JP2000219592A - 単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料 - Google Patents
単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料Info
- Publication number
- JP2000219592A JP2000219592A JP11019246A JP1924699A JP2000219592A JP 2000219592 A JP2000219592 A JP 2000219592A JP 11019246 A JP11019246 A JP 11019246A JP 1924699 A JP1924699 A JP 1924699A JP 2000219592 A JP2000219592 A JP 2000219592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- crucible
- single crystal
- carbon fiber
- fiber reinforced
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
置用炭素繊維強化炭素複合材料を提供する。 【解決手段】 C/C材表面の全部又は一部に、表面放
射率が仮想黒体を1とした場合に、0.45〜0.75
と高いISO組織の熱分解炭素を選択的に表面層に含浸
被覆する。
Description
法(以下CZ法と呼ぶ)によるシリコン単結晶引き上げ
等の単結晶引き上げ用ルツボ等に使用される、特に炭素
繊維強化炭素複合材料(以下C/C材と呼ぶ)を含んで
形成されたものに関する。
シリコン等の半導体材料を溶融するための石英ルツボを
外部から支持するものであり、従来から黒鉛製のルツボ
が用いられてきた。最近では、製造する単結晶が大口径
化しつつあることに伴い、前記のCZ法に用いられる引
き上げ装置も大型化されている。これによって、従来の
黒鉛製ルツボでは重量が増加することによるハンドリン
グ上の問題や、装置価格が高くなるという問題がでてき
た。
して、各種機械的強度が高いため、前述したような問題
点が克服できる。また、載置する石英ルツボとの熱膨張
差が小さいため、黒鉛製ルツボのように分割して用いる
必要がなく、一体構造により用いることができる。これ
らのことから、現在、大口径のCZ法による単結晶引き
上げ装置に用いられる炉構成品はルツボを始めとして、
黒鉛製のものからC/C材製のものへと移りつつある。
気孔が多く、そのため、SiOガスとの反応も速い傾向
にある。これを抑制するために熱分解炭素を表面に存在
する開気孔を介して基材内部に含浸、被覆したC/C材
が使用されている。
いられるルツボは、加熱媒体であるヒータとは直接接触
しておらず、ヒータからの放射熱によって加熱される。
ステファン・ボルツマンの放射法則によると、高温度域
では、放射熱の寄与が大きく、黒体に近いほど、放射熱
を有効に受けるとされている。したがって、ルツボ表面
が黒体に近いほど効率よく、ヒーターからの放射熱を受
けルツボは加熱される。しかしながら、C/C材は、従
来の黒鉛材に比較すると、ヒータの使用電力が大きくな
る。この原因の一つとして考えられるのが、熱分解炭素
の表面放射率と、黒鉛材料の表面の表面放射率との違い
である。したがって、この相違をできるだけ小さくする
ことが効率のよい加熱を達成することになる。
種々の試験の結果、C/C材表面の全部又は一部に表面
放射率の高いIsotropicな組織(以下、ISO
組織と呼ぶ)の熱分解炭素を選択的に表層部に形成する
ことによってそれを達成したものであり、熱効率の高い
CZ法による単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複
合材料を提供することを目的とする。
の本発明の単結晶引き上げ装置に用いられる炭素繊維強
化複合炭素材料は、熱分解炭素が含浸され、緻密化さ
れ、表面にISO組織である熱分解炭素が被覆され、そ
の表面の熱放射率が、仮想黒体を1とした場合に、0.
45〜0.75であることを特徴とする。これにより、
外部からの熱を効率良く、吸収することができる。
C/C材と呼ぶ)とは、炭素繊維にピッチ又は樹脂を含
浸させてマトリックスにして成形し、炭素化処理、黒鉛
化処理を施して得られたものであり、黒鉛の特性を有し
つつ機械的強度を向上させたものである。ここで用いら
れる、炭素繊維は、平織クロス、細密織クロスのいずれ
かであり、ピッチは、熱可塑性のピッチが望ましく、ま
た、樹脂はフェノール、フラン、ポリカルボジイミド等
の熱硬化性樹脂が望ましい。
繊維を出発物質とするUD又は2−Dの炭素繊維織布に
樹脂を含浸しプリプレグとして積層、硬化させるか、前
記炭素繊維をフィラメントワインディング(以下、FW
法と呼ぶ)で巻き付けて加熱、硬化させるか、前記炭素
繊維の3−D又はn−D織物に樹脂を含浸させて加熱、
硬化させる等の方法によって成形体を形成する。このよ
うにして得られた成形体を還元雰囲気下で熱処理を行
い、ピッチ又は樹脂を炭素化する。その後、ピッチ又は
樹脂を含浸、炭素化の処理を繰り返し、緻密化する。そ
の後、高温中でハロゲンガスと反応させて金属不純物を
除去する高純度化処理を行う。次に表面から内部にかけ
て存在する気孔を介してCVD法によって表面から深さ
方向に100μm以上にわたり、熱分解炭素を形成させ
る。
ば、炭素数1〜8、特に炭素数3のプロパンやメタンガ
ス等の炭化水素ガスもしくは炭化水素化合物を熱分解さ
せて得られる高純度で高結晶化度の炭素である。
(Chemical Vapor Deposition)のことであり、前述した
熱分解炭素を基材の開気孔より内部にまで浸透析出させ
る所謂CVI法を包含する広い意味でのCVD法を言う
ものとする。前記熱分解炭素をC/C基材に含浸、被覆
させるためには、前述した炭化水素類あるいは炭化水素
化合物を用い、炭化水素濃度3〜30%好ましくは5〜
15%とし、全圧を100Torr好ましくは50To
rr以下の操作をする。このような操作を行った場合、
炭化水素が基材表面付近で脱水素、熱分解、重合などに
よって巨大炭素化合物を形成し、これが基材上に沈積、
析出し、更に脱水素反応が進み緻密な熱分解炭素層が形
成され、あるいは浸透して含浸される。析出の温度範囲
は一般に800〜2500℃までの広い範囲であるが、
できるだけ多く含浸するためには1300℃以下の比較
的低温領域で熱分解炭素を析出させることが望ましい。
また析出時間は50時間以上望ましくは100時間以上
の長時間にすることが内部にまで熱分解炭素を形成させ
る場合には適している。さらにこれによって、各繊維間
の隅々にまで熱分解炭素を形成することが可能となり、
C/C材の層間剪断強度の改善に寄与する。また含浸の
程度を高めるために、等温法、温度勾配法、圧力勾配法
等が使用でき、時間の短縮及び緻密化を可能にするパル
ス法を使用してもよい。
浸、被覆では、生産効率上、緻密で結晶化度の高いRo
ugh Columnar組織(以下、RC組織と呼
ぶ)となるようCVD条件を選択して行われる。また、
熱分解炭素の組織には、前記のRC組織、ISO組織の
他、Smooth Columnar組織(以下、SC
組織と呼ぶ)がある。ここで、RC組織とは粗い柱状の
炭素組織をいい、SC組織とは滑らかな柱状の炭素組織
をいい、ISO組織とは光学的に等方的な組織をいう。
これらは、形成時の原料ガス中の炭化水素分圧に依存
し、炭化水素分圧が低いところでは、ISO組織とな
り、分圧が高くなるにしたがいRC組織、SC組織が基
材表面に沈積する。これら三者の中で、ISO組織の放
射率が、最も黒鉛に近いことから、少なくともルツボ表
面を被覆する熱分解炭素の組織をISO組織とすること
が好ましい。ISO組織は、RC組織や、SC組織に比
べ、密度は低いが機械的強度や、SiOガスとの反応性
については他の組織と同様な効果が得られる。
上げ用ルツボの実施形態について、図面を参照して説明
する。図1は、本発明にかかるルツボの一例について、
その縦断面図を示し、基材であるC/C材を全部または
一部に含んで形成されるルツボ本体2の開気孔に熱分解
炭素の被膜3を形成したものを示している。
ピッチ系又はPAN系の炭素繊維を出発物質とするUD
又は2−Dの炭素繊維織布に樹脂を含浸しプリプレグと
して積層、硬化させるか、前記炭素繊維をフィラメント
ワインディング(FW法)で巻き付けて加熱、硬化させ
るか、前記炭素繊維の3−D又はn−D織物に樹脂を含
浸させて加熱、硬化させる等の方法によって成形体を形
成し、還元雰囲気下で熱処理を行い、ピッチ又は樹脂を
炭素化する。その後、ピッチ又は樹脂の含浸、炭素化の
処理を繰り返し、緻密化し、高温中でハロゲンガスと反
応させて金属不純物を除去する高純度化処理を行って形
成される。
表面にISO組織の熱分解炭素の被膜3を形成する。こ
の際、ルツボ表面の熱分解炭素の組織がISO組織であ
れば、基材内部に含浸される熱分解炭素はRC組織、S
C組織、ISO組織のいずれで形成されてもよい。IS
O組織に比較して、密度が高いRC組織、SC組織が含
浸されると、緻密化の速度が速まり生産効率が向上す
る。また、結晶化度の高い、即ち、熱伝導率が高いRC
組織が内部に存在することにより、均等に外部からの熱
を伝えることができるので望ましい。
れるシリコン単結晶引き上げ用CZ装置の模式概略図を
示す。図2において、チャンバ10内で、多結晶シリコ
ン15が充填された石英ルツボ11は、C/Cルツボ1
の内部に載置される。このルツボ1はペディスタル16
に支えられ、チャンバ10内の中央部に位置する。さら
に、ルツボ1の外周を取り巻くようにヒーター13が設
けられ、石英ルツボ11内の多結晶シリコン15を加熱
溶解する。そして、図示していない引き上げシャフトに
取り付けられたシードチャック12に取り付けた種子結
晶18を融液15に浸漬し、前記引き上げシャフトとル
ツボ1とを同方向または逆方向に回転させつつ引き上げ
シャフトを引き上げてシリコン単結晶を成長させる。
1は、ヒーター13とは直接接触しておらず、このヒー
ター13からの放射熱によって加熱される。このため、
単結晶引き上げ工程において、工業生産上、ヒーターか
らの放射熱を有効に受けることが熱効率、電力消費上、
重要となる。したがって、ルツボ1の表面の熱分解炭素
を、従来の黒鉛ルツボの放射率に近いISO組織とする
ことにより効果的にヒーター13からの放射熱を受ける
ことができる。
するが、本発明はこの実施例に限定されるものではな
い。 (実施例1)フィラメントワインディング装置に片持ち
マンドレルをセットし、その表面にフェノール樹脂を含
浸した1K平織りクロス(繊維密度:縦22.5本/2
5mm、横22.5本/25mm)を貼り付けた。その
表面にPAN系繊維からなる12Kフィラメントにフェ
ノール樹脂を含浸させながら、レベル巻き、パラレル巻
きを交互に3層づつ巻き付け、成形体とし還元雰囲気下
で1000℃で炭化焼成した。次に緻密化を目的にピッ
チ含浸、焼成を2回繰り返し、2000℃で、ハロゲン
ガス下で高純度化処理を行なった。その後、1000℃
にて、メタンガスを5Nl/min供給し、炉内圧力を
10Torrに保ち、、100時間処理し、嵩密度1.
55g/cm3 のISO組織の熱分解炭素が含浸、被覆
された試験用C/Cルツボを得た。
とする以外は、実施例1と同様の要領で、嵩密度1.5
5g/cm3 のRC組織の熱分解炭素が含浸、被覆され
た試験用C/Cルツボを得た。
とする以外は、実施例1と同様の要領で、嵩密度1.5
5g/cm3 のSC組織の熱分解炭素が含浸、被覆され
た試験用C/Cルツボを得た。
例1に記載のルツボ同形状のものを作製し、比較用ルツ
ボとした。
及び参考例1の試験用ルツボをCZ装置にそれぞれ設置
し、250℃まで加熱し、フーリエ変換型赤外分光光度
計(波長域2〜25μm)によって、ルツボ表面からの
放射エネルギーを測定して、仮想黒体との放射エネルギ
ー量の比較を行うことによって、ISO組織、RC組
織、SC組織の各組織の表面放射率を算出した。
2の試験用C/Cルツボを同一のCZ装置にそれぞれ設
置し、実際の操業温度に近い1500℃で、10h運転
したときの使用電力量を比較した。比較例1の使用電力
量を1とした時、それぞれ、実施例1は0.6、比較例
2は0.9、参考例1は0.6であった。
まとめて示す。
分解炭素を表面に有する実施例1のルツボの表面放射率
は0.45〜0.75であり、従来使用されていた黒鉛
製ルツボの表面放射率の0.72〜0.80に最も近
い。また、1500℃で10h運転するのに要した使用
電力量は、従来の黒鉛製ルツボを同一装置で使用したと
きの使用電力量が電力量比率で0.6であったことか
ら、略同等であることが分かる。
られるC/Cルツボの表面に放射率が0.45〜0.7
5のISO組織の熱分解炭素層を形成することで、熱効
率を良くすることが可能となり、従来使用されていた黒
鉛ルツボと同等の電力量で、CZシリコン単結晶引き上
げ装置の操業が可能となり、また、C/C材の有する軽
量で、高強度という特性を活かすことができ、シリコン
単結晶の大口径化に対応できる効果を奏する。
装置の主要部の断面概略図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 単結晶引き上げ装置に用いられる熱分解
炭素が表面部に形成された炭素繊維強化炭素複合材料で
あって、表面の熱放射率が、仮想黒体を1とした場合
に、0.45〜0.75であることを特徴とする単結晶
引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料。 - 【請求項2】 前記熱分解炭素がISO組織である請求
項1記載の単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合
材料。 - 【請求項3】 前記単結晶引き上げ装置に用いられるル
ツボである請求項1又は2いずれか記載の単結晶引き上
げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01924699A JP4823406B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01924699A JP4823406B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008299777A Division JP2009084150A (ja) | 2008-11-25 | 2008-11-25 | 単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000219592A true JP2000219592A (ja) | 2000-08-08 |
JP4823406B2 JP4823406B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=11994066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01924699A Expired - Fee Related JP4823406B2 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4823406B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009024045A1 (fr) * | 2007-08-21 | 2009-02-26 | Hunan Kingbo Carbon-Carbon Composites Co. Ltd | Creuset composite c/c et son procédé de fabrication |
CN115094514A (zh) * | 2022-08-15 | 2022-09-23 | 湖南泰坦未来科技有限公司 | 一种复合材料坩埚及其制备方法 |
-
1999
- 1999-01-28 JP JP01924699A patent/JP4823406B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009024045A1 (fr) * | 2007-08-21 | 2009-02-26 | Hunan Kingbo Carbon-Carbon Composites Co. Ltd | Creuset composite c/c et son procédé de fabrication |
CN115094514A (zh) * | 2022-08-15 | 2022-09-23 | 湖南泰坦未来科技有限公司 | 一种复合材料坩埚及其制备方法 |
CN115094514B (zh) * | 2022-08-15 | 2023-09-19 | 湖南泰坦未来科技有限公司 | 一种复合材料坩埚及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4823406B2 (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4700218B2 (ja) | 単結晶引き上げ用炭素繊維強化炭素複合材料製ルツボ | |
JP4514846B2 (ja) | 高純度炭素繊維強化炭素複合材料とその製造方法 | |
JP5231316B2 (ja) | 炭素繊維強化炭素複合材、単結晶引き上げ装置用部材、及び、炭素繊維強化炭素複合材の製造方法 | |
JP4077601B2 (ja) | 単結晶引き上げ用c/cルツボの製造方法 | |
JPH1059795A (ja) | 半導体単結晶引き上げ用c/cルツボ | |
JP5434922B2 (ja) | SiC繊維結合型セラミックスの製造方法 | |
CN109402786A (zh) | 一种近化学计量比SiC纤维的制备方法 | |
EP1120484B1 (en) | Carbon fiber reinforced carbon composite and useful as components for pulling single crystal apparatus | |
JP4823406B2 (ja) | 単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料 | |
JP2000351689A (ja) | 熱分解炭素被覆炭素繊維強化炭素複合材料及び単結晶引き上げ装置用部品 | |
JP2023006364A (ja) | C/Cコンポジット及びSi単結晶引き上げ炉用部材 | |
JP3829964B2 (ja) | 炭素繊維強化炭素複合材の製造方法 | |
Marković | Use of coal tar pitch in carboncarbon composites | |
JP2006131451A (ja) | 単結晶引き上げ用ルツボとその製造方法 | |
JP2000095567A (ja) | 炭素繊維強化炭素複合材及び単結晶引き上げ装置用部材 | |
RU2758311C1 (ru) | Способ получения карбидкремниевого войлока | |
JP4358313B2 (ja) | 半導体単結晶引き上げ装置のシードチャック | |
JP2000086382A (ja) | 単結晶引き上げ用c/cルツボ | |
CN114455969A (zh) | 一种含有氧化铝涂层的高密度C/C-SiC复合材料坩埚 | |
JP2009084150A (ja) | 単結晶引き上げ装置用炭素繊維強化炭素複合材料の製造方法 | |
JPS59102880A (ja) | 高温耐熱性材料 | |
WO2024121901A1 (ja) | C/Cコンポジット及びSi単結晶引き上げ炉用部材 | |
JP2001181062A (ja) | 樹脂含浸炭素繊維強化炭素複合材とその製造方法 | |
KR101540306B1 (ko) | 탄화규소 복합체(SiCf/SiC)의 제조방법 | |
JP2002173392A (ja) | 単結晶引上げ装置用c/c部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080623 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080924 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081125 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20081203 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20081226 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110907 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |