JP2003098034A - レンズ面間隔測定装置および測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被検レンズ内に一方の光源の波長域を透過しな
いフィルタが含まれている場合など、あらゆる被検レン
ズの面間隔を高精度で測定する。 【解決手段】レンズ面間隔測定装置において、互いに中
心波長が異なる複数の光源２１、２２と、該光源からの
光束を合成する第１光束合成手段２５と、これにより合
成された光束を２方向に分割する光束分割手段２７と、
分割された一方の光束の光路長を変化させる光路長可変
手段３０と、この位置を検出する位置検出手段３２と、
分割された他方の光束を被検レンズに導く導光手段３５
と、光路長を変化させられた光束と被検レンズ３３のレ
ンズ面により反射された光束とを合成する第２光束合成
手段２７と、これにより合成された干渉光の強度信号を
検出する光電検出器４０と、位置検出手段３２の出力と
光電検出器４０の出力とを演算処理する演算処理手段４
１とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、低コヒーレンス干
渉法を用いて、組み上がりレンズのレンズ面間隔を測定
する測定装置および測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、可干渉距離の短い光源を用い、レ
ンズ面のような被検面の位置を検出する装置には、「位
置検出装置」として特公平４−５３２４１号公報所載の
技術が開示されており、その詳細な説明において、この
位置検出装置をレンズ面間隔の測定に用いることが示唆
されている。図５は、この従来技術によりレンズ面間隔
を測定する構成を示した概念図である。

【０００３】図５において、可干渉距離の短い光源１０
１から発せられた光は、光束分割手段１０２によって分
割される。光束分割手段１０２を透過した光束は、光路
長を変化させる参照光学系１０３で反射した後、光束分
割手段１０２により反射されて干渉縞読み取り手段１０
８に入射する。一方、光束分割手段１０２により反射さ
れた光束は、被検レンズ１０４の第１レンズ１０５の裏
面１０５ｂで反射した後、光束分割手段１０２を透過し
て、同様に、干渉縞読み取り手段１０８に入射する。干
渉縞読み取り手段１０８は、入射した２本の光束の合成
により発生した干渉パターンを読み取るが、このコント
ラストが最大になるのは両光束の光路長が等しくなった
場合である。参照光学系１０３を移動させてこのコント
ラストが最大になる位置を見出し、Ｐとする。同様な測
定を被検レンズ１０４の第２レンズ１０７の表面１０７
ａについて行い、このときの参照光学系１０３の位置を
Ｑとする。こうして得られたＰ−Ｑ間の距離は、第１レ
ンズ１０５の裏面１０５ｂと第２レンズ１０７の表面１
０７ａとの間隔ｄに等しく、このようにして第１レンズ
１０５と第２レンズ１０７とのレンズ面間隔ｄが求めら
れる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記従来技
術によりレンズ面間隔を測定する場合、つぎのような問
題点があった。すなわち、被検レンズ１０４内に、特定
の波長域をカットするフィルタ１０６を用いることはし
ばしば行われるが、フィルタ１０６が図２に示すような
分光透過率特性をもつ赤外線カットフィルタである場
合、光源１０１として近赤外域（７００ｎｍ〜１１００
ｎｍ）の低コヒーレンス光源を用いると、被検レンズ１
０４に入射した光束はフィルタ１０６を通過することが
できないため、第２レンズ１０７の表面１０７ａに光が
到達せず、第１レンズ１０５と第２レンズ１０７とのレ
ンズ面間隔ｄは求められない。

【０００５】また、レンズに反射防止膜を持たせること
もしばしば行われるが、仮に第２レンズ１０７の表面１
０７ａに可視域反射防止コートが施されている場合、光
源１０１として可視域（４００ｎｍ〜７００ｎｍ）の低
コヒーレンス光源を用いると、第２レンズ１０７の表面
１０７ａからの反射光量が極めて少ないため、やはり第
１レンズ１０５と第２レンズ１０７とのレンズ面間隔ｄ
の測定が困難である。光源１０１として波長１１００ｎ
ｍ以上の赤外域の低コヒーレンス光源を用いれば、これ
らの問題は回避されるが、干渉縞読み取り手段１０８に
主に用いられる撮像素子としてのＣＣＤは、このような
波長域に感度を有しないため、干渉縞を読み取ることが
できない。また、１１００ｎｍ以上の波長域に感度を有
する撮像素子も存在はするが、極めて高価であるという
問題を有する。

【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、請求項１または２に係る発明の課題は、被
検レンズ内に一方の光源の波長域を透過しないフィルタ
が含まれている場合や、被検レンズに可視域反射防止コ
ートが施されている場合などあらゆる被検レンズの面間
隔を高精度で測定することができるレンズ面間隔測定装
置を提供することである。

【０００７】請求項３に係る発明の課題は、請求項１ま
たは２に係る発明のレンズ面間隔測定装置を用いたレン
ズ面間隔測定方法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、レンズ面間隔測定装置にお
いて、可干渉距離が短く、互いに中心波長が異なる複数
の光源と、該光源からの光束を合成する第１光束合成手
段と、該第１光束合成手段により合成された光束を２方
向に分割する光束分割手段と、該光束分割手段により分
割された一方の光束の光路長を変化させる光路長可変手
段と、該光路長可変手段の位置を検出する位置検出手段
と、前記光束分割手段により分割された他方の光束を被
検レンズに導く導光手段と、前記光路長可変手段により
光路長を変化させられた光束と被検レンズを構成するレ
ンズの面により反射された光束とを合成する第２光束合
成手段と、該第２光束合成手段により合成された干渉光
の強度信号を検出する光電検出器と、前記位置検出手段
の出力と前記光電検出器の出力とを演算処理する演算処
理手段とを備えた。

【０００９】請求項２に係る発明は、レンズ面間隔測定
装置において、可干渉距離が短く、互いに中心波長が異
なる複数の光源と、該光源からの光束を合成する第１光
束合成手段と、該第１光束合成手段により合成された光
束を２方向に分割する第１光束分割手段と、該第１光束
分割手段により分割された一方の光束の光路長を変化さ
せる光路長可変手段と、該光路長可変手段の位置を検出
する位置検出手段と、前記第１光束分割手段により分割
された他方の光束を被検レンズに導く導光手段と、前記
被検レンズの光軸を調整するためのアライメント手段
と、前記光路長可変手段により光路長を変化させられた
光束と前記被検レンズを構成するレンズの面により反射
された光束とを合成する第２光束合成手段と、該第２光
束合成手段により合成された光束を２方向に分割する第
２光束分割手段と、該第２光束分割手段により分割され
た一方の光束を撮像する撮像素子と、前記第２の光束分
割手段により分割された他方の光束の干渉光強度信号を
検出する光電検出器と、前記位置検出手段の出力と前記
光電検出器の出力とを演算処理する演算処理手段とを備
えた。

【００１０】請求項３に係る発明は、レンズ面間隔測定
方法において、可干渉距離が短く、互いに中心波長が異
なる複数の光源からの光束を合成させ、合成された光束
を２方向に分割した後、光路長を変化させた一方の光束
と被検レンズを構成するレンズの面により反射された他
方の光束とを合成させ、合成された光束の干渉光強度信
号を検出し、光路長の変化量と干渉光強度信号とによ
り、被検レンズを構成するレンズの面間隔を測定する。

【００１１】請求項１に係る発明のレンズ面間隔測定装
置では、互いに中心波長が異なる複数の光源から発した
光束は第１光束合成手段にて合成され、合成された光束
は光束分割手段により２方向に分割され、分割された一
方の光束は光路長可変手段により光路長を変化させられ
て反射され、同時に位置検出手段により光路長可変手段
の位置が検出される。分割された他方の光束は導光手段
により、被検レンズ内に一方の光源の波長域を透過しな
いフィルタや可視域反射防止コートがある場合でも、こ
れらを透過する波長域の他方の光源からの光束が被検レ
ンズの測定対象レンズ面に導かれて反射され、それぞれ
の反射光束は第２光束合成手段により合成されて干渉光
となり、この干渉光は光電検出器により強度信号を検出
され、演算処理手段により位置検出手段の出力と光電検
出器の出力とが演算処理されて、光路長の変化量と干渉
光の強度信号とにより、被検レンズの測定対象レンズ面
間の間隔が測定される。

【００１２】請求項２に係る発明のレンズ面間隔測定装
置では、互いに中心波長が異なる複数の光源から発した
光束は第１光束合成手段にて合成され、合成された光束
は第１光束分割手段により２方向に分割され、分割され
た一方の光束は光路長可変手段により光路長を変化させ
られて反射され、同時に位置検出手段により光路長可変
手段の位置が検出される。分割された他方の光束は導光
手段により、被検レンズ内に一方の光源の波長域を透過
しないフィルタや可視域反射防止コートがある場合で
も、これらを透過する波長域の他方の光源からの光束が
予めアライメント手段により光軸が調整された被検レン
ズの測定対象レンズ面に導かれて反射され、それぞれの
反射光束は第２光束合成手段により合成されて干渉光と
なり、この干渉光は第２光束分割手段により２方向に分
割され、一方の光束は 撮像素子により撮像され、他方
の光束は光電検出器により干渉光強度信号を検出され、
演算処理手段により位置検出手段の出力と光電検出器の
出力とが演算処理されて、光路長の変化量と干渉光の強
度信号とにより、被検レンズの測定対象レンズ面間の間
隔が測定される。

【００１３】請求項３に係る発明のレンズ面間隔測定方
法では、請求項１または２に係る発明のレンズ面間隔測
定装置を用いて、可干渉距離が短く、互いに中心波長が
異なる複数の光源からの光束を合成させることにより、
被検レンズ内に一方の光源の波長域を透過しないフィル
タや可視域反射防止コートがある場合でも、これらを透
過する波長域の他方の光源からの光束が被検レンズの測
定対象レンズ面に導かれて反射され、レンズ面間隔の測
定が可能となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態のレンズ面間
隔測定装置について、その概要を説明する。図１はレン
ズ面間隔測定装置の概略構成図、図２は赤外カットフィ
ルタの分光透過率特性を示す図表である。

【００１５】図１において、光源１と光源９とは、それ
ぞれ中心波長が異なる低コヒーレンス光源であり、各光
源１、９からの光束を合成して１本の光束にするための
光束合成手段１０が配置されている。合成された光束の
光軸上には、光束を垂直反射する光路長可変手段３が設
けられている。光束合成手段１０と光路長可変手段３と
の中間位置には、光束分割合成手段２が配置されてお
り、合成された光束が光束分割合成手段２により反射さ
れた光軸上に被検レンズ４が配置されている。被検レン
ズ４は、光束分割合成手段２に近い側から第１レンズ
５、図２に示すような分光透過率特性を有する赤外カッ
トフィルタ６、第２レンズ７から構成されている。

【００１６】ここで、赤外カットフィルタ６は、光源１
の波長は透過し、光源９の波長は透過しないものとす
る。光束分割合成手段２に関し、被検レンズ４と反対側
の光軸上には撮像素子８が配置されており、撮像素子８
には、光路長可変手段３からの反射光と被検レンズ４か
らの反射光とが光束分割合成手段２によって合成された
光束が入射する。撮像素子８は光源９の波長に対しては
感度を有しないものである。撮像素子８と光束分割合成
手段２の中間位置には、光束分割手段１１が配置されて
おり、上記合成された光束の一部を反射して光電検出器
１２に入射させる。光電検出器１２は光源１の波長およ
び光源９の波長のいずれに対しても感度を有するもので
ある。

【００１７】上記構成のレンズ面間隔測定装置を用い
て、被検レンズ４の第１レンズ５と第２レンズ７とのレ
ンズ面間隔ｄを測定する方法について説明する。光源１
および光源９からの光束は、光束合成手段１０により合
成されて異なる波長成分を含む１本の光束となる。この
光束は、光束分割合成手段２により光路長可変手段３に
向かう光束と被検レンズ４に向かう光束とに分割され
る。光路長可変手段３に向かう光束は、全て光路長可変
手段３により反射された後、光束分割合成手段２に向か
う。被検レンズ４に向かう光束のうち、光源１の波長成
分は被検レンズ４の第１レンズ５の裏面５ｂおよび第２
レンズ７の表面７ａで反射された後、光束分割合成手段
２に向かうが、光源９の波長成分は赤外カットフィルタ
６を透過しないため、第１レンズ５の裏面５ｂで反射さ
れた光束のみが光束分割合成手段２に向かう。これらの
光束は、光束分割合成手段２により合成されて再度１本
の光束となった後、光束分割手段１１により、一部は撮
像素子８に、他の一部は光電検出器１２に入射する。

【００１８】まず、光路長可変手段３からの反射光と被
検レンズ４の第１レンズ５の裏面５ｂからの反射光の光
路長が略等しくなるように光路長可変手段３を移動さ
せ、両光束の合成による干渉パターンを撮像素子８に取
り込む。干渉パターンの形状を観察しながら、被検レン
ズ４の光軸を測定光学系の光軸に合わせるアライメント
を行う。この近辺で光路長可変手段３を細かく移動さ
せ、光電検出器１２に入射した光束の干渉光強度が極値
をとる位置を見出し、この位置をＰとして記憶する。次
に、光路長可変手段３からの反射光と被検レンズ４の第
２レンズ７の表面７ａからの反射光の光路長が略等しく
なるように光路長可変手段３を移動させ、光電検出器１
２に入射した光束の干渉光強度が極値をとる位置を見出
し、この位置をＱとして記憶する。最後に、Ｐ−Ｑ間距
離として第１レンズ５と第２レンズ７とのレンズ面間隔
ｄを求める。

【００１９】上記構成のレンズ面間隔測定装置およびこ
れを用いたレンズ面間隔測定方法によれば、被検レンズ
内に光源の波長域を透過しないフィルタが含まれていて
も、この光源と撮像素子とによりアライメントを行い、
フィルタを透過する波長域の別の光源と、この波長域に
感度を有する光電検出器とを用いることにより、被検レ
ンズのレンズ面間隔を高精度で測定することができる。

【００２０】以下、具体的な実施の形態について説明す
る。

【００２１】（実施の形態１）図３は実施の形態１を示
し、レンズ面間隔測定装置の構成図である。図３におい
て、光源２１と光源２２とは、それぞれ８５０ｎｍ、１
３００ｎｍに中心波長を有する低コヒーレンス光源であ
り、各光源からの出射方向が直交するように配置されて
いる。各光源の前方には、それぞれの光源から発せられ
た光を平行光束にするためのコリメータレンズ２３、２
４が配置されており、さらにその前方には、各々の平行
光束を合成して１本の平行光束にするための第１光束合
成手段としてのハーフミラー２５が配置されている。ハ
ーフミラー２５に替えて、ダイクロイックミラーのよう
な波長選択ミラーを用いてもかまわない。合成された平
行光束の光軸上には、偏光板２６、光束分割手段または
第１光束分割手段かつ第２光束合成手段としての偏光ビ
ームスプリッタ２７、λ／４板２８、光路長可変手段と
しての参照ミラー３０が順に配置されている。参照ミラ
ー３０には、コーナーキューブ３１が、コーナーを参照
ミラー３０側に向けた状態で固定されている。コーナー
キューブ３１の前方には、測長機３２が配置されてお
り、コーナーキューブ３１と測長機３２とで位置検出手
段を構成している。

【００２２】偏光ビームスプリッタ２７により反射され
た光束の光軸上には、λ／４板２９、平行光束を被検レ
ンズの測定対象レンズに球心入射させるために、導光手
段としての光軸方向に移動可能なコリメータレンズ３
５、被検レンズ３３が順に配置されている。被検レンズ
３３は、アライメント手段としての図示しないアライメ
ントステージ上にマウントされ、コリメータレンズ３５
に近い側から第１レンズ３３ａ、第２レンズ３３ｂ、第
３レンズ３３ｃ、図２に示すような分光透過率特性を有
する赤外カットフィルタ３４、第４レンズ３３ｄの５部
品から構成されており、各レンズの任意の面には可視域
反射防止コートが施されている。また、赤外カットフィ
ルタ３４は光源２２の波長（中心波長１３００ｎｍ）は
透過するが、光源２１の波長（中心波長８５０ｎｍ）は
透過しない。

【００２３】偏光ビームスプリッタ２７に対し、被検レ
ンズ３３側と反対側の光軸上には、偏光板３６、第２光
束分割手段としての無偏光ビームスプリッタ３７、撮像
素子３８が順に配置されており、撮像素子３８には、参
照ミラー３０からの反射光と被検レンズ３３からの反射
光とが偏光ビームスプリッタ２７によって合成された光
束が入射する。撮像素子３８は光源２２の波長に対して
は感度を有しないが、光源２１の波長に対しては感度を
有するものであって、一般にはＣＣＤが用いられてい
る。偏光ビームスプリッタ２７によって合成された光束
のうち、無偏光ビームスプリッタ３７によって反射され
る光束の光軸上には、レンズ３９、光電検出器４０が順
に配置されている。光電検出器４０は、少なくとも光源
２２の波長に対して感度を有するものであればよい。無
偏光ビームスプリッタ３７に替えて、波長選択ミラーを
用いるか、撮像素子３８および光電検出器４０の直前に
バンドパスフィルタを設けることで、撮像素子３８には
光源２１からの光のみを、光電検出器４０には光源２２
からの光のみを入射させることも可能である。また、測
長機３２、撮像素子３８および光電検出器４０は、演算
処理手段としての画像処理機能を有するＰＣ４１および
モニタ４２に接続されている。

【００２４】つぎに、上記構成のレンズ面間隔測定装置
を用いて、被検レンズ３３の第３レンズ３３ｃと第４レ
ンズ３３ｄとのレンズ面間隔ｄを測定する方法について
説明する。光源２１および光源２２からの光束は、それ
ぞれコリメータレンズ２３、２４で平行光束とされた
後、ハーフミラー２５により合成されて赤外域の異なる
波長成分を含む１本の平行光束となる。この光束は、偏
光板２６により直線偏光にされた後、偏光ビームスプリ
ッタ２７によりＰ偏光とＳ偏光とに分割される。このう
ちＰ偏光は、偏光ビームスプリッタ２７を通過し、λ／
４板２８で円偏光にされた後、参照ミラー３０により反
射され、λ／４板２８でＳ偏光にされた後、偏光ビーム
スプリッタ２７により反射される。

【００２５】一方、Ｓ偏光は、偏光ビームスプリッタ２
７で反射され、λ／４板２９で円偏光にされた後、コリ
メータレンズ３５により集光されて被検レンズ３３に入
射する。その後、第１〜第４レンズ３３ａ〜３３ｄの各
表面で反射され、コリメータレンズ３５により再度平行
光束にされた後、λ／４板２９でＰ偏光にされ、偏光ビ
ームスプリッタ２７を透過する。偏光ビームスプリッタ
２７により反射された光束と偏光ビームスプリッタ２７
を透過した光束とは合成され、偏光板３６を透過した
後、無偏光ビームスプリッタ３７により分割され、一方
は撮像素子３８に、他方はレンズ３９を介して光電検出
器４０に入射する。

【００２６】つぎに、レンズ面間隔測定方法の作業手順
について説明する。まず、コリメータレンズ３５を、光
束が被検レンズ３３の第３レンズ３３ｃの裏面の曲率中
心に合焦するように移動させる。つぎに、参照ミラー３
０からの反射光と被検レンズ３３の第３レンズ３３ｃの
裏面からの反射光との光路長が略等しくなるように参照
ミラー３０を移動させ、両光束の合成による干渉パター
ンを撮像素子３８に取り込みモニタ４２に表示する。モ
ニタ４２に表示された干渉パターンの形状を観察しなが
ら、図示しないアライメントステージを調整して、被検
レンズ３３の光軸を測定光学系の光軸に合わせるアライ
メント作業を行う。次いで、この近辺で参照ミラー３０
を走査し、測長機３２の出力と光電検出器４０の出力
（干渉光強度）をＰＣ４１に記録する。ＰＣ４１は干渉
光強度が極値をとる参照ミラー３０の位置を求め、この
位置をＰとして記憶する。以上の工程を、被検レンズ３
３の第４レンズ３３ｄの表面についても行い、このとき
の参照ミラー３０の位置をＱとして記憶する。最後に、
Ｐ−Ｑ間距離として第３レンズ３３ｃと第４レンズ３３
ｄとの面間隔ｄを求める。

【００２７】なお、本実施の形態では、異なる２個のレ
ンズについて測定を行うことでレンズ面間隔を求めた
が、同様の測定を同一レンズの表面と裏面とに対し行え
ば、レンズ肉厚を求めることが可能である。

【００２８】本実施の形態によれば、被検レンズ内に一
方の光源の波長域を透過しないフィルタが含まれている
場合や、被検レンズに可視域反射防止コートが施されて
いる場合でも、この光源と撮像素子とによりアライメン
トを行い、フィルタを透過する波長域の他方の光源と、
この波長域に感度を有する光電検出器とを用いることに
より、被検レンズのレンズ面間隔を高精度で測定するこ
とができる。また、高価な撮像素子を用いる必要がない
ため、安価な測定装置とすることができる。

【００２９】（実施の形態２）図４は実施の形態２を示
し、レンズ面間隔測定装置の構成図である。本実施の形
態は、実施の形態１のレンズ面間隔測定装置の第１光束
合成手段を変更した変形例である。

【００３０】図４において、光源２１と光源２２とは、
実施の形態１と同様に、それぞれ８５０ｎｍ、１３００
ｎｍに中心波長を有する低コヒーレンス光源であり、各
光源の前方には、それぞれレンズ５１、５２、光ファイ
バ５３、５４が順に配置されている。光ファイバ５３、
５４の他端は、第１光束合成手段としてのカプラ５５に
よりつながっており、その先には、カプラ５５からの出
射光を平行光束にするためのコリメータレンズ５７が配
置されている。その他の構成は実施の形態１のレンズ面
間隔測定装置と同様のため、説明を省略する。

【００３１】つぎに、上記構成のレンズ面間隔測定装置
を用いて、被検レンズ３３の第３レンズ３３ｃと第４レ
ンズ３３ｄとのレンズ面間隔ｄを測定する方法について
説明する。光源２１および光源２２からの光束は、それ
ぞれレンズ５１、５２により集光されて、光ファイバ５
３、５４の一端に入射する。光ファイバ５３、５４を通
った光は、カプラ５５により合成されて赤外域の異なる
波長成分を含む１本の光束とされた後、コリメータレン
ズ５７により平行光束となる。以降の作用および作業手
順は、実施の形態１と同様のため説明を省略する。

【００３２】本実施の形態によれば、実施の形態１と同
様の効果に加え、光束合成時に生じやすい光束のズレを
防止することができるとともに、光ファイバがピンホー
ルの作用をし、空間フィルタリングがなされるため、測
定光束の品質がよくなり、より高精度のレンズ面間隔測
定を行うことができる。

【００３３】なお、上述の各実施の形態においては、２
個の光源を用いたが、３個以上の光源を用いてもかまわ
ない。また、２個の光源の中心波長も８５０ｎｍと１３
００ｎｍとに限定されることなく、被検レンズ内に含ま
れているフィルタの分光透過率特性や、被検レンズを構
成している各レンズの反射防止コートの有無によって、
適切な波長の光源を選択することができる。低コヒーレ
ンス光源としては、スーパールミネッセントダイオード
（ＳＬＤ）や、閾値電流以下で動作させた半導体レー
ザ、パルスレーザ等が使用可能である。また、撮像素子
としては２次元のＣＣＤを用いたが、ＣＣＤラインセン
サを走査してもよい。光電検出器としては、フォトダイ
オードやフォトマルチプライヤ等が使用可能である。

【００３４】さらに、被検レンズのアライメント作業
は、干渉パターンの画像をモニタで観察しながら手動に
て行ってもよい。また、干渉パターンを画像処理し、そ
の結果をアライメントステージの駆動にフィードバック
する自動制御としてもよい。

【００３５】

【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、被検レン
ズ内に一方の光源の波長域を透過しないフィルタや可視
域反射防止コートがある場合でも、これらを透過する波
長域の他方の光源からの光束が被検レンズの測定対象レ
ンズ面に導かれて反射されるようにしたので、被検レン
ズのレンズ面間隔を高精度で測定することができる。

【００３６】請求項２に係る発明によれば、被検レンズ
内に一方の光源の波長域を透過しないフィルタや可視域
反射防止コートがある場合でも、この光源と撮像素子と
によりアライメントを行った後、フィルタを透過する波
長域の他方の光源とこの波長域に感度を有する光電検出
器を用いることにより干渉強度の測定を行うようにした
ので、被検レンズのレンズ面間隔を高精度で測定するこ
とができる。

【００３７】請求項３に係る発明によれば、被検レンズ
内に一方の光源の波長域を透過しないフィルタや可視域
反射防止コートがある場合でも、これらを透過する波長
域の他方の光源からの光束が被検レンズの測定対象レン
ズ面に導かれて反射されるようにしたので、被検レンズ
のレンズ面間隔を高精度で測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】発明の実施の形態のレンズ面間隔測定装置の概
略構成図である。

【図２】発明の実施の形態の赤外カットフィルタの分光
透過率特性を示す図表である。

【図３】実施の形態１のレンズ面間隔測定装置の構成図
である。

【図４】実施の形態２のレンズ面間隔測定装置の構成図
である。

【図５】従来技術のレンズ面間隔を測定する構成を示し
た概念図である。

【符号の説明】

２１、２２ 光源 ２５ ハーフミラー ２７ 偏光ビームスプリッタ ３０ 参照ミラー ３２ 測長機 ３３ 被検レンズ ４０ 光電検出器 ４１ ＰＣ

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA22 BB22 CC22 DD05 DD19 FF52 GG01 GG23 HH03 HH10 HH13 JJ01 JJ03 JJ09 JJ15 JJ26 LL02 LL04 LL17 LL33 LL36 LL37 NN06 PP12 QQ25 SS13 UU04 UU07 2G086 FF01 FF02 FF06

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可干渉距離が短く、互いに中心波長が異
   なる複数の光源と、該光源からの光束を合成する第１光
   束合成手段と、該第１光束合成手段により合成された光
   束を２方向に分割する光束分割手段と、該光束分割手段
   により分割された一方の光束の光路長を変化させる光路
   長可変手段と、該光路長可変手段の位置を検出する位置
   検出手段と、前記光束分割手段により分割された他方の
   光束を被検レンズに導く導光手段と、前記光路長可変手
   段により光路長を変化させられた光束と被検レンズを構
   成するレンズの面により反射された光束とを合成する第
   ２光束合成手段と、該第２光束合成手段により合成され
   た干渉光の強度信号を検出する光電検出器と、前記位置
   検出手段の出力と前記光電検出器の出力とを演算処理す
   る演算処理手段とを備えたことを特徴とするレンズ面間
   隔測定装置。
2. 【請求項２】 可干渉距離が短く、互いに中心波長が異
   なる複数の光源と、該光源からの光束を合成する第１光
   束合成手段と、該第１光束合成手段により合成された光
   束を２方向に分割する第１光束分割手段と、該第１光束
   分割手段により分割された一方の光束の光路長を変化さ
   せる光路長可変手段と、該光路長可変手段の位置を検出
   する位置検出手段と、前記第１光束分割手段により分割
   された他方の光束を被検レンズに導く導光手段と、前記
   被検レンズの光軸を調整するためのアライメント手段
   と、前記光路長可変手段により光路長を変化させられた
   光束と前記被検レンズを構成するレンズの面により反射
   された光束とを合成する第２光束合成手段と、該第２光
   束合成手段により合成された光束を２方向に分割する第
   ２光束分割手段と、該第２光束分割手段により分割され
   た一方の光束を撮像する撮像素子と、前記第２の光束分
   割手段により分割された他方の光束の干渉光強度信号を
   検出する光電検出器と、前記位置検出手段の出力と前記
   光電検出器の出力とを演算処理する演算処理手段とを備
   えたことを特徴とするレンズ面間隔測定装置。
3. 【請求項３】 可干渉距離が短く、互いに中心波長が異
   なる複数の光源からの光束を合成させ、合成された光束
   を２方向に分割した後、光路長を変化させた一方の光束
   と被検レンズを構成するレンズの面により反射された他
   方の光束とを合成させ、合成された光束の干渉光強度信
   号を検出し、光路長の変化量と干渉光強度信号とによ
   り、被検レンズを構成するレンズの面間隔を測定するこ
   とを特徴とするレンズ面間隔測定方法。