JP2000241128A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2000241128A5
JP2000241128A5 JP1999154540A JP15454099A JP2000241128A5 JP 2000241128 A5 JP2000241128 A5 JP 2000241128A5 JP 1999154540 A JP1999154540 A JP 1999154540A JP 15454099 A JP15454099 A JP 15454099A JP 2000241128 A5 JP2000241128 A5 JP 2000241128A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical path
light
luminous flux
moving
path length
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1999154540A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2000241128A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP11154540A priority Critical patent/JP2000241128A/ja
Priority claimed from JP11154540A external-priority patent/JP2000241128A/ja
Publication of JP2000241128A publication Critical patent/JP2000241128A/ja
Publication of JP2000241128A5 publication Critical patent/JP2000241128A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP11154540A 1998-12-25 1999-06-02 面間隔測定方法および装置 Pending JP2000241128A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11154540A JP2000241128A (ja) 1998-12-25 1999-06-02 面間隔測定方法および装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP37108998 1998-12-25
JP10-371089 1998-12-25
JP11154540A JP2000241128A (ja) 1998-12-25 1999-06-02 面間隔測定方法および装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000241128A JP2000241128A (ja) 2000-09-08
JP2000241128A5 true JP2000241128A5 (enExample) 2006-07-27

Family

ID=26482798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11154540A Pending JP2000241128A (ja) 1998-12-25 1999-06-02 面間隔測定方法および装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000241128A (enExample)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002310620A (ja) * 2001-04-19 2002-10-23 Olympus Optical Co Ltd レンズ中肉厚測定装置及びレンズ中肉厚測定方法
JP2003098034A (ja) * 2001-09-26 2003-04-03 Olympus Optical Co Ltd レンズ面間隔測定装置および測定方法
DE10301416B3 (de) * 2003-01-16 2004-07-15 Medizinisches Laserzentrum Lübeck GmbH Verfahren und Vorrichtung zur kontaktlosen Temperaturüberwachung und -regelung
WO2006088186A1 (ja) * 2005-02-21 2006-08-24 National University Corporation Nagoya University 二物体間の隙間測定装置、隙間測定方法、及び隙間測定装置の較正方法
JP4908273B2 (ja) * 2007-03-15 2012-04-04 富士通株式会社 表面形状計測装置及び表面形状計測方法
JP4939304B2 (ja) * 2007-05-24 2012-05-23 東レエンジニアリング株式会社 透明膜の膜厚測定方法およびその装置
JP2012232383A (ja) * 2011-05-02 2012-11-29 Olympus Corp 光学素子製造装置及び光学素子製造方法
JP5847519B2 (ja) * 2011-09-29 2016-01-20 京セラクリスタルデバイス株式会社 ウエハの接合装置
KR101457303B1 (ko) * 2013-10-07 2014-11-04 조선대학교산학협력단 근적외선을 이용한 웨이퍼 형상, 두께, 굴절률 3d 측정 장치 및 방법
CN105674902B (zh) * 2016-01-08 2018-04-17 中国科学院上海光学精密机械研究所 光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法
CN105674903B (zh) * 2016-01-08 2018-04-17 中国科学院上海光学精密机械研究所 透镜组镜面间距的测量装置和测量方法
CN112362311B (zh) * 2020-12-07 2025-01-28 中测光科(福建)技术有限公司 一种双光路镜头间距测量系统及其工作方法
WO2025203289A1 (ja) * 2024-03-27 2025-10-02 株式会社ニコン 干渉計測装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3206984B2 (ja) * 1992-09-25 2001-09-10 オリンパス光学工業株式会社 レンズ総合検査機
JP3459327B2 (ja) * 1996-06-17 2003-10-20 理化学研究所 積層構造体の層厚および屈折率の測定方法およびその測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000241128A5 (enExample)
JP2004504586A5 (enExample)
RU2009110889A (ru) Детектор скорости
DK0736759T3 (da) Interferometer med mikrospejl
EP1503403A4 (en) RETICLES AND METHOD FOR MEASURING OPTICAL PROPERTIES
DE60036144D1 (de) Optische Messeinrichtung zur Messung von Objekten auf Maschinen
CA2235238A1 (en) High energy laser focal sensor
JPWO2013084557A1 (ja) 形状測定装置
JP3310945B2 (ja) 非接触表面形状測定方法
EP1111473A3 (en) Lithographic apparatus with vacuum chamber and interferometric alignment system
WO2004040234A3 (de) Anordnung zur messung der geometrie bzw. struktur eines objektes
JPH10142078A (ja) 非接触温度測定装置
JPH0560602A (ja) 光強度分布測定装置
JPH09196630A (ja) 光学定数測定装置および顕微鏡
JPH11304640A (ja) 光学素子検査装置
JP4853941B2 (ja) 波面測定用干渉計装置
JP2005172452A (ja) 高精度波面収差測定装置
JP2000046535A (ja) 角度測定装置
JP2596944Y2 (ja) ヘッドライトテスターの配光スクリーン
JP2005077116A (ja) 干渉計及び投影光学系の製造方法
DE69310969D1 (de) Vorrichtung zum Messen der axialen Geschwindigkeit
JP2006145449A (ja) 傾き測定方法及び装置
JPH1090114A (ja) レンズ評価装置
JPH06196387A (ja) 基板の焦点合わせ方法および投影露光方法
JP2591504B2 (ja) 高さ測定装置