WO2008009276A1 - Lateral verstellbare fassung für optische elemente - Google Patents

Lateral verstellbare fassung für optische elemente Download PDF

Info

Publication number
WO2008009276A1
WO2008009276A1 PCT/DE2007/001282 DE2007001282W WO2008009276A1 WO 2008009276 A1 WO2008009276 A1 WO 2008009276A1 DE 2007001282 W DE2007001282 W DE 2007001282W WO 2008009276 A1 WO2008009276 A1 WO 2008009276A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical elements
lever
elements according
adjustable socket
inner part
Prior art date
Application number
PCT/DE2007/001282
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Thomas Schletterer
Original Assignee
Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102007030579A external-priority patent/DE102007030579B4/de
Application filed by Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh filed Critical Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh
Publication of WO2008009276A1 publication Critical patent/WO2008009276A1/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003Alignment of optical elements
    • G02B7/004Manual alignment, e.g. micromanipulators

Definitions

  • the invention relates to a laterally adjustable socket for optical elements, which is divided by material cuts in a fixed outer part and an adjustable inner part, wherein the adjustable inner part of the receptacle of the optical element is used.
  • an optical imaging device with at least one optical element in which the components outer socket, inner ring and manipulator device are combined to form a one-piece component.
  • the manipulation device for the displacement-controlled displacement of the optical element in a direction perpendicular to the optical axis consists between the inner ring and the outer socket of a system of circumferential slots with intermediate links, a pivot and at least one adjusting joint with an adjusting member.
  • the present invention is therefore based on the object to reduce manufacturing complexity by a simplified structure and at the same time to ensure high system stability.
  • the object is achieved by a laterally adjustable version of the type mentioned initially in the direction of the optical axis that is rigidly formed by a corresponding material thickness according to the characterizing features of claim 1.
  • a fixed outer part and an adjustable inner part of the preferably manufactured in one piece version are separated by material cuts except for three coaxial with the optical axis of the optical element and each offset by 120 ° connection points, with lever mechanisms are provided as connecting points through which the Adjustability of the inner part relative to the outer part is achieved.
  • lever mechanism consist of a free end of the lever and two lever arm forming webs, and that the free end of the lever is connected via a first of the webs to the outer part and a second of the web to the inner part.
  • the adjustment of the inner part describes a circular path whose center lies at the intersection of extended lever arms of two lever mechanism, wherein the intersection has an offset to the optical axis.
  • the lever arm forming webs may be aligned in an embodiment parallel to each other and tangential to the material cuts.
  • lever arm forming webs are bent at the end of the lever and extend each other.
  • the lever ends are for attacking adjusting elements, such. B. grub screws or piezo actuators formed, whereby the optical element is movable in any direction which is perpendicular to the optical axis.
  • the invention provides no axle decoupling, so that adjustment must be made via at least two lever gear, but a component decomposition allows a simple calculation of the angular relationships.
  • FIG. 1 shows an adjustable version according to the invention for optical elements
  • Fig. 2 shows a first embodiment of a lever mechanism, as it can be used in the adjustable frame according to the invention shown in FIG. 1;
  • Fig. 3 shows a second embodiment of a lever mechanism, as it can be used in the adjustable version according to the invention shown in FIG. 1;
  • the socket 3 shown in Fig. 1 consists of a fixed outer part 11 and a relation to the fixed outer part 1 1 perpendicular to the optical axis 2 of an optical element to be grasped 1 adjustable inner part 12.
  • the fixed outer part 1 1 is usually with a higher-level component, not shown, such as a filling tube, a retaining flange or an equivalent component firmly connected.
  • the adjustable inner part 12 serves to receive the optical element 1 and is designed according to DE 100 43 344 C2, the disclosure of which is included here.
  • Material cuts 10 in the form of eroded slots separate the outer and inner part 11 and 12 except for three coaxial with the optical axis 2 and each offset by 120 ° connection points from each other.
  • the joints are formed by lever mechanism 13, through which the adjustability of the inner part 12 relative to the outer part 1 1 is achieved.
  • a material cutting extension 10 ' is provided, which has space for a free lever end 15 and for webs forming webs tangential and mutually parallel webs 14, 14 'between which there is a broadened material recess 10 "as an extension of a material cut 10.
  • the free lever end 15 is connected via a first web 14 to the outer part 11 and via a second web 14' to the inner part 12.
  • FIG. 1 Another embodiment of a lever mechanism 13 is shown in FIG.
  • a lever end 15 freely positioned in a material cutting extension 10 ' is connected via webs 14 "and 14'" to the outer as well as to the inner part 11 and 12.
  • the two webs 14 "and 14 '" acting as lever arms are strongly bent at the end of the lever 15 and lengthen each other.
  • the webs 14 "and 14 '" are formed by approximately radially directed material cuts 10 ", 10'" and 10 "", wherein the material cut 10 "cutting one of the along the circumference of the inner part extending material cuts 10 cutting.
  • FIG. 2 and 3 differ in tangential and radial Patz need and in the transmission ratio. Accordingly, their preferred application also takes place.
  • a radial force F R acts on the lever end 15
  • a tangential force component F ⁇ which moves the adjustable inner part 12 is produced by the lever mechanism 13.
  • the adjustable inner part 12 moves on a circular path 20, whose center 21 is the intersection of the imaginary extensions 22 of the webs 14 and 14 'and 14 "and 14'" of two lever mechanism 13 and determines the by a for the embodiments of FIGS. 2 and 3 different offset to the optical axis 2, the transmission ratio. Since the radius 23 of the circular path in relation to the displacement, which is usually about a few microns, is very large, the adjustment of the optical axis 2 can be regarded as quasi-linear.
  • the version 3 according to the invention can be produced easily and is extremely space-saving.
  • the version 3 is particularly suitable for very small lenses, such. B. Microscope lenses.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

Bei einer lateral verstellbaren Fassung (3) für optische Elemente (1) besteht die Aufgabe, durch einen vereinfachten Aufbau den Fertigungsaufwand zu verringern und gleichzeitig eine hohe Systemstabilität zu gewährleisten. Ein feststehender äußerer Teil (11) und ein verstellbarer innerer Teil (12) der Fassung (3) sind durch Materialschnitte (10) bis auf drei koaxial zur optischen Achse des optischen Elementes (1) und jeweils um 120° versetzt angeordnete Verbindungsstellen voneinander getrennt, wobei als Verbindungsstellen Hebelgetriebe (13) vorgesehen sind, durch welche die Verstellbarkeit des inneren Teiles (12) gegenüber dem äußeren Teil (11) erreicht wird.

Description

Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente
Die Erfindung betrifft eine lateral verstellbare Fassung für optische Elemente, die durch Materialschnitte in einen feststehenden äußeren Teil und einen verstellbaren inneren Teil unterteilt ist, wobei der verstellbare innere Teil der Aufnahme des optischen Elementes dient.
Aus der DE 199 01 295 A1 ist eine optische Abbildungsvorrichtung mit wenigstens einem optischen Element bekannt, bei dem die Bauteile Außenfassung, Innenring und Manipulatoreinrichtung zu einem einstückigen Bauteil vereinigt sind. Die zur weggesteuerten Verschiebung des optischen Elementes in einer Richtung senkrecht zur optischen Achse dienende Manipulatoreinrichtung besteht zwischen dem Innenring und der Außenfassung aus einem System von Umfangsschlitzen mit dazwischen liegenden Verbindungsgliedern, einem Drehgelenk und wenigstens einem Verstellgelenk mit einem Verstellglied.
Der Nachteil dieser Lösung besteht insbesondere darin, dass diese durch die Vielzahl unterschiedlich ausgebildeter Manipulatorelemente einen komplizierten und unsymmetrischen Aufbau besitzt, der für symmetrische Systeme ungeeignet ist oder zu Systeminstabilitäten führt. Insbesondere erhöhen die in Richtung der optischen Achse versteifend wirkenden, kinematisch jedoch überflüssigen Verbindungsglieder den Fertigungsaufwand, erfordern in Abhängigkeit von der Anzahl zusätzliche Stellkräfte und bewirken, dass sich Deformationen stärker auf den inneren Teil auswirken. Außerdem benötigen die Verstellgelenke eine zusätzliche Blattfeder und müssen zur Gewährleistung der beabsichtigten Justierung in zwei zueinander entgegengesetzten Richtungen verstellt werden, so dass Vorspannelemente für beide Richtungen erforderlich sind.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, durch einen vereinfachten Aufbau den Fertigungsaufwand zu verringern und gleichzeitig eine hohe Systemstabilität zu gewährleisten. Die Aufgabe wird durch eine im Wesentlichen in Richtung der optischen Achse durch eine entsprechende Materialdicke steif ausgebildete lateral verstellbare Fassung der eingangs genannten Art gemäß den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.
Ein feststehender äußerer Teil und ein verstellbarer innerer Teil der bevorzugt aus einem Stück gefertigten Fassung sind durch Materialschnitte bis auf drei koaxial zur optischen Achse des optischen Elementes und jeweils um 120° versetzt angeordnete Verbindungsstellen voneinander getrennt, wobei als Verbindungsstellen Hebelgetriebe vorgesehen sind, durch welche die Verstellbarkeit des inneren Teils gegenüber dem äußeren Teil erreicht wird.
Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen enthalten.
Die ausschließliche Verbindung des äußeren und des inneren Teils über die drei symmetrisch angeordneten Hebelgetriebe bietet mehrere Vorteile, indem
- eine zur Verstellung des inneren Teils erforderliche Kraft nur in einer Richtung aufgewendet werden braucht und demzufolge gleichzeitig als Vorspannung genutzt werden kann und
- aufgrund von nur drei Verbindungsstellen zwischen dem inneren und äußeren Teil eine Deformationsentkopplung des inneren Teils erreicht wird, woraus eine hohe Lagestabilität resultiert.
Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung besteht darin, dass die Hebelgetriebe aus einem freien Hebelende und zwei Hebelarm bildenden Stegen bestehen, und dass das freie Hebelende über einen ersten der Stege mit dem äußeren Teil und über einen zweiten der Steg mit dem inneren Teil in Verbindung steht.
Die Verstellung des inneren Teils beschreibt eine Kreisbahn, deren Mittelpunkt im Schnittpunkt verlängerter Hebelarme zweier Hebelgetriebe liegt, wobei der Schnittpunkt einen Versatz zur optischen Achse aufweist. Die Hebelarm bildenden Stege können in einer Ausgestaltung parallel zueinander und tangential zu den Materialschnitten ausgerichtet sein.
Eine andere Ausgestaltung sieht vor, dass die Hebelarm bildenden Stege am Hebelende abgeknickt sind und sich gegenseitig verlängern.
Die Hebelenden sind für das Angreifen von Verstellelementen, wie z. B. Gewindestiften oder Piezoaktuatoren ausgebildet, wodurch das optische Element in jede Richtung bewegbar ist, die senkrecht zur optischen Achse verläuft.
Zwar sieht die Erfindung keine Achsenentkopplung vor, so dass eine Verstellung über mindestens zwei Hebelgetriebe erfolgen muss, doch lässt eine Komponentenzerlegung eine einfache Berechnung über die Winkelverhältnisse zu.
Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße verstellbare Fassung für optische Elemente;
Fig. 2 eine erste Ausführung eines Hebelgetriebes, wie es bei der erfindungsgemäßen verstellbaren Fassung gemäß Fig. 1 verwendet werden kann;
Fig. 3 eine zweite Ausführung eines Hebelgetriebes, wie es bei der erfindungsgemäßen verstellbaren Fassung gemäß Fig. 1 verwendet werden kann;
Die in Fig. 1 gezeigte Fassung 3 besteht aus einem feststehenden äußeren Teil 11 und einem gegenüber dem feststehenden äußeren Teil 1 1 senkrecht zur optischen Achse 2 eines zu fassenden optischen Elementes 1 verstellbaren inneren Teil 12. Der feststehende äußere Teil 1 1 ist üblicherweise mit einem übergeordneten, nicht dargestellten Bauteil, wie zum Beispiel einem Füllrohr, einem Halteflansch oder einem äquivalenten Bauteil fest verbunden. Der verstellbare innere Teil 12 dient zur Aufnahme des optischen Elementes 1 und ist entsprechend der DE 100 43 344 C2 ausgebildet, deren Offenbarung hier eingeschlossen ist. Materialschnitte 10 in Form von erodierten Schlitzen trennen den äußeren und inneren Teil 11 und 12 bis auf drei koaxial zur optischen Achse 2 und jeweils um 120° versetzt angeordnete Verbindungsstellen voneinander. Die Verbindungsstellen werden durch Hebelgetriebe 13 gebildet, durch welche die Verstellbarkeit des inneren Teils 12 gegenüber dem äußeren Teil 1 1 erreicht wird.
Im Bereich der Hebelgetriebe 13, von dem in Fig. 2 eine erste Ausführung gezeigt ist, ist eine Materialschnitterweiterung 10' vorgesehen, die Platz für ein freies Hebelende 15 sowie für Hebelarm bildende, zu den Materialschnitten 10 tangential und zueinander parallel ausgerichtete Stege 14, 14' bietet, zwischen denen eine verbreiterte Materialaussparung 10" als Verlängerung eines Materialschnittes 10 vorhanden ist. Das freie Hebelende 15 steht über einen ersten Steg 14 mit dem äußeren Teil 1 1 und über einen zweiten Steg 14' mit dem inneren Teil 12 in Verbindung.
Eine weitere Ausführungsform eines Hebelgetriebes 13 ist in Fig. 3 gezeigt. Ein in einer Materialschnitterweiterung 10' frei positioniertes Hebelende 15 ist über Stege 14" und 14'" mit dem äußeren sowie mit dem inneren Teil 1 1 und 12 verbunden. Im Unterschied zu der Ausführung gemäß Fig. 2 sind die zwei als Hebelarme fungierenden Stege 14" und 14'" am Hebelende 15 stark abgeknickt und verlängern sich gegenseitig. Die Stege 14" und 14'" werden durch annähernd radial gerichtete Materialschnitte 10", 10'" und 10"" gebildet, wobei der Materialschnitt 10" einen der entlang des Umfanges des inneren Teils verlaufenden Materialschnitte 10 schneidend begrenzt.
Die beiden Ausführungen gemäß Fig. 2 und 3 unterscheiden sich in tangentialem und radialem Piatzbedarf sowie im Übersetzungsverhältnis. Demgemäß erfolgt auch deren bevorzugte Anwendung.
Die Arbeitsweise zur Verstellung des inneren Teils 12 soll anhand der Ausführung gemäß Fig. 1 und 2 erläutert werden.
Greift eine radiale Kraft FR am Hebelende 15 an, so entsteht durch das Hebelgetriebe 13 eine tangentiale Kraftkomponente Fτ, die den verstellbaren inneren Teil 12 bewegt. Der verstellbare innere Teil 12 bewegt sich dabei auf einer Kreisbahn 20, deren Mittelpunkt 21 der Schnittpunkt der gedachten Verlängerungen 22 der Stege 14 und 14' bzw. 14" und 14'" zweier Hebelgetriebe 13 ist und der durch einen für die Ausführungen gemäß Fig. 2 und 3 unterschiedlichen Versatz zur optischen Achse 2 das Übersetzungsverhältnis bestimmt. Da der Radius 23 der Kreisbahn im Verhältnis zum Verstellweg, der in der Regel ca. einige Mikrometer beträgt, sehr groß ist, kann die Verstellung der optischen Achse 2 als quasilinear angesehen werden.
Eine Verstellung kann an jedem Hebelende 15 eingeleitet werden, so dass das optische Element 1 in jede beliebige Richtung bewegt werden kann, die senkrecht zur optischen Achse 2 verläuft. Als Verstellelement kann im einfachsten Fall ein Gewindestift am Hebelende 15 angreifen. In einer anderen Ausführungsform kommt dazu zum Beispiel ein Piezoaktuator zum Einsatz. Es sind jedoch auch andere, nicht weiter benannte und für den Fachmann gebräuchliche Verstellelemente denkbar.
Da sich die Steifigkeit der Fassung 3 in Richtung der optischen Achse 2 durch die Fassungsdicke in dieser Richtung anpassen lässt, kann durch eine ausreichend dicke Ausführung der Fassung 3 eine hohe Steifigkeit in Richtung der optischen Achse 2 erreicht werden.
Besonderes vorteilhaft wirkt sich zur Lösung der Aufgabe die symmetrische Anordnung der Bauteile, insbesondere der Hebelgetriebe 13 aus. Durch die Verbindung von äußerem und innerem Teil 1 1 , 12 der Fassung 3 an nur drei Stellen, werden Deformationen, die von außen in die Fassung 3 eingebracht werden und bei Montageprozessen unausbleiblich sind, quasi nicht auf das optische Element 1 übertragen.
Aufgrund der Anordnung von drei Hebelgetrieben 13 reicht es aus, die Hebelenden nur in eine Richtung zu bewegen, um trotzdem in erfinderischer Weise eine Verstellung in alle Richtungen senkrecht zur optischen Achse 2 vornehmen zu können, indem z. B. mit einem Gewindestift radial auf das Hebelende 1 5 gedrückt wird.
Die erfindungsgemäße Fassung 3 lässt sich einfach herstellen und ist äußerst Platz sparend. Geeignet ist die Fassung 3 insbesondere für sehr kleine Objektive, wie z. B. Mikroskopobjektive.

Claims

Patentansprüche
1. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente, die durch Materialschnitte in einen feststehenden äußeren Teil und einen verstellbaren inneren Teil unterteilt ist, wobei der verstellbare innere Teil der Aufnahme des optischen Elementes dient, dessen optische Achse durch die laterale Verstellung auszurichten ist, dadurch gekennzeichnet, dass der feststehende äußere Teil (1 1 ) und der verstellbare innere Teil (12) durch drei Hebelgetriebe (13) miteinander verbunden sind.
2. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Hebelgetriebe (13) koaxial zur optischen Achse (2) des optischen Elementes (1 ) und um 120° versetzt angeordnet sind.
3. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Hebelgetriebe (13) aus einem freien Hebelende (15) und zwei Hebelarm bildenden Stegen (14, 14', 14", 14'") bestehen, und dass das freie Hebelende (15) über einen ersten der Stege (14, 14") mit dem äußeren Teil (1 1 ) und einen zweiten der Stege (14', 14"") mit dem inneren Teil (12) in Verbindung steht.
4. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Verstellung des inneren Teils (12) eine Kreisbahn (20) beschreibt, deren Mittelpunkt (21 ) im Schnittpunkt verlängerter Hebelarme zweier Hebelgetriebe (13) liegt, wobei der Schnittpunkt einen Versatz zur optischen Achse (2) aufweist.
5. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Hebelarm bildenden Stege (14, 14') parallel zueinander und tangential zu den Materialschnitten (10) ausgerichtet sind.
6. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Hebelarm bildenden Stege (14", 14'") am Hebelende (15) abgeknickt sind und sich gegenseitig verlängern.
7. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Hebelenden (1 5) für das Angreifen von Verstellelementen ausgebildet sind, wodurch das optische Element (1 ) in jede Richtung bewegbar ist, die senkrecht zur optischen Achse (2) verläuft.
8. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Verstellelement ein Gewindestift vorgesehen ist.
9. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Verstellelement ein Piezoaktuator vorgesehen ist.
10. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der äußere Teil (1 1 ), der innere Teil (1 2) und die Hebelgetriebe (1 3) aus einem Stück gefertigt sind.
1 1 . Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Fassungssteifigkeit in Richtung der optischen Achse (2) des zu fassenden optischen Elementes (1 ) durch die Fassungsdicke in dieser Richtung eingestellt ist.
12. Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der feststehende äußere Teil (1 1 ) mit einem übergeordneten Bauteil fest verbunden ist.
PCT/DE2007/001282 2006-07-21 2007-07-19 Lateral verstellbare fassung für optische elemente WO2008009276A1 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006034451.0 2006-07-21
DE102006034451 2006-07-21
DE102007030579.8 2007-06-29
DE102007030579A DE102007030579B4 (de) 2006-07-21 2007-06-29 Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2008009276A1 true WO2008009276A1 (de) 2008-01-24

Family

ID=38596274

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2007/001282 WO2008009276A1 (de) 2006-07-21 2007-07-19 Lateral verstellbare fassung für optische elemente

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2008009276A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2009235484B2 (en) * 2008-04-07 2013-11-07 Institut Pasteur Opiorphin peptide derivatives as potent inhibitors of enkephalin - degrading ectopetidases

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19901295A1 (de) * 1999-01-15 2000-07-20 Zeiss Carl Fa Optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv, mit wenigstens einem optischen Element
EP1031996A2 (de) * 1999-02-27 2000-08-30 Carl Zeiss Verstellbare Baugruppe
EP1577693A2 (de) * 2004-02-26 2005-09-21 Carl Zeiss SMT AG Objektiv mit wenigstens einem optischen Element

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19901295A1 (de) * 1999-01-15 2000-07-20 Zeiss Carl Fa Optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv, mit wenigstens einem optischen Element
EP1031996A2 (de) * 1999-02-27 2000-08-30 Carl Zeiss Verstellbare Baugruppe
EP1577693A2 (de) * 2004-02-26 2005-09-21 Carl Zeiss SMT AG Objektiv mit wenigstens einem optischen Element

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2009235484B2 (en) * 2008-04-07 2013-11-07 Institut Pasteur Opiorphin peptide derivatives as potent inhibitors of enkephalin - degrading ectopetidases

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2136229B1 (de) Lateral verstellbare optische Fassung mit Kniehebelmanipulatoreinheiten
DE19940124C2 (de) Plattform mit einem Verschiebungsverstärkungsmechanismus
EP2370845B1 (de) Monolithische optische fassung
EP1182485B1 (de) Vorrichtung zum Verstellen der Lage zweier Bauelemente zueinander
DE102007030579A1 (de) Lateral verstellbare Fassung für optische Elemente
DE3829022C2 (de)
EP1113191A2 (de) Bewegungsübertragungsvorrichtung
EP2962674A1 (de) Vorrichtung zur höhenverstellung eines operationstischs
WO2007031054A2 (de) Hebelgetriebe, insbesondere für einen wägeaufnehmer einer nach dem prinzip der elektromagnetischen kraftkompensation arbeitenden waage
WO2018224094A1 (de) Stellvorrichtung
DE3508969A1 (de) Stellmotor
DE4212077C2 (de)
DE102013109605B3 (de) Optische Baugruppe mit einer monolithischen Fassung mit in einer gleichen Richtung wirkenden Stellschrauben
DE10237881B4 (de) Mikromanipulator
WO2008009276A1 (de) Lateral verstellbare fassung für optische elemente
DE20012046U1 (de) Vorrichtung zum Justieren einer Fläche eines Justierteiles
DE102015116584B3 (de) Justierbare Linsenfassung
EP2277210B1 (de) Rotationsantrieb
DE102013018786B3 (de) Zweistufig justierbare Fassung
EP3607374B1 (de) Kartesische positioniervorrichtung und laserbearbeitungskopf mit derselben
EP3095534B1 (de) Biegemaschine
DE69109270T2 (de) Spannvorrichtung mit dazwischen liegender membran.
EP2810114B1 (de) Entkoppelt justierbare fassungsbaugruppe für zwei optische bauteile
EP3072635A2 (de) Vorrichtung zum abstützen eines zu bearbeitenden werkstücks
DE102018103053B3 (de) Bauraumoptimierte Linsenfassung mit elastischen Verbindungsstrukturen

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 07785651

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: RU

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 07785651

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1