JP2000249886A - 調節可能組立体及び光学マウント - Google Patents
調節可能組立体及び光学マウントInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基部（マウントリング１）、調節可能部（内
側リング３）、レバー（傾斜調節レバー５）、および駆
動機構（駆動素子６）とを含む調節可能組立体が提供さ
れる。 【解決手段】 レバー（傾斜調節レバー５）は、基部
（マウントリング１）に連結されるとともに、平行に方
向付けられた２つの弾性固体枢動接合部（７，８）を介
して調節可能部（内側リング３）にも連結されている。
２つの固体枢動接合部の一方（７）は２つの枢動接合部
（７ａ，７ｂ）に分かれており、この２つの枢動接合部
は、その枢軸（９）に沿って、第２の固体枢動ジョイン
ト（８）の両側に横方向に分枝しているように配列され
る。
側リング３）、レバー（傾斜調節レバー５）、および駆
動機構（駆動素子６）とを含む調節可能組立体が提供さ
れる。 【解決手段】 レバー（傾斜調節レバー５）は、基部
（マウントリング１）に連結されるとともに、平行に方
向付けられた２つの弾性固体枢動接合部（７，８）を介
して調節可能部（内側リング３）にも連結されている。
２つの固体枢動接合部の一方（７）は２つの枢動接合部
（７ａ，７ｂ）に分かれており、この２つの枢動接合部
は、その枢軸（９）に沿って、第２の固体枢動ジョイン
ト（８）の両側に横方向に分枝しているように配列され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レンズなどの光学
素子を対象とし、２つの弾性ジョイントを介して調節可
能部に連結されてなる調節可能組立体と、該調節可能組
立体の実施形態としての光学マウントとに関するもので
ある。
素子を対象とし、２つの弾性ジョイントを介して調節可
能部に連結されてなる調節可能組立体と、該調節可能組
立体の実施形態としての光学マウントとに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】例えばレンズなどの光学素子を取り付け
るための現在知られている方法を利用すると、光学素子
とマウントとの連結部やマウントのフランジ内における
製造公差により、光学素子をマウントに装着する時およ
びマウント付き光学素子をレンズ系に装着する時に光学
素子の変形を生じる。この場合、三点取付式の中間リン
グすなわち内側リングを利用して光学素子をマウントの
フランジに固定的に連結すると、前述の不可避の公差に
よって光学素子が光軸に対して傾斜する。
るための現在知られている方法を利用すると、光学素子
とマウントとの連結部やマウントのフランジ内における
製造公差により、光学素子をマウントに装着する時およ
びマウント付き光学素子をレンズ系に装着する時に光学
素子の変形を生じる。この場合、三点取付式の中間リン
グすなわち内側リングを利用して光学素子をマウントの
フランジに固定的に連結すると、前述の不可避の公差に
よって光学素子が光軸に対して傾斜する。
【０００３】旧東ドイツ特許出願公開明細書第２７８２
０７号には、個々の光学素子の光軸をレンズ系の機構軸
に対して整列できる光学素子用調節装置が開示されてい
る。しかしながら、この調節装置は、例えば半導体リソ
グラフィのオブジェクトに対して要求されるような、今
日要求される高精度でレンズ系の軸からの光学素子の光
軸のずれを修正するために利用することはできない。
０７号には、個々の光学素子の光軸をレンズ系の機構軸
に対して整列できる光学素子用調節装置が開示されてい
る。しかしながら、この調節装置は、例えば半導体リソ
グラフィのオブジェクトに対して要求されるような、今
日要求される高精度でレンズ系の軸からの光学素子の光
軸のずれを修正するために利用することはできない。
【０００４】日本公開特許公報第１０−５４９３２号に
は、多部品構成のテコ式減速機構を利用したマウントの
連結法が記載されている。
は、多部品構成のテコ式減速機構を利用したマウントの
連結法が記載されている。
【０００５】米国特許第５４２８４８２号には、周囲に
分散されるように配置した固体枢動ジョイント（solid
pivoting joint）によってなされる、マウントと、光学
素子としてのレンズが取り付けられている内側リングと
の間の連結法が記載されている。
分散されるように配置した固体枢動ジョイント（solid
pivoting joint）によってなされる、マウントと、光学
素子としてのレンズが取り付けられている内側リングと
の間の連結法が記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、応力から隔
絶された組立体を提供するという目的、詳細には例えば
光学素子としてのレンズなど、製造および装着公差によ
って傾斜した調節可能部を、駆動機構すなわち操作機構
によって所望位置に傾斜調節できる光学素子の取付技術
に関する目的に基づくものである。
絶された組立体を提供するという目的、詳細には例えば
光学素子としてのレンズなど、製造および装着公差によ
って傾斜した調節可能部を、駆動機構すなわち操作機構
によって所望位置に傾斜調節できる光学素子の取付技術
に関する目的に基づくものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この目
的は請求項１の定義部分に記載されている特徴によって
達成される。すなわち、請求項１に記載の発明は、基部
と、調節可能部と、少なくとも１つのレバーと、駆動機
構とを有し、前記少なくとも１つのレバーが、前記基部
に連結され、且つ平行に方向付けられた２つの弾性固体
枢動ジョイントを介して前記調節可能部に連結されてい
る、調節可能組立体において、前記２つの固体枢動ジョ
イントの一方が２つの枢動接合部に分割されており、こ
の２つの枢動接合部が、その枢軸に沿って、第２の固体
回転接合部の両側に横方向に分枝しているように配列さ
れてなる。また、請求項２に記載の発明は、請求項１の
記載の発明において前記駆動機構は、前記分割された固
体枢動ジョイント７の２つの枢動接合部間に配置された
傾斜調節レバーに作用することを特徴としてなる。
的は請求項１の定義部分に記載されている特徴によって
達成される。すなわち、請求項１に記載の発明は、基部
と、調節可能部と、少なくとも１つのレバーと、駆動機
構とを有し、前記少なくとも１つのレバーが、前記基部
に連結され、且つ平行に方向付けられた２つの弾性固体
枢動ジョイントを介して前記調節可能部に連結されてい
る、調節可能組立体において、前記２つの固体枢動ジョ
イントの一方が２つの枢動接合部に分割されており、こ
の２つの枢動接合部が、その枢軸に沿って、第２の固体
回転接合部の両側に横方向に分枝しているように配列さ
れてなる。また、請求項２に記載の発明は、請求項１の
記載の発明において前記駆動機構は、前記分割された固
体枢動ジョイント７の２つの枢動接合部間に配置された
傾斜調節レバーに作用することを特徴としてなる。
【０００８】調節可能組立体の実施態様すなわち可能応
用例は請求項３に示されている。すなわち、請求項３の
発明は、請求項２に記載の発明において、前記第２の枢
動ジョイントは、前記駆動機構の作用点から離れている
傾斜調節レバーの端部に位置することを特徴としてな
る。また、請求項４に係る光学マウントは、 請求項１
に記載の調節可能組立体として設計された光学マウント
であって、前記基部は、マウントまたは該マウントに連
結された部品であり、前記調節可能部は、光学素子に連
結される内側リングであり、前記光学マウントは、少な
くと１つの傾斜調節レバーと、前記マウントまたは前記
マウントに連結された部品の中に配置され、少なくとも
１軸のまわりで前記内側リングを傾斜できる駆動機構と
を有していることを特徴としてなる。
用例は請求項３に示されている。すなわち、請求項３の
発明は、請求項２に記載の発明において、前記第２の枢
動ジョイントは、前記駆動機構の作用点から離れている
傾斜調節レバーの端部に位置することを特徴としてな
る。また、請求項４に係る光学マウントは、 請求項１
に記載の調節可能組立体として設計された光学マウント
であって、前記基部は、マウントまたは該マウントに連
結された部品であり、前記調節可能部は、光学素子に連
結される内側リングであり、前記光学マウントは、少な
くと１つの傾斜調節レバーと、前記マウントまたは前記
マウントに連結された部品の中に配置され、少なくとも
１軸のまわりで前記内側リングを傾斜できる駆動機構と
を有していることを特徴としてなる。
【０００９】本発明による解決策により、例えば光学素
子など調節可能部のごく小さい空間内で、駆動機構によ
って、かなり高い伝動率（transmission ratio）が得ら
れる。これは、２つの固体枢動ジョイントの一方を２つ
の枢動接合部に分けて、この２つの枢動接合部を、その
枢軸に沿って、第２の固体枢動ジョイントの両側に横方
向に分枝しているように配列することによって実施され
る。これにより、伝動率を決定する固体枢動ジョイント
間の距離を著しく減少することができる。
子など調節可能部のごく小さい空間内で、駆動機構によ
って、かなり高い伝動率（transmission ratio）が得ら
れる。これは、２つの固体枢動ジョイントの一方を２つ
の枢動接合部に分けて、この２つの枢動接合部を、その
枢軸に沿って、第２の固体枢動ジョイントの両側に横方
向に分枝しているように配列することによって実施され
る。これにより、伝動率を決定する固体枢動ジョイント
間の距離を著しく減少することができる。
【００１０】特に、光学マウントとして使用した場合、
それ相応に大きな伝動率とその結果としての高精度によ
りｘ／ｚ方向の変形が生じることがあるが、これは、マ
ウントリング内の空間条件に合わせた省スペース構造に
よって起きる。
それ相応に大きな伝動率とその結果としての高精度によ
りｘ／ｚ方向の変形が生じることがあるが、これは、マ
ウントリング内の空間条件に合わせた省スペース構造に
よって起きる。
【００１１】本発明の有利な改良点および開発点は、従
属項と、原則として図面を参照しながら説明される以下
の例示実施形態とから明らかとなる。
属項と、原則として図面を参照しながら説明される以下
の例示実施形態とから明らかとなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１に大筋として記載されている
光学マウントは、３つの固体ジョイント２、２を介して
内側リング３に連結されるマウントリング１をマウント
として有する。マウントリング１および内側リング３
は、一体型に形成されていてもよい。内側リング３は、
光学素子としてのレンズ４を支持する。
光学マウントは、３つの固体ジョイント２、２を介して
内側リング３に連結されるマウントリング１をマウント
として有する。マウントリング１および内側リング３
は、一体型に形成されていてもよい。内側リング３は、
光学素子としてのレンズ４を支持する。
【００１３】レンズ４が装着された内側リング３に対し
てフランジ付きリングを連結により、３つの固体ジョイ
ント２、２によって外部からの応力が隔絶される。
てフランジ付きリングを連結により、３つの固体ジョイ
ント２、２によって外部からの応力が隔絶される。
【００１４】その後、傾斜調節レバー５を本質的に含む
レバーギヤ機構の形態に設計された１つ以上の固体ジョ
イント２によって、調節の可能性が与えられる。図２か
ら分かるように、図３〜５に記載されている駆動素子６
は、長レバーアームＬと短レバーアームｌとよりなるＬ
字形を有する傾斜調節レバー５の一方の端部（長レバー
アームＬの上端）に対して操作機構すなわち駆動機構と
して作用する。
レバーギヤ機構の形態に設計された１つ以上の固体ジョ
イント２によって、調節の可能性が与えられる。図２か
ら分かるように、図３〜５に記載されている駆動素子６
は、長レバーアームＬと短レバーアームｌとよりなるＬ
字形を有する傾斜調節レバー５の一方の端部（長レバー
アームＬの上端）に対して操作機構すなわち駆動機構と
して作用する。
【００１５】傾斜調節レバー５により、上記長ラバーア
ームＬと短レバーアームｌとの長さ比である伝動率ｌ／
Ｌと、ｘ方向からｚ方向への（光軸）移動方向の逆転調
整を実現できる。したがって、想像されるように、この
伝動率ｌ／Ｌは、特に、短レバーアームｌを長レバーア
ームＬに対しどのくらい小さく作れるかによって左右さ
れる。
ームＬと短レバーアームｌとの長さ比である伝動率ｌ／
Ｌと、ｘ方向からｚ方向への（光軸）移動方向の逆転調
整を実現できる。したがって、想像されるように、この
伝動率ｌ／Ｌは、特に、短レバーアームｌを長レバーア
ームＬに対しどのくらい小さく作れるかによって左右さ
れる。
【００１６】これを実現しうる方法は、図３〜５から理
解できる。図１に略記されている１つ以上の固体ジョイ
ント２は、この目的のために、２つの固体枢動ジョイン
ト７と８を備えるレバーギヤ機構としてそれ相応に設計
されており、固体枢動ジョイント７は２つの枢動接合部
７ａと７ｂに分かれている。２つの枢動接合部７ａと７
ｂは、その枢軸９に沿って、間に置かれているある固体
枢動ジョイント８の両側に横方向に分枝しているように
配列される。固体枢動ジョイント７と８は平行に方向付
けられ、調節できるように適切な弾性を備えている。
解できる。図１に略記されている１つ以上の固体ジョイ
ント２は、この目的のために、２つの固体枢動ジョイン
ト７と８を備えるレバーギヤ機構としてそれ相応に設計
されており、固体枢動ジョイント７は２つの枢動接合部
７ａと７ｂに分かれている。２つの枢動接合部７ａと７
ｂは、その枢軸９に沿って、間に置かれているある固体
枢動ジョイント８の両側に横方向に分枝しているように
配列される。固体枢動ジョイント７と８は平行に方向付
けられ、調節できるように適切な弾性を備えている。
【００１７】２つの枢動接合部７ａと７ｂを備えた固体
枢動ジョイント７は、マウントリング１の外側に連結さ
れる。Ｕ形のスリット１０は、傾斜調節レバー５とマウ
ントリング１とが分離されていることを示す。駆動素子
６は、傾斜調節レバー５の上端部において、スリット１
０を介して傾斜調節レバー５に対して作用する。
枢動ジョイント７は、マウントリング１の外側に連結さ
れる。Ｕ形のスリット１０は、傾斜調節レバー５とマウ
ントリング１とが分離されていることを示す。駆動素子
６は、傾斜調節レバー５の上端部において、スリット１
０を介して傾斜調節レバー５に対して作用する。
【００１８】図４に示すように、固体枢動ジョイント８
は、内側が内側リング３に連結され、外側が、傾斜調節
レバー５の下端部、すなわち駆動素子６の作用点から離
れている端部に連結されている。周囲スリット１１によ
って、マウントリング１から内側リング３が分離されて
おり、分離を中断しているのは、固体枢動ジョイント７
と８だけである。
は、内側が内側リング３に連結され、外側が、傾斜調節
レバー５の下端部、すなわち駆動素子６の作用点から離
れている端部に連結されている。周囲スリット１１によ
って、マウントリング１から内側リング３が分離されて
おり、分離を中断しているのは、固体枢動ジョイント７
と８だけである。
【００１９】図３と４から分かるように、固体枢動ジョ
イント７を２つの枢動接合部７ａと７ｂに分割したこと
により、固体枢動ジョイント７と８が、非分割形態の場
合に可能であるよりも、ずっと近くに相互に接近でき
る。それにより寸法をより小さくなるように選択するこ
とができ、そのため、内側リング３を移動させ、その結
果として光学素子４をｚ方向に移動させる駆動機構（詳
細には示されていない）によって駆動素子６が駆動され
るときの伝動率ｌ／Ｌは、非常に大きくすなわち非常に
敏感になる。
イント７を２つの枢動接合部７ａと７ｂに分割したこと
により、固体枢動ジョイント７と８が、非分割形態の場
合に可能であるよりも、ずっと近くに相互に接近でき
る。それにより寸法をより小さくなるように選択するこ
とができ、そのため、内側リング３を移動させ、その結
果として光学素子４をｚ方向に移動させる駆動機構（詳
細には示されていない）によって駆動素子６が駆動され
るときの伝動率ｌ／Ｌは、非常に大きくすなわち非常に
敏感になる。
【００２０】伝動率が更に増大した場合、これは、図５
に記載の改善によって実現できる。
に記載の改善によって実現できる。
【００２１】図示されているように、この場合、レバー
１２による追加レバー伝動機構が駆動素子６と傾斜調節
レバー５の間に配置されている。レバー１２は、取付位
置としての一端が、弾性固体枢動ジョイント１３を介し
てマウントリング１に連結されているが、それ以外はス
リット１４によってマウントリング１から分離されてい
る。スリット１４は、勿論、駆動素子６による駆動時
に、レバー１２が対応移動できる幅を有するものでなく
てはならない。駆動素子６は、固体枢動ジョイント１３
のある端部から離れている端部領域に作用する。したが
って、追加レバー伝動機構は、マウント１と一体構造す
なわち一体型になっている。このレバーは、中間アーム
の形態で、連結位置１５を介して傾斜調節レバー５に連
結されている。伝動率を増加するために、連結位置１５
は、駆動素子６の作用点よりも、固体枢動ジョイント１
３のある端部により近く配置されている。この場合、伝
動率のレベルは、選択された距離に依存する。
１２による追加レバー伝動機構が駆動素子６と傾斜調節
レバー５の間に配置されている。レバー１２は、取付位
置としての一端が、弾性固体枢動ジョイント１３を介し
てマウントリング１に連結されているが、それ以外はス
リット１４によってマウントリング１から分離されてい
る。スリット１４は、勿論、駆動素子６による駆動時
に、レバー１２が対応移動できる幅を有するものでなく
てはならない。駆動素子６は、固体枢動ジョイント１３
のある端部から離れている端部領域に作用する。したが
って、追加レバー伝動機構は、マウント１と一体構造す
なわち一体型になっている。このレバーは、中間アーム
の形態で、連結位置１５を介して傾斜調節レバー５に連
結されている。伝動率を増加するために、連結位置１５
は、駆動素子６の作用点よりも、固体枢動ジョイント１
３のある端部により近く配置されている。この場合、伝
動率のレベルは、選択された距離に依存する。
【００２２】連結位置１５は、勿論、さまざまに設計で
きる。これは、例えば、操作の回転方向とその位置に適
用される。また、駆動素子６は本発明においてはボルト
にて構成したが、これに限定するものではなく、あらゆ
る駆動手段が利用できるものである。
きる。これは、例えば、操作の回転方向とその位置に適
用される。また、駆動素子６は本発明においてはボルト
にて構成したが、これに限定するものではなく、あらゆ
る駆動手段が利用できるものである。
【００２３】駆動素子６が駆動されると、レバー１２が
それに対応偏向を受け、（伝動によって相応に増大され
た）変更力が連結位置１５を介して傾斜調節レバー５に
伝達され、それによって、図３および４に記載の例示実
施形態に合った公知の方法で、光学素子４のｚ軸方向、
すなわち、光軸方向への移動が行われる。このようにし
て、傾斜した光学素子を再び所望の位置に戻すことがで
きる。
それに対応偏向を受け、（伝動によって相応に増大され
た）変更力が連結位置１５を介して傾斜調節レバー５に
伝達され、それによって、図３および４に記載の例示実
施形態に合った公知の方法で、光学素子４のｚ軸方向、
すなわち、光軸方向への移動が行われる。このようにし
て、傾斜した光学素子を再び所望の位置に戻すことがで
きる。
【図１】調節可能組立体としての光学マウントの平面図
である。
である。
【図２】傾斜調節レバーを備えたレバーギヤ機構として
の固体枢動ジョイントの概略図である。
の固体枢動ジョイントの概略図である。
【図３】図１の光学マウントを、図４の線III−IIIに沿
って駆動機構の調節要素の高さで切った詳細平面図であ
る。
って駆動機構の調節要素の高さで切った詳細平面図であ
る。
【図４】図３のIV−IVに沿った断面図である。
【図５】固体枢動ジョイント領域の別の実施形態の詳細
平面図である。
平面図である。
１ マウント ２ 固体ジョイント ３ 内側リング ４ 光学素子 ５ 傾斜調節レバー Ｌ 長レバーアーム ｌ 短レバーアーム ６ 駆動素子 ７ 固体枢動ジョイント ８ 固体枢動ジョイント ９ 枢軸 １０ スリット １１ 周囲スリット １２ レバー １３ 固体枢動ジョイント １４ スリット １５ 連結位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ミハエル トルンツ ドイツ国 デー−73479 ファールヘイム エリカストラッセ ９ (72)発明者 ベルンハード ゲウッパート ドイツ国 デー−73431 エイアレン シ ェルイングストラッセ 84 (72)発明者 トーマス ポルザー ドイツ国 デー−73447 オベルコシェン パノラマストラッセ ９ (72)発明者 ジョアン ドリス オランダ国 エヌエル−5600 エムデー エインドホベン ピー．オー．ボックス 218／ビルディング エスエイキュウ− 1106 フィリップス シーエフティ−メカ トロニクス 気付 (72)発明者 ヒューゴ タイマーズ オランダ国 エヌエル−5600 エムデー エインドホベン ピー．オー．ボックス 218／ビルディング エスエイキュウ− 1106 フィリップス シーエフティ−メカ トロニクス 気付 (72)発明者 アルベルト ポスト オランダ国 エヌエル−5600 エムデー エインドホベン ピー．オー．ボックス 218／ビルディング エスエイキュウ− 1106 フィリップス シーエフティ−メカ トロニクス 気付
Claims (11)
- 【請求項１】 基部と、調節可能部と、少なくとも１つ
のレバーと、駆動機構とを有し、前記少なくとも１つの
レバーが、前記基部に連結され、且つ平行に方向付けら
れた２つの弾性固体枢動ジョイントを介して前記調節可
能部に連結されている、調節可能組立体において、前記
２つの固体枢動ジョイントの一方（７）が２つの枢動接
合部（７ａ，７ｂ）に分割されており、この２つの枢動
接合部（７ａ，７ｂ）が、その枢軸（９）に沿って、第
２の固体回転接合部（８）の両側に横方向に分枝してい
るように配列されていることを特徴とする、調節可能組
立体。 - 【請求項２】 前記駆動機構（６）は、前記分割された
固体枢動ジョイント７の２つの枢動接合部（７ａ，７
ｂ）間に配置された傾斜調節レバー（５）に作用するこ
とを特徴とする請求項１に記載の調節可能組立体。 - 【請求項３】 前記第２の枢動ジョイント（８）は、前
記駆動機構（６）の作用点から離れている傾斜調節レバ
ー（５）の端部に位置することを特徴とする請求項２に
記載の調節可能組立体。 - 【請求項４】 請求項１に記載の調節可能組立体として
設計された光学マウントであって、前記基部は、マウン
トまたは該マウントに連結された部品であり、前記調節
可能部は、光学素子に連結される内側リングであり、前
記光学マウントは、少なくと１つの傾斜調節レバー
（５）と、前記マウント（１）または前記マウント
（１）に連結された部品の中に配置され、少なくとも１
軸のまわりで前記内側リング（３）を傾斜できる駆動機
構（６）と、を有していることを特徴とする光学マウン
ト。 - 【請求項５】 ３つまたは４つの傾斜調節レバー（５）
および駆動機構（６）が、周囲に分散されるように配置
されていることを特徴とする請求項４に記載の光学マウ
ント。 - 【請求項６】 前記駆動機構（６）と前記固体枢動ジョ
イント（７，８）との間に追加レバー伝動機構を設けた
ことを特徴とする請求項４に記載の光学マウント。 - 【請求項７】 前記追加レバー伝動機構は、前記マウン
ト（１）に取り付けられ、前記駆動機構（６）の作用を
受けるレバー（１２）によって与えられることを特徴と
する請求項６に記載の光学マウント。 - 【請求項８】 前記レバー（１２）は、一端が前記マウ
ント（１）に取り付けられており、前記駆動機構（６）
は、該取付け端部から遠い端部に対して作用することを
特徴とする請求項７に記載の光学マウント。 - 【請求項９】 前記傾斜調節レバー（５）は、前記レバ
ー（１２）の支持位置と前記駆動機構（６）の作用点と
の間にある連結部（１５）において前記レバー（１２）
に連結されていることを特徴とする請求項８に記載の光
学マウント。 - 【請求項１０】 前記レバー（１２）の取付位置は、第
３の固体ジョイント（１３）として設計されることを特
徴とする請求項７に記載の光学マウント。 - 【請求項１１】 前記追加レバー伝動機構は前記マウン
ト（１）と一体式であることを特徴とする請求項６に記
載の光学マウント。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002006192A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tamron Co Ltd | レンズ鏡筒 |
| US6912094B2 (en) | 2001-03-27 | 2005-06-28 | Nikon Corporation | Projection optical system, a projection exposure apparatus, and a projection exposure method |
| JP2010521708A (ja) * | 2007-03-20 | 2010-06-24 | イエーノプティーク レーザー、オプティーク、ジステーメ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学マウントと、この種類のマウントを有する光学要素 |
| JP2011513777A (ja) * | 2008-02-29 | 2011-04-28 | コーニング インコーポレイテッド | キネマティック光学マウント |
| JP2013105865A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Nikon Corp | 光学部材位置調整装置、投影光学系及びその調整方法、並びに露光装置 |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19910947A1 (de) * | 1999-03-12 | 2000-09-14 | Zeiss Carl Fa | Vorrichtung zum Verschieben eines optischen Elementes entlang der optischen Achse |
| JP4945845B2 (ja) | 2000-03-31 | 2012-06-06 | 株式会社ニコン | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。 |
| KR100714927B1 (ko) | 2000-04-25 | 2007-05-07 | 에이에스엠엘 유에스, 인크. | 광학 시스템에서의 렌즈의 정밀 위치 설정 및 정렬을 위한장치, 시스템 및 방법 |
| DE10030495A1 (de) | 2000-06-21 | 2002-01-03 | Zeiss Carl | Verfahren zum Verbinden einer Vielzahl von optischen Elementen mit einem Grundkörper |
| US6574053B1 (en) | 2000-08-10 | 2003-06-03 | Nikon Corporation | Kinematic alignment structure for placement between components axially aligned in a cylindrical body |
| US7154684B2 (en) * | 2000-08-18 | 2006-12-26 | Nikon Corporation | Optical element holding apparatus |
| DE10051706A1 (de) | 2000-10-18 | 2002-05-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes |
| US6417976B1 (en) * | 2001-03-06 | 2002-07-09 | Terabeam Corporation | Apparatus and method to mount electro-optic systems |
| DE10115915A1 (de) * | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Justierung von Einrichtungen und zum Einstellen von Verstellwegen |
| DE10136387A1 (de) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Zeiss Carl | Objektiv, insbesondere Objektiv für die Halbleiter-Lithographie |
| DE10140608A1 (de) * | 2001-08-18 | 2003-03-06 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Justage eines optischen Elements |
| DE10219514A1 (de) * | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Zeiss Carl Smt Ag | Beleuchtungssystem, insbesondere für die EUV-Lithographie |
| KR101281357B1 (ko) * | 2003-06-06 | 2013-07-02 | 가부시키가이샤 니콘 | 광학 소자 유지 장치, 경통, 노광 장치, 및 디바이스의제조방법 |
| DE10331390A1 (de) | 2003-07-11 | 2005-01-27 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Herstellung von asphärischen optischen Flächen |
| US6816325B1 (en) | 2003-09-11 | 2004-11-09 | Carl Zeiss Smt Ag | Mounting apparatus for an optical element |
| DE10344178B4 (de) * | 2003-09-24 | 2006-08-10 | Carl Zeiss Smt Ag | Halte- und Positioniervorrichtung für ein optisches Element |
| US7265917B2 (en) * | 2003-12-23 | 2007-09-04 | Carl Zeiss Smt Ag | Replacement apparatus for an optical element |
| JP4654915B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | 光学素子の保持装置、鏡筒、露光装置、及びデバイスの製造方法 |
| WO2008009276A1 (de) * | 2006-07-21 | 2008-01-24 | Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh | Lateral verstellbare fassung für optische elemente |
| WO2008106182A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Corning Incorporated | Optical mount pivotable about a single point |
| DE102008000967B4 (de) * | 2008-04-03 | 2015-04-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie |
| DE102008063223B3 (de) * | 2008-12-23 | 2010-09-09 | Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh | Monolithische optische Fassung |
| CN103472555B (zh) * | 2013-09-25 | 2016-06-01 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 双电机光学元件轴向调节装置 |
| AT515278B1 (de) * | 2014-03-11 | 2015-08-15 | Ruag Space Gmbh | Positioniereinrichtung für Raumfahrtanwendungen |
| DE102015101384B3 (de) * | 2015-01-30 | 2015-11-12 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Druckschraube |
| DE102015101385B3 (de) * | 2015-01-30 | 2016-01-21 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Zugschraube |
| DE102015101387B3 (de) * | 2015-01-30 | 2015-12-17 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optische Fassung mit wenigstens einer Klemmeinheit mit einer Membranfeder |
| CN104749734B (zh) * | 2015-03-24 | 2017-04-05 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学元件轴向位置精密调整装置 |
| DE102015115929B3 (de) * | 2015-09-21 | 2016-10-06 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Monolithische Linsenfassung |
| DE102015223518A1 (de) * | 2015-11-27 | 2017-05-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Vorrichtung sowie Lithographieanlage |
| CN112236701B (zh) * | 2018-06-08 | 2022-12-20 | 株式会社日东 | 镜筒及镜头更换式相机 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58111908A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-04 | Canon Inc | 光学機器用レンズ鏡筒のレンズ保持装置 |
| NL8500615A (nl) * | 1985-03-05 | 1986-10-01 | Nederlanden Staat | Fijninstelmechanisme voor het nauwkeurig positioneren van een instelelement. |
| JPS62147413A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置 |
| DD278207A1 (de) * | 1988-12-19 | 1990-04-25 | Zeiss Jena Veb Carl | Fassung mit justierelementen |
| GB9017015D0 (en) * | 1990-08-02 | 1990-09-19 | British Telecomm | Optical component holder |
| US5428482A (en) | 1991-11-04 | 1995-06-27 | General Signal Corporation | Decoupled mount for optical element and stacked annuli assembly |
| JPH1054932A (ja) | 1996-08-08 | 1998-02-24 | Nikon Corp | 投影光学装置及びそれを装着した投影露光装置 |
| JPH10186198A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Ushio Inc | 平行・真直微動装置およびこれを用いたレンズ鏡筒の微小移動装置 |
| EP0932064A1 (en) | 1997-12-29 | 1999-07-28 | Perkin-Elmer Limited | Adjustable mounting of optical components |
| DE19827603A1 (de) * | 1998-06-20 | 1999-12-23 | Zeiss Carl Fa | Optisches System, insbesondere Projektions-Belichtungsanlage der Mikrolithographie |
-
1999
- 1999-02-27 DE DE19908554A patent/DE19908554A1/de not_active Ceased
-
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002006192A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Tamron Co Ltd | レンズ鏡筒 |
| JP4518630B2 (ja) * | 2000-06-20 | 2010-08-04 | 株式会社タムロン | レンズ鏡筒 |
| US6912094B2 (en) | 2001-03-27 | 2005-06-28 | Nikon Corporation | Projection optical system, a projection exposure apparatus, and a projection exposure method |
| JP2010521708A (ja) * | 2007-03-20 | 2010-06-24 | イエーノプティーク レーザー、オプティーク、ジステーメ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学マウントと、この種類のマウントを有する光学要素 |
| JP2011513777A (ja) * | 2008-02-29 | 2011-04-28 | コーニング インコーポレイテッド | キネマティック光学マウント |
| JP2013105865A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Nikon Corp | 光学部材位置調整装置、投影光学系及びその調整方法、並びに露光装置 |
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