JP2000211948A - 反射防止コ―ティングを備える透明基板 - Google Patents

反射防止コ―ティングを備える透明基板

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的性能を改善した反射防止コーティング
を提供し、特にこのようなコーティングを備えるガラス
を自動車フロントガラスとして利用できるようにする。 【解決手段】 本発明はその面の少なくとも１つに反射
防止コーティングＡを備える特にガラスからなる透明基
板に関する。本発明によると、反射防止コーティングは
屈折率の異なる少なくとも２種の材料から構成され且つ
その厚みｅにおいて連続的に変化する組成をもつ単一薄
層から構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、その面の少なくと
も１つに反射防止コーティングを備え、板ガラスに組み
込むように構成した特にガラスからなる透明基板に関す
る。
【０００２】
【従来技術】反射防止コーティングは、一般に屈折率の
高い誘電材料をベースとする層と屈折率の低い誘電材料
をベースとする層を交互に配置した干渉薄層のスタック
から一般に構成される。このようなコーティングは透明
基板に堆積すると、その光反射率を低下させ、従って、
光透過率を増加する機能をもつ。従って、こうしてコー
ティングした基板はその透過光／反射光比が増加するの
で、その奥に置いた物体がよく見えるようになる。従っ
て、最大反射防止効果を達成しようとする場合には、こ
の種のコーティングを基板の両面に備えることが好まし
い。
【０００３】有利な用途の１つは建物の設備である。こ
の用途では、反射防止効果をもつガラスを例えば商店の
ショーウインドーとして使用すると、屋内照明が屋外照
明より弱い構造でもショーウインドーの奥にあるものが
よく見えるようになる。カウンターのガラスとしても使
用できる。
【０００４】最近では、特に自動車製造業者の要望に応
じて別の用途も考えられている。それはフロントガラス
に反射防止効果を与え、一般に７５％を上回る高レベル
の光透過率と非常に低い（透過光の１％未満）残留曇り
率を必要とする現行基準を満たすことである。必要な反
射防止効果は、例えば光透過率ＴＬを増加し、ドライバ
ーと同乗者の視野を改善することができる。また、ドラ
イバーを煩わせる寄生反射、特に自動車の車内機器の反
射を弱める効果もある。
【０００５】必要な機械的及び化学的耐久性レベルに達
することが困難であるため、今日までこの用途はあまり
進展していない。
【０００６】実際に、フロントガラスには少なくとも面
１即ち車内から外部を向いたフロントガラスの面に反射
防止コーティングが配置されている。
【０００７】しかし、この面は多数の外力を受ける。例
えば、走行状態のワイパーの往復は相当の摩耗を生じ、
埃や小砂利がぶつかってコーティングのあちこちを機械
的及び化学的（腐食）に傷付ける。
【０００８】これらの問題を解決し、フロントガラスと
して使用できるように十分な機械的及び化学的耐久性を
もつ反射防止コーティングを備えるガラスを開発するた
めに、本願出願人はＷＯ９７／４３２２４により、屈折
率の高い材料と低い材料の層を交互に堆積した反射防止
スタックを構成する層の少なくとも一部を熱分解層にす
ることを既に提案している。
【０００９】しかし、このスタックは完全に十分とは言
えない。実際に、多数の界面が残るので、スタックの脆
性の危険は避けられない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は機械的性能を改善した反射防止コーティングを提供
し、特にこのようなコーティングを備えるガラスを自動
車フロントガラスとして利用できるようにすることであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このために、本発明はそ
の面の少なくとも１つに反射防止コーティングＡを備え
る特にガラスからなる透明基板に関し、前記コーティン
グが屈折率の異なる少なくとも２種の材料から構成され
且つその厚みにおいて連続的に変化する組成をもつ単一
薄層から構成されることを特徴とする。薄層は１００〜
４００ｎｍの幾何学的厚みをもつことが好ましい。
【００１２】この層はその厚みにおいて屈折率が増加す
る少なくとも１個の第１のゾーン（基板に最も近接する
ゾーン）と、屈折率が減少する少なくとも１個の第２の
ゾーン（特に、大気に最も近接するゾーン）をもつと有
利である。更にこれらの２つのゾーンの間に屈折率が比
較的一定した中間ゾーンを設けてもよい。例えば、屈折
率が約１．４５〜１．６５のＩ（０）値から少なくとも
２、特に２．１〜２．４のＩ（１）値まで変化する第１
のゾーンと、第１のゾーンよりも極めて薄い任意ゾーン
として、屈折率がほぼＩ（２）値に維持される第２のゾ
ーンと、屈折率がＩ（１）に近似するか又はそれよりも
僅かに小さいＩ（３）値に向かって減少する最終ゾーン
を配置することができる。この層の特徴は、単層と全く
同様に屈折率が徐々に変化する点にある。屈折率をもっ
と複雑に変化させることも可能である（屈折率の増加す
るゾーンと屈折率の減少するゾーンを交互に３個以上配
置する）。
【００１３】その構造により、本発明の反射防止コーテ
ィングは自動車フロントガラスとしての利用にガラスを
完全に適合できる。
【００１４】実際に、第１に、連続層の機械的耐性によ
り、何の問題もなしに型押し工程が可能である。
【００１５】他方、本発明の反射防止コーティングは特
に４００〜５００ナノメートルの波長範囲で非常に有効
な紫外線濾過効果がある。この効果は合わせガラスの中
間層として使用するＰＶＢ等の熱可塑性材料の効果と相
俟って有利に作用する。
【００１６】こうして、自動車の車内のプラスチック材
や塗料の劣化の危険が有効に避けられる。
【００１７】層は屈折率の異なる２種の材料のみから構
成すると有利である。
【００１８】この態様によると、薄層はＳｉＯｘＮ
ｙ（式中、ｘとｙはその厚みにおいて夫々０〜２及び０
〜１．３３で連続的に変化する）をベースとすることが
好ましい。
【００１９】同様にこの態様によると、空気等の周囲媒
体との界面に近接して配置された層のゾーンにおいてｘ
が厳密に０〜２で増加方向に変化し、ｙが厳密に１．３
３〜０で減少方向に変化することが好ましい。
【００２０】別の態様によると、本発明の薄層はＳｉｚ
Ｔｉ１−ｚＯ２（式中、ｚはその厚みにおいて厳密に０
〜１で連続的に変化する）をベースとする。
【００２１】周囲媒体との界面に近接して配置された層
のゾーンにおいてｚは厳密に０〜１で減少方向に変化す
ることが好ましい。
【００２２】本発明の傾斜「単層」の反射防止効果を最
適にするためには、空気等の周囲媒体との界面から０〜
１０ナノメートルの距離に配置されたゾーンにおいて薄
層の屈折率を好ましくは１．３５〜１．７５、有利には
１．３８〜１．７０とする。
【００２３】上記特徴により、本発明の基板を備えるガ
ラスはフロントガラスに利用するのに必要な要件即ち直
角入射で７％未満、更には６％未満、６０°の入射角で
１０％未満のＲＬ値と直角入射で少なくとも７５％のＴ
Ｌ値を完全に満足することができる。
【００２４】本発明によると、基板の外側に撥水機能を
もつように傾斜「単層」の構造に含まれる材料の１種を
選択することもできる。
【００２５】本発明の基板は反射防止コーティングのな
い面に例えば銀型の少なくとも１個の金属機能層を含む
薄層のスタックを備えると有利である。
【００２６】スタックの型としては、誘電体／銀／誘電
体又は誘電体／銀／誘電体／銀／誘電体の配置をもつス
タックが考えられる。
【００２７】これらのスタックの型に関する詳細につい
ては、ヨーロッパ特許出願ＥＰ−Ａ−０６７８４８４、
ＥＰ−Ａ−０６４５３５２及びＥＰ−Ａ−０６３５５２
８を参照されたい。
【００２８】ヨーロッパ特許出願ＥＰ−Ａ−０６３８５
２７及びＥＰ−Ａ−０６５０９３８に記載されているよ
うに窒化物（例えば窒化チタン）層等の反射及び／又は
濾過層を含むスタックを使用することもできる。
【００２９】金属機能層の厚みは日射防止性を与えるよ
うに２０〜２５ナノメートルとすることができる。
【００３０】スタックの好ましい配置は、ガラス／Ｓｉ
３Ｎ４／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ３Ｎ４／Ｚ
ｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ３Ｎ４である。
【００３１】１態様によると、ポリエチレンテレフタレ
ート（ＰＥＴ）等の軟質透明基板にこの種のスタックを
直接堆積することができる。このような材料としては、
ＳＯＵＴＨＷＡＬＬ社から市販されている製品ＸｉＲ
７０（登録商標）が挙げられる。
【００３２】ＷＯ９７／１０１８５及びＷＯ９７／１０
１８６に記載されているように、本発明の層をもたない
ガラスの面にＴｉＯ２をベースとする光触媒汚れ防止層
を堆積することもできる。
【００３３】本発明は更に、少なくとも１枚の上記基板
を含む合わせガラスにも関する。
【００３４】このようなガラスは、少なくとも１枚のポ
リビニルブチラール（ＰＶＢ）シートを含む熱可塑性中
間層を介して結合された特にガラスからなる２枚の透明
基板を含んでもよく、反射防止コーティングＡをもたな
い透明基板も好ましくはマグネトロンスパッタリング技
術により堆積された反射防止コーティングＡ’を同様に
その面の少なくとも１つに含む。
【００３５】このコーティングＡ’はガラス／ＳｎＯ２
／ＳｉＯ２：Ａｌ／Ｎｂ２Ｏ５／ＳｉＯ２：Ａｌの配置
をもつことが好ましい。
【００３６】スタックの最終層を堆積し易くする目的
で、誘電層Ｎｂ２Ｏ５の一部又は全体を同様の光学的性
質をもつ材料（例えばＴｉＯ２）で置換すると有利であ
る。
【００３７】反射防止コーティングＡを面１に配置し、
反射防止コーティングＡ’を面４に配置すると有利であ
る。
【００３８】このような合わせガラスは自動車フロント
ガラスとして利用するのに完全に適している。写真や絵
画の保護用ガラスとして利用するのにも適している。
【００３９】更に、本発明の反射防止コーティングは、
少なくとも１枚のガラス基板と、少なくとも１枚のエネ
ルギー吸収性ポリマー（例えばポリウレタン）シートを
含む所謂非対称合わせガラスにも利用することができ
る。
【００４０】合わせガラスを構成するガラス基板の種類
の選択も重要であると思われ、全体として所望性能をも
つガラスが得られるように、ガラス基板に固有の光学的
及び／又は熱的性質を反射防止コーティングの光学的性
質と組み合わせることができる。
【００４１】例えば、ＳＡＩＮＴ−ＧＯＮＡＩＮ ＧＬ
ＡＳＳ社から商品名“Ｐｌａｎｉｌｕｘ”として市販さ
れているもののような透明ガラスの基板を選択すること
ができる。こうして反射防止コーティングによる光透過
性を更に増すことができるので、非常に透明なガラスが
得られる。
【００４２】他方、板ガラスを構成する基板として、エ
ネルギー透過性の低いガラス、特に内部着色ガラスの基
板を選択してもよい。光透過性は多少低いが、有利な日
射保護ガラスが得られ、反射防止コーティングにより得
られる光透過性の増加効果により、この低い透明レベル
を是正できるという利点がある。特にフロントガラスに
適した内部着色ガラスは例えばＳＥＫＵＲＩＴ ＳＡＩ
ＮＴ−ＧＯＢＡＩＮ社から商品名“Ｓｅｋｕｒｉｓｏ
ｌ”又は“Ｔｈｅｒｍｏｃｏｎｔｒｏｌ”として市販さ
れている。本発明の範囲ではエネルギー透過率の低い他
の種のガラスも有利である。
【００４３】特に、米国特許第４１９０５４２号及び４
１０１７０５号に記載されているようなブロンズ色ガラ
スや、自動車ガラス用に組成を調整したガラスを利用す
ることができる。例えば、比ＴＬ／ＴＥにより定義され
る選択性が少なくとも１．３０又は１．４０〜１．５０
となり、緑色がかった色調をもつように、Ｆｅ２Ｏ３、
ＦｅＯ及びＣｏＯ型の着色酸化物の割合を調整したＴＳ
Ａ＋又はＴＳＡ＋＋と呼ばれるガラスが挙げられる。更
に詳細についてはヨーロッパ特許出願ＥＰ−Ａ−０６１
６８８３を参照すると有利である。この特許の教示によ
るガラス組成に記載された着色酸化物の割合（重量百分
率）を以下に要約する。
【００４４】第１系列によると、 Ｆｅ２Ｏ３ ０．５５〜０．６２％ ＦｅＯ ０．１１〜０．１６％ ＣｏＯ ０〜１２ｐｐｍ、特に＜１２ｐｐｍであ
り、特にＦｅ２＋／Ｆｅ比は約０．１９〜０．２５であ
る。
【００４５】第２系列によると、 Ｆｅ２Ｏ３ ０．７５〜０．９０％ ＦｅＯ ０．１５〜０．２２％ ＣｏＯ ０〜１７ｐｐｍ、特に＜１０ｐｐｍであ
り、特にＦｅ２＋／Ｆｅ比は約０．２０である。
【００４６】内部着色ガラス、特に特許出願ＥＰ−Ａ−
０６４４１６４、ＷＯ９５／００８２８又はＷＯ９６／
００３９４に記載されているもののような緑青に着色し
たガラスでもよい。
【００４７】従って、これらの全種の着色ガラスの組成
は、ガラスのエネルギー透過率値が３０〜７０％、特に
３５〜６０％となり、光透過率値が５０〜８５％となる
ように選択すると有利である。
【００４８】最後に、本発明は時間ｔの間に少なくとも
２種の前駆物質から高周波又はマイクロ波プラズマＣＶ
Ｄ技術により堆積される厚みｅの少なくとも１個の薄層
を含む反射防止コーティングＡをその面の少なくとも１
つに備える特にガラスからなる透明基板の製造方法に関
する。本発明によると、時間ｔの間に少なくとも１個の
堆積パラメーターを連続的に変化させる。
【００４９】「堆積パラメーター」とは、本発明の範囲
ではプラズマＣＶＤ技術により使用される堆積圧、照射
電力、前駆物質流速、基板温度、基板にかかる電圧等の
条件の１つを意味する。
【００５０】非常に有利な特徴によると、時間ｔの間に
変化させる堆積パラメーターは２種の前駆物質の少なく
とも一方の流速である。
【００５１】本発明の別の態様によると、別の真空技術
で本発明の反射防止コーティングＡを堆積することもで
きる。特に磁場を利用するカソードスパッタリングが好
ましい。酸化物と同様に、堆積雰囲気で酸化剤と共に反
応性のスパッタリングを選択することができる。例えば
１９９５年７月１２日付け仏国特許ＦＲ９５／０８４２
１に記載されているように、プラズマを用いないＣＶＤ
によりコーティングを堆積することもできる。
【００５２】以下、図１〜３を参考に非限定的な実施例
を詳細に説明することにより、他の詳細及び有利な特徴
を説明する。
【００５３】
【発明の実施の形態】実施例１ 図１はＳｉＯｘＮｙ（式中、ｘとｙは厚みにおいて連続
的に変化する）をベースとする厚み約２５０ｎｍの層１
０をその面の１つに備える“Ｐｌａｎｉｌｕｘ”型ガラ
ス基板を示す。このｘとｙの変化は図２の破線の曲線に
より示すプロフィルを与える。
【００５４】この傾斜層を得るために、下記のように１
３．５６ＭＨｚの高周波プラズマＣＶＤ技術を使用し
た。
【００５５】真空にしたチャンバーに圧力を約２６．７
Ｐａに維持しながらアルゴンを導入した。照射電力は１
００ワットである。
【００５６】使用したチャンバー（図示せず）は各々導
管に連結した４個のオリフィスを含む。これらの導管の
各々によりプラズマ生成ガス又は有機ケイ素ガスを導入
することができる。
【００５７】本発明により堆積を実施するために、以下
に記載するようなプラズマ生成ガスの成分の流速を連続
的に経時変化させた。
【００５８】流速は常温常圧条件下である。
【００５９】時刻ｔ＝０で、シランＳｉＨ４流速３０ｃ
ｍ３／分、一酸化二窒素Ｎ２Ｏ流速１００ｃｍ３／分及
びアルゴン流速５０ｃｍ３／分で導入した。
【００６０】層の厚みの最初の２分の１の堆積に必要な
時間の間に、シランとアルゴンの流速は初期流速から変
えずに、一酸化二窒素Ｎ２Ｏ流速を１００ｃｍ３／分か
ら０ｃｍ３／分、アンモニアＮＨ３流速を０ｃｍ３／分
から９０ｃｍ３／分に連続的に変化させた。
【００６１】層の厚みの残りの２分の１の堆積に必要な
時間の間に、シランとアルゴンの流速は変えずに、逆に
一酸化二窒素Ｎ２Ｏ流速を０ｃｍ３／分から１００ｃｍ
３／分、アンモニアＮＨ３流速を９０ｃｍ３／分から０
ｃｍ３／分に連続的に変化させた。
【００６２】図２の曲線は各々本発明の層の厚みにおけ
る屈折率の変化を示し、変化は入射角０°の最小光反射
により最適化した。
【００６３】破線の曲線は上記混合物から得られた層に
相当し、一点鎖線の曲線は第２の別の混合物から同様に
して得られた層に相当する。この第２の混合物はチタン
の有機金属前駆物質としてのＴｉ（ＯＣ３Ｈ７）４と酸
素Ｏ２とからなる。
【００６４】これらの曲線のプロフィルは完全に連続し
ており、脆性の原因である界面がないことを示してい
る。
【００６５】本発明の層の機械的耐久性を調べるため
に、図１のガラス基板に２種の耐摩耗性試験を実施し
た。
【００６６】第１の試験（Ａ）はＴａｂｅｒ試験であ
り、ＴＡＢＥＲ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｃｏｒｐ．製
機械（モデル１７４“Ｓｔａｎｄａｒｄ Ａｂｒａｓｉ
ｏｎＴｅｓｔｅｒ”）により、研磨粉をエラストマーに
埋封して作製した砥石車を使用して実施した。砥石車は
ＣＳ １０Ｆ型であり、５００ｇの負荷下に使用し、砥
石車１回転を１サイクルとする。
【００６７】第２の試験（Ｂ）は基板をワイパーで拭う
ことにより実施する。ワイパーブレードが基板に加える
力は約４５Ｎであり、ブレードの速度は１１１サイクル
／分とし、ブレードの１往復運動を１サイクルとする。
ブレードの硬度は約７０ショアＡとする。実施例２（比較） 比較例として、本発明のガラス基板により得られる値即
ち特に５％未満の光反射率値ＲＬで得られる値に非常に
近い分光光度値が得られるように層の厚みを調整し、ス
パッタリング堆積技術によりガラス／ＳｉＯＮ／Ｓｉ３
Ｎ４／ＳｉＯ２型スタックを作製した。
【００６８】次にこのスタックに上記と同一の耐摩耗性
試験を実施した。
【００６９】下表１は上記２種の試験（Ａ）及び（Ｂ）
を実施した基板で所定数のサイクル後に実施した目視の
結果を示す。
【００７０】
【表１】 表１に明示されるように、本発明の層は比較例により作
製したスタックよりも著しく優れた機械的耐久性を示
す。
【００７１】実施例３及び４は厚み０．７６ｍｍのＰＶ
Ｂシート１１により結合した夫々厚み２．６ｍｍ及び
２．１ｍｍの２枚のＰｌａｎｉｌｕｘ型透明ガラス基板
１、２を使用する。これらの実施例は特に自動車用フロ
ントガラスの適用を目的とする。この適用では、まず２
枚の基板１、２にスタックを付けた後、図３に示すよう
に基板１の外面１が凸面となり、基板２の外面４が凹面
となるように型押しする。実施例３（本発明） 基板１の外面１を本発明の層１０で被覆する。
【００７２】ヨーロッパ特許出願ＥＰ−Ａ−０７１８２
５０の記載によるガラス／Ｓｉ３Ｎ ４／ＺｎＯ／Ａｇ／
Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ３Ｎ４／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／Ｚｎ
Ｏ／Ｓｉ３Ｎ４の配置をもつ日射防止スタックで基板１
の内面２を被覆する。
【００７３】対応する層の厚み（ナノメートル）を下表
２に示す。
【００７４】
【表２】 更に、ヨーロッパ特許出願ＥＰ−Ａ−０７２８７１２に
記載されているようにマグネトロンスパッタリング技術
により堆積したガラス／ＳｎＯ２／ＳｉＯ２：Ａｌ／Ｎ
ｂ２Ｏ５／ＳｉＯ２：Ａｌの配置の反射防止スタックで
基板２の外面４を被覆する。
【００７５】対応する層の厚み（ナノメートル）を下表
３に示す。
【００７６】
【表３】 実施例４（比較） 使用した基板１は薄層を含まない。
【００７７】基板２はその内面３のみを実施例２と同一
の日射防止スタックで被覆する。
【００７８】下表４は実施例３及び４について入射角ゼ
ロで測定した分光光度値（百分率）をまとめたものであ
り、ａ＊及びｂ＊値は面１の反射率を測定した。
【００７９】
【表４】 この表から明らかなように、光透過率ＴＬの値は本発明
の層により著しく改善される。従って、所与光透過率値
で銀層の厚みを増すことができ、従って、この種の合わ
せガラスの日射防止性能を改善することができる。実施例５（本発明） 基板１及び２はヨーロッパ特許ＥＰ−Ａ−０６４４１６
４の教示による組成をもち、より詳細には下記酸化物を
下記重量割合で含有する。
【００８０】ＳｉＯ２ ７０．８％ Ａｌ２Ｏ３ ０．６％ ＣａＯ ９．５０％ ＭｇＯ ４．１０％ Ｎａ２Ｏ １３．８％ Ｋ２Ｏ ０．１０％ Ｆｅ２Ｏ３ ０．８６％ ＴｉＯ２ ０．０３５％ ＦｅＯ ０．２８％ ＳＯ３ ０．１０％。
【００８１】基板１はその外面１に本発明の層を含む。
【００８２】ガラス基板２はその外面３を実施例３と同
一の反射防止スタックで被覆する。実施例６（比較） 本実施例ではコーティングをもたない以外は実施例５で
使用したと同一の基板を使用する。
【００８３】下表５は実施例５及び６について入射角ゼ
ロで測定した分光光度値をまとめたものであり、ａ＊及
びｂ＊値は面１の反射率を測定した。
【００８４】
【表５】 この場合も、２つの実施例の結果を比較することによ
り、光透過率ＴＬの著しい改善が認められる。従って、
この場合も所与ＴＬで２枚の基板の一方を更に着色し、
選択性を改善することが予想できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の反射防止コーティングをその面の１つ
に備えるガラス基板を示す。
【図２】本発明の層の屈折率の勾配を表す２種の曲線を
示す。
【図３】２個の反射防止コーティングと低放射層を含む
スタックを含む合わせガラスを示す。
【符号の説明】
１，２ 基板 ３ 内面 ４ 外面 １１ ＰＶＢシート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マルク・モレ ベルギー国、ベー−4800・ベルビエ、リ ユ・ドウバテイス・７

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 その面の少なくとも１つに反射防止コー
    ティングＡを備える特にガラスからなる透明基板であっ
    て、反射防止コーティングが屈折率の異なる少なくとも
    ２種の材料から形成されており且つその厚みｅにおいて
    連続的に変化する組成をもつ単一薄層から構成されるこ
    とを特徴とする前記透明基板。
  2. 【請求項２】 薄層が１００〜４００ｎｍの厚みをもつ
    ことを特徴とする請求項１に記載の基板。
  3. 【請求項３】 薄層が屈折率の異なる２種の材料のみか
    ら形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記
    載の基板。
  4. 【請求項４】 薄層がＳｉＯｘＮｙ（式中、ｘとｙはそ
    の厚みにおいて夫々０〜２及び０〜１．３３で連続的に
    変化する）をベースとすることを特徴とする請求項３に
    記載の基板。
  5. 【請求項５】 空気等の周囲媒体との界面に近接して配
    置された層のゾーンにおいてｘが厳密に０〜２で増加方
    向に変化し、ｙが厳密に１．３３〜０で減少方向に変化
    することを特徴とする請求項４に記載の基板。
  6. 【請求項６】 薄層がＳｉｚＴｉ１−ｚＯ２（式中、ｚ
    はその厚みにおいて厳密に０〜１で連続的に変化する）
    をベースとすることを特徴とする請求項３に記載の基
    板。
  7. 【請求項７】 空気等の周囲媒体との界面に近接して配
    置された層のゾーンにおいてｚが厳密に０〜１で減少方
    向に変化することを特徴とする請求項６に記載の基板。
  8. 【請求項８】 空気等の周囲媒体との界面から０〜１０
    ナノメートルの距離に配置されたゾーンにおいて薄層の
    屈折率が１．３５〜１．７５、有利には１．３８〜１．
    ７０であることを特徴とする請求項１から７のいずれか
    一項に記載の基板。
  9. 【請求項９】 反射防止コーティングのない面に銀型の
    少なくとも１個の金属機能層を含む薄層のスタックを備
    えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に
    記載の基板。
  10. 【請求項１０】 日射防止性を与えるように金属機能層
    の厚みが２０〜２５ナノメートルであることを特徴とす
    る請求項９に記載の基板。
  11. 【請求項１１】 薄層のスタックが、ガラス／Ｓｉ３Ｎ
    ４／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ３Ｎ４／ＺｎＯ
    ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ３Ｎ４の配置をもつことを
    特徴とする請求項９又は１０に記載の基板。
  12. 【請求項１２】 請求項１から１１のいずれか一項に記
    載の基板を少なくとも１つ含む合わせガラス。
  13. 【請求項１３】 少なくとも１枚のポリビニルブチラー
    ル（ＰＶＢ）シートを含む熱可塑性中間層を介して結合
    された特にガラスからなる２枚の透明基板を含み、反射
    防止コーティングＡをもたない透明基板が好ましくはマ
    グネトロンスパッタリング技術により堆積された反射防
    止コーティングＡ’を同様にその面の少なくとも１つに
    含むことを特徴とする請求項１２に記載の合わせガラ
    ス。
  14. 【請求項１４】 反射防止コーティングＡ’がガラス／
    ＳｎＯ２／ＳｉＯ２：Ａｌ／Ｎｂ２Ｏ５又はＴｉＯ２／
    ＳｉＯ２：Ａｌの配置をもつことを特徴とする請求項１
    ３に記載の合わせガラス。
  15. 【請求項１５】 反射防止コーティングＡが面１に配置
    されており、反射防止コーティングＡ’が面４に配置さ
    れていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の
    合わせガラス。
  16. 【請求項１６】 自動車フロントガラス又は写真もしく
    は絵画の保護用ガラスとしての請求項１２から１５のい
    ずれか一項に記載の合わせガラスの使用。
  17. 【請求項１７】 時間ｔの間に少なくとも２種の前駆物
    質から高周波又はマイクロ波プラズマＣＶＤ技術により
    堆積される厚みｅの少なくとも１個の薄層を含む反射防
    止コーティングＡをその面の少なくとも１つに備える特
    にガラスからなる透明基板の製造方法であって、時間ｔ
    の間に少なくとも１個の堆積パラメーターを連続的に変
    化させることを特徴とする前記方法。
  18. 【請求項１８】 時間ｔの間に変化させる堆積パラメー
    ターが２種の前駆物質の少なくとも一方の流速であるこ
    とを特徴とする請求項１７に記載の方法。
  19. 【請求項１９】 特に磁場を利用し、好ましくは反応性
    のカソードスパッタリング技術により反射防止コーティ
    ングＡを堆積することを特徴とする請求項１から１１の
    いずれか一項に記載の基板の製造方法。
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