JPH0717741A - 干渉色を減じた断熱ガラス - Google Patents
干渉色を減じた断熱ガラスInfo
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- JPH0717741A JPH0717741A JP16282093A JP16282093A JPH0717741A JP H0717741 A JPH0717741 A JP H0717741A JP 16282093 A JP16282093 A JP 16282093A JP 16282093 A JP16282093 A JP 16282093A JP H0717741 A JPH0717741 A JP H0717741A
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- Japan
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- film
- glass
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- insulating glass
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属膜、誘電体膜等を積層する方法を用いて
作製し、比較的積層数が少ない膜構成でかつ干渉色の低
減した高性能な断熱ガラスを得る。 【構成】 透明な基板上に２層以上の薄膜を積層してな
り、各層の中間に屈折率が両層の中間に相当する中間膜
を挟持した断熱ガラス。 【効果】 直射光のぎらつき感を抑え、光干渉によって
発現される干渉色が低減でき、自動車、建築における居
住性のよい、単板ガラスはもちろん合わせガラスあるい
は複層ガラス等として使用し得る熱線遮蔽ガラスとして
有用である。
作製し、比較的積層数が少ない膜構成でかつ干渉色の低
減した高性能な断熱ガラスを得る。 【構成】 透明な基板上に２層以上の薄膜を積層してな
り、各層の中間に屈折率が両層の中間に相当する中間膜
を挟持した断熱ガラス。 【効果】 直射光のぎらつき感を抑え、光干渉によって
発現される干渉色が低減でき、自動車、建築における居
住性のよい、単板ガラスはもちろん合わせガラスあるい
は複層ガラス等として使用し得る熱線遮蔽ガラスとして
有用である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はソーラーコントロールガ
ラスに関し、特に自動車用の断熱ガラスにおける外観の
干渉色を低減させた断熱ガラスに関する。
ラスに関し、特に自動車用の断熱ガラスにおける外観の
干渉色を低減させた断熱ガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、窓ガラスを通じて室内に流入
する太陽エネルギーにより室内の温度が上昇するのを抑
え、省エネルギーの見地から冷房機器の負荷を低減させ
るための断熱ガラスが要求されている。
する太陽エネルギーにより室内の温度が上昇するのを抑
え、省エネルギーの見地から冷房機器の負荷を低減させ
るための断熱ガラスが要求されている。
【０００３】太陽エネルギーを遮断させる方法には、表
面に被覆した金属膜のプラズマ振動を利用して、特定波
長よりも長い波長のエネルギーを反射させる方法、基板
材料の成分として特定波長のエネルギーを吸収する材料
を添加する方法、各種の金属薄膜、誘電体薄膜を多層積
層して光の干渉効果を利用する方法などが提案されてい
る。
面に被覆した金属膜のプラズマ振動を利用して、特定波
長よりも長い波長のエネルギーを反射させる方法、基板
材料の成分として特定波長のエネルギーを吸収する材料
を添加する方法、各種の金属薄膜、誘電体薄膜を多層積
層して光の干渉効果を利用する方法などが提案されてい
る。
【０００４】金属膜のプラズマ振動を利用すると、プラ
ズマ周波数よりも長い波長では反射率が１になり光を透
過しなくなる。金属膜では一般的にプラズマ周波数が可
視域になるため、断熱性能は高いが、可視域の透過性が
低下する。
ズマ周波数よりも長い波長では反射率が１になり光を透
過しなくなる。金属膜では一般的にプラズマ周波数が可
視域になるため、断熱性能は高いが、可視域の透過性が
低下する。
【０００５】エネルギー吸収材を基板材料中に添加する
方法は、添加材によって、基板の着色がおこるため、特
定の色調しか得られないし、断熱効果においても、添加
材の添加量に限度があるため、十分な性能とはならな
い。
方法は、添加材によって、基板の着色がおこるため、特
定の色調しか得られないし、断熱効果においても、添加
材の添加量に限度があるため、十分な性能とはならな
い。
【０００６】各種の金属膜、誘電体膜を多層積層して、
光の干渉効果を利用する方法は、基板材料によらず達成
でき、材料の選択性が広いために性能の制御が容易であ
るなどの特徴から広く採用されているが、干渉効果を最
大限利用した場合、干渉色が著しくなる。これを改善す
るために非常に多層化する事が必要となるが、生産性に
著しく劣る。
光の干渉効果を利用する方法は、基板材料によらず達成
でき、材料の選択性が広いために性能の制御が容易であ
るなどの特徴から広く採用されているが、干渉効果を最
大限利用した場合、干渉色が著しくなる。これを改善す
るために非常に多層化する事が必要となるが、生産性に
著しく劣る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明の目的
は、金属膜、誘電体膜等を積層する方法を用いて作成
し、比較的積層数が少ない膜構成でかつ干渉色の低減し
た高性能な断熱ガラスを提供することにある。
は、金属膜、誘電体膜等を積層する方法を用いて作成
し、比較的積層数が少ない膜構成でかつ干渉色の低減し
た高性能な断熱ガラスを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成した本発
明の断熱ガラスは、透明な基板上に２層以上の薄膜を積
層してなる断熱ガラスであって、各層の中間に屈折率が
両層の中間に相当する中間膜を挟持したことを特徴す
る。
明の断熱ガラスは、透明な基板上に２層以上の薄膜を積
層してなる断熱ガラスであって、各層の中間に屈折率が
両層の中間に相当する中間膜を挟持したことを特徴す
る。
【０００９】本発明においては、透明基板上に薄膜を多
層積層する際、各層の中間に両層の中間の屈折率を有す
る中間層を挿入することによって干渉効果を利用しなが
ら干渉によって得られる干渉色を低減させるとともに、
積層膜の層数を比較的少なくすることで、より効率的に
するものであり、層の数は中間層も含めて１０層以下、
より好ましくは７層以下でなすものである。
層積層する際、各層の中間に両層の中間の屈折率を有す
る中間層を挿入することによって干渉効果を利用しなが
ら干渉によって得られる干渉色を低減させるとともに、
積層膜の層数を比較的少なくすることで、より効率的に
するものであり、層の数は中間層も含めて１０層以下、
より好ましくは７層以下でなすものである。
【００１０】例えば特開昭５９−１２７００１号公報で
は高耐久性多層膜を作成する方法としてはＴｉＯ2 とＳ
ｉＯ2 の中間に３〜１０ｎｍの酸化アルミニウム、酸化
マグネシウム、酸化ジルコニウムなどの中間層を含む多
層膜が提案されているが、この場合密着力を向上させ、
光学的特性を変化させないことを目的としているため、
干渉が生じない程度に薄い膜厚である必要があり、干渉
色の低減に寄与しないが、本発明ではその目的が干渉色
の低減にあり、このためには中間層による干渉効果を利
用してたくみに組み合わせるため少なくとも１０ｎｍ以
上、より好ましくは２０ｎｍ以上必要であり、この程度
以上であれば、干渉色の低減が図れる。
は高耐久性多層膜を作成する方法としてはＴｉＯ2 とＳ
ｉＯ2 の中間に３〜１０ｎｍの酸化アルミニウム、酸化
マグネシウム、酸化ジルコニウムなどの中間層を含む多
層膜が提案されているが、この場合密着力を向上させ、
光学的特性を変化させないことを目的としているため、
干渉が生じない程度に薄い膜厚である必要があり、干渉
色の低減に寄与しないが、本発明ではその目的が干渉色
の低減にあり、このためには中間層による干渉効果を利
用してたくみに組み合わせるため少なくとも１０ｎｍ以
上、より好ましくは２０ｎｍ以上必要であり、この程度
以上であれば、干渉色の低減が図れる。
【００１１】図２は誘電体を積層してなる一例の断熱ガ
ラスの構成を示す。自動車用を考慮した場合、安全性の
点から視野確保の意味において、できるだけ可視光線の
透過率が高い方が好ましく、また断熱性の点からは日射
の透過率はできるだけ低い方が好ましい。この点を考慮
して膜設計を行うとガラス１の面上に先ず第１層７とし
てＴｉＯを１００ｎｍ、第２層８としてＳｉＯを１５０
ｎｍ、第３層９としてＴｉＯを１００ｎｍ積層する事に
より可視光透過率８６．３％、日射透過率５８．０％の
十分に視野確保でき、かつ、断熱性の優れたガラスが得
られる。しかしながら、干渉効果が十分に発現できるよ
うに、屈折率差の大きい材料を組み合わせるため、反射
色調として強い干渉色が現れる。
ラスの構成を示す。自動車用を考慮した場合、安全性の
点から視野確保の意味において、できるだけ可視光線の
透過率が高い方が好ましく、また断熱性の点からは日射
の透過率はできるだけ低い方が好ましい。この点を考慮
して膜設計を行うとガラス１の面上に先ず第１層７とし
てＴｉＯを１００ｎｍ、第２層８としてＳｉＯを１５０
ｎｍ、第３層９としてＴｉＯを１００ｎｍ積層する事に
より可視光透過率８６．３％、日射透過率５８．０％の
十分に視野確保でき、かつ、断熱性の優れたガラスが得
られる。しかしながら、干渉効果が十分に発現できるよ
うに、屈折率差の大きい材料を組み合わせるため、反射
色調として強い干渉色が現れる。
【００１２】本発明では、上記の強い干渉色を低減させ
るために積層膜の中間に両層の中間の屈折率を有する材
料を中間層として挟持して、断熱性は低下させずに、干
渉色を抑えようとするものである。
るために積層膜の中間に両層の中間の屈折率を有する材
料を中間層として挟持して、断熱性は低下させずに、干
渉色を抑えようとするものである。
【００１３】図１は図２の膜構成を基に中間層を挿入し
て得た一例の断熱ガラスの構成を示す。すなわち、第１
層２としてＴｉＯをガラス１の面上に９０ｎｍ、第２層
３として、第３層４のＳｉＯと第１層２のＴｉＯの中間
の屈折率であるＴｉＳｉＯを２０ｎｍ、第３層４として
ＳｉＯを１３０ｎｍ、第４層５として第３層４と第５層
５の中間の屈折率であるＴｉＳｉＯを２０ｎｍ、第５層
６としてＴｉＯを９０ｎｍ積層して得た断熱ガラスであ
る。
て得た一例の断熱ガラスの構成を示す。すなわち、第１
層２としてＴｉＯをガラス１の面上に９０ｎｍ、第２層
３として、第３層４のＳｉＯと第１層２のＴｉＯの中間
の屈折率であるＴｉＳｉＯを２０ｎｍ、第３層４として
ＳｉＯを１３０ｎｍ、第４層５として第３層４と第５層
５の中間の屈折率であるＴｉＳｉＯを２０ｎｍ、第５層
６としてＴｉＯを９０ｎｍ積層して得た断熱ガラスであ
る。
【００１４】本発明による構成では可視光線透過率８
２．４％、日射透過率５８．８％と断熱特性は中間層の
ない図２の構成と大きな差はないが、反射色調は図２の
構成に比べると干渉色が低減されており、自動車の窓ガ
ラスとして使用した場合、室内からの居住性、車外から
のイメージの向上が得られ、より商品価値の高いものと
できる。
２．４％、日射透過率５８．８％と断熱特性は中間層の
ない図２の構成と大きな差はないが、反射色調は図２の
構成に比べると干渉色が低減されており、自動車の窓ガ
ラスとして使用した場合、室内からの居住性、車外から
のイメージの向上が得られ、より商品価値の高いものと
できる。
【００１５】本発明において、中間層の作製方法として
は両層の中間組成の材料、例えば両層を構成する各材料
の混合材料によって、中間の屈折率を得てもよいし、中
間の屈折率を有する別の材料を中間層として積層しても
よい。また両層の材料を同時に積層しながら、膜成分を
連続的に変化させて、屈折率の連続体を使用してもよ
い。
は両層の中間組成の材料、例えば両層を構成する各材料
の混合材料によって、中間の屈折率を得てもよいし、中
間の屈折率を有する別の材料を中間層として積層しても
よい。また両層の材料を同時に積層しながら、膜成分を
連続的に変化させて、屈折率の連続体を使用してもよ
い。
【００１６】作製方法としては蒸着法、スパッタ法、Ｃ
ＶＤ法、ゾルゲル法など、薄膜の作製法として利用でき
るものであればよいことは言うまでもない。
ＶＤ法、ゾルゲル法など、薄膜の作製法として利用でき
るものであればよいことは言うまでもない。
【００１７】
【実施例】以下、本発明を実施例および比較例により具
体的に説明する。ただし本発明はこれらの実施例に限定
されるものではない。 実施例１ 大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ、厚さ３ｍｍの透明ガラ
ス（ＦＬ３）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアル
コールで順次洗浄し、乾燥した後、ＲＦマグネトロンス
パッタリング装置の真空槽内にセットしてあるチタンと
ＴｉＳｉＯとＳｉＯ2 のターゲットに対向して上方にセ
ットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで約５×１０-6Ｔ
ｏｒｒ以下までに脱気した後、該真空槽内にアルゴンガ
スと酸素ガス（但し、酸素ガスとアルゴンガスの流量比
は１００：０から５０：５０の範囲にあればよい。）を
導入して真空度を約５×１０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記
チタンのターゲットに約３００ｗの電力を印加し、酸素
ガスによるＲＦマグネトロン反応スパッタの中を、前記
チタンターゲット上方において前記板ガラスにＴｉＯ薄
膜を第１層として９０ｎｍ成膜した。成膜が完了した
後、チタンターゲットへの電力の印加およびガスの供給
を停止した。
体的に説明する。ただし本発明はこれらの実施例に限定
されるものではない。 実施例１ 大きさ１００ｍｍ×１００ｍｍ、厚さ３ｍｍの透明ガラ
ス（ＦＬ３）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアル
コールで順次洗浄し、乾燥した後、ＲＦマグネトロンス
パッタリング装置の真空槽内にセットしてあるチタンと
ＴｉＳｉＯとＳｉＯ2 のターゲットに対向して上方にセ
ットし、つぎに前記槽内を真空ポンプで約５×１０-6Ｔ
ｏｒｒ以下までに脱気した後、該真空槽内にアルゴンガ
スと酸素ガス（但し、酸素ガスとアルゴンガスの流量比
は１００：０から５０：５０の範囲にあればよい。）を
導入して真空度を約５×１０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記
チタンのターゲットに約３００ｗの電力を印加し、酸素
ガスによるＲＦマグネトロン反応スパッタの中を、前記
チタンターゲット上方において前記板ガラスにＴｉＯ薄
膜を第１層として９０ｎｍ成膜した。成膜が完了した
後、チタンターゲットへの電力の印加およびガスの供給
を停止した。
【００１８】次に、板ガラスを前記真空槽中においたま
ま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しアル
ゴンガスと酸素ガスの流量比は９５：５から５０：５０
の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１０
-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ＴｉＳｉＯターゲットに約３
００ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロ
ン反応スパッタの中を、前記ＴｉＳｉＯターゲット上方
において前記板ガラスのＴｉＯ成膜表面に約２０ｎｍ厚
さのＴｉＳｉＯ薄膜を第２層として成膜積層した。成膜
が完了した後、ＴｉＳｉＯターゲットへの電力の印加お
よびガスの供給を停止した。
ま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しアル
ゴンガスと酸素ガスの流量比は９５：５から５０：５０
の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１０
-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ＴｉＳｉＯターゲットに約３
００ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロ
ン反応スパッタの中を、前記ＴｉＳｉＯターゲット上方
において前記板ガラスのＴｉＯ成膜表面に約２０ｎｍ厚
さのＴｉＳｉＯ薄膜を第２層として成膜積層した。成膜
が完了した後、ＴｉＳｉＯターゲットへの電力の印加お
よびガスの供給を停止した。
【００１９】次に、以下ガラスを前記真空槽中においた
まま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しア
ルゴンガスと酸素ガスの流量比は９５：５から５０：５
０の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１
０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ＳｉＯ2 ターゲットに約３
００ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロ
ンスパッタの中を、前記ＳｉＯ2 ターゲット上方におい
て前記板ガラスのＴｉＳｉＯ成膜表面に約１３０ｎｍ厚
さのＳｉＯ薄膜を第３層として成膜積層した。成膜が完
了した後、ＳｉＯ2 ターゲットへの電力の印加およびガ
スの供給を停止した。
まま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しア
ルゴンガスと酸素ガスの流量比は９５：５から５０：５
０の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１
０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ＳｉＯ2 ターゲットに約３
００ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロ
ンスパッタの中を、前記ＳｉＯ2 ターゲット上方におい
て前記板ガラスのＴｉＳｉＯ成膜表面に約１３０ｎｍ厚
さのＳｉＯ薄膜を第３層として成膜積層した。成膜が完
了した後、ＳｉＯ2 ターゲットへの電力の印加およびガ
スの供給を停止した。
【００２０】次に、板ガラスを前記真空槽中においたま
ま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しアル
ゴンガスと酸素ガスの流量比は９５：５から５０：５０
の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１０
-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ＴｉＳｉＯターゲットに約３
００ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロ
ン反応スパッタの中を、前記ＴｉＳｉＯターゲット上方
において前記板ガラスのＳｉＯ成膜表面に約２０ｎｍ厚
さのＴｉＳｉＯ薄膜を第４層として成膜積層した。成膜
が完了した後、ＴｉＳｉＯターゲットへの印加およびガ
スの供給を停止した。
ま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しアル
ゴンガスと酸素ガスの流量比は９５：５から５０：５０
の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１０
-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ＴｉＳｉＯターゲットに約３
００ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロ
ン反応スパッタの中を、前記ＴｉＳｉＯターゲット上方
において前記板ガラスのＳｉＯ成膜表面に約２０ｎｍ厚
さのＴｉＳｉＯ薄膜を第４層として成膜積層した。成膜
が完了した後、ＴｉＳｉＯターゲットへの印加およびガ
スの供給を停止した。
【００２１】次に、板ガラスを前記真空槽中においたま
ま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しアル
ゴンガスと酸素ガスの流量比は５０：５０から０：１０
０の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１
０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記チタンターゲットに約３０
０ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロン
反応スパッタの中を、前記チタンターゲット上方におい
て前記板ガラスのＴｉＳｉＯ成膜表面に約９０ｎｍ厚さ
のＴｉＯ薄膜を第５層として成膜積層した。成膜が完了
した後、チタンターゲットへの印加およびガスの供給を
停止した。
ま、前記真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但しアル
ゴンガスと酸素ガスの流量比は５０：５０から０：１０
０の範囲であればよい。）を導入して真空度を約５×１
０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記チタンターゲットに約３０
０ｗの電力を印加し、酸素ガスによるＲＦマグネトロン
反応スパッタの中を、前記チタンターゲット上方におい
て前記板ガラスのＴｉＳｉＯ成膜表面に約９０ｎｍ厚さ
のＴｉＯ薄膜を第５層として成膜積層した。成膜が完了
した後、チタンターゲットへの印加およびガスの供給を
停止した。
【００２２】得られた５層の膜を有する熱線反射ガラス
について、可視光透過率（３８０〜７８０ｎｍ）、可視
光反射率（３８０〜７８０ｎｍ）ならびに日射透過率
（３４０〜１８００ｎｍ）については３４０型自記分光
光度計（日立製作所製）とＪＩＳ Ｚ８７２２、ＪＩＳ
Ｒ３１０６によってそれぞれの光学的特性を求めた。
について、可視光透過率（３８０〜７８０ｎｍ）、可視
光反射率（３８０〜７８０ｎｍ）ならびに日射透過率
（３４０〜１８００ｎｍ）については３４０型自記分光
光度計（日立製作所製）とＪＩＳ Ｚ８７２２、ＪＩＳ
Ｒ３１０６によってそれぞれの光学的特性を求めた。
【００２３】実施例２ ＲＦマグネトロンスパッタ装置を使用してＴｉＯ2 膜と
ＳｉＯ2 膜の中間に屈折率が連続的に変化するＴｉＳｉ
Ｏ膜を形成した。成膜方法を以下に示す。真空槽内には
ＴｉＯ2 膜用のターゲットとしてＴｉ、ＳｉＯ2 用のタ
ーゲットとしてＳｉＯ2 のターゲットが設置されてい
る。まず真空ポンプにてスパッタ装置真空槽内を５×１
０-6Ｔｏｒｒまで排気し、スパッタガスとしてＡｒ，Ｏ
2 混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内に導
入した。真空槽内のガス圧が５×１０-3Ｔｏｒｒとなる
よう排気速度、ガス流量を調整した。次にＴｉターゲッ
トにＲＦパワー３００ｗを印加し、ソーダライムガラス
（ＦＬ３）上にＴｉＯを９０ｎｍ成膜した。次にＳｉＯ
2 ターゲットにＲＦパワーを印加した。このときＴｉタ
ーゲットに印加するＲＦパワーを時間的に徐々に減少
し、ＳｉＯ2 ターゲットに印加するパワーを徐々に増加
するようＲＦパワーを制御した。
ＳｉＯ2 膜の中間に屈折率が連続的に変化するＴｉＳｉ
Ｏ膜を形成した。成膜方法を以下に示す。真空槽内には
ＴｉＯ2 膜用のターゲットとしてＴｉ、ＳｉＯ2 用のタ
ーゲットとしてＳｉＯ2 のターゲットが設置されてい
る。まず真空ポンプにてスパッタ装置真空槽内を５×１
０-6Ｔｏｒｒまで排気し、スパッタガスとしてＡｒ，Ｏ
2 混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内に導
入した。真空槽内のガス圧が５×１０-3Ｔｏｒｒとなる
よう排気速度、ガス流量を調整した。次にＴｉターゲッ
トにＲＦパワー３００ｗを印加し、ソーダライムガラス
（ＦＬ３）上にＴｉＯを９０ｎｍ成膜した。次にＳｉＯ
2 ターゲットにＲＦパワーを印加した。このときＴｉタ
ーゲットに印加するＲＦパワーを時間的に徐々に減少
し、ＳｉＯ2 ターゲットに印加するパワーを徐々に増加
するようＲＦパワーを制御した。
【００２４】このようにターゲットに印加するパワーを
制御することにより、ＴｉＯ膜の上に屈折率が連続的に
変化したＴｉＳｉＯ膜を成膜することができた。各ター
ゲットの具体的印加ＲＦパワーはＴｉターゲットに対し
ては３００ｗから０に、ＳｉＯ2 ターゲットに対しては
０から３００ｗへと変化させた。この様にしてＴｉＳｉ
Ｏを２０ｎｍ成膜した。次にＳｉＯ膜の成膜段階にはい
り、このときＳｉＯ2ターゲットに印加するパワーは３
００ｗでＳｉＯ膜を１３０ｎｍ成膜した。その後ＳｉＯ
2 膜の上にＴｉＳｉＯ膜を２０ｎｍ、ＴｉＯ膜を９０ｎ
ｍ成膜するが、その手順は前述のＴｉＯ膜の上にＳｉＯ
膜を形成したときと逆の手順を用いた。すなわちＴｉタ
ーゲットに印加するＲＦパワーを時間的に徐々に増加
し、ＳｉＯ 2 ターゲットに投入するパワーを徐々に減少
するようＲＦパワーを制御することによって、ＳｉＯ2
膜の上にＴｉＳｉＯ膜、ＴｉＯ膜を形成した。このよう
に積層されたものの層構成はＦＬ３／ＴｉＯ／ＴｉＳｉ
Ｏ／ＳｉＯ／ＴｉＳｉＯ／ＴｉＯとなっており、実施例
１と同じ層構成であるが、中間のＴｉＳｉＯ膜の屈折率
は連続的に変化したものとなっている。このようにして
成膜したガラスの光学的特性は実施例１のガラスと同等
であった。
制御することにより、ＴｉＯ膜の上に屈折率が連続的に
変化したＴｉＳｉＯ膜を成膜することができた。各ター
ゲットの具体的印加ＲＦパワーはＴｉターゲットに対し
ては３００ｗから０に、ＳｉＯ2 ターゲットに対しては
０から３００ｗへと変化させた。この様にしてＴｉＳｉ
Ｏを２０ｎｍ成膜した。次にＳｉＯ膜の成膜段階にはい
り、このときＳｉＯ2ターゲットに印加するパワーは３
００ｗでＳｉＯ膜を１３０ｎｍ成膜した。その後ＳｉＯ
2 膜の上にＴｉＳｉＯ膜を２０ｎｍ、ＴｉＯ膜を９０ｎ
ｍ成膜するが、その手順は前述のＴｉＯ膜の上にＳｉＯ
膜を形成したときと逆の手順を用いた。すなわちＴｉタ
ーゲットに印加するＲＦパワーを時間的に徐々に増加
し、ＳｉＯ 2 ターゲットに投入するパワーを徐々に減少
するようＲＦパワーを制御することによって、ＳｉＯ2
膜の上にＴｉＳｉＯ膜、ＴｉＯ膜を形成した。このよう
に積層されたものの層構成はＦＬ３／ＴｉＯ／ＴｉＳｉ
Ｏ／ＳｉＯ／ＴｉＳｉＯ／ＴｉＯとなっており、実施例
１と同じ層構成であるが、中間のＴｉＳｉＯ膜の屈折率
は連続的に変化したものとなっている。このようにして
成膜したガラスの光学的特性は実施例１のガラスと同等
であった。
【００２５】実施例３ 実施例１と同様の方法で、表１に示す５層膜およびその
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同等の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同等の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
【００２６】比較例１ 実施例１と同様の方法で、表１に示す３層膜およびその
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同等の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同等の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
【００２７】実施例４ 実施例１と同様の方法で、表１に示す５層膜およびその
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同様の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同様の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
【００２８】比較例２ 実施例１と同様の方法で、表１に示す３層膜およびその
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同等の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同等の評価手段で行い、その結果を表１
に示す。
【表１】
【００２９】表１より明らかなように、実施例１，２と
比較例１、および実施例３と比較例２を比べると、同等
の熱線反射性能を発現しながら、干渉色の強さは低減さ
れており、優れた居住性をもって自動車、建築物等の窓
ガラス、ことに直射光を遮る熱線反射ガラスになり所期
のめざすものを得た。
比較例１、および実施例３と比較例２を比べると、同等
の熱線反射性能を発現しながら、干渉色の強さは低減さ
れており、優れた居住性をもって自動車、建築物等の窓
ガラス、ことに直射光を遮る熱線反射ガラスになり所期
のめざすものを得た。
【００３０】本発明では膜成分をＴｉＯ，ＳｉＯ，Ｔｉ
ＳｉＯ，ＡＬＯ，ＴｉＮＯと表しているが成膜させる際
に還元がおこるため、酸素の数はＴｉＯ，ＳｉＯでは
１．８〜２．０、ＴｉＳｉＯでは１．５〜２．０、ＡＬ
Ｏでは１．２〜１．５、ＴｉＮＯでは１〜１．８となっ
ている。
ＳｉＯ，ＡＬＯ，ＴｉＮＯと表しているが成膜させる際
に還元がおこるため、酸素の数はＴｉＯ，ＳｉＯでは
１．８〜２．０、ＴｉＳｉＯでは１．５〜２．０、ＡＬ
Ｏでは１．２〜１．５、ＴｉＮＯでは１〜１．８となっ
ている。
【００３１】
【作用】前述したとおり、本発明の干渉色を低減した断
熱ガラスは、屈折率の異なる特定膜厚の薄膜を多層積層
してなる、光干渉を利用した方法で作製した断熱ガラス
において、中間に両層の中間の屈折率を有する中間層膜
を特定厚みで挟持することにより、光干渉効果による断
熱性能を維持しながら、干渉によって発現される干渉色
を中間層として挿入しないものに比べ低減でき、太陽光
のエネルギー流入が減じられるために、自動車、建築物
内外の居住性ならびに景観性等環境をより優れたものと
することができる、ことに単板の断熱ガラス等に有用な
直射熱線遮蔽ガラスを提供するものである。
熱ガラスは、屈折率の異なる特定膜厚の薄膜を多層積層
してなる、光干渉を利用した方法で作製した断熱ガラス
において、中間に両層の中間の屈折率を有する中間層膜
を特定厚みで挟持することにより、光干渉効果による断
熱性能を維持しながら、干渉によって発現される干渉色
を中間層として挿入しないものに比べ低減でき、太陽光
のエネルギー流入が減じられるために、自動車、建築物
内外の居住性ならびに景観性等環境をより優れたものと
することができる、ことに単板の断熱ガラス等に有用な
直射熱線遮蔽ガラスを提供するものである。
【００３２】
【発明の効果】以上前述したように、本発明はスパッタ
法等で、特定膜厚の多層積層体の各層の中間に屈折率が
両層の中間の中間膜を巧みに組み合わせて積層膜に構成
せしめたことにより、直射光のぎらつき感を抑える熱線
遮蔽ガラスであって、その光干渉によって発現される干
渉色が中間層を積層しないものに比べ低減でき、自動
車、建築における居住性のよい、単板ガラスはもちろん
合わせガラスあるいは複層ガラス等として使用し得る。
太陽の直射光によるぎらつき感を遮蔽する熱線遮蔽ガラ
スとして有用である。
法等で、特定膜厚の多層積層体の各層の中間に屈折率が
両層の中間の中間膜を巧みに組み合わせて積層膜に構成
せしめたことにより、直射光のぎらつき感を抑える熱線
遮蔽ガラスであって、その光干渉によって発現される干
渉色が中間層を積層しないものに比べ低減でき、自動
車、建築における居住性のよい、単板ガラスはもちろん
合わせガラスあるいは複層ガラス等として使用し得る。
太陽の直射光によるぎらつき感を遮蔽する熱線遮蔽ガラ
スとして有用である。
【図１】本発明の一例の断熱ガラスの断面図である。
【図２】従来の誘電体を積層してなる一例の断熱ガラス
の断面図である。
の断面図である。
１ ガラス基板 ２ ＴｉＯからなる第１層 ３ ＴｉＳｉＯからなる第２層 ４ ＳｉＯからなる第３層 ５ ＴｉＳｉＯからなる第４層 ６ ＴｉＯからなる第５層 ７ ＴｉＯからなる第２層 ８ ＳｉＯからなる第３層 ９ ＴｉＯからなる第４層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴田 格 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 篠田 真人 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 西出 利一 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 透明な基板上に２層以上の薄膜を積層し
てなる断熱ガラスにおいて、各層の中間に屈折率が両層
の中間に相当する中間膜を挟持したことを特徴とする断
熱ガラス。 - 【請求項２】 中間層が両層の混合材料からなることを
特徴とする請求項１記載の断熱ガラス。 - 【請求項３】 中間層が両層とは異なる材料であること
を特徴とする請求項１記載の断熱ガラス。 - 【請求項４】 中間層の屈折率が両層の屈折率に連続し
て変化することを特徴とする請求項１または２記載の断
熱ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16282093A JPH0717741A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 干渉色を減じた断熱ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16282093A JPH0717741A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 干渉色を減じた断熱ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0717741A true JPH0717741A (ja) | 1995-01-20 |
Family
ID=15761855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16282093A Pending JPH0717741A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 干渉色を減じた断熱ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717741A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08225636A (ja) * | 1995-11-28 | 1996-09-03 | Toray Ind Inc | 共重合ポリエステル |
| JP2000211948A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-08-02 | Saint Gobain Vitrage | 反射防止コ―ティングを備える透明基板 |
| US6905607B2 (en) | 2000-12-04 | 2005-06-14 | Takachiho Corp. | Method for utilizing rainwater collected at buildings |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP16282093A patent/JPH0717741A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08225636A (ja) * | 1995-11-28 | 1996-09-03 | Toray Ind Inc | 共重合ポリエステル |
| JP2658999B2 (ja) * | 1995-11-28 | 1997-09-30 | 東レ株式会社 | 共重合ポリエステル |
| JP2000211948A (ja) * | 1998-12-21 | 2000-08-02 | Saint Gobain Vitrage | 反射防止コ―ティングを備える透明基板 |
| JP2011032168A (ja) * | 1998-12-21 | 2011-02-17 | Saint-Gobain Glass France | 反射防止コーティングを備える透明基板 |
| US6905607B2 (en) | 2000-12-04 | 2005-06-14 | Takachiho Corp. | Method for utilizing rainwater collected at buildings |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040615 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041019 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |