JP2000266682A5 - - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 11
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 被検体を載置するステージと、前記ステージに対して相対的に移動可能で、この相対移動方向と直交する方向に平行なライン照明光を発するライン照明手段と、このライン照明光によるライン照明領域からの反射光を取り込んで、前記被検体の画像を取得する撮像手段とを有する画像取込み装置において、
前記ライン照明領域からの反射光を、所定の角度で偏向して前記撮像装置に導く偏向手段と、
を備えることを特徴とする画像取込み装置。
【請求項２】 前記偏向手段は、前記被検体からの反射光を、前記ライン照明手段側に折り返す方向に偏向させることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項３】 前記偏向手段により折り返される前記反射光が前記撮像手段に入射するまでの撮像光路は、前記ステージに対して平行に配置されることを特徴とする請求項２記載の画像取込み装置。
【請求項４】 前記ライン照明手段を、前記被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２＝θ１の関係を持つように設定し、干渉光を前記撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項５】 前記ライン照明手段を、前記被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２≠θ１の関係を持つように設定し、回折光を前記撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項６】 前記ライン照明手段は、前記ライン照明領域を回動中心として前記被検体に対するライン照明の照射角度を調整可能であることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項７】 前記ステージが設けられるベース部と、該ベース部に立設される支柱と、該支柱に対して延出して設けられる支持アームと、を有し、
前記支持アームの一端部に前記偏向手段が配置され、他端に前記撮像手段が配置されることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項８】 前記ライン照明手段は、前記ベース上で前記被検体を跨ぐように設けられた門型の支柱間に配置されることを特徴とする請求項７記載の画像取込み装置。
【請求項１】 被検体を載置するステージと、前記ステージに対して相対的に移動可能で、この相対移動方向と直交する方向に平行なライン照明光を発するライン照明手段と、このライン照明光によるライン照明領域からの反射光を取り込んで、前記被検体の画像を取得する撮像手段とを有する画像取込み装置において、
前記ライン照明領域からの反射光を、所定の角度で偏向して前記撮像装置に導く偏向手段と、
を備えることを特徴とする画像取込み装置。
【請求項２】 前記偏向手段は、前記被検体からの反射光を、前記ライン照明手段側に折り返す方向に偏向させることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項３】 前記偏向手段により折り返される前記反射光が前記撮像手段に入射するまでの撮像光路は、前記ステージに対して平行に配置されることを特徴とする請求項２記載の画像取込み装置。
【請求項４】 前記ライン照明手段を、前記被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２＝θ１の関係を持つように設定し、干渉光を前記撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項５】 前記ライン照明手段を、前記被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２≠θ１の関係を持つように設定し、回折光を前記撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項６】 前記ライン照明手段は、前記ライン照明領域を回動中心として前記被検体に対するライン照明の照射角度を調整可能であることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項７】 前記ステージが設けられるベース部と、該ベース部に立設される支柱と、該支柱に対して延出して設けられる支持アームと、を有し、
前記支持アームの一端部に前記偏向手段が配置され、他端に前記撮像手段が配置されることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置。
【請求項８】 前記ライン照明手段は、前記ベース上で前記被検体を跨ぐように設けられた門型の支柱間に配置されることを特徴とする請求項７記載の画像取込み装置。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 被検体を載置するステージと、ステージに対して相対的に移動可能で、この相対移動方向と直交する方向に平行なライン照明光を発するライン照明手段と、このライン照明光によるライン照明領域からの反射光を取り込んで、被検体の画像を取得する撮像手段とを有する画像取込み装置において、ライン照明領域からの反射光を、所定の角度で偏向して撮像装置に導く偏向手段と、を備えるを特徴とする画像取込み装置である。
【課題を解決するための手段】 被検体を載置するステージと、ステージに対して相対的に移動可能で、この相対移動方向と直交する方向に平行なライン照明光を発するライン照明手段と、このライン照明光によるライン照明領域からの反射光を取り込んで、被検体の画像を取得する撮像手段とを有する画像取込み装置において、ライン照明領域からの反射光を、所定の角度で偏向して撮像装置に導く偏向手段と、を備えるを特徴とする画像取込み装置である。
この結果、本発明によれば、被検体である被検査基板の大型化に伴って被検体と撮像手段との光路長が長くなっても光路を偏向手段で偏向することで、光路が占めるスペースを小さくでき、小型な画像取込み装置を実現できる。
また請求項２記載の発明は、偏向手段は、被検体からの反射光を、ライン照明手段側に折り返す方向に偏向させることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項３記載の発明は、偏向手段により折り返される反射光が撮像手段に入射するまでの撮像光路は、前記ステージに対して平行に配置されることを特徴とする請求項２記載の画像取込み装置である。
また、請求項３記載の発明は、偏向手段により折り返される反射光が撮像手段に入射するまでの撮像光路は、前記ステージに対して平行に配置されることを特徴とする請求項２記載の画像取込み装置である。
また、請求項４記載の発明は、ライン照明手段を、被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２＝θ１の関係を持つように設定し、干渉光を撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項５記載の発明は、ライン照明手段を、被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２≠θ１の関係を持つように設定し、回折光を撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項５記載の発明は、ライン照明手段を、被検体に対する入射角θ２及び反射角θ１がθ２≠θ１の関係を持つように設定し、回折光を撮像手段に取込むことを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項６記載の発明は、ライン照明手段は、ライン照明領域を回動中心として標本に対するライン照明の照射角度を調整可能であることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項７記載の発明は、前記ステージが設けられるベース部と、該ベース部に立設される支柱と、該支柱に対して延出して設けられる支持アームと、を有し、支持アームの一端部に偏向手段が配置され、の他端に撮像手段が配置されることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項８記載の発明は、ライン照明手段は、前記ベース上で前記被検体を跨ぐように設けられた門型の支柱間に配置されることを特徴とする請求項７記載の画像取込み装置である。
また、請求項７記載の発明は、前記ステージが設けられるベース部と、該ベース部に立設される支柱と、該支柱に対して延出して設けられる支持アームと、を有し、支持アームの一端部に偏向手段が配置され、の他端に撮像手段が配置されることを特徴とする請求項１記載の画像取込み装置である。
また、請求項８記載の発明は、ライン照明手段は、前記ベース上で前記被検体を跨ぐように設けられた門型の支柱間に配置されることを特徴とする請求項７記載の画像取込み装置である。
これらの結果、本発明によれば、被検体ごとに最適な欠陥画像を得るための光学条件を任意に設定でき、良質な画像の取り込みができるとともに、取り扱い操作を簡単にできる。また、装置の上部スペースに光学系をコンパクトに支持できるので、さらに装置の小型化に寄与できる。
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- 1999-03-17 JP JP07172399A patent/JP4331306B2/ja not_active Expired - Fee Related
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