JP2000216509A - 配線基板 - Google Patents

配線基板

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JP2000216509A JP11013005A JP1300599A JP2000216509A JP 2000216509 A JP2000216509 A JP 2000216509A JP 11013005 A JP11013005 A JP 11013005A JP 1300599 A JP1300599 A JP 1300599A JP 2000216509 A JP2000216509 A JP 2000216509A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 信号用配線導体から発生する電磁波が外部に
漏れ出して良好なアイソレーション特性が得られず、例
えば10GHzを超える高速の信号を効率よく正確に伝播
させることが困難であった。 【解決手段】 複数の絶縁層1a・1bを積層して成る
絶縁基体1に信号用配線導体3とそれに対して絶縁層1
bを介して対向するグランド導体層4aとを配設すると
ともに、信号用配線導体3の両側にグランド導体層4a
に接続された多数の貫通導体5を、信号用配線導体3に
沿ってその両側に少なくとも2列ずつ、各列の貫通導体
5が隣接する列の貫通導体5間に位置するように配設し
て成る配線基板である。信号用配線導体3から電磁波が
外部に漏出することを有効に防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速で作動する半
導体素子や光半導体素子等の電子部品を搭載するための
配線基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】高速で作動する半導体素子や光半導体素
子等の電子部品を搭載するための配線基板においては、
高速の信号を正確かつ効率良く伝播させるために、高速
信号が伝播する信号用配線導体のアイソレーションを高
めたり特性インピーダンスの整合を図ったりすること等
が重要である。
【0003】このような配線基板として例えば特許第27
96143 号公報には、信号が伝播する信号用配線導体(信
号線)のアイソレーション値を高めたり特性インピーダ
ンスの整合を図ったりするためのグランド導体層(グラ
ンド層)を基板の2つ以上の面に設けるとともに、これ
らのグランド導体層同士を信号用配線導体の近くにほぼ
均等に幅広く分散させて設けた多数の貫通導体(ヴィア
フィル)を介して接続して成る配線基板が示されてい
る。
【0004】この配線基板では、貫通導体の周りに隙間
やクラックが発生したりすること等を防止するために貫
通導体の直径を0.05〜0.15mmとしており、また貫通導
体形成領域部分の横断面における貫通導体の面積比を3
〜25%としている。そして、これらにより10GHz前後
の高速信号を配線導体によって伝播させることができる
というものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
配線基板は、信号用配線導体の近くに設けた多数の貫通
導体が、貫通導体形成領域部分の横断面における貫通導
体の面積比を3〜25%となるようにほぼ均等に幅広く分
散させて設けられているものの、多数の貫通導体を信号
用配線導体の延出方向に対してどのような並びで配置す
るかについてはまったく考慮されていなかった。そのた
め、信号用配線導体の延出方向によっては、多数の貫通
導体の間に信号用配線導体に対して直角な方向に連なる
大きな隙間が形成されてしまい、信号用配線導体に例え
ば10GHzを超える高速の信号を伝播させると、信号用
配線導体から発生する電磁波がその信号用配線導体に対
して直角な方向に連なる貫通導体間の大きな隙間を通し
て外部に漏れ出してしまい、その結果、信号用配線導体
の良好なアイソレーション特性が得られずに信号用配線
導体に10GHzを超える高速の信号を効率よく正確に伝
播させることが困難となってしまうという問題点を有し
ていた。
【0006】本発明はかかる問題点に鑑み案出されたも
のであり、その目的は、貫通導体の配置を工夫すること
により信号用配線導体からの電磁波の漏出を小さいもの
としてアイソレーションや特性インピーダンスの整合を
良好に確保し、例えば10GHzを超える高速の信号を効
率よく正確に伝播させることができる配線基板を提供す
ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の配線基板は、複
数の絶縁層を積層して成る絶縁基体に高周波信号を伝播
するための信号用配線導体とこの信号用配線導体に対し
て前記絶縁層を介して対向するグランド導体層とを配設
するとともに、前記信号用配線導体の両側に前記グラン
ド導体層に接続された多数の貫通導体を、前記信号用配
線導体に沿ってその両側に少なくとも2列ずつ、各列の
貫通導体が隣接する列の貫通導体間に位置するように配
設して成ることを特徴とするものである。
【0008】本発明の配線基板によれば、グランド導体
層に接続された多数の貫通導体を信号用配線導体に沿っ
て信号用配線導体の両側に少なくとも2列ずつ並べて設
けるとともに、各列の貫通導体、すなわち信号用配線導
体の片側における1列目の貫通導体と2列目の貫通導体
とがそれぞれ隣接する列の貫通導体間に位置するように
配設されていることから、信号用配線導体に対して直角
な方向から見ると、1列目の貫通導体の間に2列目の貫
通導体が位置することとなり、このため多数の貫通導体
の間に信号用配線導体に対して直角方向に連なる大きな
隙間が形成されることはなく、信号用配線導体から電磁
波が外部に漏出することを有効に防止することができ
る。
【0009】
【発明の実施の形態】次に、本発明を添付の図面に基づ
いて説明する。
【0010】図1は、本発明の配線基板の実施の形態の
一例を示す上面図であり、図2は図1のA−A線におけ
る断面図、図3は図1のB−B線における断面図であ
る。
【0011】図において、1は絶縁基体、3は信号用配
線導体、4a・4bはグランド導体層、5は貫通導体で
ある。
【0012】なお、図1において、貫通導体5はグラン
ド導体層4bの下に位置しているため破線で示すべきで
あるが、作図の都合上、細い実線で示している。
【0013】絶縁基体1は、図2に示すように、酸化ア
ルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体・ムラ
イト質焼結体・炭化珪素質焼結体・窒化珪素質焼結体・
ガラスセラミックス等の無機系絶縁材料、あるいはポリ
テトラフルオロエチレン・エポキシ・ポリイミド・ガラ
スエポキシ等の有機系絶縁材料、あるいはセラミックス
粉末等の無機絶縁物粉末をエポキシ系樹脂等の熱硬化性
樹脂で結合して成る複合絶縁材料などの電気絶縁材料か
ら成る複数の絶縁層を積層して成る。この例では平板状
の絶縁層1aと枠状の絶縁層1bとが積層一体化されて
いる。そして、その上面中央部には、半導体素子等の電
子部品(図示せず)を収容するための電子部品搭載部と
しての凹部2が形成されている。
【0014】絶縁基体1は、例えば酸化アルミニウム質
焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム・酸化
珪素・酸化カルシウム・酸化マグネシウム等の原料粉末
に適当な有機バインダ・溶剤等を添加混合して泥漿状と
なすとともに、これを従来周知のドクタブレード法を採
用してシート状となすことによって絶縁層1a・1bと
なるセラミックグリーンシートを得、しかる後、これら
のセラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施
すとともに上下に積層し、最後にこの積層体を還元雰囲
気中、約1600℃の温度で焼成することによって製作され
る。絶縁層1aの上面には、ほぼその全面にわたってグ
ランド導体層4aが配設されており、このグランド導体
層4aの凹部2内に露出した部位に半導体素子等の電子
部品が搭載される。
【0015】さらに、絶縁層1bの上面には、図1に示
すように、信号用配線導体3および信号用線路導体3間
にグランド導体層4bが配設されており、信号用配線導
体3およびグランド導体層4bの凹部2の周辺には半導
体素子等の電子部品の各電極がボンディングワイヤ等を
介して接続される。
【0016】信号用配線導体3およびグランド導体層4
a・4bは、タングステンやモリブデン・モリブデン−
マンガン・銅・銀・銀−パラジウム等の金属粉末メタラ
イズ、あるいは銅・銀・ニッケル・クロム・チタン・金
やそれらの合金等の金属材料などから成る。例えばタン
グステンの金属粉末メタライズから成る場合であれば、
タングステン粉末に適当な有機バインダ・溶剤を添加混
合して得た金属ペーストを絶縁層1a・1bとなるセラ
ミックグリーンシートに所定のパターンに印刷塗布し、
これをセラミックグリーンシートの積層体とともに焼成
することによって、絶縁層1a・1bの上面に配設され
る。
【0017】また、グランド導体層4aと4bとは、図
1・図3に示すように、絶縁層1bを貫通して設けられ
た多数の貫通導体5により電気的に接続されている。
【0018】貫通導体5は、信号用配線導体3に沿って
その両側に少なくとも2列ずつ、各列の貫通導体5が隣
接する例の貫通導体5間に位置するように配設されてい
る。
【0019】このような隣接する2列の貫通導体5は、
例えば図1に示すように1列目の貫通導体5と2列目の
貫通導体5とが互いにいわゆる千鳥状の配列となるよう
に、互いの貫通導体5間のほぼ中央に位置するように配
設すると、より効果的なものとなる。
【0020】貫通導体5は、信号用配線導体3の両側を
電磁的にシールドして信号用配線導体3のアイソレーシ
ョンを高めるとともに信号用配線導体3の特性インピー
ダンスを整合させる作用をなし、信号用配線導体3の両
側に少なくとも2列ずつ、各例の貫通導体5が隣接する
列の貫通導体5間に位置するように配設されていること
から、信号用配線導体3に対して直角な方向から見る
と、1列目の貫通導体5の間に2列目の貫通導体5が位
置することとなり、このため信号用配線導体3に対して
直角な方向に連なる大きな隙間が形成されることはな
い。したがって、例えば10GHzを超える高周波を信号
用配線導体3によって伝播させたとしても、信号用配線
導体3から発生する電磁波は例えば千鳥状に配置された
1列目の貫通導体5と2列目の貫通導体5とでその漏出
が有効に防止され、10GHzを超えるような高周波に対
して高いシールド性を確保することができる。
【0021】貫通導体5は、その直径が0.03mm未満で
あると、貫通導体5自体を良好に形成することが困難と
なる傾向にある。一方、その直径が0.3 mmを超える
と、貫通導体5と絶縁層1bとの熱膨張量等の差が大き
なものとなり、貫通導体5と絶縁層1bとの間に隙間が
発生したり、絶縁層1bにクラックが発生しやすいもの
となる傾向にある。したがって、貫通導体5の直径は、
0.03〜0.3 mmの範囲に設定することが好ましい。
【0022】貫通導体5はまた、その隣接間隔d1がそ
の直径の2分の1(0.5 倍)未満となると、隣接する貫
通導体5の間の絶縁層1bにクラックが発生しやすいも
のとなる傾向にある。一方、その隣接間隔d1がその直
径の5倍を超えると、信号用配線導体3の両側を良好に
シールドすることが困難となる傾向にある。したがっ
て、第1の貫通導体5の隣接間隔d1は、その直径の0.
5 〜5倍の範囲に設定することが好ましい。
【0023】なお、貫通導体5は、信号用配線導体3に
沿って設けられた1列目および2列目における各貫通導
体5の隣接間隔d1を信号用配線導体3によって伝播さ
せる高周波信号の波長の4分の1以下、さらに好適には
8分の1以下としておくと、信号用配線導体3のアイソ
レーションを極めて高いものとすることができる。した
がって、信号用配線導体3に沿って設けられた1列目お
よび2列目における各貫通導体5の隣接間隔d1は、信
号用配線導体3によって伝播させる高周波信号の波長の
4分の1以下、さらに好ましくは8分の1以下としてお
くことが望ましい。
【0024】さらに、貫通導体5は、信号用配線導体3
を挟んで対向する1列目同士の間隔d2を信号用配線導
体3によって伝播させる高周波信号の波長の2分の1以
下としておくと、信号用配線導体3を伝播する高周波信
号の反射損失を小さいものとすることができる。したが
って、信号用配線導体3を挟んで対向する1列目同士の
貫通導体5の間隔d2は、信号用配線導体3によって伝
播させる高周波信号の2分の1以下としておくことが好
ましい。
【0025】なお、貫通導体5は、タングステンやモリ
ブデン・モリブデン−マンガン・銅・銀・銀−パラジウ
ム等の金属粉末メタライズ、あるいは銅・銀・ニッケル
・クロム・チタン・金やそれらの合金等の金属材料など
から成る。例えばタングステンから成る場合であれば、
絶縁層1bとなるセラミックグリーンシートのグランド
導体層4bが配設される領域に焼成後の直径が例えば0.
03〜0.3 mmとなる貫通孔を所定の配列で打ち抜くとと
もに、この貫通孔内にタングステン粉末を主成分とする
導体ペーストを従来周知のスクリーン印刷法を採用して
充填し、これを絶縁基体1となるセラミックグリーンシ
ートの積層体とともに焼成することによって形成され
る。
【0026】この場合、貫通導体5となる導体ペースト
中に含有される金属粉末の平均粒径を適当な範囲のもの
とするとともに、この導体ペースト中に絶縁基体1と略
同一成分を絶縁基体1および貫通導体5の材料特性に応
じて適量含有させておくと、貫通導体5の焼成収縮率や
熱膨張係数を絶縁基体1の焼成収縮率や熱膨張係数に近
似させることができ、これにより両者の焼成収縮率や熱
膨張係数の相違に起因して貫通導体5と絶縁層1bとの
間に隙間が発生したり、あるいは絶縁基体1にクラック
が発生したりするのを有効に防止することができる。し
たがって、貫通導体5となる導体ペーストは、これに含
有される金属粉末の粒径を適当な範囲のものとするとと
もに、この導体ペースト中に絶縁基体1と略同一成分を
適量含有させておくことが好ましい。
【0027】かくして、上述のような本発明の配線基板
によれば、絶縁基体1の凹部2の底面に半導体素子等の
電子部品を搭載するとともに、この電子部品の各電極を
信号用配線導体3およびグランド導体層4bにボンディ
ングワイヤ等を介して接続することにより、高速で作動
する電子部品を搭載する配線基板として供される。
【0028】なお、本発明は上述の実施の形態の一例に
限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範
囲であれば種々の変更が可能である。例えば、図4に要
部拡大断面図で示すように、信号用配線導体13の上下に
絶縁層11を介してグランド導体層14a・14bを設けると
ともに、グランド導体層14aと14bとを信号用配線導体
13に沿って信号用配線導体13の両側に少なくとも2列ず
つ並べて設けた貫通導体15で接続して成る配線基板にも
適用できる。
【0029】また、図1〜図3に示した例では絶縁基体
1の上面の信号用配線導体3間にグランド導体層4bを
配設していたが、このグランド導体層4bを配設しない
場合であっても、貫通導体5によるシールド性は高く、
信号用配線導体3のアイソレーションや特性インピーダ
ンス整合を良好なものとすることができ、また貫通導体
5とグランド導体層4aとで安定したグランドネットワ
ークを形成することができる。
【0030】また、信号用配線導体は、図1〜図3に示
したようないわゆるグランド付コプレーナ線路構造の線
路導体や図4に示したようなストリップ線路構造の線路
導体の他にも、マイクロストリップ線路構造の線路導体
やマイクロストリップ線路構造の線路導体の片側のみに
コプレーナ線路と同様の同一面グランド導体層を設けた
ものなど、高周波用の線路導体を用いた種々の形態であ
ってよい。
【0031】
【発明の効果】本発明の配線基板によれば、グランド導
体層に接続された多数の貫通導体を信号用配線導体に沿
って信号用配線導体の両側に少なくとも2列ずつ並べて
配設するとともに、各列の貫通導体が隣接する列の貫通
導体間に位置するように配設したことから、多数の貫通
導体の間に信号用配線導体に対して直角方向に連なる大
きな隙間が形成されることはなく、例えば10GHzを超
える高速の信号を信号用配線導体によって伝播させたと
しても、信号用配線導体から電磁波が外部に漏出するこ
とを有効に防止することができる。その結果、信号用配
線導体のアイソレーションおよび特性インピーダンスの
整合を良好なものとして、10GHzを超えるような高速
の信号を効率よく、かつ正確に伝播させることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の配線基板の実施の形態の一例を示す平
面図である。
【図2】図1に示す配線基板のA−A線における断面図
である。
【図3】図1に示す配線基板のB−B線における断面図
である。
【図4】本発明の配線基板の実施の形態の別の例を示す
要部拡大断面図である。
【符号の説明】
1・・・・・・・・・・・・・絶縁基体 1a、1b、11・・・・・・・絶縁層 3、13・・・・・・・・・・・信号用配線導体 4a、4b、14a、14b・・・グランド導体層 5、15・・・・・・・・・・・貫通導体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E317 AA27 BB01 BB11 CC22 CC25 CC31 GG11 5E338 AA02 AA03 AA16 AA18 BB02 BB16 BB25 CC01 CC02 CC06 EE11 EE13

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の絶縁層を積層して成る絶縁基体に
    高周波信号を伝播するための信号用配線導体と該信号用
    配線導体に対して前記絶縁層を介して対向するグランド
    導体層とを配設するとともに、前記信号用配線導体の両
    側に前記グランド導体層に接続された多数の貫通導体
    を、前記信号用配線導体に沿ってその両側に少なくとも
    2列ずつ、各列の貫通導体が隣接する列の貫通導体間に
    位置するように配設して成ることを特徴とする配線基
    板。
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