JP2000273700A - 表面処理液の制御方法および表面処理システム - Google Patents

表面処理液の制御方法および表面処理システム

Info

Publication number
JP2000273700A
JP2000273700A JP11077141A JP7714199A JP2000273700A JP 2000273700 A JP2000273700 A JP 2000273700A JP 11077141 A JP11077141 A JP 11077141A JP 7714199 A JP7714199 A JP 7714199A JP 2000273700 A JP2000273700 A JP 2000273700A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
nickel
plating solution
soln
surface treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11077141A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Muramatsu
仁 村松
Hidesumi Kato
英純 加藤
Tetsuya Kuroda
徹也 黒田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzuki Motor Corp
Original Assignee
Suzuki Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzuki Motor Corp filed Critical Suzuki Motor Corp
Priority to JP11077141A priority Critical patent/JP2000273700A/ja
Publication of JP2000273700A publication Critical patent/JP2000273700A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気的手法によってメッキやメッキ前処理を
施す場合に、メッキ液やメッキ前処理液を適正に管理・
制御するための表面処理液の制御方法および表面処理シ
ステムを提供する。 【解決手段】 表面処理に用いるメッキ液の通電量を計
測しつつ、メッキ処理により減少した金属材の量に相当
する金属塩を該メッキ液に補給するとともに、メッキ処
理の電極として不溶性陽極を用いることを特徴とする表
面処理液の制御方法、並びに、メッキ槽と金属塩を供給
するフィーダーと電極と該メッキ槽内のメッキ液を分析
するメッキ薬品濃度分析装置とを備えており、該メッキ
薬品濃度分析装置によるメッキ液分析データをフィード
バックして、メッキ薬品を補給することを特徴とする表
面処理システム。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面処理液の制御
方法および表面処理システムに関する。さらに詳しく
は、電気的手法によってメッキやメッキ前処理を施す場
合に、メッキ液やメッキ前処理液を適正に管理・制御す
るための表面処理液の制御方法および表面処理システム
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、自動車用エンジンの軽量化のた
め、アルミ合金製のシリンダブロックが採用されてい
る。この場合、シリンダボアの耐摩耗性を向上させるた
め、シリンダにはニッケルなどの硬質めっきが一般に施
されている。そのメッキ方法としては、ワークを処理液
槽に浸漬させて表面処理を行う方法、あるいは、最近で
は被処理面であるシリンダボアにのみ処理液を導入し
て、高速で流動させながら表面処理を行う方法などがあ
る。上記のうち、処理液をポンプにより被処理面に流動
させる方法は、メッキを高速で行うことが可能であると
ともに、処理液槽などの設備を小型化することができる
点では優れている。ところが、高速で処理する場合に
は、各処理薬品の消費量が著しいため、処理液の濃度管
理が困難になるという問題があった。そこで、表面処理
液の自動管理を行うことが好ましく、例えば特開平7−
278898号公報記載の方法のように、ニッケルめっ
き液のpHを測定して炭酸ニッケルの補給をする方法が
提案されている。
【0003】例えばニッケルめっきにおいては、メッキ
処理を連続して行うとニッケルの析出に伴い、メッキ液
中のニッケルイオンが減少する。よって、メッキ液中に
はスルファミン酸イオンや硫酸イオン等の酸イオンの相
対濃度が高くなるため、メッキ液のpH値は徐々に低下
してしまう。しかしながら、pH値の変動は必ずしもニ
ッケルイオン濃度と相関があるわけではなく、図3のグ
ラフに示すように、pH値の低い領域(例えばpH2程
度)においては、メッキ処理によりニッケルイオンが減
少しているにもかかわらずpH値の変化はほとんど見ら
れない。つまり、低pH値の領域でメッキを行う場合に
は、pH値を計測することによるメッキ液の管理は、精
度が低いという問題点があった。
【0004】上記特開平7−278898号公報記載の
方法で用いられる陽極は、溶解性ニッケルペレットを充
填するため2重パイプ構造となっており、このペレット
がメッキ液中に溶出して、メッキ液中にニッケルが補給
される。このような方法では、陽極構造が複雑なだけで
なく、ニッケルペレットを自動的に補給することが困難
であった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記問
題点に鑑み、高速処理を行うメッキにおいて、低pH領
域においても精度良く自動計測を行い、かつ、迅速で的
確なニッケル補給が可能となる表面処理液の制御方法お
よびその装置を開発すべく、鋭意検討した。その結果、
本発明者らは、表面処理を行うメッキ液の通電量を計測
しながら、メッキ処理により減少した金属材の量に相当
する金属塩を該メッキ液に補給すること、さらにメッキ
処理用の電極として不溶性陽極を用いることによって、
かかる問題点が解決されることを見い出した。本発明
は、かかる見地より完成されたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、表
面処理に用いるメッキ液の通電量を計測しつつ、メッキ
処理により減少した金属材の量に相当する金属塩を該メ
ッキ液に補給するとともに、メッキ処理用の電極として
不溶性陽極を用いることを特徴とする表面処理液の制御
方法を提供するものである。本発明の方法では、上記金
属材としてニッケル、金属塩として炭酸ニッケルを用い
ることが好適である。そして、炭酸ニッケルの補給量
は、メッキ液におけるニッケルの析出効率を含めて決定
されることが好ましい。また、本発明は、メッキ槽と、
金属塩を供給するフィーダーと、電極と、該メッキ槽内
のメッキ液を分析するメッキ薬品濃度分析装置とを備え
ており、該メッキ薬品濃度分析装置によるメッキ液分析
データをフィードバックして、メッキ薬品を補給するこ
とを特徴とする表面処理システムを提供するものであ
る。ここで、 上記メッキ薬品の補給に際しては、上記
メッキ薬品濃度分析装置に接続され、かつ、メッキ液通
電量により制御されるメッキ薬品補給装置を用いること
が好適である。
【0007】本発明では、高速処理を行うメッキにおい
て、低pH領域においても精度良く自動計測を行い、か
つ、ニッケル補給が可能である。本発明によれば、メッ
キ通電量の自動計測により、ニッケル減少量が正確に計
測可能であり、低pH領域でも運転が可能である。ま
た、不溶性陽極を用いることによって、ニッケルペレッ
トの補給が不要であり、流路が広くなり、流量を多くで
きる。また、本発明によれば、リアルタイムで不足薬品
を補給できるため、メッキ液管理精度が著しく向上する
とともに、ニッケルイオン濃度のコントロール精度を高
めることができる。以下、本発明について、詳細に説明
する。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、ニ
ッケルメッキを一例として詳細に説明する。メッキ処理
することによって減少したニッケルの補給方法として、
炭酸ニッケル粉末をメッキ液へ溶解させる方法がある。
この炭酸ニッケルは、メッキ液に溶解すると炭酸ガスが
放出され、ニッケルイオンのみがメッキ液に供給される
ので、他のニッケル塩に比べてメッキ液組成の変質や不
純物イオンの混入が少ないという利点がある。
【0009】ここで、炭酸ニッケルはその溶解度が低い
ため、ニッケルイオン補給を十分に行うには、メッキ液
のpHが低い領域で処理を行う必要がある。すなわち、
メッキ処理を連続して行うと、メッキ液中のニッケルイ
オンが減少するとともにスルファミン酸イオンや硫酸イ
オンなどの酸イオンの相対濃度が高くなるために、メッ
キ液のpH値は次第に低下してくる。一方、図3のグラ
フに示すようにpHの低い領域においては、メッキするこ
とによるpHの変動が極めて小さいため、通常のpH測定
法ではメッキ液の自動管理は困難である。また、炭酸ニ
ッケルをメッキ液に溶解させた場合、pHの変動にはタ
イムラグが生じる。図4のグラフには、pH1.51のめっ
き液2リットルに炭酸ニッケル120gを投入した際のメッ
キ液のpH変動を示した。図4から明らかなように、炭
酸ニッケル投入後、pH変動が安定するまでには20分
以上かかってしまい、被メッキ物であるワーク(例えば
シリンダブロック等)を高速メッキで連続処理するに
は、pHモニタリングによる自動管理システムは適して
いない。
【0010】本発明の制御方法では、メッキ電源の通電
量をモニタリングし、積算通電量から算出した理論ニッ
ケル量を炭酸ニッケル粉末としてメッキ液に補給する。
これにより、低pH領域においてもニッケルイオンの減
少量を正確に計測できるため、炭酸ニッケル粉末の溶解
性の良好な低pH領域におけるメッキ処理が可能とな
る。一般に、メッキ処理方法は、電気メッキと無電解メ
ッキとに分けられる。電気的手法によりニッケルなどの
メッキ処理を行う場合、メッキにより消費されるイオン
の補給には溶解性ペレットが用いられる。この方法で
は、陽極内に充填されているニッケルペレットが、通電
によってメッキ液中にイオンとして溶出することでメッ
キ液中のニッケルが補われるようになっている。
【0011】ニッケルペレットは表面が不導体化する場
合があり、そのような場合にはニッケルイオンの溶出が
起こらず、メッキ液中のニッケルイオン濃度が減少する
不具合が生じる。また、陽極内へペレットを供給する必
要があり、自動化ラインにはペレット補給装置を組み込
まねばならず、装置が複雑でコストアップとなってしま
う。特にシリンダブロックのボア内へめっき液を流動さ
せて高速メッキを行う際には、陽極がメッキ液の流入ま
たは流出路となっている。この陽極内に、ニッケルペレ
ットを充填させる構造にすると、メッキ液流路が狭くな
ってしまうため、メッキ液の流量が少なくなるので高速
メッキに好ましくない。このようなことから、本発明に
おいては、陽極は単純なパイプ形状の不溶性陽極を用い
る。陽極材質は特に限定されることなく、通常用いられ
る材料を用いることができるが、具体的には、例えばス
テンレスやチタン等の材質を使用すれば良く、さらに、
その表面に導電性を向上させるために白金めっき等を施
すことがより好ましい。以下、本発明をより詳細に説明
するが、本発明はこれらの実施の形態によって何ら限定
されるものではない。
【0012】実施の形態(その1) 図1に、本発明の制御方法を用いるメッキ処理システム
の一例の概略図を示す。被めっき物であるワーク1(シ
リンダブロック等)は、ワーク支持台2上へ載置され、
上部からエアシリンダーなどによって駆動するシール治
具17を抑圧することで、シールおよび固定される。メ
ッキ液はメッキ槽7からポンプ5により圧送され、メッ
キ液導入管4,更に流路を兼ねてパイプ形状とした電極
3を経由して、被処理物であるシリンダボア内まで運ば
れる。シリンダボアを通ったメッキ液は、ワーク支持台
2内を通過してメッキ液導出管6から補給槽8へ戻され
る。
【0013】補給槽8はメッキ槽7と連通しており、オ
ーバーフローまたは循環ポンプ(図示せず)によってメ
ッキ槽7および補給槽8内のメッキ液が混合される構造
となっている。この補給槽8は必要に応じて使用すれば
よく、補給槽8を用いずメッキ槽7のみからなる構造で
もよい。ワーク1および電極3は、リード線10により
電源9に連結されている。メッキの場合は、ワーク1を
−極、電極3を+極へそれぞれ接続する。陽極酸化や電
解エッチングの前処理をする場合は、ワーク1を+極、
電極3を−極へそれぞれ接続する。電源9からの通電量
の信号は、入力ケーブル14(BNCコード等)を通して
アナログ/デジタルコンバータ12へ入力され、デジタ
ル値に変換された後に制御コンピュータ13へ取り込ま
れる。制御コンピュータ13では、一定時間の積算通電
量を計測し、この積算通電量(電流値)から炭酸ニッケ
ル補給量を算出する。算出された炭酸ニッケル補給量
は、出力ケーブル15(RS−232C等)からフィー
ダ11へ転送される。フィーダ11では、転送されたデ
ータに基づいて炭酸ニッケル粉末を補給槽8へ供給す
る。補給槽8には炭酸ニッケル粉末の溶解を促進させる
ために、撹拌プロペラ16を設置すると効果的である。
【0014】ここで、本処理システムにおいて実行され
るコンピュータプログラムを、図2にフロー図として示
す。システムの立ち上げを行うと、まずフィーダが初期
設定される。これによりフィーダがマニュアル操作から
コンピュータによるリモート操作状態に設定され、制御
コンピュータ13からの命令待ち状態になる。次いで、
電源からの通電量信号の入力を開始する。メッキスター
トまでは、通電量ゼロが入力される。電源には、ワーク
1に流れている電流値を表示すると同時に、電流値に対
応する電圧信号出力を行うメータが設置されている。例
えば、電流値0〜1000Aを0〜1Vへ換算して出力
する場合、コンピュータが0.350Vの入力信号を得
たときには、実際のワークには350Aの電流が流れて
いることになる。
【0015】そして、メッキを開始する。それと同時
に、通電量がコンピュータ13のメモリーへ積算されて
いく。電流値入力信号のサンプリングは、できるだけ頻
繁に行うの方が好ましく、例えば約1秒間隔程度が良
い。そしてコンピュータの内部クロックの割込み時間に
なるまで、ルーチンAの積算を繰り返す。クロック割込
み時間はあらかじめ設定しておくが、1分以内が良い。
クロック割込み時間になると、炭酸ニッケル粉末補給の
ルーチンBへと移行する。前回の割り込みから今回の割
り込みまでの積算通電量より、炭酸ニッケル粉末の補給
量を計算する。例えばニッケルめっきの場合、下式
(1)の反応でニッケルが析出する。
【0016】
【化1】 すなわち、
【0017】
【数1】
【0018】の通電量で、ニッケル1モル(58.7g)が析
出することになる。つまり1A・min.あたりでは、58.7/
3217によりO.01825gのニッケル補給が必要とされる。
例えば、350A・min.の通電量があり、金属ニッケル含有
量40%の炭酸ニッケルを補給する場合、
【0019】
【数2】
【0020】により、16.0gの炭酸ニッケルをフィ
ーダから補給すればよいことになる。また、不溶性陽極
を用いた際のニッケルめっきにおける各電極表面の反応
は、ワークである陰極では下式(2)、陽極では下式
(3)のようになる。
【0021】
【化2】
【0022】そして、低pH領域のメッキでは、ワーク
である陰極における副反応として下式(4)の反応が起
きる。
【化3】
【0023】上記(4)式の反応によりニッケル析出効
率が下がるとともに、水素イオンが消費されるためにp
Hの減少が抑制される。メッキ液のpHが低い程、ニッ
ケル析出効率は下がる傾向にある。実際の炭酸ニッケル
の補給においては、このニッケル析出効率を加味する必
要があり、予め制御コンピュータ13にインプットして
おき、その都度計算する。上記補給例において、例えば
pH4.0,ニッケル析出効率97%の場合には、1
6.0gに0.97を掛けた15.5gの炭酸ニッケル
を補給すればよく、例えばpH2.5,ニッケル析出効
率78%の場合には、16.0gに0.78を掛けた1
2.5gの炭酸ニッケルを補給すればよい。
【0024】実施の形態(その2) また、本発明による制御精度を高めるために、メッキ薬
品濃度分析装置およびメッキ薬品補給装置を処理システ
ムに導入することもできる。メッキ処理による生産時
に、ワークに付着したメッキ液が持ち出されることで、
メッキ薬品濃度が減少する。また、特に電極近傍などで
pHが極端に低くなると、スルファミン酸イオンがアン
モニウムイオンと硫酸イオンとに分解してしまうといっ
た分解反応などの劣化によってもメッキ薬品濃度が減少
する場合がある。そこで、メッキ薬品濃度分析およびメ
ッキ薬品補給装置を設けることが好ましく、以下、図1
に基づいて説明する。
【0025】先ず、メッキ液サンプリング管18を通し
て、メッキ槽7からメッキ液をサンプリングする。キャ
ピラリー電気泳動装置などの薬品濃度分析装置19で各
メッキ薬品濃度を分析後、その分析結果を制御コンピュ
ータ13にフィードバックして補給量を求め、薬品補給
装置から所定量のメッキ薬品を補給槽8又はメッキ槽7
へ補給する。補給する薬品は、スルファミン酸、硫酸、
ホウ酸およびメッキ添加剤であるサッカリンナトリウム
や次亜リン酸などである。スルファミン酸、硫酸および
ホウ酸などをメッキ液へ添加すると、メッキ液のpHが
大幅に低下するが、従来のpHモニタリングによる自動
管理システムでは、メッキ薬品補給によるpH低下とニ
ッケルイオン析出反応(ニッケルイオンの減少)による
pH低下を識別できないといった不具合が生じ得る。そ
の点、本実施の形態における通電量モニタリングによる
管理システムにおいては、メッキ薬品添加の影響は全く
受けないので、高精度の自動管理・補給を行うことがで
きる。
【0026】
【発明の効果】本発明では、メッキ通電量の自動計測に
より、ニッケル減少量が正確に計測可能であり、低pH
領域でも運転が可能である。また、不溶性陽極を用いる
ことによって、ニッケルペレットの補給が不要であり、
流路が広くなり、流量を多くできる。また、本発明によ
れば、リアルタイムで不足薬品を補給できるため、メッ
キ液管理精度が著しく向上する。さらに、本発明によれ
ば、ニッケルイオン濃度のコントロール精度を高めるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の制御方法を用いるメッキ処理
システムの一例を示す概略図である。
【図2】図2は、本処理システムにおいて実行されるコ
ンピュータプログラムの一例を示すフロー図である。
【図3】図3は、195リットルの浴で370Aにてメ
ッキした場合のメッキ時間に対するpHの変化をプロッ
トしたグラフである。
【図4】図4は、pH1.51のめっき液2リットルに
炭酸ニッケル120gを投入した際のメッキ液のpH変
動を示したグラフである。
【符号の説明】
1 ワーク 2 ワーク支持台 3 電極 4 メッキ液導入管 5 ポンプ 6 メッキ液導出管 7 メッキ槽 8 補給槽 9 電源 10 リード線 11 フィーダー 12 アナログ/デジタルコンバーター 13 コンピューター 14 入力ケーブル 15 出力ケーブル 16 撹拌プロペラ 17 シール治具 18 メッキ液サンプリング管 19 薬品濃度分析装置(pH分析含む) 20 薬品補給装置 21 薬品補給管 A ルーチンA B ルーチンB
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒田 徹也 静岡県浜松市高塚町300番地 スズキ株式 会社内 Fターム(参考) 4K023 AA12

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面処理に用いるメッキ液の通電量を計
    測しつつ、メッキ処理により減少した金属材の量に相当
    する金属塩を該メッキ液に補給するとともに、メッキ処
    理の電極として不溶性陽極を用いることを特徴とする表
    面処理液の制御方法。
  2. 【請求項2】 上記金属材がニッケルであり、上記金属
    塩として炭酸ニッケルを用いることを特徴とする請求項
    1記載の表面処理液の制御方法。
  3. 【請求項3】 上記炭酸ニッケルの補給量が、メッキ液
    におけるニッケルの析出効率を含めて決定されることを
    特徴とする請求項2記載の表面処理液の制御方法。
  4. 【請求項4】 メッキ槽と、金属塩を供給するフィーダ
    ーと、電極と、該メッキ槽内のメッキ液を分析するメッ
    キ薬品濃度分析装置とを備えており、該メッキ薬品濃度
    分析装置によるメッキ液分析データをフィードバックし
    て、メッキ薬品を補給することを特徴とする表面処理シ
    ステム。
  5. 【請求項5】 上記表面処理システムにおけるメッキ薬
    品の補給に際し、上記メッキ薬品濃度分析装置に接続さ
    れ、かつ、メッキ液通電量により制御されるメッキ薬品
    補給装置を用いることを特徴とする請求項4記載の表面
    処理システム。
JP11077141A 1999-03-23 1999-03-23 表面処理液の制御方法および表面処理システム Pending JP2000273700A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11077141A JP2000273700A (ja) 1999-03-23 1999-03-23 表面処理液の制御方法および表面処理システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11077141A JP2000273700A (ja) 1999-03-23 1999-03-23 表面処理液の制御方法および表面処理システム

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008229648A Division JP2008291368A (ja) 2008-09-08 2008-09-08 表面処理液の制御方法および表面処理システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000273700A true JP2000273700A (ja) 2000-10-03

Family

ID=13625535

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11077141A Pending JP2000273700A (ja) 1999-03-23 1999-03-23 表面処理液の制御方法および表面処理システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000273700A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001234382A (ja) * 2000-02-16 2001-08-31 Memory Tec Kk ニッケル電鋳方法及び装置
JP2006324094A (ja) * 2005-05-18 2006-11-30 Asahi Glass Co Ltd 固体高分子形燃料電池用膜の製造方法及び固体高分子形燃料電池用膜電極接合体の製造方法
WO2014038401A1 (ja) * 2012-09-10 2014-03-13 ヤマハ発動機株式会社 鉄めっき装置
CN109537037A (zh) * 2018-11-28 2019-03-29 厦门建霖健康家居股份有限公司 一种加药的装置和加药方法
JP2020193383A (ja) * 2019-05-30 2020-12-03 長野県 電気ニッケルめっき液中の添加剤濃度推定方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001234382A (ja) * 2000-02-16 2001-08-31 Memory Tec Kk ニッケル電鋳方法及び装置
JP2006324094A (ja) * 2005-05-18 2006-11-30 Asahi Glass Co Ltd 固体高分子形燃料電池用膜の製造方法及び固体高分子形燃料電池用膜電極接合体の製造方法
WO2014038401A1 (ja) * 2012-09-10 2014-03-13 ヤマハ発動機株式会社 鉄めっき装置
JP2014051722A (ja) * 2012-09-10 2014-03-20 Yamaha Motor Co Ltd 鉄めっき装置
CN109537037A (zh) * 2018-11-28 2019-03-29 厦门建霖健康家居股份有限公司 一种加药的装置和加药方法
JP2020193383A (ja) * 2019-05-30 2020-12-03 長野県 電気ニッケルめっき液中の添加剤濃度推定方法
JP7291911B2 (ja) 2019-05-30 2023-06-16 長野県 電気ニッケルめっき液中の添加剤濃度推定方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100290616B1 (ko) 연속전기도금에있어서도금액성분의농도제어방법
JPH08501827A (ja) 銅の電解メッキ方法及び装置
CN112714803B (zh) 不溶性阳极酸性电镀铜的镀液生产和再生工艺及装置
US5182131A (en) Plating solution automatic control
CN102227628B (zh) 用于控制无电镀金属和金属合金镀用电解液中稳定添加剂的方法
JP2000273700A (ja) 表面処理液の制御方法および表面処理システム
JP2801670B2 (ja) 不溶性陽極を用いた銅めっき浴の組成制御方法
CN101492831B (zh) 电镀用阳极装置及包括该阳极装置的电镀装置
JP2008291368A (ja) 表面処理液の制御方法および表面処理システム
KR20000006292A (ko) 전기화학적처리플랜트에서전해질의제조및보충용플랜트및방법
JPH04362199A (ja) 電気めっき装置
CN211848201U (zh) 一种管控铜离子浓度的电镀铜设备
CN103108995A (zh) 镍pH值调整方法及设备
CN209798104U (zh) 一种碱性化学镍自动分析添加系统
CN107858714A (zh) 一种酸性电镀铜工艺
US4284482A (en) Palladium treatment procedure
US5200047A (en) Plating solution automatic control
JPH06158397A (ja) 金属の電気メッキ方法
JPH0674520B2 (ja) Ni−W合金連続めっき用電解浴補給液
JPH06240474A (ja) 銅または銅合金のエッチング方法および装置
JPH07316896A (ja) めっき液中への金属イオンの補給方法およびその装置
JPS63317698A (ja) 電気めっき液の金属イオン濃度と水素イオン濃度の制御装置
US20240125730A1 (en) Non-reagent chloride analysis in acid copper plating baths
JP2013252508A (ja) 酸化態窒素の除去方法
JP3157678U (ja) 電解めっきシステム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060221

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060901

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080411

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080606

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080711