JP2000241128A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 空間的コヒーレンス長が短い低コヒーレンス光源と、
該低コヒーレンス光源から射出された光束を、第１の光路と第２の光路に向けて分割する光束分割手段と、
前記第１の光路中に配置され、被検物を保持する保持手段と、
光束反射手段を備え、前記第２の光路における光束の光路長を変化させる光路長変化手段と、
前記第１の光路からの光束と前記第２の光路からの光束を重ね合わせる光束合成手段と、
前記重ねあわされた光束によって生ずる干渉信号を検出する光強度検出手段と、
光強度検出手段からの前記干渉信号を処理する信号処理手段を備え、
該信号処理手段は、前記光強度検出手段からの前記干渉信号と前記光路長変化手段からの情報により、前記光学素子又は前記光学系における面の間隔を算出する工程を備えることを特徴とする面間隔測定装置。
【請求項２】 前記第光路分割手段と前記保持手段の間に配置され、前記第１の光路における光束を集光する第１の集光手段と、
該第１の集光手段と前記保持手段の少なくとも一方を移動させる移動手段を有することを特徴とする請求項１記載の面間隔測定装置。
【請求項３】 前記光束反射手段はミラーあるいはプリズムであり、
前記光路長変化手段は、前記光束反射手段を移動させる移動手段と移動量を測定する移動量測定手段を備えることを特徴する請求項１又は２記載の面間隔測定装置。
【請求項４】 前記光束反射手段は前記被検物と同じ構成を有し、
前記光路分割手段と前記光束反射手段の間に配置された第２の集光手段を備え、
前記光路長変化手段は、前記第２の集光手段を移動させる移動手段と移動量を測定する移動量測定手段を備えることを特徴する請求項１又は２記載の面間隔測定装置。
【請求項５】 前記信号処理手段は、前記移動量測定手段で得られた値から前記被検物における倍率、光路長あるいは収差成分を補正する工程を備えることを特徴とする請求項３又は４記載の面間隔測定装置。
【請求項６】 前記第光路分割手段と前記第１の集光手段の間に配置された第３の集光手段と、
前記第３の集光手段による集光位置に配置されたピンホールを備えることを特徴とする請求項２から５の何れか１項記載の面間隔測定装置。
【請求項７】 低コヒーレンス光源から射出された光束を第１の光束と第２の光束に分割した後、前記第１の光束と前記第２の光束を合成して干渉信号を発生させ、該干渉信号を用いて面間隔測定方法であって、
前記第１の光束を被検物の第１の被検面に集光させると共に、前記第２の光束の光路長を変化させて、前記干渉信号がピークとなる状態にし、該状態における第１の位置情報を記憶し、
前記第１の光束を前記被検物の第２の被検面に集光させると共に、前記第２の光束の光路長を変化させて、前記干渉信号がピークとなる状態にし、該状態における第２の位置情報を記憶し、
前記第１の位置情報と前記第２の位置情報から、前記第１の被検面と前記第２の被検面の間隔を求めることを特徴とする面間隔測定方法。
【請求項８】 前記被検物における倍率、光路長あるいは収差成分を補正することを特徴とする請求項７記載の面間隔測定装置。