JP2006351055A - 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 非磁性基板上に、少なくとも、直上の層の配向性を制御する配向制御層と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性層と、保護層とが設けられ、垂直磁性層が、Coを主成分とし、基板側から順に、少なくともCr、Ptと金属または半導体の酸化物、窒化物を含んだ材料を主成分とする垂直磁性層(1)とCoCr合金を主成分とする垂直磁性層(2)、CoCrPtB系合金を主成分とする垂直磁性層(3)の少なくとも3層以上から構成される。
【選択図】 図1
Description
1)上記課題を解決するための第1の発明は、非磁性基板上に、少なくとも、直上の層の配向性を制御する配向制御層と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性層と、保護層とが設けられ、垂直磁性層が、Coを主成分とし、基板側から順に、少なくともCr、Ptと金属酸化物または半導体酸化物を含んだ材料を主成分とする垂直磁性層(1)とCoCr合金を主成分とする垂直磁性層(2)、CoCrPtB系合金を主成分とする垂直磁性層(3)の少なくとも3層以上から構成されることを特徴とする垂直磁気記録媒体である。
2)上記課題を解決するための第2の発明は、垂直磁性層(1)がグラニュラ層であり、垂直磁性層(2)及び垂直磁性層(3)が非グラニュラ層であることを特徴とする1)に記載の垂直磁気記録媒体である。
3)上記課題を解決するための第3の発明は、垂直磁性層(2)を構成するCoCr合金中のCr濃度が20原子%以上37原子%以下であることを特徴とする1)〜2)に記載の垂直磁気記録媒体である。
4)上記課題を解決するための第4の発明は、垂直磁性層(1)が、Cr含有量5原子%以上28原子%以下、Pt含有量が10原子%以上20原子%以下である材料からなることを特徴とする1)〜3)に記載の垂直磁気記録媒体である。
5)上記課題を解決するための第5の発明は、垂直磁性層(3)が、Cr含有量5原子%以上28原子%以下、Pt含有量が10原子%以上20原子%以下である材料からなることを特徴とする1)〜4)に記載の垂直磁気記録媒体である。
6)上記課題を解決するための第6の発明は、垂直磁性層(1)が、B、Ta、Cuから選ばれるいずれか1種類以上を含み、それら元素の合計含有量が8原子%以下である材料からなることを特徴とする1)〜5)に記載の垂直磁気記録媒体である。
7)上記課題を解決するための第7の発明は、垂直磁性層(2)が、Ta、Pt、B、Cuから選ばれるいずれか1種類以上を含み、それら元素の合計含有量が20原子%以上37原子%以下であることを特徴とする1)〜6)に記載の垂直磁気記録媒体である。
8)上記課題を解決するための第8の発明は、垂直磁性層(3)が、B、Nd、Ta、Cuから選ばれるいずれか1種類以上を含み、それら元素とCr、Ptとの合計含有量が40原子%以下であることを特徴とする1)〜7)に記載の垂直磁気記録媒体である。
9)上記課題を解決するための第9の発明は、非磁性基板と配向制御層との間に軟磁性材料からなる軟磁性下地層が設けられたことを特徴とする1)〜8)に記載の垂直磁気記録媒体である。
10)上記課題を解決するための第10の発明は、非磁性基板と軟磁性下地層との間に、磁気異方性が主に面内方向を向いた硬磁性層を設けることを特徴とする9)に記載の垂直磁気記録媒体である。
11)上記課題を解決するための第11の発明は、硬磁性層が、CoSm合金または、CoCrPtX(X:Pt、Ta、Zr、Nb、Cu、Re、Ni、Mn、Ge、Si、O、NおよびBのうち1種または2種以上。)を含む材料からなり、500[Oe](39.5kA/m)以上の保磁力を有し、磁化方向が基板半径方向であることを特徴とする10)に記載の垂直磁気記録媒体である。
12)上記課題を解決するための第12の発明は、垂直磁性層(1)を成膜する工程のスパッタガス圧力を5〜20Paとすることを特徴とする1)〜11)に記載の垂直磁気記録媒体である。
13)上記課題を解決するための第13の発明は、垂直磁性層(2)、垂直磁性層(3)を成膜する工程のスパッタガス圧力を0.1Pa〜1.5Paとすることを特徴とする1)〜12)に記載の垂直磁気記録媒体である。
14)上記課題を解決するための第14の発明は、垂直磁気記録媒体と、該垂直磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、垂直磁気記録媒体が1)〜13)のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置である。
15)上記課題を解決するための第15の発明は、非磁性基板上に、少なくとも、直上の層の配向性を制御する配向制御層と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性層と、保護層とが設けられ、垂直磁性層が、Coを主成分とし、基板側から順に、少なくともCr、Ptと金属または半導体の酸化物、窒化物を含んだ材料を主成分とする垂直磁性層(1)とCoCr合金を主成分とする垂直磁性層(2)、CoCrPtB系合金を主成分とする垂直磁性層(3)の少なくとも3層以上から構成される垂直磁気記録媒体の製造方法であって、垂直磁性層(1)を成膜する工程のスパッタガス圧力を5〜20Paとすることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法である。
16)上記課題を解決するための第16の発明は、垂直磁性層(2)、垂直磁性層(3)を成膜する工程のスパッタガス圧を0.1Pa〜1.5Paとすることを特徴とする15)に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法である。
本発明では、これら積層型の垂直磁気記録媒体の記録再生特性をさらに向上させる目的で、垂直磁性層を少なくとも1層のグラニュラ層、2層の非グラニュラ層からなる3層以上の垂直磁性層から構成させることを特徴とする。
本発明では、これら2層間にさらにもう1層の非グラニュラ層を挿入することにより、基板側よりグラニュラ層、非グラニュラ層(1)、非グラニュラ層(2)の順に少なくとも3層からなる構成とした。これにより、グラニュラ層と非グラニュラ層(2)の間に働く磁気的結合が非グラニュラ層(1)によって緩和され、磁性結晶粒がかたまりとして振舞うことを防ぐ効果をもたらし、ひいては媒体ノイズの低減、SNRの改善をもたらすことを見出した。
これにより、優れた熱ゆらき耐性を保つとともに、垂直磁性層(1)と垂直磁性層(3)との間の磁気的結合を垂直磁性層(2)によって緩和することができ、高い強磁性を有しながら、媒体ノイズを低減することが可能となる。
従って、記録再生特性が向上し、高密度の情報の記録再生が可能な垂直磁気記録媒体を得ることができる。
図1は、本発明の垂直磁気記録媒体の第1の実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、非磁性基板1上に、軟磁性下地層2と、配向制御層3と、中間層4と、垂直磁性層(1)5と、垂直磁性層(2)6と、垂直磁性層(3)7と、保護層8と潤滑層9とが順次形成されて構成されている。
グラニュラ層である垂直磁性層(1)は磁気記録媒体において垂直磁気記録を行う主記録層としての役割を果たす。膜がグラニュラ構造をとることにより、磁性結晶粒間の交換相互作用が低減され媒体ノイズの抑制効果を持つ。その一方で、個々の結晶粒が磁気的に独立に振舞うため、保磁力Hcは十分に高いものが得られる反面、核生成磁界Hnが小さくなる傾向がある。Hnは垂直磁気記録において隣接トラックからの影響を排除するためにある程度高い値が必要とされている。
一方、非グラニュラ層である垂直磁性層(3)は、一般的に垂直磁性層(1)よりも飽和磁束密度Bsが相対的に高い材料を用いることが多く、これを垂直磁性層(1)の上に直接積層することにより磁性結晶粒間の相互作用が強まり、Hnを大きくすることができるが、この場合には、Hcの低下や媒体ノイズの増大を伴い易い。そこで、垂直磁性層(1)と垂直磁性層(2)との間に新たに垂直磁性層(2)を挿入することにより垂直磁性層(1)、(3)の間の相互作用をコントロールするというのが本発明の主旨である。磁気的相互作用の大きさをコントロールするという主旨から、垂直磁性層(2)の飽和磁束密度Bsは垂直磁性層(3)に比して相対的に小さいものを使用することが好ましい。垂直磁性層(2)の膜厚を適当に調整することにより、磁気特性、記録再生特性をある程度コントロールすることもできる。
上記構成の垂直磁気記録媒体を製造するには、非磁性基板1上に、軟磁性下地層2、配向制御層3、中間層4、垂直磁性層(1)5、垂直磁性層(2)6、垂直磁性層(3)7を順次、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法などにより形成する。次いで保護層8を、好ましくはプラズマCVD法、イオンビーム法、スパッタ法により形成する。
ここに示す磁気記録再生装置11は、図1に示す構成の垂直磁気記録媒体20と、該垂直磁気記録媒体20を回転駆動させる媒体駆動部21と、垂直磁気記録媒体20に情報を記録再生する磁気ヘッド22(図6参照)と、この磁気ヘッド22を垂直磁気記録媒体20に対して相対運動させるヘッド駆動部23と、記録再生信号処理系24とを備えている。記録再生信号処理系24は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド22に送ったり、磁気ヘッド22からの再生信号を処理してデータを外部に送ることができるようになっている。本発明の磁気記録再生装置に用いる磁気ヘッド22には、再生素子として巨大磁気抵抗効果(GMR)を利用したGMR素子などを有したより高記録密度に適したヘッドを用いることができる。
上記磁気記録再生装置11によれば、垂直磁性層が、Coを主成分とし、少なくとも、Cr、Ptを含んだ材料からなり、基板に対して垂直方向の残留磁化(Mr)と飽和磁化(Ms)との比(Mr/Ms)が0.85以上であり、活性化体積と飽和磁気モーメントの積で表される活性化磁気モーメントが0.3×10−15emu〜0.8×10−15emuであることを特徴とする垂直磁気記録媒体20を用いているので、磁気記録媒体の記録再生時におけるノイズを増加させることなく、記録再生特性の分解能を向上させたり磁化の熱的な安定性を高めることができ、高記録密度に適した磁気記録再生装置となる。
これにより、優れた熱ゆらき耐性を保つとともに、垂直磁性層(1)と垂直磁性層(3)との間の磁気的結合を垂直磁性層(2)によって緩和することができ、高い強磁性を有しながら、媒体ノイズを低減することが可能となる。
従って、記録再生特性が向上し、高密度の情報の記録再生が可能な垂直磁気記録媒体を得ることができる。
洗浄済みのガラス基板(オハラ社製、外直径2.5インチ)をDCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製C−3010)の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度1×10−5Paとなるまで成膜チャンバ内を排気した後、このガラス基板上に89Co4Zr7Nb(Co含有量89at%、Zr含有量4at%、Nb含有量7at%)のターゲットを用いて100℃以下の基板温度で膜厚100nmの軟磁性下地層2をスパッタにより成膜した。
垂直磁性層(1)5、垂直磁性層(2)6の後に垂直磁性層(3)として、CoCrPtB(Cr21原子%、Pt16原子%、B1原子%)のスパッタターゲットを用いて膜厚5nmの垂直磁性層(3)を成膜した以外は、実施例1と同様にして磁気記録媒体を作製した。
垂直磁性層(1)と垂直磁性層(2)の膜厚を変えた意外は実施例2と同様にして、実施例3、4を作製した。
垂直磁性層(2)を成膜しない以外は実施例1と同様にして比較例1を作製した。
垂直磁性層(2)を成膜しない以外は実施例2と同様にして比較例2を作製した。
垂直磁性層(2)を成膜しない以外は実施例3、4と同様にして比較例3、4を作製した。
垂直磁性層1の成膜にCoCrPtCu−SiO2ターゲット(Co70原子%、Cr10原子%、Pt16原子%、Cu4原子%のCoCrPt合金中に8モルのSiO2を分散させたもの)を用いた以外は実施例1〜4と同様にして作製した試料を実施例5〜8とした。実施例1〜4と同様の評価を行ったところ、結果は表2のようになった。
これらの試料に対して、実施例1〜4と同様の評価を行った結果を表3に示した。
垂直磁性層2のCr含有量を15原子%、20原子%、37原子%、40原子%と変化させた以外は実施例2と同様に成膜を行って作製した試料を実施例13〜16とした。これら実施例を先述の実施例1、比較例1と同様の評価を行い比較した結果を表4に示した。
垂直磁性層(1)を成膜する際、スパッタガス圧を変更した以外は実施例2と同様に作製した試料を実施例17〜20とし、実施例1と同様の評価を行った。これら実施例の垂直磁性層(1)成膜時のスパッタガス圧力および評価結果を表5にまとめた。
垂直磁性層(2)を成膜する際、スパッタガス圧を変更した以外は実施例2と同様に作製した試料を実施例21〜24とし、実施例1と同様の評価を行った。これら実施例の垂直磁性層(2)成膜時のスパッタガス圧力および評価結果を表6にまとめた。
垂直磁性層(1)のCr含有量を4原子%、30原子%と変化させた以外は実施例2と同様にして実施例25、26を作製した。これら実施例25、26と実施例2との磁気特性ならびに電磁変換特性を比較し、結果を表7に示した。
垂直磁性層(3)のCr含有量を17原子%、30原子%と変化させた以外は実施例2と同様にして実施例27、28を作製した。これら実施例27、28と実施例2との磁気特性ならびに電磁変換特性を比較し、結果を表8に示した。
Claims (16)
- 非磁性基板上に、少なくとも、直上の層の配向性を制御する配向制御層と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性層と、保護層とが設けられ、垂直磁性層が、Coを主成分とし、基板側から順に、少なくともCr、Ptと金属酸化物または半導体酸化物を含んだ材料を主成分とする垂直磁性層(1)とCoCr合金を主成分とする垂直磁性層(2)、CoCrPtB系合金を主成分とする垂直磁性層(3)の少なくとも3層以上から構成されることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(1)がグラニュラ層であり、垂直磁性層(2)及び垂直磁性層(3)が非グラニュラ層であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(2)を構成するCoCr合金中のCr濃度が20原子%以上37原子%以下であることを特徴とする請求項1〜2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(1)が、Cr含有量5原子%以上28原子%以下、Pt含有量が10原子%以上20原子%以下である材料からなることを特徴とする請求項1〜3に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(3)が、Cr含有量5原子%以上28原子%以下、Pt含有量が10原子%以上20原子%以下である材料からなることを特徴とする請求項1〜4に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(1)が、B、Ta、Cuから選ばれるいずれか1種類以上を含み、それら元素の合計含有量が8原子%以下である材料からなることを特徴とする請求項1〜5に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(2)が、Ta、Pt、B、Cuから選ばれるいずれか1種類以上を含み、それら元素の合計含有量が20原子%以上37原子%以下であることを特徴とする請求項1〜6に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(3)が、B、Nd、Ta、Cuから選ばれるいずれか1種類以上を含み、それら元素とCr、Ptとの合計含有量が40原子%以下であることを特徴とする請求項1〜7に記載の垂直磁気記録媒体。
- 非磁性基板と配向制御層との間に軟磁性材料からなる軟磁性下地層が設けられたことを特徴とする請求項1〜8に記載の垂直磁気記録媒体。
- 非磁性基板と軟磁性下地層との間に、磁気異方性が主に面内方向を向いた硬磁性層を設けることを特徴とする請求項9に記載の垂直磁気記録媒体。
- 硬磁性層が、CoSm合金または、CoCrPtX(X:Pt、Ta、Zr、Nb、Cu、Re、Ni、Mn、Ge、Si、O、NおよびBのうち1種または2種以上。)を含む材料からなり、500[Oe](39.5kA/m)以上の保磁力を有し、磁化方向が基板半径方向であることを特徴とする請求項10に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(1)を成膜する工程のスパッタガス圧力を5〜20Paとすることを特徴とする請求項1〜11に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁性層(2)、垂直磁性層(3)を成膜する工程のスパッタガス圧力を0.1Pa〜1.5Paとすることを特徴とする請求項1〜12に記載の垂直磁気記録媒体。
- 垂直磁気記録媒体と、該垂直磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、垂直磁気記録媒体が請求項1〜13のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置。
- 非磁性基板上に、少なくとも、直上の層の配向性を制御する配向制御層と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性層と、保護層とが設けられ、垂直磁性層が、Coを主成分とし、基板側から順に、少なくともCr、Ptと金属または半導体の酸化物、窒化物を含んだ材料を主成分とする垂直磁性層(1)とCoCr合金を主成分とする垂直磁性層(2)、CoCrPtB系合金を主成分とする垂直磁性層(3)の少なくとも3層以上から構成される垂直磁気記録媒体の製造方法であって、垂直磁性層(1)を成膜する工程のスパッタガス圧力を5〜20Paとすることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
- 垂直磁性層(2)、垂直磁性層(3)を成膜する工程のスパッタガス圧を0.1Pa〜1.5Paとすることを特徴とする請求項15に記載の垂直磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005172201A JP2006351055A (ja) | 2005-06-13 | 2005-06-13 | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
TW094146796A TW200643924A (en) | 2005-06-13 | 2005-12-27 | Vertical magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
US11/921,942 US20090226763A1 (en) | 2005-06-13 | 2006-06-07 | Perpendicular magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
CNB2006800207994A CN100543843C (zh) | 2005-06-13 | 2006-06-07 | 垂直磁记录介质及其制造方法以及磁记录和再现装置 |
PCT/JP2006/311890 WO2006134952A1 (en) | 2005-06-13 | 2006-06-07 | Perpendicular magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005172201A JP2006351055A (ja) | 2005-06-13 | 2005-06-13 | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006351055A true JP2006351055A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37646747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005172201A Pending JP2006351055A (ja) | 2005-06-13 | 2005-06-13 | 垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006351055A (ja) |
CN (1) | CN100543843C (ja) |
TW (1) | TW200643924A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008176858A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 垂直磁気記録媒体、及びそれを用いたハードディスクドライブ |
WO2009048045A1 (ja) * | 2007-10-07 | 2009-04-16 | Hoya Corporation | 垂直磁気記録媒体 |
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US8431257B2 (en) | 2009-03-30 | 2013-04-30 | Wd Media (Singapore) Pte. Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium |
US8440332B2 (en) | 2008-04-08 | 2013-05-14 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage device using the same |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7470474B2 (en) * | 2003-04-07 | 2008-12-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus including both oxide and non-oxide perpendicular magnetic layers |
-
2005
- 2005-06-13 JP JP2005172201A patent/JP2006351055A/ja active Pending
- 2005-12-27 TW TW094146796A patent/TW200643924A/zh not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-06-07 CN CNB2006800207994A patent/CN100543843C/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200643924A (en) | 2006-12-16 |
CN101194306A (zh) | 2008-06-04 |
TWI312508B (ja) | 2009-07-21 |
CN100543843C (zh) | 2009-09-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090818 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091014 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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