JP2000219584A - 炭化ケイ素被覆した炭素繊維強化炭素複合材料及びその製造方法 - Google Patents

炭化ケイ素被覆した炭素繊維強化炭素複合材料及びその製造方法

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JP2000219584A
JP2000219584A JP11020066A JP2006699A JP2000219584A JP 2000219584 A JP2000219584 A JP 2000219584A JP 11020066 A JP11020066 A JP 11020066A JP 2006699 A JP2006699 A JP 2006699A JP 2000219584 A JP2000219584 A JP 2000219584A
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Katsuhide Nagaoka
勝秀 長岡
Toshiaki Sogabe
敏明 曽我部
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正豊 岡崎
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 C/C材の機械的特性の劣化を招くことな
く、C/C材の軽量であるという特長を損なうことな
く、表面に耐酸化性に優れたSiCを被覆したC/C材
を提供する。 【解決手段】 C/C材表面に黒鉛粉末と樹脂からなる
混合溶液を任意の方法で塗布し、炭素化させることによ
り、C/C材表面を被覆し、その表面にCVD法でSi
Cを被覆する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温酸化雰囲気下
において、優れた耐酸化性を示す炭化ケイ素(以下Si
Cと呼ぶ)を表面に被覆した炭素繊維強化炭素複合材料
(以下C/C材と呼ぶ)及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】C/C材は、熱的安定性が高く高強度、
高靭性であるという特長に加え、軽量であるという特長
を有する。従って、半導体、冶金などの一般産業用途は
もとより、航空、宇宙産業、原子力用としても利用され
ている。しかしながら、C/C材は、約500℃以上の
酸化雰囲気中では、酸化による消耗が問題となる。そこ
で、SiCをC/C材表面に被覆し、耐酸化性を付与す
る試みが盛んに行われている。C/C材へのSiCを被
覆形成させる方法として、気相反応により生成するSi
Cを直接沈着させる化学気相蒸着法(以下CVD法と呼
ぶ)と、基材の炭素を反応源としてケイ素成分と反応さ
せることによりSiCを形成させる転化法(以下CVR
法と呼ぶ)が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
CVD法は、C/C材とSiCとの熱膨張率の差が大き
く、繰り返し熱応力を受けると両者の界面で剥離が生じ
る。例えば、2次元平織クロスの場合、クロス面内の熱
膨張係数は約1×10-6/℃、若しくは、それよりも小
さく、一方SiCの熱膨張係数は、約4〜5×10-6
℃である。一方、CVR法は、この界面剥離を生じるこ
とはないが、その製法上、表面に緻密な膜を形成するこ
とが困難であり、そのため、C/C材の耐酸化性がそれ
ほど向上しないという問題がある。
【0004】この問題を解決するために、特開平4−2
54486号公報では、C/C材表面から内部にかけ
て、まず、SiCに転化し、次にCVD法でSiCを被
覆するという方法が提案されている。また、特開平6−
247782号公報には、同様に、C/C材表面をま
ず、SiOガスとの転化法でSiCに転化し、その後、
パルスCVI法で、SiCを基材内部に含浸し、更にそ
の表面にCVD法でSiCを被覆し、そのSiCに発生
する微細なクラックを目詰めするためにその表面に真空
含浸法でB2 3 −SiO2 ガラスを含浸、被覆すると
いう方法が提案されている。しかしながら、これらの方
法は、工程が煩雑であるとともに、基材内部の炭素繊維
も炭化ケイ素に転化してしまい、基材の機械的強度の劣
化を招く原因となり、また、基材表面をSiCに転化
し、その上に更にSiCを被覆するため、大型品になる
にしたがい、SiCの占める割合が大きくなり、C/C
材の軽量であるという特長が薄れるという問題がある。
【0005】そこで、本発明では、C/C材の機械的特
性の劣化を招くことなく、C/C材の軽量であるという
特長を損なうことなく、表面に耐酸化性に優れたSiC
を被覆したC/C材を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記問題を解決するため
に、本発明では、C/C材表面に黒鉛粉末と樹脂からな
る混合溶液を任意の方法で塗布し、炭素化させることに
より、C/C材表面を被覆し、その表面にCVD法でS
iCを被覆することによって、基材表面に形成させた黒
鉛粉末を含有する樹脂の炭化層が緩衝層となり、表面に
CVD法で被覆形成されたSiCと基材との熱膨張の違
いを緩和し、表面のSiCの剥離を抑制できるというこ
とを見いだし、本発明を完成させた。
【0007】ここで、表面のSiCと基材の中間層を形
成する黒鉛粉末は、人造黒鉛粉末でも天然黒鉛粉末でも
良い。また、粒径は5〜100μm、望ましくは平均粒
径で10〜30μmが好ましい。表面に均等に分散する
からである。
【0008】また、前記黒鉛粉末と混合する樹脂は、フ
ェノール(レゾール,ノボラック)、フラン、ポリイミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリカル
ボジイミド、ビスアリルナジイミド等の樹脂群から選ば
れた1つまたは特性を損なわない範囲で組み合わせて使
用することができ、中でも望ましいのは、フェノール樹
脂である。
【0009】また、形成される中間層の厚みは、50〜
500μmが望ましい。さらに望ましくは100〜40
0μm、特に望ましくは150〜300μmである。5
0μmより薄いと緩衝層としての役割を十分に果たせ
ず、また、500μmより厚いと、強度の低下を招くと
いった不具合が生じる。
【0010】上記構成によって、表面に耐酸化性に優れ
たSiCが形成されているにもかかわらず、嵩密度1.
0〜2.0g/cm3 であり、軽量というC/C材の特
長を損なうことなく、かつ曲げ強度が50MPa以上の
機械的強度を有するC/C材とすることができる。これ
により、高温酸化雰囲気下で、繰り返し熱応力を受ける
所への使用が可能となる。
【0011】本発明において基材となるC/C材とは、
一般的なC/C材でよく、炭素繊維にピッチ又は樹脂を
含浸させてマトリックスにして成形し、炭素化処理、黒
鉛化処理を施して得られたものであり、黒鉛の特性を有
しつつ機械的強度を向上させたものである。そして、高
純度化されていることが望ましい。また、ここで用いら
れる、炭素繊維は、平織クロス、細密織クロスのいずれ
かであり、ピッチは、熱可塑性のピッチが望ましく、ま
た、樹脂はフェノール、フラン、ポリカルボジイミド等
の熱硬化性樹脂が望ましい。
【0012】具体的には、ピッチ系、PAN系又はレー
ヨン系の炭素繊維を出発物質とするUD又は2─Dの炭
素繊維織布に樹脂を含浸しプリプレグとして積層、硬化
させるか、前記炭素繊維をフィラメントワインディング
(FW法)で巻き付けて加熱、硬化させるか、前記炭素
繊維の3−D又はn−D織物に樹脂を含浸させて加熱、
硬化させる等の方法によって成形体を形成する。このよ
うにして得られた成形体を還元雰囲気下で熱処理を行
い、ピッチ又は樹脂を炭素化する。その後、ピッチ又は
樹脂の含浸と、炭素化の処理を繰り返し、緻密化する。
さらに、高温中でハロゲンガスと反応させて金属不純物
を除去して高純度化処理を行う。次に表面から内部にか
けて存在する気孔を介してCVD法によって熱分解炭素
を含浸させ、表面から深さ方向に100μm以上にわた
り、熱分解炭素を形成させる。
【0013】ここで、ハロゲンガスとは、ハロゲンまた
はその化合物のガスのことであり、例えば塩素や塩素化
合物、フッ素、フッ素化合物を用いることができると共
に、塩素とフッ素とを同一分子内に含む化合物としてモ
ノクロロトリフルオルメタン、トリクロロモノフルオル
メタン、ジクロロフルオロエタン、トリクロロモノフル
オロエタン等を用いることができる。
【0014】ここで、熱分解炭素とは、炭化水素類、例
えば、炭素数1〜8のプロパンやメタン等の炭化水素ガ
スもしくは炭化水素化合物を熱分解させて得られる高純
度で高結晶化度の炭素である。
【0015】また、ここで言うCVD法とは、化学気相
蒸着法(Chemical Vapor Deposition)のことであり、前
述した熱分解炭素を基材の開気孔より内部にまで浸透析
出させる所謂CVI(Chemical Vapor Infiltration) 法
を包含する方法であって、前述した炭化水素類を用い、
炭化水素濃度3〜30%好ましくは5〜15%とし、全
圧を13kPa望ましくは6kPa以下で操作をする。
このような操作を行った場合、炭化水素が基材表面付近
で脱水素、熱分解、重合などによって巨大炭素化合物を
形成し、これが基材上に沈積、析出して、緻密な熱分解
炭素層が形成され、あるいは浸透して含浸される。析出
の温度範囲は一般に800〜2500℃までの広い範囲
であるが、できるだけ多く含浸するためには1300℃
以下の比較的低温領域で熱分解炭素を析出させることが
望ましい。また析出時間は50時間以上望ましくは10
0時間以上の長時間にすることが内部にまで熱分解炭素
を形成させる場合には適している。これによって、各繊
維間の隅々にまで熱分解炭素を形成することが可能とな
り、C/C材の層間剪断強度の改善に寄与する。また含
浸の程度を高めるために、等温法、温度勾配法、圧力勾
配法等が使用でき、時間の短縮及び緻密化を可能にする
パルス法を使用してもよい。
【0016】次にC/C材の表面に形成する中間層につ
いて説明する。まず、平均粒径5〜100μmの人造黒
鉛又は天然黒鉛からなる黒鉛粉末と、樹脂を混合する。
混合は、樹脂重量100重量部に対して、黒鉛粉末が2
0〜50重量部になるように配合する。この混合液を、
刷毛塗り等の適宜な方法で、C/C材表面に塗布する。
次に、樹脂を炭素化させるために、還元雰囲気下で60
0〜1000℃の温度範囲で焼成し、続けて真空炉で、
1400〜1600℃で熱処理し、樹脂を炭素化させ
る。ここで、樹脂に黒鉛粉を混合するのは、黒鉛粉を混
合しない場合、焼成炭素化後に、樹脂がガラス状炭素と
なりやすく、緩衝層として十分に機能しない。それに加
え、ガラス状炭素特有の緻密で滑らかな表面となるた
め、SiCの被覆が困難となる。黒鉛粉を添加すること
により、黒鉛とガラス状炭素の両者の特性を有する表面
となる。
【0017】この表面に、CVD法によりSiCを被覆
する。Si源となる原料ガスにはテトラクロロシラン
(SiCl4 )、トリクロロシラン(SiHCl3 )、
トリクロロメチルシラン(CH3 SiCl3 )等のハロ
ゲン化ケイ素や、シラン(SiH4 )のような水素化ケ
イ素を用い、水素をキャリアーガスとして用いることが
できる。SiCの生成温度は、1000〜1800℃
で、望ましくは1300〜1500℃である。また、そ
の際の圧力は40kPa〜100kPaとし、望ましく
は、40kPa〜65kPaとする。減圧下で処理する
ことにより、SiCの核生成温度が低くなり、また、析
出速度が早くなるため、各々の核が核成長を抑制しあう
ことにより、比較的粒径の揃った組織のSiCとなる。
加えて、SiCの膜厚は、30〜500μmであること
が望ましい。SiCの膜厚が30μmよりも薄いと、中
間層の気孔で十分に埋めることができないだけでなく、
耐酸化性を持たせる上でも十分とはいえない。また、S
iCの膜厚を500μmよりも厚くすると、SiC膜に
残留応力が残り、容易に剥離を生じる。
【0018】
【実施例】本発明を以下の実施例により具体的に説明す
るが、本発明の実施態様は、以下の実施例に限定される
ものではない。
【0019】(実施例1)PAN系炭素繊維の平織クロ
ス(トレカT−300 6K 東レ(株)製)を100
mm×100mmに裁断し、ハロゲンガス雰囲気下で2
000℃に加熱し、高純度化処理を行った。次に、この
高純度化処理を行った平織クロスにフェノール樹脂を含
浸させたプリプレグを50層積層して160℃、3MP
aで熱圧プレス成形を行い、厚さ20mmの成形体とし
た。さらに、ピッチ含浸を行い、電気炉で窒素注入しな
がら10℃/hrの昇温で1000℃まで昇温し、焼成
を行う。これを3回繰り返して緻密化を行った。引き続
き、ハロゲンガス雰囲気下で2000℃に加熱し、高純
度化処理を兼ねた黒鉛化処理を行った。これらの処理で
得られたC/C材をそれぞれ下記の試験片形状に切り出
し以下の処理を行った。即ち、ハロゲンガス雰囲気下で
50kPa、2200℃の条件下で、高純度化処理を行
い、高純度C/C材を得た。この時点での成形体の嵩密
度は1.5g/cm3 であった。次に、平均粒径10μ
mの人造黒鉛粉末とフェノール樹脂の重量比が1:3で
ある混合溶液をその表面に塗布した。これを、窒素雰囲
気にて800℃で焼成し、引き続き1500℃で処理を
行った。この後、原料ガスCH3SiCl3 で、水素ガ
スをキャリアーガスとして、1400℃、50kPa、
で50時間処理し、200μmの厚みのSiCを被覆
し、供試体とした。
【0020】(実施例2)実施例1と同様にして作製し
た高純度C/C材に、平均粒径100μmの人造黒鉛粉
末とフェノール樹脂の重量比が1:2.5である混合溶
液をその表面に塗布した。これを、窒素雰囲気にて80
0℃で焼成し、引き続き1500℃で処理を行った。そ
の後、SiC被覆条件のうち処理時間のみを60時間に
変更し、240μmの厚みのSiCを被覆し、供試体と
した。
【0021】(比較例1)実施例1において、中間層を
形成させなかったことを除き、実施例1と同様にして高
純度C/C材を作製し、その表面にCVD法でSiCを
200μm被覆し、供試体とした。
【0022】(比較例2)実施例1で得た高純度C/C
材を、1800℃、13kPaで30時間SiOガスと
反応させて表面をSiCに転化し、実施例1と同じCV
D条件でSiCを200μm被覆し、供試体とした。
【0023】実施例1、実施例2、比較例1及び比較例
2で得られた供試体について中間層の厚み、嵩密度、曲
げ強度、酸化消耗率の測定を行った。
【0024】(中間層の厚み測定)試験片を切断し、切
断面を走査型電子顕微鏡(SEM)で中間層の厚みを測
定した。
【0025】(嵩密度)試験片の寸法は、12.5mm
×23mm×10mmとし、110℃で2時間乾燥し、
乾燥試験片の寸法と重量から算出した。
【0026】(曲げ強度)万能試験機を用いて3点曲げ
法により算出した。試験片の寸法は、10mm(幅)×
3mm(積層方向の厚み)×60mm、支点間距離を4
0mmとし、毎秒30Nの均一速度で荷重を加え破壊時
の最大荷重を計測し、曲げ強度BS を以下の式で求め
た。 BS =3PL/2WH2 ここで、 P:最大荷重(N) L:支点間距離(m) W:試験片の幅(m) H:試験片の厚み(m) である。
【0027】(酸化消耗率)試験片の寸法は、12.5
mm×23mm×10mmとし、1500℃で50時間
大気中で酸化消耗試験を行い、試験前後での重量の変化
から酸化消耗率を算出した。
【0028】以上の各結果を表1にまとめて示す。
【0029】
【表1】
【0030】表1より、比較例1の試料は、C/C材表
面に、SiC被覆層との中間層となるフェノール樹脂の
炭化物中に黒鉛粉末を含有した層を形成していないた
め、試料表面のSiC膜に熱膨張の違いから生じたと考
えられるマイクロクラックが多数発生し、このクラック
を通じて、基材内部に大気が侵入し、酸化が生じたと推
測される。また、直接CVD処理した際にC/C材表面
の炭素繊維が炭化ケイ素化し、強度が劣化したと推測で
きる。比較例2の試料も同様の理由により、強度の低下
及び、酸化消耗率の増大が生じたと思われる。
【0031】
【発明の効果】C/C材の表面に、黒鉛粉末と樹脂の混
合溶液からなる中間層を形成させることにより、この層
が、表面に被覆する耐酸化性を有するSiC膜との緩衝
層となり、表面のSiC膜の界面剥離を抑制するととも
に、SiC表面のマイクロクラックの発生を抑制する効
果がある。また、C/C材本来の特長の一つである軽量
であるという点も損なうことがない。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭化ケイ素が表面に被覆された炭素繊維
    強化炭素複合材であって、前記炭化ケイ素からなる表面
    層と炭素繊維強化炭素複合材料からなる基材との間に、
    樹脂の炭化物中に黒鉛粉末を含有した中間層を有する炭
    化ケイ素被覆した炭素繊維強化炭素複合材料。
  2. 【請求項2】 前記炭化ケイ素がCVD法により被覆さ
    れてなる請求項1記載の炭化ケイ素被覆した炭素繊維強
    化炭素複合材料。
  3. 【請求項3】 前記黒鉛粉末の粒径が5〜100μmで
    あり、前記中間層の厚みが50〜500μmである請求
    項1または2記載の炭化ケイ素被覆した炭素繊維強化炭
    素複合材料。
  4. 【請求項4】 炭素繊維強化炭素複合材料を基材とし、
    その表面に黒鉛粉末と樹脂からなる混合溶液を塗布また
    は噴霧して、それを焼成ならびに熱処理して炭素化し、
    次いで、Si源を含む原料ガスを用いて蒸着法によりそ
    の表面に炭化ケイ素を被覆することを特徴とする炭化ケ
    イ素被覆した炭素繊維強化炭素複合材料の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記基材が熱分解炭素の形成処理を施さ
    れたものである請求項4記載の炭化ケイ素被覆した炭素
    繊維強化炭素複合材料の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7387835B2 (en) 2003-10-28 2008-06-17 Toyo Tanso Co., Ltd. Silicon carbide-coated carbonaceous material and carbonaceous material to be coated with silicon carbide
CN104985886A (zh) * 2015-07-02 2015-10-21 宜兴市飞舟高新科技材料有限公司 一种碳纤维保温板材预制体

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