JP2001234382A - ニッケル電鋳方法及び装置 - Google Patents

ニッケル電鋳方法及び装置

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JP2001234382A JP2000037552A JP2000037552A JP2001234382A JP 2001234382 A JP2001234382 A JP 2001234382A JP 2000037552 A JP2000037552 A JP 2000037552A JP 2000037552 A JP2000037552 A JP 2000037552A JP 2001234382 A JP2001234382 A JP 2001234382A
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anode
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電解液中にスラッジが生じないようにし、ス
タンパの品質を向上させる。 【解決手段】 陽極を不溶性の陽極とすると共に、電解
液中にニッケルイオンを補充しつつ電鋳を行う。陽極が
溶解しないので、スラッジが生じず、スタンパの品質が
向上する。不溶性の陽極としては、白金、酸化イリジウ
ム等を用いることができる。また、電解液としてはスル
ファミン酸ニッケル水溶液、電解液中のニッケルイオン
の補充はスルファミン酸ニッケル四水和物を用いること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクやレコ
ードを量産するためのニッケル製のスタンパを製造する
場合などに用いることのできるニッケル電鋳方法及び装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】ニッケル製のスタンパは、上面にフォト
レジストにより記録層を形成しその表面に導電処理を施
したガラス原盤にニッケルを電鋳することで製造され
る。スタンパにはガラス原盤の記録層が転写される。ス
タンパを電鋳するには、例えば図4に示すようなニッケ
ル電鋳装置が用いられる。
【0003】図4のニッケル電鋳装置40は電鋳槽41
と予備槽42とを有する。電解液Lは循環手段である配
管43、44により予備槽42から電鋳槽41を通り予
備槽42に戻るように循環する。すなわち、電解液は配
管43を通り、ポンプPからフィルターF又は活性炭フ
ィルターCを通って不純物を濾過され電鋳槽41に強制
的に送り込まれる。電鋳槽41をオーバーフローした電
解液は配管44を通り再び予備槽42に戻る。電解液と
しては、通常スルファミン酸ニッケルが用いられる。電
鋳槽41には電解液中にガラス原盤Gなどの陰極である
ワークを保持する陰極治具が設けられている。陰極治具
45はワーク表面に効率よく電解液を接触させるために
回転する。電鋳槽41の電解液中には、陰極に対向して
陽極が設けられている。陽極はケース46の中に充填さ
れたニッケルペレット47などの溶解性のものである。
ケース46の上面はスラッジが電鋳槽内に入り込まない
ようにろ布48が貼付されている。
【0004】電鋳槽41の陽極と陰極との間に通電する
と、次のとおりの化学反応が起こり、陽極(ニッケルペ
レット)のニッケルは電解液にニッケルイオンとして溶
け込み、陰極のワーク表面に析出し電鋳が行われる。 (1)電解液中における反応 電解液中では陽極においてNi(SO3・NH2)2 として
溶け出したニッケルがイオン状態に解離する。 Ni(SO3・NH2)2 → Ni2++2SO3・NH2 (2)陰極における反応 陰極においては溶解液中のニッケルイオンに電子が供給
されてワーク上に金属ニッケルが析出する。 Ni2++2e → Ni (3)陽極における反応 陽極においては陽極のニッケルが電子を奪われることで
電解液中に溶け出す。 Ni+2SO・NH −2e → Ni(SO3・NH
2)2
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなニッケル
ペレットなどの溶解性の陽極を用いる従来のニッケル電
鋳方法及び装置には次のような問題点がある。本発明は
このような課題を解決するためになされたものである。 電鋳の進行と共に陽極が溶け出してその形状が変化
するので、スタンパの厚さ分布にばらつきが生じる。 陽極が溶解するときにスラッジが生じ、これにより
溶解液が汚染されるので、定期的に溶解液の交換や電鋳
槽の清掃を行わなければならない。 スラッジが溶解液中に拡散するのを防ぐために陽極
をろ布等のフィルター類で覆わなければならず、このた
め電流効率が悪化する。 ニッケルペレットに溶解促進のために配合されてい
るが、このイオウが溶解液中に解け出し、スタンパに含
まれてしまうので、スタンパの品質が低下する。 陽極に生じるカーボンにより電流効率が悪化する。 電解槽の中に重量の大きなニッケルペレットを多量
に収納するので、装置が大型となる。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、電解液中に保
持された陰極のワークと、電解液中でワークに対向して
設けられた陽極とを有する電鋳槽において、該陽極とワ
ークに通電してニッケルをワークに析出させるニッケル
電鋳方法において、陽極を不溶性の陽極とすると共に、
電解液中にニッケルイオンを補充しつつ電鋳を行うこと
を特徴とするニッケル電鋳方法である。
【0007】この場合、不溶性の陽極としては、白金、
酸化イリジウム等を用いることができるが、電鋳層(ス
タンパ)の厚さ分布を調整できるように、陽極の形状を
変化させられる酸化イリジウムとすることが好ましい。
また、電解液としてはスルファミン酸ニッケル水溶液、
電解液中のニッケルイオンの補充はスルファミン酸ニッ
ケル四水和物を用いることができる。
【0008】電解液としてスルファミン酸ニッケル水溶
液を用いた場合、陽極と陰極との間に通電すると、次の
とおりの化学反応が起こり、陽極のニッケルは電解液に
ニッケルイオンとして溶け込み、陰極のワーク表面に析
出し電鋳が行われる。 (1)電解液中における反応 電解液中ではNi(SO3・NH2)2 がイオン状態に解離
する。 Ni(SO3・NH2)2 → Ni2++2SO3・NH2 (2)陰極における反応 陰極においては溶解液中のニッケルイオンに電子が供給
されてワーク上に金属ニッケルが析出する。この反応は
従来の溶解性陽極を用いた場合と同じである。 Ni2++2e → Ni (3)陽極における反応 Ni(2SO3・NH2−4e → Ni2++SO3・NH−HN・SO3 2−+2H−2e …(a) → Ni2++SO3・N=N・SO3 2−+4H+ …(b) 上記化学式(a)において、SO3・NH2は電子が奪わ
れることで中間体であるヒドラジンスルフォン酸と水素
イオンに分解する。上記化学式(b)において、中間体
であるヒドラジンスルフォン酸はさらに酸化されてアゾ
ジスルフォン酸と水素イオンに分解される。アゾジスル
フォン酸は電解液中で下記の化学式(c)のように紫外
線のもとで加水分解し、HSO3、HSO4、及び窒素ガ
スとなる。
【0009】本発明においてはニッケル化合物の水溶液
である電解液の中のニッケルイオンが陰極に析出し、電
鋳が行われるので、電解液の中にニッケルイオンを補充
しなければならない。ニッケルイオンの補充は、スルフ
ァミン酸ニッケル四水和物を溶解液に混合することで行
うことができる。スルファミン酸ニッケル四水和物は溶
解しやすいので最も好適である。ニッケルイオンの補充
としては炭酸ニッケルなどのニッケル化合物を用いるこ
ともできるが、溶解性で劣る。
【0010】一般にニッケル電鋳においては、電鋳の進
行に伴って電解液のpHが変化し、電鋳の効率が悪くな
るので、電鋳の進行に合わせて電解液中にpH調整物質
を混合し、常にpHの適性範囲を外れないようにするこ
とが望ましい。pH調整物質としては、スルファミン酸
(pH低下物質)、炭酸ニッケル(pH上昇物質)など
がある。
【0011】また本発明は、電鋳槽と、電鋳槽の電解液
中にワークを保持する陰極と、電鋳槽の電解液中に陰極
に対向して設けられた不溶性の陽極と、電解液中にニッ
ケルイオンを補充するニッケルイオン補充手段とを備え
たことを特徴とするニッケル電鋳装置である。この装置
は上記の本発明のニッケル電鋳方法を実施するための装
置である。したがって、不溶性の陽極としては、白金、
酸化イリジウム等を用いることができ、電解液としては
スルファミン酸ニッケル水溶液、電解液中のニッケルイ
オンの補充するにはスルファミン酸ニッケル四水和物を
用いることができる。また、電解液のpHを調整するた
めに電解液中にpH調整物質を混合するpH調整手段を
設けることが望ましい。
【0012】電鋳槽の基本的な構造は不溶性陽極を除い
て従来のものと同じである。不溶性の陽極はワークとほ
ぼ同じ形状、大きさの板状のものを用いることが望まし
い。
【0013】本発明装置は、電解液の予備槽を設け、電
解液循環手段により電解液が予備槽から電鋳槽を通り予
備槽に戻るようにすることが望ましい。予備槽を設ける
ことによって、予備槽から電鋳槽に送られる間に電解液
をフィルターなどで清浄化し電解槽の中の電解液を常に
清浄なものとすることができるし、予備槽においてニッ
ケルイオンの供給量やpHなどを調整して電解槽中の電
解液を常に理想的な状態に保つことができる。したがっ
て、ニッケルイオン補充手段及びpH調整手段は電解槽
に設けることも可能であるが、予備槽を設けた場合には
予備槽に設けるほうが好ましい。
【0014】本発明装置には、電解液に紫外線を照射す
る紫外線照射手段を設けることができる。電解液に紫外
線を照射することで、電解液中における上記(c)のよ
うにアゾジスルフォン酸を分解することができる。アゾ
ジスルフォン酸はメッキ金属性質に影響を与える(金属
をもろくする)から、紫外線によって分解させることに
よって、スタンパの品質を向上できる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例であるニッ
ケル電鋳装置に関する図面に基づいて本発明を詳細に説
明する。図1は実施例のニッケル電鋳装置1の説明図、
図2はpH調整手段9の説明図、図3は電鋳槽30の説
明図である。
【0016】図1に示すニッケル電鋳装置は光ディスク
を量産するためのスタンパを電鋳により製造する装置
で、電鋳槽2、予備槽7、ニッケルイオン補充手段8、
pH調整手段9、紫外線照射手段10等を有する。電鋳
槽2において、陰極のワークであるガラス原盤Gが陰極
治具4に装着され、また、ガラス原盤Gに対向して不溶
性の陽極3が設けられ、これらのガラス原盤G及び陽極
3は完全に電解液Lの中に没している。陽極3は酸化イ
リジウムの薄い円盤で、その大きさはガラス原盤Gの大
きさとほぼ同じである。陰極治具4は電鋳槽内で回転す
る周知のものである。
【0017】本実施例においては電解液Lはスルファミ
ン酸ニッケルの水溶液を用いている。電解液Lは電解液
循環手段である配管5、6により予備槽7と電鋳槽2と
を循環する。すなわち、予備槽7の中の電解液Lは配管
5を通り電鋳槽2の中に供給され、電鋳槽2をオーバー
フローした電解液Lは配管6を通って予備槽7に戻る。
図1の配管5における符号Pはポンプ、Fはろ布などの
フィルター、Cは活性炭フィルターを表している。電解
液はこれらのフィルターを経て電解槽内に供給されるの
で、電解槽内には常に清浄な電解液が供給される。
【0018】予備槽7にはニッケルイオン補充手段8、
pH調整手段9、紫外線照射手段10が設けられてい
る。ニッケルイオン補充手段8は、粉体のスルファミン
酸ニッケル四水和物を所定時間当たり所定量を電解液L
中に投入するものである。このような具体的手段は周知
であるのでここでは詳細を説明しない。溶解液Lに加え
られたスルファミン酸ニッケル四水和物は溶解しニッケ
ルイオンを補充する。
【0019】pH調整手段9はpH調整物質である炭酸
ニッケルを電解液L中に投入するものである。炭酸ニッ
ケルは水に溶けにくい物質であるが、図2に示すpH調
整手段9を用いることで容易に電解液に溶け込ませるこ
とができる。pH調整手段9は外箱13内に軸着された
筒体14がモーター16で回転するものである。筒体1
4の外周面には開放している部分があり、その開放して
いる部分にはろ布15が貼られている。筒体14の内部
には導入管17から少しずつ炭酸ニッケルが供給され
る。外箱13には配管18から電解液Lが供給され、炭
酸ニッケルが溶け込んだ電解液は吐出口19から予備槽
7に供給される。外箱13内の電解液Lの液面は筒体1
4の外周面が浸るようにほぼ一定に保たれている。筒体
14内において、筒体14の回転により炭酸ニッケルが
電解液Lと撹拌され、電解液への溶解が助長される。溶
解した炭酸ニッケルを含む電解液はろ布15から筒体の
外側に浸み出て吐出口19から予備槽7に供給される。
【0020】電解液Lは、ポンプPにより配管11を通
って紫外線照射手段10内に導かれる。この実施例の紫
外線照射手段10は、通常「UVフィルター」と呼ばれ
る周知のもので、内部に紫外線ランプが組み込まれてい
る。紫外線照射手段10に入った電解液には紫外線ラン
プにより紫外線が照射され、上記の化学式(c)の反応
が進行する。紫外線を照射された電解液は配管12を通
って予備槽7内に戻る。
【0021】ニッケル電鋳装置1において、陰極のガラ
ス原盤Gと陽極3に通電すると、陰極のガラス原盤上に
おいてはニッケルが析出することで電鋳が行われ、陽極
においては上記の化学式(a)(b)の反応によりアゾ
ジスルフォン酸が生成され、更にこれは電解液中で上記
化学式(c)の反応によりHSO3とHSO4となる。
【0022】本発明のニッケル電鋳装置に用いる電鋳槽
は、図1の回転式の陰極治具を有するものに限るもので
はなく、図3に示すような陰極が回転しない電鋳槽を用
いることもできる。図3は上段に電鋳槽30の縦断面
を、下段に電鋳槽30の横断面を示している。電鋳槽3
0は蓋の部分に陰極であるガラス原盤Gが装着され、こ
れと対向して不溶性の陽極31が設置されている。電鋳
槽30内には配管32により清浄な電解液Lが充満して
おり、電解液Lは配管33により予備槽に還流する。配
管32は、図3の下段に示すように、半径方向と傾きを
持った角度で装着されているので、電鋳槽30内に供給
された電解液は電鋳槽内で渦巻き流となり、ガラス原盤
を回転させた場合と同様にガラス原盤Gの表面に接触す
る。
【0023】
【発明の効果】本発明のニッケル電鋳方法及びニッケル
電鋳装置は次のような効果を有する。 電鋳の進行と共に陽極が溶け出さないので、その形
状が変化することがなく、電鋳層(スタンパ)の厚さ分
布にばらつきが生じにくい。 陽極が溶解しないので電鋳層内にスラッジが生な
い。したがって、電鋳槽の清掃がほとんど不要である。 陽極をろ布等のフィルター類で覆う必要がないので
電流効率が良い。 ニッケルペレットを用いないのでイオウが電鋳層
(スタンパ)に混入せず、スタンパの品質が向上する。 陽極にカーボンが生じないので電流効率が悪化する
ことがない。 電解槽の中に重量の大きなニッケルペレットを多量
に収納することがないので装置を小型化することが可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例のニッケル電鋳装置1の説明図である。
【図2】pH調整手段9の説明図である。
【図3】電鋳槽30の説明図である。
【図4】従来のニッケル電鋳装置40の説明図である。
【符号の説明】
1 ニッケル電鋳装置 2 電鋳槽 3 陽極 4 陰極治具 5 配管 6 配管 7 予備槽 8 ニッケルイオン補充手段 9 pH調整手段 10 紫外線照射手段 11 配管 12 配管 13 外箱 14 筒体 15 ろ布 16 モーター 17 導入管 18 配管 19 吐出口 20 ベアリング 30 電鋳槽 31 陽極 32 配管 33 配管 40 ニッケル電鋳装置 41 電鋳槽 42 予備槽 43 配管 44 配管 45 陰極治具 46 ケース 47 ニッケルペレット 48 ろ布

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電解液中に保持された陰極のワークと、
    電解液中でワークに対向して設けられた陽極とを有する
    電鋳槽において、該陽極とワークに通電してニッケルを
    ワークに析出させるニッケル電鋳方法において、陽極を
    不溶性の陽極とすると共に、電解液中にニッケルイオン
    を補充しつつ電鋳を行うことを特徴とするニッケル電鋳
    方法
  2. 【請求項2】 請求項1のニッケル電鋳方法において、
    電解液がスルファミン酸ニッケル水溶液であり、電解液
    中のニッケルイオンの補充を電解液にスルファミン酸ニ
    ッケル四水和物を混合することで行うことを特徴とする
    ニッケル電鋳方法
  3. 【請求項3】 請求項2のニッケル電鋳方法において、
    電解液のpHを調整するために電解液中にpH調整物質
    を混合することを特徴とするニッケル電鋳方法
  4. 【請求項4】 請求項3のニッケル電鋳方法において、
    pH調整物質がスルファミン酸及び/又は炭酸ニッケル
    であることを特徴とするニッケル電鋳方法
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかのニッケル電鋳
    方法において、不溶性の陽極が白金又は酸化イリジウム
    であることを特徴とするニッケル電鋳方法
  6. 【請求項6】 電鋳槽と、電鋳槽の電解液中にワークを
    保持する陰極と、電鋳槽の電解液中に陰極に対向して設
    けられた不溶性の陽極と、電解液中にニッケルイオンを
    補充するニッケルイオン補充手段とを備えたことを特徴
    とするニッケル電鋳装置
  7. 【請求項7】 請求項6のニッケル電鋳装置において、
    該装置が電解液の予備槽を有すると共に、電解液が予備
    槽から電鋳槽を通り予備槽に戻る電解液循環手段を有
    し、前記ニッケルイオン補充手段が予備槽中の電解液に
    ニッケルイオンを補充するものであることを特徴とする
    ニッケル電鋳装置
  8. 【請求項8】 請求項6又は7のニッケル電鋳装置にお
    いて、電解液がスルファミン酸ニッケルの水溶液であ
    り、ニッケルイオン補充手段が電解液中にスルファミン
    酸ニッケル四水和物を混合するものであることを特徴と
    するニッケル電鋳装置
  9. 【請求項9】 請求項8のニッケル電鋳装置において、
    該装置が電解液のpHを調整するために電解液中にpH
    調整物質を混合するpH調整手段を有することを特徴と
    するニッケル電鋳装置
  10. 【請求項10】 請求項9のニッケル電鋳装置におい
    て、該装置が電解液の予備槽を有すると共に、電解液が
    予備槽から電鋳槽を通り予備槽に戻る電解液循環手段を
    有し、前記pH調整手段が予備槽中の電解液にpH調整
    物質を混合するものであることを特徴とするニッケル電
    鋳装置
  11. 【請求項11】 請求項8〜10のいずれかのニッケル
    電鋳装置において、該装置が電解液に紫外線を照射する
    紫外線照射手段を有することを特徴とするニッケル電鋳
    装置
  12. 【請求項12】 請求項9〜11のいずれかのニッケル
    電鋳装置において、前記pH調整物質がスルファミン酸
    及び/又は炭酸ニッケルであることを特徴とするニッケ
    ル電鋳装置
  13. 【請求項13】 請求項6〜12のいずれかの電鋳装置
    において、不溶性の陽極が白金又は酸化イリジウムであ
    ることを特徴とするニッケル電鋳装置
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