率とする。なお、透磁率はＣＧＳ単位系で表した値で
ある。

【００１７】垂直磁性膜３は、磁化容易軸が基板に対し
主に垂直方向に配向した磁性材料からなる膜である。垂
直磁性膜３には、Ｃｏ、ＣｏＣｒ系合金、ＣｏＣｒＰｔ
系合金、ＣｏＣｒＴａ系合金、ＣｏＣｒＰｔＸ系（Ｘ：
Ｔａ、Ｚｒ、Ｃｕ、Ｒｅ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、およびＢ
のうち１種または２種以上）、ＴｂＦｅＣｏ系、ＣｏＰ
ｔ−ＣｏＯ系の合金を用いることができる。また垂直磁
性膜３としては、Ｃｏ系材料からなる層と、Ｐｔ系材料
またはＰｄ系材料からなる層とを多数回にわたって積層
した多層構造膜を用いることができる。Ｃｏ系材料とし
ては、Ｃｏ、ＣｏＣｒ系合金、ＣｏＣｒＰｔ系合金、Ｃ
ｏＣｒＴａ系合金、上記ＣｏＣｒＰｔＸ系合金を用いる
ことができる。Ｐｔ系材料としてはＰｔ、Ｐｔ合金を用
いることができる。Ｐｄ系材料としてはＰｄ、Ｐｄ合金
を用いることができる。

【００１８】垂直磁性膜３の厚さは、２０〜１０００
Å、好ましくは５０〜８００Å、より好ましくは５０〜
５００Åとするのが好適である。この厚さが上記範囲未
満であると、十分な磁束が得られず、再生出力が低下
し、ＳＮＲなどのノイズ特性が低下する。またこの厚さ
が上記範囲を越えると、垂直磁性膜３内の交換結合によ
り媒体ノイズが増大する。

【００１９】保護膜４は、媒体表面の損傷を防ぎ、磁気
記録媒体の耐久性を高めるためのもので、従来公知の材
料を使用でき、例えばＣ、ＳｉＯ₂、ＺｒＯ₂の単一組成
膜や、これらを主成分とし他元素を含むものが使用可能
である。保護膜４の厚さは、１０〜１００Åが望まし
い。また、保護膜４上には、パーフルオロポリエーテ
ル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などから
なる潤滑膜を設けるのが好ましい。

【００２０】図３および図４は、上記磁気記録媒体を用
いた磁気記録再生装置の例を示すものである。ここに示
す磁気記録再生装置は、図１に示す構成の磁気記録媒体
７と、磁気記録媒体７を回転駆動させる媒体駆動部８
と、磁気記録媒体７に情報を記録再生する磁気ヘッド９
と、ヘッド駆動部１０と、記録再生信号処理系１１とを
備えている。記録再生信号処理系１１は、外部からの記
録信号を処理して磁気ヘッド９に送ったり、磁気ヘッド
９からの再生信号を処理して外部に送ることができるよ
うになっている。磁気ヘッド９としては、書込主軸１２
を有する単磁極ヘッドを用いるのが好ましい。

【００２１】上記構成の磁気記録媒体を製造するには、
まず基板１上にスパッタリングなどにより軟磁性膜２を
形成する。軟磁性膜２を形成するにあたっては、基板１
にその周方向に向いた磁場が加わった状態で成膜を行
う。

【００２２】以下、軟磁性膜２の形成方法の一例を図２
を参照して説明する。まず、図示せぬ磁場発生コイルや
磁石などを用いて、スパッタ装置等のチャンバ内におい
て非磁性基板１に基板周方向に向けた磁場６を加える。
軟磁性膜２の厚さや磁気異方性に偏りが生じないように
非磁性基板１を周方向に回転させつつ、磁場６中におい
てスパッタリングなどによって非磁性基板１上に軟磁性
膜２を形成する。磁場６中において非磁性基板１上に形
成された軟磁性膜２は、基板周方向の磁気異方性をもつ
ものとなる。なお、本発明では、基板１を回転させず、
磁場発生コイルや磁石を回転させることにより磁場を基
板１に対し回転させつつ軟磁性膜２を形成することもで
きる。

【００２３】保護膜４は、プラズマＣＶＤ法、イオンビ
ーム法、スパッタリング法により形成することができ
る。また、潤滑膜を形成するには、ディッピング法、ス
ピンコート法などの従来公知の方法を採用することがで
きる。

【００２４】本実施形態の磁気記録媒体では、軟磁性膜
２が、基板周方向の磁気異方性を有するものであるの
で、スパイクノイズ低減を図ることができる。従って、
ノイズ特性を向上させることができ、記録密度の向上が
可能となる。

【００２５】基板周方向の磁気異方性をもつ軟磁性膜２
によってスパイクノイズ低減を図ることができるのは、
以下の理由によると考えることができる。すなわち、周
方向の磁気異方性をもつ軟磁性膜２では、径方向の磁気
異方性をもつものに比べ、磁化の向きが周方向（トラッ
ク長さ方向）に連続し得ることから、周方向に単磁区化
されやすく、磁壁が形成されにくい。このため、磁壁に
起因して発生するスパイクノイズを最小限に抑えること
ができる。

【００２６】また図４に示すように、軟磁性膜２の形成
によって、記録時において軟磁性膜２内にループ状の磁
化曲線１３が形成されるようになり、垂直磁性膜３にお
ける垂直方向の磁化の方向が安定しノイズが減少する。

【００２７】また、図１１および図１２に示す従来の磁
気記録媒体のように、軟磁性膜の下に硬磁性膜や反強磁
性膜を設ける必要がなく、製造コスト低減、生産性の向
上を図ることができる。

【００２８】図５は、本発明の磁気記録媒体の第２実施
形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、軟磁性
膜２と垂直磁性膜３との間に非磁性中間膜５が設けられ
ている点で図１に示す第１実施形態の磁気記録媒体と異
なる。

【００２９】非磁性中間膜５は、直上に形成される垂直
磁性膜３の結晶配向性を高め、垂直磁性膜３内の垂直磁
気異方性を高めるためのもので、ｈｃｐ構造を有する非
磁性材料からなるものを用いるのが好ましい。非磁性中
間膜５の材料としては、ＣｏＣｒ系、ＣｏＣｒＰｔ系、
ＣｏＣｒＴａ系、ＣｏＣｒＰｔＸ系（Ｘ：Ｔａ、Ｚｒ、
Ｃｕ、Ｒｅ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、およびＢのうち１種ま
たは２種以上）のうちいずれかの合金を用いるのが好適
である。

【００３０】特に、Ｃｒの含有率が２５〜５０ａｔ％、
Ｐｔの含有率が０〜１５ａｔ％、Ｘの含有率が０〜１０
ａｔ％、残部がＣｏからなるＣｏ合金を主成分とするも
のを用いるのが好ましい。非磁性中間膜５は、単層構造
をなすものとしてもよいし、多層構造をなすものとして
もよい。多層構造とする場合には、上記材料から選ばれ
た互いに同一または異なる複数の材料を積層したものと
することができる。

【００３１】非磁性中間膜５の厚さは、５００Å以下
（好ましくは５０〜２００Å）とするのが好適である。
この厚さが５００Åを越えると、非磁性中間膜５内にお
いて結晶粒子の粗大化が起きやすくなり垂直磁性膜３内
の磁性粒子粗大化によるノイズ特性の低下が起こりやす
くなる。

【００３２】本実施形態の磁気記録媒体では、上記第１
実施形態の磁気記録媒体と同様に、スパイクノイズ低減
を図ることができることに加え、非磁性中間膜５によっ
て、その直上に形成される垂直磁性膜３の初期成長時に
おける結晶配向性の乱れを防ぎ、垂直磁性膜３の垂直磁
気異方性を向上させることができ、磁気特性の向上を図
ることができる。

【００３３】

【実施例】（試験例１）図５に示す磁気記録媒体を次の
ようにして作製した。ＮｉＰメッキ膜が形成されたアル
ミニウム合金基板（直径３．５インチ）にメカニカルテ
クスチャ加工を施し、表面平均粗さＲａを５Å以下とし
た非磁性基板１を、ＤＣマグネトロンスパッタ装置のチ
ャンバ内にセットし、チャンバ内を真空到達度２×１０
^-7ｍＴｏｒｒ以下となるまで排気するとともに、この基
板１上に、Ｃｏ−５ａｔ％Ｚｒ−４ａｔ％Ｎｂからなる
軟磁性膜２（厚さ２５００Å）、Ｃｏ−３５ａｔ％Ｃｒ
−８ａｔ％Ｐｔからなる非磁性中間膜５（厚さ１００
Å）、Ｃｏ−２２ａｔ％Ｃｒ−１２ａｔ％Ｐｔ−４ａｔ
％Ｂからなる垂直磁性膜３をスパッタリングによって形
成した。次いでカーボン系材料からなる保護膜４を形成
した。

【００３４】軟磁性膜２を形成する際には、基板周方向
の磁場を加え、軟磁性膜２を、基板周方向の磁気異方性
を有するものとした。また保磁力は１．０（Ｏｅ）に設
定した。なおスパッタリング時の投入電力は１．０ｋＷ
とし、使用したＡｒのガス圧は４．５ｍＴｏｒｒとし
た。得られた磁気記録媒体の軟磁性膜２の磁気特性を振
動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用いて評価した。基板周
方向および径方向の磁化曲線を図６に示す。この磁化曲
線に基づいてＭｃ／Ｍｒを算出した。また、Ｇｕｚｉｋ
スピンスタンド上で、磁気ヘッドによりＤＣイレースを
行った後のトラック１周分のエンベロープをとり、スパ
イクノイズが発生した範囲の割合を算出した。以下、こ
の割合をスパイクノイズ発生率という。また媒体ノイズ
の測定を行った。結果を表１に示す。

【００３５】（試験例２）保磁力を１．５（Ｏｅ）に設
定すること以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体を
作製し、その磁気特性を評価した。基板周方向および径
方向の磁化曲線を図７に示す。その他の試験結果を表１
に併せて示す。

【００３６】（試験例３）テクスチャ加工を行わないこ
と以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体を作製し、
その磁気特性を評価した。基板周方向および径方向の磁
化曲線を図８に示す。その他の試験結果を表１に併せて
示す。

【００３７】（試験例４）非磁性基板として、ガラス基
板を用いること以外は試験例３と同様にして磁気記録媒
体を作製し、その磁気特性を評価した。基板周方向およ
び径方向の磁化曲線を図９に示す。その他の試験結果を
表１に併せて示す。

【００３８】（試験例５）軟磁性膜を形成するにあた
り、基板径方向の磁場を加え、軟磁性膜を基板径方向の
磁気異方性を有するものとすること以外は試験例１と同
様にして磁気記録媒体を作製し、その磁気特性を評価し
た。基板周方向および径方向の磁化曲線を図１０に示
す。その他の試験結果を表１に併せて示す。

【００３９】（試験例６〜１０）Ｍｃ／Ｍｒを変えるこ
と以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体を作製し、
その磁気特性を評価した。試験結果を表１に併せて示
す。

【００４０】（試験例１１〜１５）保磁力を変えること
以外は試験例１と同様にして磁気記録媒体を作製し、そ
の磁気特性を評価した。試験結果を表１に併せて示す。

【００４１】また試験例１〜５の磁化曲線のグラフ（図
６〜図１０）から飽和磁束密度を求めると、いずれも
０．５〜０．８Ｔであった。なお磁化曲線の縦軸の単位
である「ｅｍｕ」から「Ｔ」への換算は、被検体の磁化
（ｅｍｕ）を単位体積（ｃｍ³）あたりに換算した後、
４π／１００００倍することにより行うことができる。
被検体の両面に上記各膜を形成する場合には、得られた
値を１／２倍する。

【００４２】

【表１】

【００４３】図６ないし図９より、試験例１〜４では、
外部磁場をゼロにしたときの残留磁化が、基板径方向に
磁化させたときに比べ、周方向に磁化させたときにより
大きくなることから、周方向の磁気異方性をもつもので
あることがわかる。図１０より、試験例５では、外部磁
場をゼロにしたときの残留磁化が、周方向に磁化させた
ときに比べ、径方向に磁化させたときにより大きくなる
ことから、径方向の磁気異方性をもつものであることが
わかる。表１より、軟磁性膜が周方向の磁気異方性を有
する試験例１〜４では、軟磁性膜が径方向の磁気異方性
を有する試験例５に比べ明らかにスパイクノイズを低く
することができることがわかる。なかでも特に、基板１
にテクスチャ加工を行った試験例１、２では、優れたス
パイクノイズ低減効果が得られたことがわかる。また試
験例６〜１０より、Ｍｃ／Ｍｒを１．４以上とすること
によって、スパイクノイズ発生率を低くし、ノイズ特性
を向上させることができたことがわかる。また試験例
１、２、１１〜１５より、保磁力を０．１〜１０（Ｏ
ｅ）の範囲とすることによって、スパイクノイズ発生率
を低くすることができたことがわかる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体にあっては、軟磁性膜が、基板周方向の磁気異方性
を有するものであるので、スパイクノイズ低減を図るこ
とができる。従って、ノイズ特性を向上させることがで
き、記録密度の向上が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の第１実施形態を示
す一部断面図である。

【図２】本発明の磁気記録媒体を製造する方法の一
例を示す説明図である。

【図３】本発明の磁気記録再生装置の一実施形態を
示す概略構成図である。

【図４】図３に示す磁気記録再生装置において、軟
磁性膜および垂直磁性膜が磁化された状態を示す模式図
である。

【図５】本発明の磁気記録媒体の第２実施形態を示
す一部断面図である。

【図６】試験結果を示すグラフである。

【図７】試験結果を示すグラフである。

【図８】試験結果を示すグラフである。

【図９】試験結果を示すグラフである。

【図１０】試験結果を示すグラフである。

【図１１】従来の磁気記録媒体の一例を示す一部断
面図である。

【図１２】従来の磁気記録媒体の他の例を示す一部
断面図である。

【符号の説明】

１・・・非磁性基板、２・・・軟磁性膜、３・・・垂直磁性膜、
５・・・非磁性中間膜、７・・・磁気記録媒体、９・・・磁気ヘ
ッド、１２・・・書込主軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者酒井浩志千葉県市原市八幡海岸通５番の１昭和電工株式会社ＨＤ研究開発センター内Ｆターム(参考） 5D006 BB02 BB07 CA03 CA05 DA03 FA00 5D112 AA03 AA05 AA24 BB05 BD03 DD05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性基板上に軟磁性膜が設けられ、
その上に磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂
直磁性膜が設けられ、前記軟磁性膜が、基板周方向の磁
気異方性を有するものであることを特徴とする磁気記録
媒体。
【請求項２】軟磁性膜に基板周方向の外部磁場を加
えたときの残留磁化Ｍｃと、径方向の外部磁場を加えた
ときの残留磁化Ｍｒとの比Ｍｃ／Ｍｒが、１．４以上で
あることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】軟磁性膜の保磁力が０．１〜１０（Ｏ
ｅ）であることを特徴とする請求項１または２記載の磁
気記録媒体。
【請求項４】軟磁性膜の飽和磁束密度が、２．２Ｔ
以下であることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれ
か１項記載の磁気記録媒体。
【請求項５】非磁性基板上に、軟磁性膜を形成し、
次いで磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直
磁性膜を形成する磁気記録媒体の製造方法であって、軟
磁性膜を基板周方向の磁場中で形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
【請求項６】磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情
報を記録再生する磁気ヘッドとを備え、磁気記録媒体は、非磁性基板上に軟磁性膜が設けられ、
その上に磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂
直磁性膜が設けられ、前記軟磁性膜が、基板周方向の磁
気異方性を有するものであることを特徴とする磁気記録
再生装置。